透明薄膜厚的測量PPT課件_第1頁
透明薄膜厚的測量PPT課件_第2頁
透明薄膜厚的測量PPT課件_第3頁
透明薄膜厚的測量PPT課件_第4頁
透明薄膜厚的測量PPT課件_第5頁
已閱讀5頁，還剩8頁未讀， 繼續(xù)免費(fèi)閱讀

下載本文檔

版權(quán)說明：本文檔由用戶提供并上傳，收益歸屬內(nèi)容提供方，若內(nèi)容存在侵權(quán)，請進(jìn)行舉報或認(rèn)領(lǐng)

文檔簡介

1、一、測量原理第1頁/共13頁二、測量裝置本方法提供的透明薄膜厚度的測量裝置包括寬帶光源、干涉組件、頻域探測裝置和數(shù)據(jù)處理器，如圖1所示圖1 中9為寬帶光源；10為干涉組件，可以采用邁克爾遜干涉裝置；11為頻域探測裝置，可以采用光譜儀；12為數(shù)據(jù)處理器。第2頁/共13頁干涉組件采用邁克爾遜干涉裝置，裝置如圖2由于寬帶光源是發(fā)散光源，所以根據(jù)需要會在干涉儀前加匯聚透鏡來調(diào)整光路，這也作為干涉組件的一部分。 圖2 邁克爾遜干涉裝置第3頁/共13頁測量具體裝置圖如圖3所示：圖3 測量裝置第4頁/共13頁三、方法和步驟說明第5頁/共13頁第6頁/共13頁圖4 放置薄膜前得到的光程差信息 圖5 放置薄膜后

2、得到的光程差信息 第7頁/共13頁第8頁/共13頁圖6 薄膜傾斜后得到的光程差信息圖7 光通過薄膜時的光路圖第9頁/共13頁第10頁/共13頁四、總結(jié) 本方法是透明薄膜厚度的一種光學(xué)測量方法，采用投射式的測量方法，該方法精度高，測量范圍大，同時結(jié)構(gòu)靈活、處理方法簡單，不要求嚴(yán)格放置樣品，是透明薄膜厚度測量的一種良好方法，同時它還能測量薄膜的折射率，這是一般方法所不能比擬的優(yōu)勢。第11頁/共13頁五、拓展上述方法中也可以把頻率探測裝置換成測微目鏡，測量步驟如下：1、調(diào)節(jié)邁克爾遜干涉裝置的兩塊反射鏡使在測微目鏡中觀察到的是均勻的一片，即看不到干涉條紋，此時干涉的兩束光光程差相等。2、將透明薄膜垂直放入其中一條光路中，這時在測微目鏡中會出現(xiàn)干涉條紋，調(diào)節(jié)其中一塊反射鏡直到測微目鏡視野中干涉條紋消失重新變成均勻一片，記錄此時反射鏡移動的距離L.3、若薄膜折射率為n，則2(n-1)d=L，可得d=L/(2n-2)。這種方法原理簡單，但是要求對反射鏡移動距離能有較高精度的測量，而且在觀察測微目鏡視野和調(diào)節(jié)反射鏡的移動的協(xié)調(diào)上會比較繁瑣，需

溫馨提示

  • 1. 本站所有資源如無特殊說明，都需要本地電腦安裝OFFICE2007和PDF閱讀器。圖紙軟件為CAD,CAXA,PROE,UG,SolidWorks等.壓縮文件請下載最新的WinRAR軟件解壓。
  • 2. 本站的文檔不包含任何第三方提供的附件圖紙等，如果需要附件，請聯(lián)系上傳者。文件的所有權(quán)益歸上傳用戶所有。
  • 3. 本站RAR壓縮包中若帶圖紙，網(wǎng)頁內(nèi)容里面會有圖紙預(yù)覽，若沒有圖紙預(yù)覽就沒有圖紙。
  • 4. 未經(jīng)權(quán)益所有人同意不得將文件中的內(nèi)容挪作商業(yè)或盈利用途。
  • 5. 人人文庫網(wǎng)僅提供信息存儲空間，僅對用戶上傳內(nèi)容的表現(xiàn)方式做保護(hù)處理，對用戶上傳分享的文檔內(nèi)容本身不做任何修改或編輯，并不能對任何下載內(nèi)容負(fù)責(zé)。
  • 6. 下載文件中如有侵權(quán)或不適當(dāng)內(nèi)容，請與我們聯(lián)系，我們立即糾正。
  • 7. 本站不保證下載資源的準(zhǔn)確性、安全性和完整性, 同時也不承擔(dān)用戶因使用這些下載資源對自己和他人造成任何形式的傷害或損失。

最新文檔

評論

0/150

提交評論