光電測試第一章-1

1、光電測試技術(shù)光電測試技術(shù) 1-1 1-1 光電系統(tǒng)的對準和調(diào)焦技術(shù)光電系統(tǒng)的對準和調(diào)焦技術(shù)1-1 光電系統(tǒng)的對準和調(diào)焦技術(shù)光電系統(tǒng)的對準和調(diào)焦技術(shù)1. 目視系統(tǒng)的對準和調(diào)焦目視系統(tǒng)的對準和調(diào)焦對準對準又稱又稱橫向?qū)蕶M向?qū)?，是指一個目標與比較標志在是指一個目標與比較標志在垂直瞄準軸方向的重合或置中垂直瞄準軸方向的重合或置中。調(diào)焦調(diào)焦又稱又稱縱向?qū)士v向?qū)剩侵敢粋€目標與比較標志在，是指一個目標與比較標志在瞄準軸方向的重合。瞄準軸方向的重合。調(diào)焦的目的調(diào)焦的目的主要是使物體（目標）成像清晰，主要是使物體（目標）成像清晰，其次是為了確定物面或它的共軛像面的位置，其次是為了確定物面或它的共軛像面

2、的位置，后者往往稱為后者往往稱為定焦定焦。對準以后，眼睛的對準以后，眼睛的對準不確定度是以對準對準不確定度是以對準殘余量對眼瞳中心的夾角表示的殘余量對眼瞳中心的夾角表示的。定焦以后，眼睛的定焦以后，眼睛的調(diào)焦不確定度以目標和調(diào)焦不確定度以目標和標志到眼瞳距離的倒數(shù)之差表示標志到眼瞳距離的倒數(shù)之差表示。眼睛通過光學(xué)系統(tǒng)去對準或調(diào)焦的目的是眼睛通過光學(xué)系統(tǒng)去對準或調(diào)焦的目的是利用系統(tǒng)的有效放大率和有利的比較標志以利用系統(tǒng)的有效放大率和有利的比較標志以提高對準和調(diào)焦的準確度。提高對準和調(diào)焦的準確度。1-1 光電系統(tǒng)的對準和調(diào)焦技術(shù)光電系統(tǒng)的對準和調(diào)焦技術(shù)1. 目視系統(tǒng)的對準和調(diào)焦目視系統(tǒng)的對準和調(diào)焦

3、1-1 光電系統(tǒng)的對準和調(diào)焦技術(shù)光電系統(tǒng)的對準和調(diào)焦技術(shù)1. 目視系統(tǒng)的對準和調(diào)焦目視系統(tǒng)的對準和調(diào)焦 眼睛通過光學(xué)系統(tǒng)去對準或調(diào)焦的眼睛通過光學(xué)系統(tǒng)去對準或調(diào)焦的目的目的是利用系統(tǒng)的有效是利用系統(tǒng)的有效放大率和有利的比較標志以提高對準和調(diào)焦的準確度。所放大率和有利的比較標志以提高對準和調(diào)焦的準確度。所以對準和調(diào)焦不確定度應(yīng)以觀察系統(tǒng)的物方對應(yīng)值表示。以對準和調(diào)焦不確定度應(yīng)以觀察系統(tǒng)的物方對應(yīng)值表示。yFR0 = R = 1/觀察系統(tǒng)物方的對準和調(diào)焦不確定度的表示 x11 人眼的對準不確定度和調(diào)焦不確定度人眼的對準不確定度和調(diào)焦不確定度 常見的對準方式和人眼的對準標準不確定度見表常見的對準方式

4、和人眼的對準標準不確定度見表。對準方式示意圖人眼的對準標準不確定度()附注壓線對準（單線與單線重合）60120兩條實線重合時，設(shè)線寬分別為b1，b2()，則（b1+b2）/2（）實線與虛線重合時，設(shè)虛線寬為b1，b2b1b2+1時，1游標對準（一直線在另一直線延長線上）15線寬不宜大于1分界線aa應(yīng)細而整齊夾線對準（一條稍粗直線位于兩條平行細線中間）10三線嚴格平行。兩平行線中心間距最好等于粗直線寬度的1.6倍叉線對準（一條直線位于叉線中心）10直線應(yīng)與叉線的一條角等分線重合狹縫叉線對準或狹縫夾線對準10直線與狹縫嚴格平行aa1-1 光電系統(tǒng)的對準和調(diào)焦技術(shù)光電系統(tǒng)的對準和調(diào)焦技術(shù)1. 目視系

5、統(tǒng)的對準和調(diào)焦目視系統(tǒng)的對準和調(diào)焦11 人眼的對準不確定度和調(diào)焦不確定度人眼的對準不確定度和調(diào)焦不確定度最簡便最常用的調(diào)焦方法是最簡便最常用的調(diào)焦方法是清晰度法清晰度法和和消視差法消視差法。清晰度法清晰度法是以目標與比較標志同樣清晰為準。調(diào)是以目標與比較標志同樣清晰為準。調(diào)焦不確定度是由于存在幾何焦深和物理焦深所造焦不確定度是由于存在幾何焦深和物理焦深所造成的。成的。幾何焦深幾何焦深是指當彌散圓直徑等于人眼分辨極限時，是指當彌散圓直徑等于人眼分辨極限時，目標至標志的距離目標至標志的距離x的兩倍的兩倍2x。由幾何焦深造成的人眼調(diào)焦由幾何焦深造成的人眼調(diào)焦標準不確標準不確定度定度為：為：eeDal

6、l12111式中，式中， 以以m-1為單位，這時為單位，這時l1、l2和和De的單位為的單位為m，e的單位為的單位為rad。1l1l2l1l2Deae1122111111llfllf21211111llll12211()eeDllll21211111eellllD公式推導(dǎo)公式推導(dǎo)物理焦深物理焦深 根據(jù)衍射理論，由于眼瞳大小有限，即使是理想根據(jù)衍射理論，由于眼瞳大小有限，即使是理想成像，一物點在視網(wǎng)膜上的像也不再是一個點而成像，一物點在視網(wǎng)膜上的像也不再是一個點而是一個艾里斑。當物點沿軸向移動是一個艾里斑。當物點沿軸向移動dl后，在眼瞳后，在眼瞳面上產(chǎn)生的波差小于或等于面上產(chǎn)生的波差小于或等于/

7、K（常?。ǔＨ6）時，）時，人眼仍分辨不出此時視網(wǎng)膜上的衍射圖像與艾里人眼仍分辨不出此時視網(wǎng)膜上的衍射圖像與艾里斑有什么差別。即如果目標與標志相距小于斑有什么差別。即如果目標與標志相距小于dl時時眼睛仍認為二者的像同樣清晰，通常將眼睛仍認為二者的像同樣清晰，通常將2dl稱為稱為物物理焦深理焦深。由物理焦深造成的人眼調(diào)焦的標準不確由物理焦深造成的人眼調(diào)焦的標準不確定度由下式求得：定度由下式求得：122288lDlDkee2122811eKDll式中，式中，l2l1dl；De為眼瞳直徑（為眼瞳直徑（De與波長與波長的單位皆為的單位皆為m）。）。光瞳處球面波方程可近似表示為 ：222xyzRx,y

8、D（望遠鏡的出瞳直徑）時，（望遠鏡的出瞳直徑）時，D=D為望遠鏡的入瞳直徑；為望遠鏡的入瞳直徑；當當DDe時，則時，則De為實際有效的入瞳直徑，為實際有效的入瞳直徑， D=De。（若光學(xué)系統(tǒng)位在同種介質(zhì)中，角放大率（若光學(xué)系統(tǒng)位在同種介質(zhì)中，角放大率是同一對共軛面內(nèi)垂軸放大率的倒數(shù)）是同一對共軛面內(nèi)垂軸放大率的倒數(shù)）1.2 望遠鏡的對準不確定度和調(diào)焦不確定度望遠鏡的對準不確定度和調(diào)焦不確定度2）望遠鏡的調(diào)焦標準不確定度）望遠鏡的調(diào)焦標準不確定度消視差法消視差法 將人眼的消視差法調(diào)焦不確定度換算到望遠鏡物方將人眼的消視差法調(diào)焦不確定度換算到望遠鏡物方注意：眼瞳的有效移動距離注意：眼瞳的有效移動距

9、離b不等于眼瞳的實際移不等于眼瞳的實際移動距離動距離t，而等于出瞳中心到進入眼瞳的光束中心，而等于出瞳中心到進入眼瞳的光束中心的距離。如圖所示。的距離。如圖所示。（因為在視網(wǎng)膜上像的位置由進（因為在視網(wǎng)膜上像的位置由進入眼瞳的成像光束的中心線與視網(wǎng)膜的交點決定）入眼瞳的成像光束的中心線與視網(wǎng)膜的交點決定） b21.2 望遠鏡的對準不確定度和調(diào)焦不確定度望遠鏡的對準不確定度和調(diào)焦不確定度2）望遠鏡的調(diào)焦標準不確定度）望遠鏡的調(diào)焦標準不確定度消視差法消視差法 調(diào)焦標準不確定度的調(diào)焦標準不確定度的 眼睛最大移動距離是眼睛最大移動距離是 眼瞳中心移至位于出眼瞳中心移至位于出 瞳邊緣處：瞳邊緣處：若若D

10、e2mm，則有，則有 42eDDb)1(21DbbtbD/2De眼瞳在出瞳面上擺動時的有效移動距離調(diào)焦擴展不確定度為：調(diào)焦擴展不確定度為：1232()(1) 10mD其中其中的單位為的單位為radrad，DD的單位為的單位為mmmm例：校正平行光管的分劃板位置，要求分劃板位于平行光例：校正平行光管的分劃板位置，要求分劃板位于平行光管物鏡的焦面上。設(shè)平行光管口徑管物鏡的焦面上。設(shè)平行光管口徑 ，物鏡焦，物鏡焦距距 。用一個望遠鏡對向平行光管，觀察它的。用一個望遠鏡對向平行光管，觀察它的分劃板像，當看到這個像與望遠鏡的分劃板同樣分劃板像，當看到這個像與望遠鏡的分劃板同樣清晰清晰和和消消視差視差時，

11、則認為平行光管已校正好。設(shè)望遠鏡入瞳直時，則認為平行光管已校正好。設(shè)望遠鏡入瞳直徑徑 ，物鏡焦距，物鏡焦距 ，放大率，放大率 。問調(diào)焦誤差有多少？問調(diào)焦誤差有多少？c50Dmm550cfmm100TDmm1200ofmm40 用清晰度法：觀察時實際通光口徑用清晰度法：觀察時實際通光口徑500.05Dmmm取取22 3438()erad60.560.56 10mm22412628 0.56()()4.2 10 ()3438 40 0.056 0.0510m用消視差法：設(shè)對準方式是壓線對準，取用消視差法：設(shè)對準方式是壓線對準，取1眼瞳直徑眼瞳直徑2eDmm50 401.25Dmm得得31232 1

12、1.5 1040 (1.25 1) 103438m（）1-1 光電系統(tǒng)的對準和調(diào)焦技術(shù)光電系統(tǒng)的對準和調(diào)焦技術(shù)1. 目視系統(tǒng)的對準和調(diào)焦目視系統(tǒng)的對準和調(diào)焦1.3 顯微鏡的對準不確定度和調(diào)焦不確定度顯微鏡的對準不確定度和調(diào)焦不確定度1）顯微鏡的對準擴展不確定度）顯微鏡的對準擴展不確定度設(shè)顯微鏡的總放大率為設(shè)顯微鏡的總放大率為，其中物鏡的垂軸放大率為，其中物鏡的垂軸放大率為。通過顯微鏡觀察時物方的對準擴展不確定度設(shè)為。通過顯微鏡觀察時物方的對準擴展不確定度設(shè)為y，則有，則有 式中，式中， 250 / fe， fe為目鏡焦距；為目鏡焦距；250mm為人眼為人眼的明視距離；的明視距離；為人眼對準擴展

13、不確定度（為人眼對準擴展不確定度（rad）。）。y250補充知識：補充知識：放大鏡和顯微鏡放大鏡和顯微鏡我們知道，人眼的視角分辨率約為我們知道，人眼的視角分辨率約為1，如果能使用儀器擴，如果能使用儀器擴大視角，人們就可以看清肉眼直接觀察時看不清的目標。大視角，人們就可以看清肉眼直接觀察時看不清的目標。設(shè)同一目標用人眼直接觀察時的視角為設(shè)同一目標用人眼直接觀察時的視角為 ，在視網(wǎng)膜上，在視網(wǎng)膜上對應(yīng)的像高為對應(yīng)的像高為 ；通過儀器觀察的視角為；通過儀器觀察的視角為 ，在，在視網(wǎng)膜上對應(yīng)的被儀器放大了的像高為視網(wǎng)膜上對應(yīng)的被儀器放大了的像高為 ，則，則eyeeyeyinstruinstruytan

14、()eyeeyey tan()instruinstruy 其中的其中的 為眼睛的像方節(jié)點到網(wǎng)膜的距離為眼睛的像方節(jié)點到網(wǎng)膜的距離。對于同一個目標，由于用人眼和用儀器觀察時在視網(wǎng)膜上所對于同一個目標，由于用人眼和用儀器觀察時在視網(wǎng)膜上所成的像的大小不同，便產(chǎn)生了放大的感覺。成的像的大小不同，便產(chǎn)生了放大的感覺。用儀器觀察時網(wǎng)用儀器觀察時網(wǎng)膜上的像高與人眼直接觀察時網(wǎng)膜上的像高之比膜上的像高與人眼直接觀察時網(wǎng)膜上的像高之比，表示了該，表示了該儀器的放大作用，一般用儀器的放大作用，一般用 表示，由上面的關(guān)系得到表示，由上面的關(guān)系得到 intan()tan()struinstrueyeeyeyy 由上

15、式可以看到，由上式可以看到， 等于同一目標用儀器觀察時的視角和人眼等于同一目標用儀器觀察時的視角和人眼直接觀察時的視角兩者正切之比，所以稱為儀器的視放大率。直接觀察時的視角兩者正切之比，所以稱為儀器的視放大率。顯然，對目視光學(xué)儀器的一個顯然，對目視光學(xué)儀器的一個首要的要求就是擴大視角首要的要求就是擴大視角。此外，人眼在完全放松的自然狀態(tài)下，無限遠目標成像在此外，人眼在完全放松的自然狀態(tài)下，無限遠目標成像在網(wǎng)膜上，為了在使用儀器觀察時人眼不至于疲勞，網(wǎng)膜上，為了在使用儀器觀察時人眼不至于疲勞，目標通目標通過儀器后應(yīng)成像在無限遠，或者說要出射平行光束，這是過儀器后應(yīng)成像在無限遠，或者說要出射平行光

16、束，這是對目視光學(xué)儀器的第二個共同要求。對目視光學(xué)儀器的第二個共同要求。一、放大鏡的工作原理一、放大鏡的工作原理為了看清小物，我們設(shè)想，在人眼和物體之間放置一個透鏡，為了看清小物，我們設(shè)想，在人眼和物體之間放置一個透鏡，并使物與透鏡物方焦平面重合。物先通過透鏡成像在無限遠，并使物與透鏡物方焦平面重合。物先通過透鏡成像在無限遠，再進入人眼成像在視網(wǎng)膜上。再進入人眼成像在視網(wǎng)膜上。設(shè)透鏡焦距為設(shè)透鏡焦距為 ，物體通過透鏡所成的像對人眼的視，物體通過透鏡所成的像對人眼的視角角 為為finstrutan()instruyf人眼直接觀察的視角人眼直接觀察的視角 為為eyetan()eyeyl二者之比即為

17、視放大率，但二者之比即為視放大率，但l是是個不確定數(shù)，為了統(tǒng)一，取個不確定數(shù)，為了統(tǒng)一，取 l=-250mm即人眼的明視距離，則即人眼的明視距離，則視放大率為視放大率為tan()250tan()instrueyef 顯然，顯然， 越小，越小， 越大，放大的作用也就越大，這塊越大，放大的作用也就越大，這塊透鏡就叫放大鏡。由于透鏡就叫放大鏡。由于在一定的通光口徑下，單個透鏡在一定的通光口徑下，單個透鏡（組）的焦距不可能做得太短（組）的焦距不可能做得太短，所以放大鏡的視放大率就所以放大鏡的視放大率就受到限制，一般不超過受到限制，一般不超過15倍。倍。f二、顯微鏡的工作原理二、顯微鏡的工作原理為滿足對

18、更細小物體觀察的要求，必須進一步提高視放大為滿足對更細小物體觀察的要求，必須進一步提高視放大率。用放大鏡觀察的是放在焦面上的物體，如果我們把更率。用放大鏡觀察的是放在焦面上的物體，如果我們把更微小的物體先用一組透鏡放大成像到放大鏡焦面上，再通微小的物體先用一組透鏡放大成像到放大鏡焦面上，再通過放大鏡觀察，這樣通過過放大鏡觀察，這樣通過兩級放大兩級放大，就可以觀察到更細微就可以觀察到更細微的物體了。根據(jù)這樣的思路，就形成了視放大率更高的顯的物體了。根據(jù)這樣的思路，就形成了視放大率更高的顯微鏡，微鏡，把被觀察物體進行尺寸放大的一組透鏡就是顯微物把被觀察物體進行尺寸放大的一組透鏡就是顯微物鏡鏡；物體

19、物體y首先經(jīng)過顯微物鏡并在目鏡的物方焦平面上形成一首先經(jīng)過顯微物鏡并在目鏡的物方焦平面上形成一個放大的實像個放大的實像y，再經(jīng)過目鏡成像在無限遠。，再經(jīng)過目鏡成像在無限遠。人眼直接觀察的視角正切為人眼直接觀察的視角正切為tan()250eyey通過顯微鏡觀察時，視角的正切為通過顯微鏡觀察時，視角的正切為tan()instrueyf如圖，假定光學(xué)筒長為如圖，假定光學(xué)筒長為 ，根據(jù)牛頓公式的放大率公，根據(jù)牛頓公式的放大率公式有式有ooyyf oyyf tan()instruoeyf f 根據(jù)目鏡（放大鏡）的視放大率公式和對物鏡應(yīng)用的牛頓根據(jù)目鏡（放大鏡）的視放大率公式和對物鏡應(yīng)用的牛頓放大率公式可

20、得放大率公式可得250oeoeff 即顯微鏡的即顯微鏡的總視放大率等于總視放大率等于物鏡的垂軸放大率物鏡的垂軸放大率與與目鏡的視目鏡的視放大率放大率的乘積的乘積。顯微物鏡的垂軸放大率顯微物鏡的垂軸放大率 和顯微目鏡的視放大率和顯微目鏡的視放大率 都刻在鏡管上，將兩者相乘就可知道顯微鏡的視放大率。都刻在鏡管上，將兩者相乘就可知道顯微鏡的視放大率。通常使用的顯微鏡，物鏡、目鏡都配有多個，倍率各不相通常使用的顯微鏡，物鏡、目鏡都配有多個，倍率各不相同，不同的物鏡與目鏡搭配可以得到不同的總視放大率。同，不同的物鏡與目鏡搭配可以得到不同的總視放大率。oe根據(jù)組合系統(tǒng)的焦距公式，顯微鏡的組合焦距應(yīng)為根據(jù)組

21、合系統(tǒng)的焦距公式，顯微鏡的組合焦距應(yīng)為12oef ff ff 250f 此式與放大鏡的公式完全一樣，因此，也可以把此式與放大鏡的公式完全一樣，因此，也可以把顯微顯微鏡看成是一個組合的放大鏡。鏡看成是一個組合的放大鏡。顯微鏡物面上能分顯微鏡物面上能分辨開的最短距離為辨開的最短距離為max0.610.61sin. .nUN A為了充分發(fā)揮由上式所確定的顯微鏡的分辨率，使已被為了充分發(fā)揮由上式所確定的顯微鏡的分辨率，使已被顯微鏡分辨開的細節(jié)也能同時被眼睛所分辨，要求整個顯微鏡分辨開的細節(jié)也能同時被眼睛所分辨，要求整個顯微鏡必須有適當?shù)囊暦糯舐?。顯微鏡必須有適當?shù)囊暦糯舐?。例：例：V棱鏡折光儀的顯微鏡

22、放大率：棱鏡折光儀的顯微鏡放大率：顯微鏡的數(shù)值孔徑顯微鏡的數(shù)值孔徑對準方式是夾線對準，其擴展不確定度：對準方式是夾線對準，其擴展不確定度：則顯微鏡物方的對準擴展不確定度則顯微鏡物方的對準擴展不確定度58 0.15NA 1010 206265rad250 100.000210.2158 206265ymmm 關(guān)于對準標準不確定度的討論關(guān)于對準標準不確定度的討論1-1 光電系統(tǒng)的對準和調(diào)焦技術(shù)光電系統(tǒng)的對準和調(diào)焦技術(shù)1. 目視系統(tǒng)的對準和調(diào)焦目視系統(tǒng)的對準和調(diào)焦y250望遠鏡望遠鏡顯微鏡顯微鏡由公式可以看出，對準的標準不確定度與放大率由公式可以看出，對準的標準不確定度與放大率成反成反比。是否可以認

23、為，只要單純增大比。是否可以認為，只要單純增大，對準的標準不確定，對準的標準不確定度必然減小呢？實踐證明，度必然減小呢？實踐證明，對準標準不確定度的減小還受對準標準不確定度的減小還受到光學(xué)儀器分辨率的限制到光學(xué)儀器分辨率的限制。因為即使光學(xué)儀器像質(zhì)優(yōu)良，。因為即使光學(xué)儀器像質(zhì)優(yōu)良，對準和分辨也都存在著目標經(jīng)物鏡成像的清晰度受衍射影對準和分辨也都存在著目標經(jīng)物鏡成像的清晰度受衍射影響這一因素，所以兩者有一定的聯(lián)系。響這一因素，所以兩者有一定的聯(lián)系。實驗結(jié)果指出，像質(zhì)優(yōu)良的望遠鏡和顯微鏡的實驗結(jié)果指出，像質(zhì)優(yōu)良的望遠鏡和顯微鏡的單次對準標準不確定度最小只能達到它的單次對準標準不確定度最小只能達到它

24、的理論分理論分辨率的辨率的1/61/10 ，即，即a10161minDa02. 1)10161(minyNA51. 01-1 光電系統(tǒng)的對準和調(diào)焦技術(shù)光電系統(tǒng)的對準和調(diào)焦技術(shù)1. 目視系統(tǒng)的對準和調(diào)焦目視系統(tǒng)的對準和調(diào)焦關(guān)于對準標準不確定度的討論關(guān)于對準標準不確定度的討論道斯判據(jù)道斯判據(jù)1-1 光電系統(tǒng)的對準和調(diào)焦技術(shù)光電系統(tǒng)的對準和調(diào)焦技術(shù)1. 目視系統(tǒng)的對準和調(diào)焦目視系統(tǒng)的對準和調(diào)焦1.3 顯微鏡的對準不確定度和調(diào)焦不確定度顯微鏡的對準不確定度和調(diào)焦不確定度2）顯微鏡的調(diào)焦標準不確定度）顯微鏡的調(diào)焦標準不確定度清晰度法清晰度法 設(shè)顯微鏡物空間的折射率為設(shè)顯微鏡物空間的折射率為n時，經(jīng)推導(dǎo)可

25、得：時，經(jīng)推導(dǎo)可得：eqefNAnax)(21222)(62sin62NAnUnx222)(622NAnNAfnaxeqe250eqf其中等效焦距其中等效焦距250eqfmm121212112111eqnfxlnlllnlnl2211eqeeeqfDnnfxeqeeqeqeeqeqeeqefNAnfNAfnfufnfDnx22sin222216881222RDRDnURUR6sin2sin22122nRRU6)(2sin122222)(62sin62NAnUnx1-1 光電系統(tǒng)的對準和調(diào)焦技術(shù)光電系統(tǒng)的對準和調(diào)焦技術(shù)1. 目視系統(tǒng)的對準和調(diào)焦目視系統(tǒng)的對準和調(diào)焦1.3 顯微鏡的對準不確定度和調(diào)

26、焦不確定度顯微鏡的對準不確定度和調(diào)焦不確定度3）顯微鏡的調(diào)焦標準不確定度）顯微鏡的調(diào)焦標準不確定度消視差法消視差法 消視差法求調(diào)焦標準不確定度的方法與清晰度消視差法求調(diào)焦標準不確定度的方法與清晰度法的方法相似。換算到顯微鏡物方有法的方法相似。換算到顯微鏡物方有22eqeqfbnnfx2/ ) 1( DbNAfDeq21DDNAfnxeq例：用一顯微鏡確定某分劃板的位置。顯微物鏡例：用一顯微鏡確定某分劃板的位置。顯微物鏡0.25NA10o目鏡目鏡10e 求顯微鏡對分劃板刻線面調(diào)焦的調(diào)焦擴展不確定度。求顯微鏡對分劃板刻線面調(diào)焦的調(diào)焦擴展不確定度。（1）清晰度法）清晰度法取取31,0.56 10,1

27、emm n已知已知100 ,250/1002.5,0.25oeeqfmm NA 322321 1 2.52 1 0.56 10()()3.3 10 ()2 3438 0.256 0.25xmm 假如假如 ，則實際的數(shù)值孔徑，則實際的數(shù)值孔徑 ，1eDmmD0.20NA 這時這時5.0 xm （2）消視差法）消視差法設(shè)被調(diào)焦的分劃板刻有直線，顯微鏡的分劃板上刻有叉設(shè)被調(diào)焦的分劃板刻有直線，顯微鏡的分劃板上刻有叉線，故有線，故有100.17顯微鏡的出瞳直徑顯微鏡的出瞳直徑2()2 2.5 0.251.25eqDfNAmm設(shè)眼瞳直徑設(shè)眼瞳直徑 ，則，則2eDmm31 0.17 2.5 101.252.53438 0.251.25 1xm 1-1 光電系統(tǒng)的對準和調(diào)焦技術(shù)光電系統(tǒng)的對準和調(diào)焦技術(shù)1. 目視系統(tǒng)的對準和調(diào)焦目視系統(tǒng)的對準和調(diào)焦u關(guān)于兩種調(diào)焦方法不確定度的討論：關(guān)于兩種調(diào)焦方法不確定度的討論：由于消視差法可通過選擇有利的對準方式使對準標準由于消視差法可通過選擇有利的對準方式使對準標準不確定度不確定度大大減小，因此，系統(tǒng)