廠務(wù)系統(tǒng)概述

1、整理課件廠務(wù)系統(tǒng)概述莊士正整理課件整廠系統(tǒng)整理課件1.1.廠務(wù)系統(tǒng)功能廠務(wù)系統(tǒng)功能整理課件1.1 1.1 水系統(tǒng)在製程中的功能水系統(tǒng)在製程中的功能PCW製程冷卻水製程機臺冷卻UPW/DIW超純水補水/清洗/稀釋Chill Water冰水冷卻用冷源/空調(diào)用冰水RW回收水DI回收/冷凝回收/再生使用CW自來水原水/一般用水整理課件1.2 1.2 氣體系統(tǒng)在製程中的功能氣體系統(tǒng)在製程中的功能CDA壓縮乾燥空氣搬運器/儀器之氣壓缸/一般沖吹GN2一般氮氣Purge/CDA Backup/潔淨(jìng)沖吹PN2純化氮氣Purge/空間填充/超潔淨(jìng)沖吹其他B-GAS大宗氣體製程需求/Purge/空間填充/超潔淨(jìng)沖

2、吹S-GAS特殊氣體製程Chamber填充需求/乾蝕刻製程需求整理課件1.3 1.3 化學(xué)系統(tǒng)在製程中的功能化學(xué)系統(tǒng)在製程中的功能Chemical化學(xué)藥品清潔清洗/濕式蝕刻製程需求整理課件1.4 1.4 真空系統(tǒng)在製程中的功能真空系統(tǒng)在製程中的功能PV製程真空基板吸引般移HV清潔真空塵屑吸引清潔/真空吸筆整理課件Pump Line製程高真空Chamber製程轉(zhuǎn)換之高真空建立Exhaust排氣系統(tǒng)Chamber製程轉(zhuǎn)換之廢氣排除Drain排水系統(tǒng)機臺製程使用之廢DI/Chemical排放1.5 1.5 排氣排氣/ /排水系統(tǒng)在製程中的功能排水系統(tǒng)在製程中的功能整理課件2.2.廠務(wù)系統(tǒng)使用材質(zhì)廠務(wù)

3、系統(tǒng)使用材質(zhì)整理課件2.1 2.1 水系統(tǒng)使用材質(zhì)水系統(tǒng)使用材質(zhì)PCW製程冷卻水SUS 304禁油處理/高壓軟管UPW/DIW超純水CPVC/PVDF/PFA TubeChill Water冰水SUS 304RW回收水SUS 304CW自來水SUS 304整理課件CDA壓縮乾燥空氣SUS 304L AP/BA/316L BAGN2一般氮氣SUS 316L BA/EPPN2純化氮氣SUS 316L EP其他B-GAS大宗氣體SUS 316L EP/PH2有時用雙套管(EP/AP)S-GAS特殊氣體SUS 316L EP/雙套管/加熱套2.2 2.2 氣體系統(tǒng)使用材質(zhì)氣體系統(tǒng)使用材質(zhì)- -(除特氣

4、外機臺端都可能用Teflon軟管)整理課件2.3 2.3 化學(xué)系統(tǒng)使用材質(zhì)化學(xué)系統(tǒng)使用材質(zhì)有機類化學(xué)藥品例如溶劑類SUS 316 BA一般酸鹼化學(xué)藥品例如H2SO4/NaOHPVC/CPVC其他化學(xué)藥品CPVC/PFA/PVDF/PTFE整理課件2.4 2.4 真空系統(tǒng)使用材質(zhì)真空系統(tǒng)使用材質(zhì)PV製程真空PVC SCH80/SUS 304HV清潔真空PVC SCH80/SUS 304整理課件Pump Line製程高真空SUS 316 BA/EPGEX一般排氣鍍鋅螺旋風(fēng)管2.5 2.5 排氣系統(tǒng)使用材質(zhì)排氣系統(tǒng)使用材質(zhì)Solvent有機排氣SUS 304全焊式不銹鋼風(fēng)管Acid/Ak酸鹼排氣不銹

5、鋼Teflon Coating風(fēng)管(Tefpass)整理課件2.6 2.6 排水系統(tǒng)使用材質(zhì)排水系統(tǒng)使用材質(zhì)Drain一般排水PVC/PVC SCH80Solvent有機排氣水SUS 304不銹鋼管Acid/Ak酸鹼排氣水PVC SCH80/PVDF/PTFE/PFA整理課件3.3.廠務(wù)系統(tǒng)流程廠務(wù)系統(tǒng)流程整理課件3.1 3.1 製程冷卻水系統(tǒng)簡略流程製程冷卻水系統(tǒng)簡略流程原水補水膨脹水箱冰水出冰水進板 熱製程管線機臺冷卻進水回水整理課件3.2 3.2 冰水系統(tǒng)簡略流程冰水系統(tǒng)簡略流程冷卻水塔MAU冰水出冰水回大 氣冰水主機冷媒循環(huán)RCUAHU其他空調(diào)箱DCC板 熱冷卻水整理課件3.3 3.3

6、 純水系統(tǒng)簡略流程純水系統(tǒng)簡略流程City Water自來水自來水DM Filter去除鈣鎂去除鈣鎂Decarbonator去除去除CO2WA Tower去除碳酸鈣去除碳酸鈣SA Tower去除碳酸鈣去除碳酸鈣RO TankRO進水槽進水槽Heat Exchange熱交換器熱交換器UV Sterilizer紫外線殺菌紫外線殺菌Safety Filter過濾器過濾器RO Unit逆滲透膜逆滲透膜PermeatePit逆滲透底槽逆滲透底槽Mixed Bed去除去除SiO2MembraneDegasifier去除去除O2UPW Tank純水儲槽純水儲槽Cooler冷卻器冷卻器UV Oxidizer破

7、壞有機鏈破壞有機鏈UF Unit超限過濾膜超限過濾膜H2 UPW Tank純水儲槽純水儲槽H2 CoolerH2冷卻器冷卻器H2 M.D.H2去除膜去除膜H2 DesolveMembraneH2除溶膜除溶膜H2W UF Unit超限過濾膜超限過濾膜P.O.U使用點使用點回水回水回水回水整理課件3.4 3.4 自來水自來水/ /回收水系統(tǒng)簡略流程回收水系統(tǒng)簡略流程自來水外管水表/隔離閥供應(yīng)管線使用點自來水自來水空氣中水份冷盤/空調(diào)箱回收管線回收水槽回收水回收水使用點整理課件3.5 CDA/GN2/PN23.5 CDA/GN2/PN2系統(tǒng)簡略流程系統(tǒng)簡略流程CDACDAGN2/PN2GN2/PN2

8、大氣大氣空壓機空壓機蓄壓槽蓄壓槽初級初級過濾器過濾器冷凍式冷凍式乾燥機乾燥機吸附式吸附式乾燥機乾燥機精密精密過濾器過濾器大氣大氣氮氣氮氣產(chǎn)生器產(chǎn)生器液氮槽液氮槽蒸發(fā)器蒸發(fā)器減壓站減壓站過濾器過濾器純化器純化器使用點使用點一一/二次管二次管二次盤二次盤CQC使用點使用點一一/二次管二次管二次盤二次盤CQC整理課件3.6 3.6 其他大宗氣體其他大宗氣體/ /特氣系統(tǒng)簡略流程特氣系統(tǒng)簡略流程O2O2Specialty GasSpecialty Gas鋼瓶鋼瓶Cabinet氣瓶櫃氣瓶櫃VMB/P閥箱閥箱管線管線使用點使用點液氧儲槽液氧儲槽減壓站減壓站過濾器過濾器純化器純化器CQCHe/Ar/Kr/H

9、2He/Ar/Kr/H2鋼瓶鋼瓶/BundleTrunker減壓站減壓站過濾器過濾器一一/二次管二次管二次盤二次盤使用點使用點蒸發(fā)器蒸發(fā)器使用點使用點一一/二次管二次管二次盤二次盤純化器純化器CQC管線管線整理課件3.7 3.7 高真空高真空/ /排氣系統(tǒng)簡略流程排氣系統(tǒng)簡略流程Pumping LinePumping LineOthers ExhaustOthers Exhaust機臺製程機臺製程ChamberVacuumPump高真空高真空管路管路ScrubberGEXGEX機臺出口機臺出口Damper風(fēng)管風(fēng)管風(fēng)機風(fēng)機高真空高真空管路管路大氣大氣Exhaust風(fēng)管風(fēng)管機臺出口機臺出口Damp

10、er風(fēng)管風(fēng)管風(fēng)機風(fēng)機Scrubber大氣大氣整理課件3.8 3.8 真空系統(tǒng)簡略流程真空系統(tǒng)簡略流程PVPV製程機臺製程機臺使用點使用點真空管路真空管路真空儲槽真空儲槽真空真空PumpHVHV一一/二次管二次管二次盤二次盤配置需求配置需求使用點使用點真空管路真空管路真空真空清潔儲槽清潔儲槽真空真空Pump開關(guān)盒開關(guān)盒整理課件3.9 3.9 化學(xué)系統(tǒng)簡略流程化學(xué)系統(tǒng)簡略流程ChemicalChemical化學(xué)品化學(xué)品供應(yīng)槽車供應(yīng)槽車傳送系統(tǒng)傳送系統(tǒng)供應(yīng)槽供應(yīng)槽分配系統(tǒng)分配系統(tǒng)化學(xué)品化學(xué)品儲槽儲槽VMB/P化學(xué)管路化學(xué)管路使用點使用點回收管線回收管線廢液廢液回收槽回收槽整理課件3.10 3.10 廢水收集系統(tǒng)簡略流程廢水收集系統(tǒng)簡略流程Drain PipeDrain Pipe機臺機臺排放點排放點廢水廢水處理廠處理廠收集收集管線管線整理課件3.11 3.11 廢水處理系統(tǒng)簡略流