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1會計學CXII真空維修案例真空維修案例23RP1，RP2緩沖罐1，緩沖罐2，底片室，樣品交換倉；n4.同時A面板DP燈亮，表示DP處于加熱狀態(tài)。4DP，皮拉尼規(guī)前級真空均已抽好，且DP加熱完畢，將開始細抽。5V1AREADY，表示整個真空系統(tǒng)抽氣過程完畢，鏡筒處于高真空狀態(tài)，可以開始加高壓。6機械泵停止工作，整個真空系統(tǒng)停機。78nn8.尋找漏氣部位n9.檢修閥門n10.檢查真空檢測探頭910n方案三：逐個排查電磁閥。嘗試維修電磁閥。11121314n發(fā)現(xiàn)故障：不該通氣時放氣嚴重拆卸視頻1516171819在不通電情況下，降S進氣口通氣，如果各個氣口都不出氣，表示正常。如有漏氣，表示閥內(nèi)密封不嚴。2021222324n方案三：逐個排查電磁閥。嘗試維修電磁閥。25n發(fā)現(xiàn)故障：不該通氣時放氣嚴重拆卸視頻262728

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