CCD與CMOS最全面客觀的對比2015資料

1、CCD與 CMOS寸比，孰能更勝一籌?難以定論一直以來，人們總是在討論 CMOS口 CCD兩種成像器之間的比較優(yōu)勢。雖然 關(guān)于哪個(gè)更勝一籌的爭論紛紜已久，但自始至終卻沒有任何定論浮出水面。由于 人們關(guān)注的主題總在不斷變化，因此，關(guān)于問題的答案也是不確定的。 科技在進(jìn) 步，市場也日新月異，影響產(chǎn)品競爭力的因素不再只是技術(shù)，還包括商業(yè)利益。 成像器的應(yīng)用范圍也發(fā)生了變化，需要滿足更多不同的需求。有一些應(yīng)用是 CMO成像器的強(qiáng)項(xiàng)，另一些則是 CCD勺優(yōu)勢。在本文中，我們將深入探討兩種 成像器 在不同領(lǐng)域的優(yōu)劣勢，并向大家介紹一些鮮為人知的技術(shù)和成本因素。Teledyne DALSA CCD（左） 和

2、CMOS （右）圖像傳感器弓丨言.CCD （電荷耦合器件）和CMOS互補(bǔ)性氧化金屬半導(dǎo)體）圖像傳感器是兩 種不同的數(shù)字影像捕捉技術(shù)。在不同的應(yīng)用中，二者的優(yōu)勢和劣勢也不同。-'noteCCD和CMOS成像器都是利用光電效應(yīng)通過光產(chǎn)生電子信號也就是說，成像器將光先轉(zhuǎn)換為電荷，然后進(jìn)一步處理成為電子信號。在 CCD專感器中，每一個(gè)像素捕獲的電荷通過有限數(shù)量的輸出節(jié)點(diǎn) （通常只有一個(gè)） 轉(zhuǎn)移，轉(zhuǎn) 換成電壓信號后保存到緩沖區(qū)，再從芯片作為模擬信號傳輸出去。所 有的像素都可以用于光子捕獲，輸出信號的均勻性相當(dāng)高，而信號的均勻性是決 定圖像質(zhì)量的關(guān) 鍵因素。對CMO傳感器而言，每一個(gè)像素都有自己的

3、電荷到電 壓轉(zhuǎn)換機(jī)制，傳感器通常也包括放大器、噪聲校正和數(shù)字化處理電路，因而CMOS 芯片輸出的是 數(shù)字“位”。這些功能增加了 CMOS傳感器設(shè)計(jì)的復(fù)雜性，也減 少了捕獲光子的有效面積?？紤]到CMOS傳感器的每一個(gè)像素都承擔(dān)自身的轉(zhuǎn)換 任務(wù)，因而輸出信號的均勻性較低。但是有賴于大規(guī)模并行處理架構(gòu)，CMO傳感器的總帶寬較高，速度也更快。CC和CMO成像器均誕生于20世紀(jì)60年代末和70年代，DALSA創(chuàng)始人 Savvas Chamberlain博士正是研發(fā)這兩項(xiàng)技術(shù)的先驅(qū)者。CCD在當(dāng)時(shí)成為主導(dǎo)產(chǎn) 品，最主要的原因在當(dāng)時(shí)有限的制造工藝下，CC岡以呈現(xiàn)質(zhì)量極高的影 像。CMO圖像傳感器要求要求更高

4、的傳輸均勻性，以及更小的特征，當(dāng)時(shí)的硅片加 工技術(shù)并不能滿足。一直到20世紀(jì)90年代，平版刻法技術(shù)發(fā)展到一定程度， 設(shè)計(jì)者才有能力開始設(shè)計(jì)具有實(shí)際意義的 CMOS成像裝置。人們對CMOS專感器 成像裝置重新產(chǎn)生了興趣，主要原因在于：因?yàn)橹匦虏捎昧酥髁鬟壿嬎季S和存儲 裝置的制造工藝，CMO傳感器有望降低功率消耗、實(shí)現(xiàn)照相機(jī)與芯片集成并降低制造成本。要在實(shí)踐中實(shí)現(xiàn)CMOS勺這些好處，同時(shí)還要保障高質(zhì)量的影像， 這就需要花費(fèi)更多的時(shí)間、金錢，并增加工藝投入。不過，可喜的是，此時(shí)，CMOS 成像器終于能夠和CDD一樣，成為一種成熟的主流技術(shù)。滿足客戶應(yīng)用需求的大規(guī)模成像器手機(jī)對提高CMOS成像器的規(guī)模

5、起了推動(dòng)作用為了實(shí)現(xiàn)低能耗和小型組件的高度集成，CMO設(shè)計(jì)師開始關(guān)注開發(fā)手機(jī)成 像器一一世界上規(guī)模最大的成像器應(yīng)用。大量資金投入到開發(fā)和微調(diào)CMO成像器及其 生產(chǎn)工藝方面。正因?yàn)榇?，CMO成像器的圖像質(zhì)量即使在像素尺寸收縮 的情況下仍然大為改善。因此，在大批量消費(fèi)類面陣和線陣傳感器上， 無論是哪 一個(gè)性能參數(shù)，CMO傳感器都勝過CCD機(jī)器視覺成像器就機(jī)器視覺而言，受到大量手機(jī)成像器投資的推動(dòng)，CMO面陣和線陣成像器開始超越了 CDD成像器。對于大多數(shù)的機(jī)器視覺面陣和線陣成像器而言，CCD已不再具備技術(shù)優(yōu)勢。CCO LineacatiAnalog bottltrneckmassively por

6、olirl oriaK>g - low noiseCMOS L k*cs<-rjfi現(xiàn)在我們將簡要描述CMO成像器在機(jī)器視覺上優(yōu)于CCD的原因。機(jī)器視覺的關(guān) 鍵參數(shù)是速度和噪聲。CMO和 CCD成像器主要差別是信號從信號電荷轉(zhuǎn)換至模 擬信號并最終轉(zhuǎn)換至數(shù)字信號的不同方式。在 CMOSS陣和線陣成像器中，數(shù)據(jù) 通路的前端是大規(guī)模并行的。這樣，每個(gè)放大器都擁有低帶寬。當(dāng)信號到達(dá)數(shù)據(jù) 通路瓶頸，通常是成像器和芯片外電路系統(tǒng)之間 的接口時(shí)，CMO數(shù)據(jù)已經(jīng)是數(shù) 字的。相比之下，高速CCD盡管也有很多并行高速輸出通道， 但數(shù)量規(guī)模卻不及 高速CMOS成像器。因此，CCD放大器的帶寬更高，噪聲也

7、更大。也就是說，高 速CMO成像器的設(shè)計(jì)噪聲可低于高速CCD 然而，有時(shí)也會出現(xiàn)例外情況近紅外成像器Visible太陽能電池的硅片裂紋將會十分清晰地顯示在近紅外光譜成像上成像器必須具備較厚的光子吸收區(qū)域， 才能在近紅外（700至1000nm光譜 上成像。這是因?yàn)榕c可見光子相比，紅外光子的吸收深度更深。多數(shù)CMO成像器的制造工藝是針對可見光影像的大規(guī)模應(yīng)用設(shè)計(jì)的。這些 成像器對近紅外（NIR）并不十分敏感。事實(shí)上，成像器制造工藝盡可能降低對NIR的敏感程度。如果在具備較厚外延層的條件下，CMO成像器無法實(shí)現(xiàn)較高的 像素偏壓或較低的外延摻雜度，那么通過增加基片厚度，更精確地說，是外延或 外延層的厚

8、度，改善紅外敏感度將會降低成像器的空間特征分辨能力。改變電壓或外延摻雜度將會影響CMOS?擬和數(shù)字電路的運(yùn)作。相反，CCDt具備較厚的外延層的同時(shí)，能夠很好地保持精密空間特征分辨能力。 某些近紅外CCD勺外延厚度可達(dá)100微米，而CMO成像器的外延厚度僅為5至 10微米。CCD勺像素偏置和外延濃度也必須作出調(diào)整，形成更厚的外延，然而 與CMOS!比，這種調(diào)整對于CCD電路的影響更易控制。專門針對近紅外設(shè)計(jì)的高敏感度 CCD成像器比CMO成像器的敏高度要高得多紫外成像器如今，深亞微米光刻技術(shù)采用遠(yuǎn)紫外線進(jìn)行質(zhì)量檢測由于紫外光子在十分靠近硅表面時(shí)被吸收，因此紫外成像器不能采用可能阻 礙紫外光子吸收

9、的多晶硅層、氮化物層或厚氧化層。現(xiàn)代紫外成像器的背面都經(jīng) 過了減薄處理，多數(shù)只會在硅成像表面的上方加上一層薄薄的抗反射膜。雖然背面減薄技術(shù)在移動(dòng)成像器上已屢見不鮮，然而在紫外成像上卻并非如 此。無論是CMO或是CCD成像器表面必須經(jīng)過特殊的表面處理，才能夠獲 得 穩(wěn)定的紫外響應(yīng)。某些針對可見光成像設(shè)計(jì)的背面減薄成像器都貼有一層較厚的 氧化膜，可在紫外成像時(shí)改變或吸收紫外光。某些背面減薄成像器的成像表面則 經(jīng)過高硼摻雜膜的鈍化處理，可延展硅外延的深度，從而導(dǎo)致大量紫外光生光 子在復(fù)合過程丟失。紫外響應(yīng)和背面減薄技術(shù)可應(yīng)用在所有線陣成像器上，但不能應(yīng)用在所有面 陣成像器上。所有全局快門面陣CCD成

10、像器均不可采用背面減薄。在這點(diǎn)上，雖 然有些代價(jià)，但是CMO面陣成像器的情況較好。卷簾快門面陣CMO成像器可背 面減薄。如果紫外敏感成像器也需要在可見光中成像，傳統(tǒng)CMO全局快門面陣 成像器的每個(gè)像素的存儲節(jié)點(diǎn)經(jīng)過背面減薄處理后需要被遮擋。背面減薄成像器無法有效地屏蔽部分像素的入射光， 除非大大降低成像器的填充系數(shù)（光敏感面 積與總像素面積的比率）。有些類型的 CMO全局快門面陣成像器盡管沒有光敏 感存儲節(jié)點(diǎn)，但是具備以下全部或部分特性：高噪聲、低阱容或卷簾快門。時(shí)間延遲積分成像器除了面陣和線陣成像器外，時(shí)間延遲積分成像器也是一種重要的成像器類 型。時(shí)間延遲積分（TDI）成像器通常用于機(jī)器視覺

11、和遙感操作。它的操作與線 陣成像器類似，不同之處在于時(shí)間延遲積分成像器擁有上百條線陣。當(dāng)物體影像移動(dòng)通過每條線時(shí)，每條線都會 捕捉到物體的快照。因?yàn)樵跁r(shí)間延遲積分成像 器中，物體的多重快照能夠相加在一起，從而產(chǎn)生強(qiáng)烈的信號，因此時(shí)間延遲積 分成像器特別適合信號很弱的情況。如今，CC刖CMOS寸間延遲積分成像器相加多重快照的方式有所不同。CCD將信號電荷相加在一起，而CMOSU將電壓信號相加在一起。CC岡實(shí)現(xiàn)無噪聲 相加，但CMO不能。當(dāng)CMO時(shí)間延遲積分成像器的行數(shù)較多時(shí)， 相加的噪聲極 高。即使是最先進(jìn)的CMOS寸間延遲積分成像器，它的噪聲也不可能比 CCD寸間 延遲積分成像器低。CMOS寸

12、間延遲積分成像器的一個(gè)發(fā)展方向在于模擬 CCD時(shí)間延遲積分成 像器，使其具備類似CCD的像素，從而實(shí)現(xiàn)電荷相加。我們稱之為電荷域 CMOS 時(shí)間延遲積分成像器。電荷域CMOS寸間延遲積分成像器在技術(shù)上是可行的，但 是如果需要進(jìn)一步開發(fā)、微調(diào)和完善這一技術(shù)需要投入更多的成本。與CMO面陣和線陣成像器相比，電荷域 CMOS寸間延遲積分成像器的成本很高。手機(jī)既不 需要時(shí)間延遲積分成像器也不需要相加電荷。因此，CMOS寸間延遲積分成像器的前景并不太樂觀。電子倍增EMCCD是低信號應(yīng)用的絕佳選擇，特別是在科學(xué)成像應(yīng)用電子倍增CCD(EMCCD是指帶有相乘信號電荷包結(jié)構(gòu)的 CCD同時(shí)避免在相 乘過程中帶來

13、噪聲。因此，凈信噪比(SNR)增加了。在信號微弱至略高于成像器 本底噪聲的應(yīng)用中，EMCC能夠檢測到先前難以檢測到的信號。在無需高速成像的應(yīng)用中，EMCC的性能優(yōu)于CMOS高速操作會增加CCD 的讀出噪聲。因此，對于改進(jìn)了信噪比的EMCCDEMCC和 CMO成像器的差別并 不大，特別是 專為低讀出噪聲設(shè)計(jì)的科學(xué)級 CMO成像器。與傳統(tǒng)成像器相比， 高速EMCC還可顯著降低功率。低噪聲CMO成像器在信噪比、紫外吸收或時(shí)間延遲積分方面的性能不及 CCD有鑒于此，由于信號可能很弱，即使其他成像器能夠達(dá)到EMCC所具備的讀出噪聲，但是EMCC解決方案從整體上而言也是最具優(yōu)勢的。成本因素影響成本的因素包

14、括價(jià)格杠桿、規(guī)模、產(chǎn)量和每晶圓的設(shè)備數(shù)量至此為止，我們已經(jīng)討論了 CMO和CCD成像器在性能上的不同點(diǎn)。如果認(rèn)為商 業(yè)決策的決定因素只有性能，那這個(gè)想法實(shí)屬天真。許多商業(yè)決策者更多關(guān)注的 是產(chǎn)品的價(jià)值，或者說是在相同價(jià)格下能夠獲取的性能有多少。成本因素十分復(fù)雜，本文只關(guān)注最重要的幾點(diǎn)。首先，價(jià)格杠桿是關(guān)鍵。正如前述風(fēng)險(xiǎn)所述，無論是 CMO或是CCD市場在售 的成像器的價(jià)格比全定制成像器低得多。 如果非要定制，除非變化很小，那么定 制CCDS像器的價(jià)格一般低于定制 CMOS勺價(jià)格。由于CMO成像器采用的深亞微 米掩膜價(jià)格較高，因此CMO成像器的研發(fā)價(jià)格也相應(yīng)地高于 CCD成像器。此外, CMO設(shè)

15、備需要設(shè)計(jì)的電路也更多。因此，即使定制CMO成像器的應(yīng)用性能較好， 但是考慮到價(jià)格因素，客戶仍然更加親睞定制 CCD成像器。第二，規(guī)模。雖然研發(fā)新款CMO成像器的價(jià)格較高，考慮到CMO成像器的規(guī)模 經(jīng)濟(jì)，其單位成本卻相對較低。在考慮規(guī)模后，與低研發(fā)成本相比，低單位成本 顯然更具吸引力。第三，供應(yīng)安全性。如果成像器的相關(guān)產(chǎn)品斷產(chǎn)，也將大大增加成本。除價(jià)格因 素外，選擇一個(gè)能夠持續(xù)生產(chǎn)成像器 -CMOS或 CCD-的公司也很重要。結(jié)論根據(jù)特定應(yīng)用要求選擇一個(gè)正確的成像器絕非易事。不同應(yīng)用有不同的要 求。這些要求將對性能和價(jià)格產(chǎn)生影響。 鑒于上述種種復(fù)雜因素， 難以斷言 CMOS 或CCD成像器在所有應(yīng)用中哪個(gè)更勝一籌也就不足為奇了。