分子泵維修常見問題故障_第1頁
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分子泵維修常見問題故障_第3頁
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文檔簡介

1、查找故障故障現(xiàn)象檢杳操作系統(tǒng)通電時，LED沒有閃爍秒電源是否出現(xiàn)故障確保電源已打開并且保險絲（及限流設(shè)備）未松開。發(fā)送并行“啟動”命令后泵不旋轉(zhuǎn)檢查電源是否打開并且故障輸出是否活動轉(zhuǎn)軸任然不旋轉(zhuǎn)，則表示泵出現(xiàn)故障。發(fā)送串行“啟動”命令后泵不旋轉(zhuǎn)檢查泵是否回復(fù)“啟動”命令如果沒有回復(fù)，則應(yīng)檢查串行 通信鏈接是否通電并且“串 行啟用”是否激活以及電源 是否打開。檢查橙色狀態(tài)LED 是否閃爍。泵在多站模式下不響應(yīng)檢查是否啟用多站模式確保泵有多站地址并且使用多站協(xié)議發(fā)送命令。橙色狀態(tài)LED閃爍錯誤代碼注意每個序列6下閃爍中長閃 爍的位置，以解讀錯誤代碼。查閱相關(guān)錯誤代碼并按照所提供的說明進行操作運行時

2、額定LED不亮或泵沒有以全速旋轉(zhuǎn)或泵出現(xiàn)故障入口壓力是否過高如果是這樣，應(yīng)減小抽取負載或檢查系統(tǒng)是否有大泄漏。泵運行時是否太熱增加泵的冷卻?？赡苄枰獜耐?風(fēng)冷卻變成水冷。可能需要增 大冷卻水流量或降低水溫或 同時采取這兩種措施。檢查外 部熱源確保沒有輻射過多熱 量。轉(zhuǎn)軸旋轉(zhuǎn)是否順暢如果不是，泵軸承可能已損 壞。無法達到極限壓力壓力是否因水蒸氣而受限烘烤系統(tǒng)和泵。是否任何真空壓力表有污物如果是這樣，應(yīng)清潔或更換。抽取速度是否不足(由于泵和壓力表接觸不良或中間有太大的腔)使其接觸良好或減小體積。層間入口壓力是否(50pa)如果層間入口壓力太大，渦輪 分子泵上的入口壓力會增大； 應(yīng)確保層間入口壓力(50 pa)。前級壓力是否10mbar如果是這樣，前級壓力可能太 大。檢查后備管道是否有泄 漏。如果對處理能力要求較 高，則可能需要更大的后備 泵。糸統(tǒng)的咼真空區(qū)域是否有污 物如果是這樣，應(yīng)清潔咼真空系 統(tǒng)。檢查系統(tǒng)的其它部分是否有泄漏或污物。如果發(fā)現(xiàn)有，則應(yīng)修補泄漏處 并清除污物。泵噪音很大或振動過大或兩種情況同時出現(xiàn)泵轉(zhuǎn)速與所連接系統(tǒng)的共振頻率是否相同如果是這樣，則應(yīng)更改系統(tǒng)的固有頻率或使用活動風(fēng)箱隔 離泵。震動是從轉(zhuǎn)動的后備泵傳遞如果是這樣，則應(yīng)在后備線路過來的嗎中安裝活動風(fēng)箱或隔振器。噪音是不是不規(guī)則并且越

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