氮化硅刻蝕機(jī)培訓(xùn)教程

1、Tel/lam氮化硅刻蝕機(jī)培訓(xùn)教案一簡介：Tel/lam氮化硅刻蝕機(jī)是一種平板式的干法刻蝕設(shè)備，用于氮化硅的 干法刻蝕，其工作原理為特種氣體SF6, CHF3在RF下電離并與氮化硅發(fā)生 反應(yīng)。二結(jié)構(gòu)組成它由以下幾部分組成：主機(jī)部分、電源部分、泵組部分、射頻部分和 氣體供給部分部分。1主機(jī)部分：它是氮化硅刻蝕機(jī)的主體部分，包括顯示器、傳遞腔、 反應(yīng)腔、傳動(dòng)系統(tǒng)及設(shè)備的主要控制系統(tǒng)。2電源部分：系統(tǒng)供電208V進(jìn)入，經(jīng)變壓器，繼電器等變?yōu)樗璧?電壓輸出。該設(shè)備泵組電源由電源柜控制。3射頻部分：在氣體反應(yīng)時(shí)提供的高頻電源，以便氣體在高真空環(huán)境 下電離，產(chǎn)生等離子體。射頻匹配系統(tǒng)位于主機(jī)上部，用于對

2、射頻源所提供的高頻通過可變的 電感電容進(jìn)行匹配，以便提供給設(shè)備穩(wěn)定高效的射頻。射頻電源為208VAC供電，外接冷卻水為本體發(fā)熱元件降溫。4泵組部分：由機(jī)械泵、增壓泵和真空管線構(gòu)成抽反應(yīng)腔的真空系 統(tǒng)，以達(dá)到工藝反應(yīng)時(shí)所需的真空度要求。由18泵及配套的真空管線 用于抽傳遞腔的真空?，F(xiàn)在我們使用的泵組位于一樓回風(fēng)區(qū)內(nèi)。5氣體供給部分：由特氣柜、特氣瓶和特氣管線構(gòu)成。用于提供反 應(yīng)所需的特種氣體，其中用于提供特氣的特氣瓶至于一樓回風(fēng)區(qū)內(nèi)，特 氣經(jīng)二次減壓提供給設(shè)備，并由質(zhì)量流量計(jì)進(jìn)行控制。三Tel/lam氮化硅刻蝕機(jī)的基木操作1當(dāng)操作本臺(tái)設(shè)備時(shí)，應(yīng)首先檢査該設(shè)備的動(dòng)力條件，具體條件 如下：壓縮空氣：

3、±氮?dú)猓和?用于射頻冷卻的冷卻水是否有， 反應(yīng)所用的特氣是否有，設(shè)備面板的電極溫度是否和設(shè)定的溫度相 符，排風(fēng)是否正常。2操作：按照設(shè)備操作流程進(jìn)行操作3面板按鍵：LOAD用于下載初始化程序SAVE保存程序RECIPE 用于編輯反應(yīng)的程序STATUS用于觀察設(shè)備所處的狀態(tài) PARAMETERS用于設(shè)置設(shè)備參數(shù)OPTIONS用于設(shè)備的手動(dòng)操作及觀察 設(shè)備運(yùn)行時(shí)的參數(shù)變化START開始設(shè)備開始運(yùn)行STOP終止下一 片硅片從傳片筐傳出FIELD SELECT用于切換設(shè)定狀態(tài) 設(shè)備面板另有四個(gè)用于光標(biāo)移動(dòng)的按健及一個(gè)數(shù)字鍵盤四Tel/lam氮化硅刻蝕機(jī)的常見故障及應(yīng)急故障處理1真空故障：主要

4、顯示為反應(yīng)腔或者傳遞腔真空達(dá)不到，真空漏 率較大?？赡芤鹪摴收系闹饕?yàn)椋赫婵毡媚芰ο陆担婵展?線連接不好，設(shè)備內(nèi)部密封件老化，真空監(jiān)測系統(tǒng)不準(zhǔn)確。傳遞腔不能達(dá)到大氣壓.其故障原因?yàn)橛糜跈z測其是否達(dá)到大氣 壓的壓力開關(guān)松動(dòng)或損壞、充氣的閥門沒有打開或者是系統(tǒng)氮?dú)鉀]有 供給2射頻故障：主要為射頻信號(hào)加不上，反射功率大，射頻源溫度 過高報(bào)警。可能引起該故障的主要原因?yàn)椋荷漕l電纜連接處接觸不好，匹配 單元連接不好，射頻源控制板故障，溫度高（OVER HEAT）是因?yàn)槔鋮s 水管線堵塞造成。4傳遞系統(tǒng)故障：主要表現(xiàn)為硅片在傳遞皮帶上不動(dòng)作；裝載片 筐的升降臺(tái)不動(dòng)作；機(jī)械手傳接片子位置不正，其直接的影響會(huì)使 硅片碎裂，嚴(yán)重時(shí)會(huì)導(dǎo)致主反應(yīng)腔內(nèi)的針（用于托片子）彎曲?？赡芤鸸收系脑?yàn)椋簜鬟f皮帶斷裂及帶動(dòng)皮帶的電機(jī)岀現(xiàn)故障；升降臺(tái)的保險(xiǎn)斷開，控制系統(tǒng)有故障此時(shí)系統(tǒng)復(fù)位即可，機(jī) 械手的限位不正確或氣缸（電機(jī)）有故障。5控制系統(tǒng)故障：常見為屏幕出現(xiàn)亂碼。產(chǎn)生此故障的原因通常 為存儲(chǔ)塊接觸不良或是電源不穩(wěn)定。6電極冷卻部分故障：主要表現(xiàn)