濕法刻蝕(RENA)作業(yè)指導(dǎo)書

1、賽賽維LDK太陽能高科技（合肥）有限公司文件 編號(hào)文件名稱濕法刻蝕 作業(yè)指導(dǎo)書生效日期頁碼第1頁 共3頁、目的建立正確操作濕法刻蝕工序的規(guī)范，以保證刻蝕的質(zhì)量及保護(hù)機(jī)器和人身安全。二、適用范圍RENA濕法刻蝕工序的所有操作人員三、職責(zé)3.1、工藝技術(shù)人員3.1.1 、負(fù)責(zé)RENA刻蝕工序生產(chǎn)工藝運(yùn)行的正常性、穩(wěn)定性 。3.1.2 、負(fù)責(zé)部門內(nèi)工藝運(yùn)行原始資料的累積，保管，隨時(shí)檢查工藝運(yùn)行狀態(tài)，并記錄異常，積極處理工藝異常。3.1.3 、負(fù)責(zé)應(yīng)對(duì)RENA刻蝕設(shè)備常見、突出、重大的工藝異常，制定落實(shí)整改措施、預(yù)防措施、應(yīng)急方 案。3.2、設(shè)備技術(shù)人員3.2.1、負(fù)責(zé)RENA刻蝕設(shè)備開關(guān)機(jī)、故障分析

2、、設(shè)備維護(hù)及檢修。3.2.2、如有工藝需求，積極配合工藝人員調(diào)整設(shè)備硬件設(shè)置。3.3、生產(chǎn)人員3.3.1 、負(fù)責(zé)依照作業(yè)指導(dǎo)書要求，按標(biāo)準(zhǔn)進(jìn)行生產(chǎn)作業(yè)，掌握正確的操作方法，確保操作安全、人身安全。3.3.2 、細(xì)心總結(jié)操作經(jīng)驗(yàn)，發(fā)現(xiàn)新問題或改善建議，及時(shí)向工藝技術(shù)員匯報(bào)。3.3.3 、負(fù)責(zé)對(duì)RENA刻蝕設(shè)備進(jìn)行標(biāo)準(zhǔn)、規(guī)范化操作，并配合、協(xié)助設(shè)備的日常維護(hù)工作。四、濕法刻蝕工段標(biāo)準(zhǔn)作業(yè)流程4.1刻蝕目的4.1.1在擴(kuò)散過程中，硅片表面和四周都生長(zhǎng)一層PN結(jié)，若不去除邊緣的 PN結(jié)，制成的電池片因?yàn)檫吘壜╇姸鵁o法使用。4.1.2擴(kuò)散時(shí)硅片表面形成了一層磷硅玻璃，磷硅玻璃不導(dǎo)電，為了形成良好的歐姆接

3、觸，減少光的反射，在沉積減反射膜之前，必須把磷硅玻璃腐蝕掉。山彳賽賽維LDK太陽能高科技（合肥）有限公司文件 編號(hào)文件名稱濕法刻蝕 作業(yè)指導(dǎo)書生效日期頁碼第2頁 共3頁4.2生產(chǎn)準(zhǔn)備4.2.1穿上工作服，戴上PV（手套。422確保手套沒有粘有油脂性物質(zhì)，使用吸筆上下片，嚴(yán)禁用手直接接觸硅片，在生產(chǎn)過程中禁止用手套接觸皮膚，如接觸過皮膚、頭發(fā)或者是帶有油脂的物品，請(qǐng)更換手套。4.2.3確認(rèn)廠務(wù)配套各項(xiàng)目是否正常壓縮空氣：4.3生產(chǎn)操作過程4.3.1從擴(kuò)散與去PSG勺傳遞窗領(lǐng)取硅片，一次限拿兩盒，并檢查流程 單，注意，傳遞窗不能兩邊同時(shí)打開。in process "，即表示設(shè)備進(jìn)入正常生

4、產(chǎn)狀態(tài),4.3.2 檢查界面顯示，若各模塊均為綠色"Ready'和綠色" 如果不在此狀態(tài)，通知工藝人員進(jìn)行處理。4.3.3從載片盒中拿出硅片，注意取片方式，先小心拿出盒蓋，將硅片 盒豎起抽出硅片。4.3.4確認(rèn)設(shè)備可正常使用后，把硅片輕放在滾輪上，注意硅片的擴(kuò)散面，確保擴(kuò)散面朝上，保證硅片整齊且每片之間的前后距離大于1.0cm。時(shí)使用吸筆將處理好的硅片從滾輪上吸到載片盒內(nèi)。4.3.5 經(jīng)過一遍刻蝕之后，硅片背場(chǎng)與邊緣的PN結(jié)全部被刻蝕，下片賽維LDK太陽能高科技（合肥）有限公司文件 編號(hào)文件名稱濕法刻蝕 作業(yè)指導(dǎo)書生效日期頁碼第3頁 共3頁436抽取每批的最后四片進(jìn)行刻蝕前和刻蝕后稱重測(cè)量，將所測(cè)數(shù)據(jù)記入規(guī)定表格，若減薄量超出工藝控制范圍，及時(shí)通知工藝人員進(jìn)行調(diào)整。4.3.7把裝滿硅片的片盒放入傳遞窗，流入PEVC工序。五、注意事項(xiàng)5.1上片時(shí)如果發(fā)現(xiàn)碎片、裂紋片或顏色異常的硅片及時(shí)挑出，并通知工藝人員進(jìn)行處理。5.2生產(chǎn)過程中保持設(shè)備門窗關(guān)閉。5.3下片時(shí)觀察硅片外觀，發(fā)現(xiàn)有裂紋、碎片、未吹干、帶液等情況時(shí)及時(shí)通知工藝與設(shè)備人員進(jìn)行處理。5.4生產(chǎn)過程中，嚴(yán)禁裸手接觸硅片、吸筆。5.5確保手