無塵室環(huán)境檢測標(biāo)準(zhǔn)

1、1. 目的規(guī)范無塵室內(nèi)環(huán)境檢測方法及判定作業(yè)。2. 范圍適用于公司所有無塵室的環(huán)境檢測作業(yè)。3.職責(zé) 3.1 無塵室管事部: 負(fù)責(zé)無塵室的定期檢測及檢測數(shù)據(jù)的統(tǒng)計(jì)分析,無塵室檢測異常的提出。3.2 生產(chǎn)部: 負(fù)責(zé)對無塵室的日常維護(hù)及保養(yǎng)。3.3 機(jī)電部:負(fù)責(zé)無塵室高效及低效過濾網(wǎng)的更換及維修。3.4設(shè)備部：負(fù)責(zé)無塵室的定期保養(yǎng),新過濾網(wǎng)的請購。4.內(nèi)容4.1 無塵室落塵檢測：4.1.1 靜態(tài)檢測: 生產(chǎn)設(shè)備安裝完畢,且正常運(yùn)行但無人員工作狀態(tài)下檢測。4.1.2 動態(tài)檢測: 生產(chǎn)設(shè)備安裝完畢正常運(yùn)行,且工作人員正常工作狀態(tài)下檢測。 4.2檢測周期: 無塵室2次/周。作業(yè)面區(qū)域2次/周，F(xiàn)FU過濾

2、網(wǎng)檢測1次/年度，生產(chǎn)依據(jù)檢測排查結(jié)果，開出工程需求申請單，請購濾網(wǎng)進(jìn)行更換。 注：CCM及三星專線無塵車間為每日點(diǎn)檢。4.3無塵車間人數(shù)規(guī)定，按每3m²最多只能容納1人計(jì)算；比如：100m²的車間，最多只能容納33人, 每天進(jìn)入無塵車間人員需做清點(diǎn)及統(tǒng)計(jì)，并記錄于無塵室人數(shù)點(diǎn)檢表中，超出空間限制人 員數(shù)量時(shí)應(yīng)由無塵室管理禁止及進(jìn)入。(參考國標(biāo)GB 50073-2001) 。4.4 檢測方式:4.4.1 檢測時(shí)使用采樣量大于1L/min的光學(xué)粒子計(jì)數(shù)器。4.4.2測量時(shí)位于工作區(qū)的高度(距離地面高度約0.8m)處進(jìn)行檢測。4.4.3測量時(shí)間最少為1min。4.5 檢測異常處

3、理： 灰塵度檢測人員對檢測結(jié)果進(jìn)行判定，如檢測結(jié)果超出標(biāo)準(zhǔn)，無塵室管理部開出無塵室檢測異常聯(lián)絡(luò)單，要求產(chǎn)線和相關(guān)部門進(jìn)行改善，改善后再進(jìn)行生產(chǎn)。 4.6 檢測方法要求：參考： ISO 14644-1/2 NEBB Procedural Standard for Certified Testing of Cleanroom 4.6.2潔凈室的測試點(diǎn)以不少于總面積開平方根的數(shù)量來均勻劃分。 （例如：1000平米車間至少需32個(gè)檢測點(diǎn)）4.6.3取樣量為每分鐘1個(gè)立方英尺,取樣時(shí)間為一分鐘。 在每個(gè)點(diǎn)的中心最小取一分鐘，高度在0.8米左右. （靠近人員實(shí)際作業(yè)區(qū)域）當(dāng)有障礙物時(shí)采樣點(diǎn)放在障礙物12

4、英寸上面4.7 檢測等級判定：4.7.1本司檢測設(shè)備檢測量為2.83L/min(即0.1ft/min)。4.7.2 依據(jù)FS-209E/GB50073-2001標(biāo)準(zhǔn)進(jìn)行檢測判定,即1ft的空間里面含有0.5um 落塵的數(shù)量即為多少等級,也可依1m³空間來計(jì)算,換算公式為1 m³=1000L。 例: 現(xiàn)設(shè)備檢測1min, 0.5um的落塵顯示數(shù)值為87。即為: 在0.1ft空間內(nèi)有87個(gè)0.5um的落塵=1ft空間內(nèi)有870個(gè)0.5um的落塵。依標(biāo)準(zhǔn)判定無塵室等級為870級。4.7.3 FS-209E標(biāo)準(zhǔn)的空氣中懸浮粒子潔凈度等級(ft & m³比對表)等級

5、標(biāo)準(zhǔn)等級限制0.1um0.2um0.3um0.5um5um容積單位容積單位容積單位容積單位容積單位m³Ft3m³Ft3m³Ft3m³Ft3m³Ft31021002410411000352377.5102335110100003502370751020303521010010000023700750102003003520100291000100000023700010200035200996293710000352000996229307010000035200009961629300700352000002930004.8 FFU濾網(wǎng)檢測：參考： ISO 14644-3：注1：潔凈室及相關(guān)受控環(huán)境-第3部分：計(jì)量和測試方法。4.8.1檢測頻率： 4.8.2更換周期為1次/1年(依據(jù)檢測結(jié)果而定)。 4.8.3 測試方法4.8.3.1對于每個(gè)2X4過濾器, 距離其表面150MM處均勻取2個(gè)讀數(shù)4.8.3.2對于每個(gè)4X4過濾器, 距離其表面150MM處均勻取4個(gè)讀數(shù)4.8.3.3平均風(fēng)速：0.45 m/s ± 20%4.9 無塵室壓力管控 規(guī)定不同等級的潔凈室以及潔凈區(qū)與非潔凈區(qū)之間的壓差，應(yīng)不小于5pa，潔凈區(qū)與