防靜電檢測(cè)方法

1、防靜電檢測(cè)方法版本號(hào)修編人日期審核批準(zhǔn)備注A0姜延平2005-1i=r本規(guī)范由公司ES頃目組提出。本規(guī)范主要起草和解釋部門(mén)：公司ES頃目組本規(guī)范主要起草人：姜延平本規(guī)范主要審核人：林建平，陳迎曦本規(guī)范批準(zhǔn)人：林建平，鞠英年，陳迎曦1范圍本規(guī)范制定了U隹司防靜電材料、用品、工具、防靜電接地等防靜電技術(shù)指標(biāo)的檢測(cè)方法和采用的儀器。目的在于規(guī)范防靜電技術(shù)指標(biāo)的檢測(cè)工作，指導(dǎo)現(xiàn)場(chǎng)操作。本規(guī)范適用于U隹司防靜電系統(tǒng)各要素(包括地面、接地系統(tǒng)、工作臺(tái)、工作椅、工位器具、物流傳遞工具、包裝材料、人員、腕帶、服裝、離子風(fēng)機(jī)、防靜電工具等)的防靜電性能指標(biāo)檢測(cè)。防靜電專(zhuān)用檢測(cè)儀器的檢測(cè)按照儀器儀表的檢測(cè)標(biāo)準(zhǔn)進(jìn)行

2、，本規(guī)范不涉及。2規(guī)范性引用文件下列文件中的條款通過(guò)本規(guī)范的引用而成為本規(guī)范的條款。凡是注日期的引用文件，其隨后所有的修改單(不包括勘誤的內(nèi)容)或修訂版均不適用于本規(guī)范，然而，鼓勵(lì)根據(jù)本規(guī)范達(dá)成協(xié)議的各方研究是否可使用這些文件的最新版本。凡是不注日期的引用文件，其最新版本適用于本規(guī)范。序號(hào)編R名稱(chēng)1SJ/T10694-1996電子產(chǎn)品制造防靜電系統(tǒng)測(cè)試方法2IEC61340-5-1TR2:1998Electrostatics-Part5-1:ProtectionofelectronicdevicesfromelectrostaticphenomenaGeneralrequirements.3術(shù)

3、語(yǔ)和定義表面電阻(surfaceresistance):兩個(gè)特定的放置于材料同一面的電極之間的電壓與它們通過(guò)電流的比值。體電阻(volumeresistance):單位厚度上的直流電壓，與通過(guò)材料的單位面積電流的比值，測(cè)試電極放置于材料相對(duì)面的對(duì)應(yīng)位置。接地電阻(EarthResistance):被接地體與地下零電位面之間的接地引線電阻、接地器電阻、接地器與土壤之間的過(guò)渡電阻和土壤的溢流電阻之和。摩擦起電(Triboelectrification):用摩擦的方法使兩物體分別帶有等值異號(hào)電荷的過(guò)程。衰減時(shí)間(decaytime):靜電電壓從峰值電壓降低到給定比例的時(shí)間。例如：在15咐目對(duì)濕度的情

4、況下，靜電電壓從2000V條低到100V的衰減時(shí)間小于等于1秒。屏蔽泄漏電壓：因屏蔽體外部的高電場(chǎng)而使屏蔽體內(nèi)部獲得的感應(yīng)電場(chǎng)電壓或外部高電場(chǎng)穿透屏蔽體衰減的殘留電場(chǎng)電壓，又稱(chēng)屏蔽殘余電壓。靜電中和(ElectrostaticNeutralization):帶電體上的電荷與其內(nèi)部和外部相反符號(hào)的電荷(電子或離子)的復(fù)合而使所帶靜電部分或全部消失的現(xiàn)象。4防靜電參數(shù)測(cè)試方法4.1 防靜電主要參數(shù)及測(cè)試儀器測(cè)試項(xiàng)目測(cè)試儀器表向電阻表面電阻測(cè)試儀兆歐表體電阻、系統(tǒng)電阻兆歐表萬(wàn)用表接地電阻接地電阻測(cè)試儀萬(wàn)用表兆歐表靜電電壓、摩擦電壓、衰減時(shí)間靜電場(chǎng)測(cè)試儀/靜電電壓測(cè)試儀秒表離子風(fēng)機(jī)離子平衡度靜電場(chǎng)測(cè)試

5、儀、CHARGEPLATEMONITOR屏敝殘余電壓屏蔽殘余電壓測(cè)試儀檢驗(yàn)所使用的儀器必須經(jīng)計(jì)量檢定合格（有準(zhǔn)用標(biāo)簽），并在有效期內(nèi)。4.2 防靜電測(cè)試儀器介紹UT用防靜電測(cè)試儀器主要有：簡(jiǎn)易表面電阻測(cè)試儀、兆歐表、靜電場(chǎng)測(cè)試儀、離子風(fēng)機(jī)離子平衡度測(cè)試儀、CHARGEPLATEMONITOR156A屏蔽殘余電壓測(cè)試儀、腕帶測(cè)試儀、人體綜合電阻測(cè)試儀、腕帶測(cè)試儀和人體綜合電阻測(cè)試儀的校準(zhǔn)儀。4.2.1 手持式簡(jiǎn)易表面電阻測(cè)試儀簡(jiǎn)易表面電阻測(cè)試儀型號(hào)為WRSTG330測(cè)試量程為1031012適用于測(cè)試平面材料，通過(guò)測(cè)試結(jié)果可以分辨被測(cè)材料為導(dǎo)體類(lèi)、靜電耗散類(lèi)和絕緣類(lèi)。由于靜電耗散材料的表面電阻為1

6、X104q<Rsv1X1011,因此WRSTG330試儀面板指示的1011Q檔（面板的黑色圓圈處）修正為絕緣材料，不是靜電耗散材料。簡(jiǎn)易表面電阻測(cè)試儀配有一根專(zhuān)用接地線，把接地線的香蕉插頭插入儀器表面的接地孔，另一度端的鱷魚(yú)夾夾在接地母線上，把表面電阻測(cè)試儀平壓在防靜電臺(tái)墊上，可以測(cè)試臺(tái)墊的接地電阻。QSP707TQM-04WRSTG330外形和測(cè)試方法參見(jiàn)圖1。4.2.2簡(jiǎn)易表面電阻測(cè)試儀兆歐表便攜式表面電阻測(cè)試儀測(cè)試電極被測(cè)材料絕緣平板U儂司兆歐表的型號(hào)有BM80/2、41270兩種。參見(jiàn)圖2。型號(hào)為BM80/2的兆歐表，配有兩根連線和2Kg重的測(cè)試電極兩個(gè)，具有、K、M三個(gè)檔位，檔

7、測(cè)試量程為V100Q,K的測(cè)試量程為v100KM測(cè)試量程為1051010適用于測(cè)試平面材料，通過(guò)測(cè)試結(jié)果可以分辨被測(cè)材料為導(dǎo)體類(lèi)、靜電耗散類(lèi)和絕緣類(lèi)，并可使用檔測(cè)試接地電阻，使用K檔測(cè)試低阻材料。型號(hào)為41270的兆歐表，配有兩根連線和兩個(gè)測(cè)試電極，在10V檔時(shí)，測(cè)試量程為1051011，在100V檔時(shí)，測(cè)13t量程為1051012Q,適用于測(cè)試平面材料，通過(guò)測(cè)試結(jié)果可以分辨被測(cè)材料為導(dǎo)體類(lèi)、靜電耗散類(lèi)和絕緣類(lèi)。兩種兆歐表都可以測(cè)試材料表面電阻和體積電阻（或系統(tǒng)電阻），兩根連線把兆歐表和兩個(gè)測(cè)試電極連接起來(lái)，兩個(gè)電極放置在材料的同一表面即可測(cè)試表面電阻，兩個(gè)電極放置在材料的兩個(gè)表面的相對(duì)位置可

8、以測(cè)試體積電阻。型號(hào)為BM80/2的兆歐表可直接使用兆歐表和兩根連線來(lái)測(cè)試接地電阻和低阻。41270BM80/21 靜電場(chǎng)測(cè)試儀UT司靜電場(chǎng)測(cè)試儀有兩種型號(hào)，普通型ESD42721,高精度型MODEL520都采用非接觸型的電場(chǎng)感應(yīng)測(cè)試方式。兩個(gè)儀器都配有一根接地線，靜電電壓測(cè)試時(shí)接地線接地可以提高測(cè)量的準(zhǔn)確性。ESD42721勺測(cè)試量程V20KV,精確度為10V,適于測(cè)試較大的平面分布電場(chǎng)。MODEL52的的測(cè)試量程V2KV,精確度為1V,適于平面和某點(diǎn)電場(chǎng)精確測(cè)試。圖4靜電場(chǎng)測(cè)試儀ESD42721圖3靜電場(chǎng)測(cè)試儀MODEL5201 離子風(fēng)機(jī)離子平衡度測(cè)試儀離子風(fēng)機(jī)離子平衡度測(cè)試儀由靜電電壓發(fā)

9、生器、靜電場(chǎng)測(cè)試儀ESD42721金屬隔離測(cè)試板組成，靜電電壓發(fā)生器產(chǎn)生1000V靜電電壓。參見(jiàn)圖5。圖5離子風(fēng)機(jī)離子平衡度測(cè)試儀1 CHARGEPLATEMONITORCHARGEPLATEMONITOR為MODE156A可用于測(cè)試離子風(fēng)機(jī)的離子平衡度和衰減時(shí)間，靜電電壓發(fā)生器產(chǎn)生1000V靜電電壓。參見(jiàn)圖6。圖6CHARGEPLATEMONITOR156A1 屏蔽殘余電壓測(cè)試儀屏蔽殘余電壓測(cè)試儀型號(hào)為Charleswater19380由靜電電壓發(fā)生器、測(cè)試電極、輔助金屬板、靜電探測(cè)器組成，靜電發(fā)生器產(chǎn)生1000V的靜電電壓，靜電探測(cè)器的測(cè)試量程為10V300V。參加圖7。圖7屏蔽殘余電壓測(cè)

10、試儀腕帶測(cè)試儀、人體綜合電阻測(cè)試儀、腕帶測(cè)試儀和人體綜合電阻測(cè)試儀的校準(zhǔn)儀的介紹和使用參見(jiàn)DKBA3151.5-2002.03人體接地技術(shù)和測(cè)試方法。各種測(cè)試儀器的詳細(xì)使用方法參照儀器使用說(shuō)明書(shū)。1) 表面電阻測(cè)試12測(cè)試表面電阻需要把被測(cè)材料放置在絕緣平面上進(jìn)行，絕緣平面表面電阻要求1X10Qo1） 采用簡(jiǎn)易表面電阻測(cè)試儀WRSTG330測(cè)試表面電阻簡(jiǎn)易表面電阻測(cè)試儀的兩測(cè)試極間距依據(jù)標(biāo)準(zhǔn)固定不變，測(cè)試時(shí)把被測(cè)材料放置在絕緣的平面上，表面電阻測(cè)試儀平置在材料表面，手指施加適當(dāng)壓力（24千克力）壓觸測(cè)試按鈕，使測(cè)試電極和材料表面接觸良好，指示燈發(fā)亮檔即為測(cè)試讀數(shù)。參見(jiàn)圖8。簡(jiǎn)易表面電阻測(cè)試儀的

11、1011檔修正為絕緣材料類(lèi)別，不是靜電耗散材料。使用簡(jiǎn)易表面電阻測(cè)試儀測(cè)試表面粗糙不平的軟性材料時(shí)，如泡沫板、氣珠袋等，需要加大測(cè)試壓力，可以施加到46千克力的壓力，以保證測(cè)試電極和材料表面接觸良好，測(cè)試準(zhǔn)確。圖8表面電阻測(cè)試1） 采用兆歐表BM80/2或41270測(cè)試表面電阻兆歐表測(cè)試材料表面電阻選擇100VDCf,把被測(cè)材料放置在絕緣平面上，測(cè)試電極平穩(wěn)地放在材料表面，撥動(dòng)測(cè)試按鈕可以直接讀取數(shù)值。測(cè)試電極的距離一般可以選擇1m左右，根據(jù)測(cè)試對(duì)象的不同測(cè)試電極的間距可以適度調(diào)整。圖9表面電阻測(cè)試測(cè)試時(shí)要保持被測(cè)試表面和探頭與被測(cè)體的接觸面清潔、測(cè)試電極和被測(cè)表面接觸良好。每個(gè)樣本在內(nèi)、外表

12、面隨機(jī)選擇三個(gè)測(cè)試點(diǎn)，每個(gè)測(cè)試點(diǎn)測(cè)試五次取平均值。只有每個(gè)測(cè)試點(diǎn)都符合防靜電性能指標(biāo)才為合格，否則為不合格。1) 體電阻和系統(tǒng)電阻測(cè)試體積電阻和系統(tǒng)電阻測(cè)試使用兆歐表，低阻值的系統(tǒng)電阻測(cè)試還可以采用萬(wàn)用表直接測(cè)量。測(cè)試體電阻和系統(tǒng)電阻需要輔助的金屬平板（導(dǎo)電性能良好，表面無(wú)氧化涂覆）。系統(tǒng)電阻是由多種材質(zhì)構(gòu)造的物體的系統(tǒng)阻抗，系統(tǒng)電阻與體電阻的測(cè)試原理相同。體電阻和系統(tǒng)電阻測(cè)試方法參見(jiàn)圖10。圖10體電阻和系統(tǒng)電阻測(cè)試測(cè)試時(shí)要保持被測(cè)試表面、測(cè)試電極與被測(cè)體的接觸面清潔，保證測(cè)試電極和被測(cè)表面接觸良好。每個(gè)樣本在內(nèi)、外表面隨機(jī)選擇三個(gè)測(cè)試點(diǎn)，每個(gè)測(cè)試點(diǎn)測(cè)試五次取平均值。只有每個(gè)測(cè)試點(diǎn)都符合防靜

13、電性能指標(biāo)才為合格，否則為不合格。萬(wàn)用表采用萬(wàn)用表測(cè)試系統(tǒng)電阻參見(jiàn)圖11。被測(cè)對(duì)象圖11萬(wàn)用表測(cè)試系統(tǒng)電阻1) 靜電電壓、摩擦電壓及其衰減時(shí)間測(cè)試測(cè)試靜電電壓采用非接觸靜電場(chǎng)測(cè)試儀，公司有兩種非接觸靜電場(chǎng)測(cè)試儀。一種是能精確到1伏TREK公司520型，如圖12;另一種是只能精確到10伏ESDSYSTEMS司42721型，如圖13。測(cè)試靜電電壓時(shí)測(cè)試探頭與被測(cè)件的距離保持在1英寸左右或按照儀器說(shuō)明書(shū)。圖12靜電場(chǎng)測(cè)試儀測(cè)試時(shí)靜電場(chǎng)測(cè)試儀的接地端要接地,背部面板測(cè)試電槌圖13靜電場(chǎng)測(cè)試儀保證測(cè)試讀數(shù)準(zhǔn)確。TRC儂司520型可以測(cè)試小面積的和一點(diǎn)的靜電，而ESDSYSTEMS司42721型只能測(cè)試較

14、大面積的靜電。1）摩擦電壓測(cè)試方法：手持干燥和干凈的棉布以每分鐘120次的速度，施加適當(dāng)?shù)膲毫Γ?4千克力），單向摩擦待測(cè)物品表面，摩擦次數(shù)為20次。再用測(cè)試儀測(cè)其靜電壓。2）靜電衰減時(shí)間測(cè)試方法：被測(cè)物體充電或摩擦后具有較高的靜電電場(chǎng)強(qiáng)度，采用靜電場(chǎng)測(cè)試儀立即測(cè)試其靜電電壓并記錄開(kāi)始時(shí)間，保持測(cè)試狀態(tài)不變，觀察靜電電壓逐步降低到要求數(shù)值時(shí)的時(shí)間段即為靜電衰減時(shí)間。每個(gè)樣本內(nèi)、外表面隨機(jī)選擇三個(gè)測(cè)試點(diǎn)，每個(gè)測(cè)試點(diǎn)測(cè)試五次取平均值。只有每個(gè)測(cè)試點(diǎn)都符合防靜電指標(biāo)才為合格，否則為不合格。1) 屏蔽殘余電壓測(cè)試屏蔽袋的屏蔽殘余電壓采用屏蔽殘余電壓測(cè)試儀（Charleswater19380測(cè)試，參見(jiàn)圖

15、14。圖14屏蔽殘余電壓測(cè)試測(cè)試方法：檢查靜電發(fā)生器背部面板，確保電壓選擇選鈕指向“240”位置；開(kāi)啟靜電探測(cè)器電源開(kāi)關(guān)，然后將其置于待檢屏蔽袋內(nèi)；將圓柱狀測(cè)試電極壓于屏蔽袋外側(cè)，確保底面與靜電探測(cè)器的探測(cè)電極正對(duì)；開(kāi)啟靜電發(fā)生器開(kāi)關(guān)，然后按其前部面板上的放電按鈕，產(chǎn)生1000V靜電；觀察靜電探測(cè)器上的電壓指示燈，讀取對(duì)應(yīng)的電壓值，有10V、20V、30V、40V、50V、100V、200V、300V等八個(gè)區(qū)段。若沒(méi)有指示燈亮，表明探測(cè)到的袋內(nèi)靜電壓低于10V;100V燈亮表示靜電壓為100200V,因此50V及以下燈亮證明合格，其余超標(biāo)。注意：每次測(cè)試前需按下靜電發(fā)生器復(fù)位開(kāi)關(guān)使之復(fù)位(電壓

16、指示燈熄滅)，重開(kāi)電源自然復(fù)位。測(cè)試過(guò)程中，請(qǐng)勿觸及屏蔽袋、輔助金屬板或柱狀測(cè)試電極。若靜電探測(cè)器有多個(gè)電壓指示燈亮，須重新復(fù)位。15。如圖15所示，然后將帶離子風(fēng)機(jī)離子平衡度測(cè)試離子風(fēng)機(jī)的離子平衡度測(cè)試采用簡(jiǎn)易離子風(fēng)機(jī)離子平衡度測(cè)試儀，參見(jiàn)圖首先用靜電發(fā)生器產(chǎn)生1KV靜電并傳導(dǎo)到靜電探測(cè)儀的隔離金屬測(cè)試板上,隔離測(cè)試板的靜電探測(cè)儀a.移至如圖10所示的測(cè)試點(diǎn)和，檢驗(yàn)離子風(fēng)機(jī)的消電時(shí)間(從1KV下降至100V);b.移至有效范圍(長(zhǎng)度：距離離子風(fēng)機(jī)14feet;寬度：距離中心線土6英寸)內(nèi)的任意測(cè)試點(diǎn)，檢驗(yàn)離子平衡度(即消電所能達(dá)到的最低值)。隔離測(cè)試板圖15離子風(fēng)機(jī)離子平衡度測(cè)試注意：測(cè)試過(guò)

17、程中隔離金屬板不能碰觸任何物體。離子風(fēng)機(jī)離子平衡度及衰減時(shí)間測(cè)試離子風(fēng)機(jī)的離子平衡度及衰減時(shí)間測(cè)試采用CHARGEPLATEMONITOR156A,參見(jiàn)圖16。測(cè)試方法:檢查儀器電壓，確保其符合要求，如果不足，應(yīng)及時(shí)充電；-4002)將金屬測(cè)試板連線插頭分別插入儀器主體部分背面的GROUND孔和IONCOLLECTINGPLATE中；打開(kāi)電源開(kāi)關(guān)，將靜電發(fā)生模型設(shè)置正電壓或負(fù)電壓；啟動(dòng)TEST/RETEST,使測(cè)試儀器產(chǎn)生1KV的正電壓或負(fù)電壓；將金屬測(cè)試板移至測(cè)試點(diǎn)，記錄離子風(fēng)機(jī)的消電時(shí)間(從1KV下降至100V)和離子平衡度。圖16離子風(fēng)機(jī)平衡度測(cè)試示意圖4.9接地電阻測(cè)試防靜電地極的接地

18、電阻測(cè)試測(cè)試儀器：接地電阻測(cè)量?jī)x測(cè)試方法，參見(jiàn)圖17。將被測(cè)試地極用導(dǎo)線接于儀器端子E；在相同直線方向20m40m朝濕土地處，分別插入電位探測(cè)針及電流探測(cè)針，各接于儀器端子P、C;設(shè)置“倍率盤(pán)”倍數(shù)；4)自緩至快搖動(dòng)儀器手柄，達(dá)到約120r/min,調(diào)整“測(cè)量標(biāo)度盤(pán)”，指針指于零位時(shí)，讀數(shù)乘以倍率標(biāo)度，即為接地電阻值；按測(cè)試步驟c、d反復(fù)測(cè)試3歇，取平均值。地極777白電位探針電流探針-B地電阻測(cè)量?jī)x瀛4/140m7777圖17防靜電地極接地電阻測(cè)試防靜電地面接地電阻測(cè)試測(cè)試儀器：兆歐表和探頭測(cè)試方法，參見(jiàn)圖18。按圖18的a、b所示，劃分測(cè)試網(wǎng)格；按圖18的c、d所示，隨機(jī)選定測(cè)試點(diǎn)；按GB

19、282887中4.8規(guī)定的抽樣程序，將待測(cè)地面全部網(wǎng)格看做樣本大小（批量范圍），以一般檢查水平II,確定樣本大小字碼；再用“正常檢查一次抽樣方案”。以合格質(zhì)量水平（AQL為6.5,決定抽樣樣本大小字碼，查表得出Ac、Re。按圖18的e所示，測(cè)試地面表面電阻。以合格質(zhì)量水平（AQL為10,決定抽樣樣本大小字碼，查表得出Ac、Re。按圖18的f所示，測(cè)試地面對(duì)地極母線電阻。間隔尺寸材料尺寸b、鋪設(shè)地面c、平行地線網(wǎng)a、水磨石地面d、方格地線網(wǎng)測(cè)試電極e地面表面電阻測(cè)試100VDC兆歐表接地母線防靜電地面I測(cè)試電極-3502kgf地面對(duì)地極母線電阻測(cè)試圖18地面表面電阻和地面接地電阻測(cè)試設(shè)備、儀器、

20、工具的接地電阻測(cè)試測(cè)試儀器：兆歐表和萬(wàn)用表測(cè)試方法：分硬接地測(cè)試和軟接地測(cè)試硬接地測(cè)試：用兆歐表或萬(wàn)用表的歐姆檔測(cè)試儀器、設(shè)備、工具上的金屬接地點(diǎn)到接地母線之間的電阻。軟接地測(cè)試：用兆歐表的MQ檔、測(cè)試極一端連接測(cè)試點(diǎn)，另一端連接接地母線，采用系統(tǒng)電阻測(cè)試方法進(jìn)行測(cè)試。防靜電用品的防靜電性能測(cè)試防靜電用品的防靜電性能測(cè)試條件和通用要求本規(guī)范的“防靜電用品”不包含防靜電檢測(cè)儀器類(lèi)。防靜電專(zhuān)用測(cè)試儀器類(lèi)防靜電用品依據(jù)認(rèn)證選型標(biāo)準(zhǔn)進(jìn)行采購(gòu)，遵照公司儀器儀表檢驗(yàn)相關(guān)流程執(zhí)行，本規(guī)范不作要求。防靜電用品的防靜電標(biāo)識(shí)、防靜電性能為通用必檢項(xiàng)目。防靜電標(biāo)識(shí)應(yīng)符合防靜電標(biāo)識(shí)規(guī)范的要求，主要內(nèi)容包括是否有標(biāo)識(shí)、

21、標(biāo)識(shí)的大小、位置等。本規(guī)范主要規(guī)定防靜電用品的防靜電性能檢測(cè)方法，防靜電用品的防靜電性能要求參見(jiàn)“附錄：各類(lèi)防靜電參數(shù)指標(biāo)要求”，或按照該用品的技術(shù)說(shuō)明書(shū)、技術(shù)文件進(jìn)行。摩擦電壓按照4.5的要求進(jìn)行，本節(jié)不再敘述。防靜電用品的防靜電性能檢測(cè)分認(rèn)證測(cè)試、接收測(cè)試和稽查測(cè)試，按照各用品的防靜電性能技術(shù)要求項(xiàng)目測(cè)試。認(rèn)證測(cè)試適用于新材料、新用品、新供應(yīng)商的引入認(rèn)證，供應(yīng)商提供認(rèn)證樣品的同時(shí)要求提供權(quán)威檢驗(yàn)單位出具的檢驗(yàn)合格報(bào)告，我司再直接到廠家進(jìn)行認(rèn)證或自己認(rèn)證。ESD術(shù)認(rèn)證工作由ESDK目組負(fù)責(zé)。認(rèn)證測(cè)試的環(huán)境要求：溫度2030C,相對(duì)濕度15±5%接收測(cè)試適用于防靜電用品的來(lái)料檢驗(yàn)，稽

22、查測(cè)試指日常ES瑜查、稽查中的測(cè)試。接收測(cè)試和稽查測(cè)試的環(huán)境要求：在實(shí)際現(xiàn)場(chǎng)條件下進(jìn)行檢測(cè)，但被檢材料在溫度2030C、相對(duì)濕度30%70啕范圍內(nèi)的防靜電性能應(yīng)滿足技術(shù)要求。檢驗(yàn)人員應(yīng)能熟練操作所使用的防靜電專(zhuān)用檢驗(yàn)儀器。檢驗(yàn)所使用的儀器必須經(jīng)計(jì)量檢定合格(有準(zhǔn)用標(biāo)簽)，并在有效期內(nèi)。檢驗(yàn)結(jié)果記入表格防靜電用品檢驗(yàn)記錄，記錄由檢驗(yàn)部門(mén)保存兩年以上。包裝材料的防靜電性能測(cè)試包裝材料的防靜電性能測(cè)試按照防靜電包裝材料技術(shù)規(guī)范執(zhí)行。防靜電臺(tái)墊、地墊的防靜電性能測(cè)試防靜電臺(tái)墊和地墊的測(cè)試方法相同，主要測(cè)試表面電阻和接地系統(tǒng)電阻。隨機(jī)選定測(cè)試點(diǎn)，每個(gè)工作臺(tái)墊/地墊的每個(gè)測(cè)試項(xiàng)目不得少于3個(gè)測(cè)試點(diǎn)，取平均

23、值。測(cè)試方法：按照表面電阻測(cè)試方法測(cè)試臺(tái)墊、地墊表面電阻；按圖19-a所示，用兆歐表測(cè)試工作臺(tái)面對(duì)腕帶插孔電阻；按圖19-b所示，用兆歐表測(cè)試工作臺(tái)面對(duì)地系統(tǒng)電阻/接地電阻。100VDC兆歐表.腕帶插孔測(cè)試電極502kg/a工作臺(tái)面對(duì)腕帶插孔電阻5點(diǎn)，取平均值。ABCDEABCDEb工作椅面與靠背椅面電阻測(cè)試5點(diǎn)，取平均值。圖19工作臺(tái)面防靜電測(cè)試防靜電工作椅的防靜電性能測(cè)試工作椅主要測(cè)試表面電阻、系統(tǒng)電阻和摩擦電壓。隨機(jī)選定測(cè)試點(diǎn)，每把工作椅每個(gè)測(cè)試項(xiàng)目不得少于測(cè)試方法：按圖20-a所示，用兆歐表測(cè)試椅面對(duì)腳輪的系統(tǒng)電阻，需要導(dǎo)電性能良好的輔助金屬平板;按圖20-b所示，用兆歐表測(cè)試椅面與靠

24、背之間電阻。a工作椅面對(duì)腳輪系統(tǒng)電阻測(cè)試圖20工作椅防靜電測(cè)試人員防靜電裝備的防靜電性能測(cè)試工衣、工帽、手套的測(cè)試方法工衣、工帽、手套主要測(cè)試表面電阻和摩擦電壓。隨機(jī)選定測(cè)試點(diǎn)，每個(gè)樣品每個(gè)測(cè)試項(xiàng)目不得少于工衣、工帽、手套的表面電阻測(cè)試方法相同，在絕緣平面上進(jìn)行測(cè)試。QSP707TQM-04頁(yè)工衣需要測(cè)試袖對(duì)袖、片對(duì)片、同一片上兩點(diǎn)之間的表面電阻。工衣表面電阻測(cè)試參見(jiàn)圖21。圖21工衣表面電阻測(cè)試工鞋、鞋跟的測(cè)試方法工鞋主要測(cè)試體積電阻和人體穿著時(shí)的系統(tǒng)電阻。按圖22所示，用兆歐表測(cè)試鞋底體積電阻（內(nèi)電極由總重量為4KG直彳為5MM的鋼球組成）。其余參照GB4385-1995進(jìn)行檢驗(yàn)。由于工鞋

25、底面過(guò)窄或不平，電極重量有限，壓力不足，電極和工鞋底面不能良好接觸導(dǎo)致測(cè)試誤差較大。因此工鞋的測(cè)試可以按照人體穿著工鞋的實(shí)際情況測(cè)試人體和工鞋的系統(tǒng)電阻。100VDC兆歐表測(cè)試電極/小502kg輔助電極圖22工鞋體積電阻測(cè)試防靜電鞋跟需要測(cè)試鞋跟的體積電阻和鞋跟帶到鞋跟底部的系統(tǒng)電阻。鞋跟的系統(tǒng)電阻可以按照人體穿著鞋跟的實(shí)際情況進(jìn)行測(cè)試（人體和鞋跟的系統(tǒng)電阻）。人體穿著工鞋的系統(tǒng)電阻（人體綜合電阻）測(cè)試方法參照人體防靜電接地和測(cè)試方法。腕帶的測(cè)試方法腕帶的內(nèi)表面表面電阻、腕帶的外表面表面電阻、腕帶的電纜連接系統(tǒng)電阻、人體佩帶腕帶的系統(tǒng)接地電阻需要進(jìn)行分別測(cè)試。測(cè)試方法:QSP707TQM-04

26、頁(yè)按圖23-a所示，用萬(wàn)用表測(cè)試腕帶內(nèi)表面對(duì)電纜扣的表面電阻。按圖23-b所示，用萬(wàn)用表測(cè)試腕帶連接電纜系統(tǒng)電阻。腕帶的外表面表面電阻就是用兆歐表測(cè)試腕帶外表面對(duì)電纜扣的表面電阻。人體佩帶腕帶時(shí)的系統(tǒng)接地電阻測(cè)試參照人體防靜電接地和測(cè)試方法。b腕帶連接電纜系統(tǒng)出阻一"腕帶扣a腕帶內(nèi)表面表面電阻圖23腕帶系統(tǒng)電阻測(cè)試周轉(zhuǎn)工具的防靜電性能測(cè)試周轉(zhuǎn)箱、托盤(pán)、器件盒的測(cè)試周轉(zhuǎn)箱、托盤(pán)、器件盒主要測(cè)試表面電阻、體積電阻和摩擦電壓。隨機(jī)選定測(cè)試點(diǎn)，每個(gè)樣品每個(gè)測(cè)試項(xiàng)目不得少于3點(diǎn)，取平均值。a器具表面電阻測(cè)試圖24器具防靜電性能測(cè)試5.6.2周轉(zhuǎn)車(chē)的測(cè)試周轉(zhuǎn)車(chē)主要測(cè)試其對(duì)地系統(tǒng)電阻。隨機(jī)選定測(cè)試

27、點(diǎn)，不得少于5點(diǎn)，取平均值。按照?qǐng)D25,用兆歐表測(cè)試物流車(chē)臺(tái)面對(duì)地的系統(tǒng)電阻。按照?qǐng)D24,用兆歐表測(cè)試器具的表面電阻和體積電阻。圖25周轉(zhuǎn)車(chē)的系統(tǒng)電阻測(cè)試周轉(zhuǎn)用的成形泡沫工具、包裝材料的測(cè)試方法參照防靜電包裝材料技術(shù)規(guī)范。防靜電小工具的防靜電性能測(cè)試IC起拔器、防靜電粘膠紙等，它們的測(cè)試項(xiàng)目主防靜電小工具主要有毛刷、鐐子、吸筆、吸錫器、要有表面電阻和摩擦電壓。表面電阻一般采用兆歐表測(cè)試，摩擦電壓按照4.5的要求進(jìn)行。附錄：附錄A:各類(lèi)防靜電參數(shù)指標(biāo)要求(表)測(cè)試項(xiàng)目接地電阻()表向電阻()體電阻()系統(tǒng)電阻()摩擦電壓(V)檢測(cè)周期(至少)防靜電地極接地母線與大地之間：V4每半年儀器設(shè)備、裝備

28、、工具與接地母線之間：硬接地V1;軟接地1X106<RgV1X109每季度防靜電地板與接地母線之間：0.1x106<Rg<1X1090.1x106<Rs9<1X10V100每季度防靜電烙鐵頭與接地母線之間：要求V1可接受v20每季度腕帶人體腕帶接地電”1_6阻：0.75X10WRgW10X106腕帶內(nèi)表向?qū)﹄娎|扣電阻：W20K;每天(只檢測(cè)腕帶系統(tǒng)電阻是否通過(guò))測(cè)試項(xiàng)目接地電阻（）表囿電阻（）體電阻（）系統(tǒng)電阻（）摩擦電壓（V）檢測(cè)周期（至少）腕帶外表向?qū)﹄娎|扣電阻：>1X107;腕帶連接電纜電阻：6>0.8x10<1.2X106工鞋、鞋跟0.75X106WRW100X1060.5X10&Rv<50X1060.75X106WRW100X106V100每天（只檢測(cè)工鞋、鞋跟系統(tǒng)電阻是否通過(guò)）臺(tái)墊、地墊0.75X106WRvv1一9X101x106wRsv1X109（止面）_3_1X10wRsv1X105（反面）1x106wRvv一91X10V100每季度工衣、工帽、手套0.1x106<RsV1X1010（點(diǎn)與點(diǎn)、袖對(duì)袖、片與片）V100每季度工作椅一9<1X10一9<1X10一9V1X10（椅面對(duì)腳輪、椅向?qū)勘常￢100每季度防靜電周轉(zhuǎn)箱、托盤(pán)、器件盒31X1