防靜電檢測方法

1、防靜電檢測方法版本號修編人日期審核批準(zhǔn)備注A0姜延平2005-1i=r本規(guī)范由公司ES頃目組提出。本規(guī)范主要起草和解釋部門：公司ES頃目組本規(guī)范主要起草人：姜延平本規(guī)范主要審核人：林建平，陳迎曦本規(guī)范批準(zhǔn)人：林建平，鞠英年，陳迎曦1范圍本規(guī)范制定了U隹司防靜電材料、用品、工具、防靜電接地等防靜電技術(shù)指標(biāo)的檢測方法和采用的儀器。目的在于規(guī)范防靜電技術(shù)指標(biāo)的檢測工作，指導(dǎo)現(xiàn)場操作。本規(guī)范適用于U隹司防靜電系統(tǒng)各要素(包括地面、接地系統(tǒng)、工作臺、工作椅、工位器具、物流傳遞工具、包裝材料、人員、腕帶、服裝、離子風(fēng)機(jī)、防靜電工具等)的防靜電性能指標(biāo)檢測。防靜電專用檢測儀器的檢測按照儀器儀表的檢測標(biāo)準(zhǔn)進(jìn)行

2、，本規(guī)范不涉及。2規(guī)范性引用文件下列文件中的條款通過本規(guī)范的引用而成為本規(guī)范的條款。凡是注日期的引用文件，其隨后所有的修改單(不包括勘誤的內(nèi)容)或修訂版均不適用于本規(guī)范，然而，鼓勵(lì)根據(jù)本規(guī)范達(dá)成協(xié)議的各方研究是否可使用這些文件的最新版本。凡是不注日期的引用文件，其最新版本適用于本規(guī)范。序號編R名稱1SJ/T10694-1996電子產(chǎn)品制造防靜電系統(tǒng)測試方法2IEC61340-5-1TR2:1998Electrostatics-Part5-1:ProtectionofelectronicdevicesfromelectrostaticphenomenaGeneralrequirements.3術(shù)

3、語和定義表面電阻(surfaceresistance):兩個(gè)特定的放置于材料同一面的電極之間的電壓與它們通過電流的比值。體電阻(volumeresistance):單位厚度上的直流電壓，與通過材料的單位面積電流的比值，測試電極放置于材料相對面的對應(yīng)位置。接地電阻(EarthResistance):被接地體與地下零電位面之間的接地引線電阻、接地器電阻、接地器與土壤之間的過渡電阻和土壤的溢流電阻之和。摩擦起電(Triboelectrification):用摩擦的方法使兩物體分別帶有等值異號電荷的過程。衰減時(shí)間(decaytime):靜電電壓從峰值電壓降低到給定比例的時(shí)間。例如：在15咐目對濕度的情

4、況下，靜電電壓從2000V條低到100V的衰減時(shí)間小于等于1秒。屏蔽泄漏電壓：因屏蔽體外部的高電場而使屏蔽體內(nèi)部獲得的感應(yīng)電場電壓或外部高電場穿透屏蔽體衰減的殘留電場電壓，又稱屏蔽殘余電壓。靜電中和(ElectrostaticNeutralization):帶電體上的電荷與其內(nèi)部和外部相反符號的電荷(電子或離子)的復(fù)合而使所帶靜電部分或全部消失的現(xiàn)象。4防靜電參數(shù)測試方法4.1 防靜電主要參數(shù)及測試儀器測試項(xiàng)目測試儀器表向電阻表面電阻測試儀兆歐表體電阻、系統(tǒng)電阻兆歐表萬用表接地電阻接地電阻測試儀萬用表兆歐表靜電電壓、摩擦電壓、衰減時(shí)間靜電場測試儀/靜電電壓測試儀秒表離子風(fēng)機(jī)離子平衡度靜電場測試

5、儀、CHARGEPLATEMONITOR屏敝殘余電壓屏蔽殘余電壓測試儀檢驗(yàn)所使用的儀器必須經(jīng)計(jì)量檢定合格（有準(zhǔn)用標(biāo)簽），并在有效期內(nèi)。4.2 防靜電測試儀器介紹UT用防靜電測試儀器主要有：簡易表面電阻測試儀、兆歐表、靜電場測試儀、離子風(fēng)機(jī)離子平衡度測試儀、CHARGEPLATEMONITOR156A屏蔽殘余電壓測試儀、腕帶測試儀、人體綜合電阻測試儀、腕帶測試儀和人體綜合電阻測試儀的校準(zhǔn)儀。4.2.1 手持式簡易表面電阻測試儀簡易表面電阻測試儀型號為WRSTG330測試量程為1031012適用于測試平面材料，通過測試結(jié)果可以分辨被測材料為導(dǎo)體類、靜電耗散類和絕緣類。由于靜電耗散材料的表面電阻為1

6、X104q<Rsv1X1011,因此WRSTG330試儀面板指示的1011Q檔（面板的黑色圓圈處）修正為絕緣材料，不是靜電耗散材料。簡易表面電阻測試儀配有一根專用接地線，把接地線的香蕉插頭插入儀器表面的接地孔，另一度端的鱷魚夾夾在接地母線上，把表面電阻測試儀平壓在防靜電臺墊上，可以測試臺墊的接地電阻。QSP707TQM-04WRSTG330外形和測試方法參見圖1。4.2.2簡易表面電阻測試儀兆歐表便攜式表面電阻測試儀測試電極被測材料絕緣平板U儂司兆歐表的型號有BM80/2、41270兩種。參見圖2。型號為BM80/2的兆歐表，配有兩根連線和2Kg重的測試電極兩個(gè)，具有、K、M三個(gè)檔位，檔

7、測試量程為V100Q,K的測試量程為v100KM測試量程為1051010適用于測試平面材料，通過測試結(jié)果可以分辨被測材料為導(dǎo)體類、靜電耗散類和絕緣類，并可使用檔測試接地電阻，使用K檔測試低阻材料。型號為41270的兆歐表，配有兩根連線和兩個(gè)測試電極，在10V檔時(shí)，測試量程為1051011，在100V檔時(shí)，測13t量程為1051012Q,適用于測試平面材料，通過測試結(jié)果可以分辨被測材料為導(dǎo)體類、靜電耗散類和絕緣類。兩種兆歐表都可以測試材料表面電阻和體積電阻（或系統(tǒng)電阻），兩根連線把兆歐表和兩個(gè)測試電極連接起來，兩個(gè)電極放置在材料的同一表面即可測試表面電阻，兩個(gè)電極放置在材料的兩個(gè)表面的相對位置可

8、以測試體積電阻。型號為BM80/2的兆歐表可直接使用兆歐表和兩根連線來測試接地電阻和低阻。41270BM80/21 靜電場測試儀UT司靜電場測試儀有兩種型號，普通型ESD42721,高精度型MODEL520都采用非接觸型的電場感應(yīng)測試方式。兩個(gè)儀器都配有一根接地線，靜電電壓測試時(shí)接地線接地可以提高測量的準(zhǔn)確性。ESD42721勺測試量程V20KV,精確度為10V,適于測試較大的平面分布電場。MODEL52的的測試量程V2KV,精確度為1V,適于平面和某點(diǎn)電場精確測試。圖4靜電場測試儀ESD42721圖3靜電場測試儀MODEL5201 離子風(fēng)機(jī)離子平衡度測試儀離子風(fēng)機(jī)離子平衡度測試儀由靜電電壓發(fā)

9、生器、靜電場測試儀ESD42721金屬隔離測試板組成，靜電電壓發(fā)生器產(chǎn)生1000V靜電電壓。參見圖5。圖5離子風(fēng)機(jī)離子平衡度測試儀1 CHARGEPLATEMONITORCHARGEPLATEMONITOR為MODE156A可用于測試離子風(fēng)機(jī)的離子平衡度和衰減時(shí)間，靜電電壓發(fā)生器產(chǎn)生1000V靜電電壓。參見圖6。圖6CHARGEPLATEMONITOR156A1 屏蔽殘余電壓測試儀屏蔽殘余電壓測試儀型號為Charleswater19380由靜電電壓發(fā)生器、測試電極、輔助金屬板、靜電探測器組成，靜電發(fā)生器產(chǎn)生1000V的靜電電壓，靜電探測器的測試量程為10V300V。參加圖7。圖7屏蔽殘余電壓測

10、試儀腕帶測試儀、人體綜合電阻測試儀、腕帶測試儀和人體綜合電阻測試儀的校準(zhǔn)儀的介紹和使用參見DKBA3151.5-2002.03人體接地技術(shù)和測試方法。各種測試儀器的詳細(xì)使用方法參照儀器使用說明書。1) 表面電阻測試12測試表面電阻需要把被測材料放置在絕緣平面上進(jìn)行，絕緣平面表面電阻要求1X10Qo1） 采用簡易表面電阻測試儀WRSTG330測試表面電阻簡易表面電阻測試儀的兩測試極間距依據(jù)標(biāo)準(zhǔn)固定不變，測試時(shí)把被測材料放置在絕緣的平面上，表面電阻測試儀平置在材料表面，手指施加適當(dāng)壓力（24千克力）壓觸測試按鈕，使測試電極和材料表面接觸良好，指示燈發(fā)亮檔即為測試讀數(shù)。參見圖8。簡易表面電阻測試儀的

11、1011檔修正為絕緣材料類別，不是靜電耗散材料。使用簡易表面電阻測試儀測試表面粗糙不平的軟性材料時(shí)，如泡沫板、氣珠袋等，需要加大測試壓力，可以施加到46千克力的壓力，以保證測試電極和材料表面接觸良好，測試準(zhǔn)確。圖8表面電阻測試1） 采用兆歐表BM80/2或41270測試表面電阻兆歐表測試材料表面電阻選擇100VDCf,把被測材料放置在絕緣平面上，測試電極平穩(wěn)地放在材料表面，撥動測試按鈕可以直接讀取數(shù)值。測試電極的距離一般可以選擇1m左右，根據(jù)測試對象的不同測試電極的間距可以適度調(diào)整。圖9表面電阻測試測試時(shí)要保持被測試表面和探頭與被測體的接觸面清潔、測試電極和被測表面接觸良好。每個(gè)樣本在內(nèi)、外表

12、面隨機(jī)選擇三個(gè)測試點(diǎn)，每個(gè)測試點(diǎn)測試五次取平均值。只有每個(gè)測試點(diǎn)都符合防靜電性能指標(biāo)才為合格，否則為不合格。1) 體電阻和系統(tǒng)電阻測試體積電阻和系統(tǒng)電阻測試使用兆歐表，低阻值的系統(tǒng)電阻測試還可以采用萬用表直接測量。測試體電阻和系統(tǒng)電阻需要輔助的金屬平板（導(dǎo)電性能良好，表面無氧化涂覆）。系統(tǒng)電阻是由多種材質(zhì)構(gòu)造的物體的系統(tǒng)阻抗，系統(tǒng)電阻與體電阻的測試原理相同。體電阻和系統(tǒng)電阻測試方法參見圖10。圖10體電阻和系統(tǒng)電阻測試測試時(shí)要保持被測試表面、測試電極與被測體的接觸面清潔，保證測試電極和被測表面接觸良好。每個(gè)樣本在內(nèi)、外表面隨機(jī)選擇三個(gè)測試點(diǎn)，每個(gè)測試點(diǎn)測試五次取平均值。只有每個(gè)測試點(diǎn)都符合防靜

13、電性能指標(biāo)才為合格，否則為不合格。萬用表采用萬用表測試系統(tǒng)電阻參見圖11。被測對象圖11萬用表測試系統(tǒng)電阻1) 靜電電壓、摩擦電壓及其衰減時(shí)間測試測試靜電電壓采用非接觸靜電場測試儀，公司有兩種非接觸靜電場測試儀。一種是能精確到1伏TREK公司520型，如圖12;另一種是只能精確到10伏ESDSYSTEMS司42721型，如圖13。測試靜電電壓時(shí)測試探頭與被測件的距離保持在1英寸左右或按照儀器說明書。圖12靜電場測試儀測試時(shí)靜電場測試儀的接地端要接地,背部面板測試電槌圖13靜電場測試儀保證測試讀數(shù)準(zhǔn)確。TRC儂司520型可以測試小面積的和一點(diǎn)的靜電，而ESDSYSTEMS司42721型只能測試較

14、大面積的靜電。1）摩擦電壓測試方法：手持干燥和干凈的棉布以每分鐘120次的速度，施加適當(dāng)?shù)膲毫Γ?4千克力），單向摩擦待測物品表面，摩擦次數(shù)為20次。再用測試儀測其靜電壓。2）靜電衰減時(shí)間測試方法：被測物體充電或摩擦后具有較高的靜電電場強(qiáng)度，采用靜電場測試儀立即測試其靜電電壓并記錄開始時(shí)間，保持測試狀態(tài)不變，觀察靜電電壓逐步降低到要求數(shù)值時(shí)的時(shí)間段即為靜電衰減時(shí)間。每個(gè)樣本內(nèi)、外表面隨機(jī)選擇三個(gè)測試點(diǎn)，每個(gè)測試點(diǎn)測試五次取平均值。只有每個(gè)測試點(diǎn)都符合防靜電指標(biāo)才為合格，否則為不合格。1) 屏蔽殘余電壓測試屏蔽袋的屏蔽殘余電壓采用屏蔽殘余電壓測試儀（Charleswater19380測試，參見圖

15、14。圖14屏蔽殘余電壓測試測試方法：檢查靜電發(fā)生器背部面板，確保電壓選擇選鈕指向“240”位置；開啟靜電探測器電源開關(guān)，然后將其置于待檢屏蔽袋內(nèi)；將圓柱狀測試電極壓于屏蔽袋外側(cè)，確保底面與靜電探測器的探測電極正對；開啟靜電發(fā)生器開關(guān)，然后按其前部面板上的放電按鈕，產(chǎn)生1000V靜電；觀察靜電探測器上的電壓指示燈，讀取對應(yīng)的電壓值，有10V、20V、30V、40V、50V、100V、200V、300V等八個(gè)區(qū)段。若沒有指示燈亮，表明探測到的袋內(nèi)靜電壓低于10V;100V燈亮表示靜電壓為100200V,因此50V及以下燈亮證明合格，其余超標(biāo)。注意：每次測試前需按下靜電發(fā)生器復(fù)位開關(guān)使之復(fù)位(電壓

16、指示燈熄滅)，重開電源自然復(fù)位。測試過程中，請勿觸及屏蔽袋、輔助金屬板或柱狀測試電極。若靜電探測器有多個(gè)電壓指示燈亮，須重新復(fù)位。15。如圖15所示，然后將帶離子風(fēng)機(jī)離子平衡度測試離子風(fēng)機(jī)的離子平衡度測試采用簡易離子風(fēng)機(jī)離子平衡度測試儀，參見圖首先用靜電發(fā)生器產(chǎn)生1KV靜電并傳導(dǎo)到靜電探測儀的隔離金屬測試板上,隔離測試板的靜電探測儀a.移至如圖10所示的測試點(diǎn)和，檢驗(yàn)離子風(fēng)機(jī)的消電時(shí)間(從1KV下降至100V);b.移至有效范圍(長度：距離離子風(fēng)機(jī)14feet;寬度：距離中心線土6英寸)內(nèi)的任意測試點(diǎn)，檢驗(yàn)離子平衡度(即消電所能達(dá)到的最低值)。隔離測試板圖15離子風(fēng)機(jī)離子平衡度測試注意：測試過

17、程中隔離金屬板不能碰觸任何物體。離子風(fēng)機(jī)離子平衡度及衰減時(shí)間測試離子風(fēng)機(jī)的離子平衡度及衰減時(shí)間測試采用CHARGEPLATEMONITOR156A,參見圖16。測試方法:檢查儀器電壓，確保其符合要求，如果不足，應(yīng)及時(shí)充電；-4002)將金屬測試板連線插頭分別插入儀器主體部分背面的GROUND孔和IONCOLLECTINGPLATE中；打開電源開關(guān)，將靜電發(fā)生模型設(shè)置正電壓或負(fù)電壓；啟動TEST/RETEST,使測試儀器產(chǎn)生1KV的正電壓或負(fù)電壓；將金屬測試板移至測試點(diǎn)，記錄離子風(fēng)機(jī)的消電時(shí)間(從1KV下降至100V)和離子平衡度。圖16離子風(fēng)機(jī)平衡度測試示意圖4.9接地電阻測試防靜電地極的接地

18、電阻測試測試儀器：接地電阻測量儀測試方法，參見圖17。將被測試地極用導(dǎo)線接于儀器端子E；在相同直線方向20m40m朝濕土地處，分別插入電位探測針及電流探測針，各接于儀器端子P、C;設(shè)置“倍率盤”倍數(shù)；4)自緩至快搖動儀器手柄，達(dá)到約120r/min,調(diào)整“測量標(biāo)度盤”，指針指于零位時(shí)，讀數(shù)乘以倍率標(biāo)度，即為接地電阻值；按測試步驟c、d反復(fù)測試3歇，取平均值。地極777白電位探針電流探針-B地電阻測量儀瀛4/140m7777圖17防靜電地極接地電阻測試防靜電地面接地電阻測試測試儀器：兆歐表和探頭測試方法，參見圖18。按圖18的a、b所示，劃分測試網(wǎng)格；按圖18的c、d所示，隨機(jī)選定測試點(diǎn)；按GB

19、282887中4.8規(guī)定的抽樣程序，將待測地面全部網(wǎng)格看做樣本大小（批量范圍），以一般檢查水平II,確定樣本大小字碼；再用“正常檢查一次抽樣方案”。以合格質(zhì)量水平（AQL為6.5,決定抽樣樣本大小字碼，查表得出Ac、Re。按圖18的e所示，測試地面表面電阻。以合格質(zhì)量水平（AQL為10,決定抽樣樣本大小字碼，查表得出Ac、Re。按圖18的f所示，測試地面對地極母線電阻。間隔尺寸材料尺寸b、鋪設(shè)地面c、平行地線網(wǎng)a、水磨石地面d、方格地線網(wǎng)測試電極e地面表面電阻測試100VDC兆歐表接地母線防靜電地面I測試電極-3502kgf地面對地極母線電阻測試圖18地面表面電阻和地面接地電阻測試設(shè)備、儀器、

20、工具的接地電阻測試測試儀器：兆歐表和萬用表測試方法：分硬接地測試和軟接地測試硬接地測試：用兆歐表或萬用表的歐姆檔測試儀器、設(shè)備、工具上的金屬接地點(diǎn)到接地母線之間的電阻。軟接地測試：用兆歐表的MQ檔、測試極一端連接測試點(diǎn)，另一端連接接地母線，采用系統(tǒng)電阻測試方法進(jìn)行測試。防靜電用品的防靜電性能測試防靜電用品的防靜電性能測試條件和通用要求本規(guī)范的“防靜電用品”不包含防靜電檢測儀器類。防靜電專用測試儀器類防靜電用品依據(jù)認(rèn)證選型標(biāo)準(zhǔn)進(jìn)行采購，遵照公司儀器儀表檢驗(yàn)相關(guān)流程執(zhí)行，本規(guī)范不作要求。防靜電用品的防靜電標(biāo)識、防靜電性能為通用必檢項(xiàng)目。防靜電標(biāo)識應(yīng)符合防靜電標(biāo)識規(guī)范的要求，主要內(nèi)容包括是否有標(biāo)識、

21、標(biāo)識的大小、位置等。本規(guī)范主要規(guī)定防靜電用品的防靜電性能檢測方法，防靜電用品的防靜電性能要求參見“附錄：各類防靜電參數(shù)指標(biāo)要求”，或按照該用品的技術(shù)說明書、技術(shù)文件進(jìn)行。摩擦電壓按照4.5的要求進(jìn)行，本節(jié)不再敘述。防靜電用品的防靜電性能檢測分認(rèn)證測試、接收測試和稽查測試，按照各用品的防靜電性能技術(shù)要求項(xiàng)目測試。認(rèn)證測試適用于新材料、新用品、新供應(yīng)商的引入認(rèn)證，供應(yīng)商提供認(rèn)證樣品的同時(shí)要求提供權(quán)威檢驗(yàn)單位出具的檢驗(yàn)合格報(bào)告，我司再直接到廠家進(jìn)行認(rèn)證或自己認(rèn)證。ESD術(shù)認(rèn)證工作由ESDK目組負(fù)責(zé)。認(rèn)證測試的環(huán)境要求：溫度2030C,相對濕度15±5%接收測試適用于防靜電用品的來料檢驗(yàn)，稽

22、查測試指日常ES瑜查、稽查中的測試。接收測試和稽查測試的環(huán)境要求：在實(shí)際現(xiàn)場條件下進(jìn)行檢測，但被檢材料在溫度2030C、相對濕度30%70啕范圍內(nèi)的防靜電性能應(yīng)滿足技術(shù)要求。檢驗(yàn)人員應(yīng)能熟練操作所使用的防靜電專用檢驗(yàn)儀器。檢驗(yàn)所使用的儀器必須經(jīng)計(jì)量檢定合格(有準(zhǔn)用標(biāo)簽)，并在有效期內(nèi)。檢驗(yàn)結(jié)果記入表格防靜電用品檢驗(yàn)記錄，記錄由檢驗(yàn)部門保存兩年以上。包裝材料的防靜電性能測試包裝材料的防靜電性能測試按照防靜電包裝材料技術(shù)規(guī)范執(zhí)行。防靜電臺墊、地墊的防靜電性能測試防靜電臺墊和地墊的測試方法相同，主要測試表面電阻和接地系統(tǒng)電阻。隨機(jī)選定測試點(diǎn)，每個(gè)工作臺墊/地墊的每個(gè)測試項(xiàng)目不得少于3個(gè)測試點(diǎn)，取平均

23、值。測試方法：按照表面電阻測試方法測試臺墊、地墊表面電阻；按圖19-a所示，用兆歐表測試工作臺面對腕帶插孔電阻；按圖19-b所示，用兆歐表測試工作臺面對地系統(tǒng)電阻/接地電阻。100VDC兆歐表.腕帶插孔測試電極502kg/a工作臺面對腕帶插孔電阻5點(diǎn)，取平均值。ABCDEABCDEb工作椅面與靠背椅面電阻測試5點(diǎn)，取平均值。圖19工作臺面防靜電測試防靜電工作椅的防靜電性能測試工作椅主要測試表面電阻、系統(tǒng)電阻和摩擦電壓。隨機(jī)選定測試點(diǎn)，每把工作椅每個(gè)測試項(xiàng)目不得少于測試方法：按圖20-a所示，用兆歐表測試椅面對腳輪的系統(tǒng)電阻，需要導(dǎo)電性能良好的輔助金屬平板;按圖20-b所示，用兆歐表測試椅面與靠

24、背之間電阻。a工作椅面對腳輪系統(tǒng)電阻測試圖20工作椅防靜電測試人員防靜電裝備的防靜電性能測試工衣、工帽、手套的測試方法工衣、工帽、手套主要測試表面電阻和摩擦電壓。隨機(jī)選定測試點(diǎn)，每個(gè)樣品每個(gè)測試項(xiàng)目不得少于工衣、工帽、手套的表面電阻測試方法相同，在絕緣平面上進(jìn)行測試。QSP707TQM-04頁工衣需要測試袖對袖、片對片、同一片上兩點(diǎn)之間的表面電阻。工衣表面電阻測試參見圖21。圖21工衣表面電阻測試工鞋、鞋跟的測試方法工鞋主要測試體積電阻和人體穿著時(shí)的系統(tǒng)電阻。按圖22所示，用兆歐表測試鞋底體積電阻（內(nèi)電極由總重量為4KG直彳為5MM的鋼球組成）。其余參照GB4385-1995進(jìn)行檢驗(yàn)。由于工鞋

25、底面過窄或不平，電極重量有限，壓力不足，電極和工鞋底面不能良好接觸導(dǎo)致測試誤差較大。因此工鞋的測試可以按照人體穿著工鞋的實(shí)際情況測試人體和工鞋的系統(tǒng)電阻。100VDC兆歐表測試電極/小502kg輔助電極圖22工鞋體積電阻測試防靜電鞋跟需要測試鞋跟的體積電阻和鞋跟帶到鞋跟底部的系統(tǒng)電阻。鞋跟的系統(tǒng)電阻可以按照人體穿著鞋跟的實(shí)際情況進(jìn)行測試（人體和鞋跟的系統(tǒng)電阻）。人體穿著工鞋的系統(tǒng)電阻（人體綜合電阻）測試方法參照人體防靜電接地和測試方法。腕帶的測試方法腕帶的內(nèi)表面表面電阻、腕帶的外表面表面電阻、腕帶的電纜連接系統(tǒng)電阻、人體佩帶腕帶的系統(tǒng)接地電阻需要進(jìn)行分別測試。測試方法:QSP707TQM-04

26、頁按圖23-a所示，用萬用表測試腕帶內(nèi)表面對電纜扣的表面電阻。按圖23-b所示，用萬用表測試腕帶連接電纜系統(tǒng)電阻。腕帶的外表面表面電阻就是用兆歐表測試腕帶外表面對電纜扣的表面電阻。人體佩帶腕帶時(shí)的系統(tǒng)接地電阻測試參照人體防靜電接地和測試方法。b腕帶連接電纜系統(tǒng)出阻一"腕帶扣a腕帶內(nèi)表面表面電阻圖23腕帶系統(tǒng)電阻測試周轉(zhuǎn)工具的防靜電性能測試周轉(zhuǎn)箱、托盤、器件盒的測試周轉(zhuǎn)箱、托盤、器件盒主要測試表面電阻、體積電阻和摩擦電壓。隨機(jī)選定測試點(diǎn)，每個(gè)樣品每個(gè)測試項(xiàng)目不得少于3點(diǎn)，取平均值。a器具表面電阻測試圖24器具防靜電性能測試5.6.2周轉(zhuǎn)車的測試周轉(zhuǎn)車主要測試其對地系統(tǒng)電阻。隨機(jī)選定測試

27、點(diǎn)，不得少于5點(diǎn)，取平均值。按照圖25,用兆歐表測試物流車臺面對地的系統(tǒng)電阻。按照圖24,用兆歐表測試器具的表面電阻和體積電阻。圖25周轉(zhuǎn)車的系統(tǒng)電阻測試周轉(zhuǎn)用的成形泡沫工具、包裝材料的測試方法參照防靜電包裝材料技術(shù)規(guī)范。防靜電小工具的防靜電性能測試IC起拔器、防靜電粘膠紙等，它們的測試項(xiàng)目主防靜電小工具主要有毛刷、鐐子、吸筆、吸錫器、要有表面電阻和摩擦電壓。表面電阻一般采用兆歐表測試，摩擦電壓按照4.5的要求進(jìn)行。附錄：附錄A:各類防靜電參數(shù)指標(biāo)要求(表)測試項(xiàng)目接地電阻()表向電阻()體電阻()系統(tǒng)電阻()摩擦電壓(V)檢測周期(至少)防靜電地極接地母線與大地之間：V4每半年儀器設(shè)備、裝備

28、、工具與接地母線之間：硬接地V1;軟接地1X106<RgV1X109每季度防靜電地板與接地母線之間：0.1x106<Rg<1X1090.1x106<Rs9<1X10V100每季度防靜電烙鐵頭與接地母線之間：要求V1可接受v20每季度腕帶人體腕帶接地電”1_6阻：0.75X10WRgW10X106腕帶內(nèi)表向?qū)﹄娎|扣電阻：W20K;每天(只檢測腕帶系統(tǒng)電阻是否通過)測試項(xiàng)目接地電阻（）表囿電阻（）體電阻（）系統(tǒng)電阻（）摩擦電壓（V）檢測周期（至少）腕帶外表向?qū)﹄娎|扣電阻：>1X107;腕帶連接電纜電阻：6>0.8x10<1.2X106工鞋、鞋跟0.75X106WRW100X1060.5X10&Rv<50X1060.75X106WRW100X106V100每天（只檢測工鞋、鞋跟系統(tǒng)電阻是否通過）臺墊、地墊0.75X106WRvv1一9X101x106wRsv1X109（止面）_3_1X10wRsv1X105（反面）1x106wRvv一91X10V100每季度工衣、工帽、手套0.1x106<RsV1X1010（點(diǎn)與點(diǎn)、袖對袖、片與片）V100每季度工作椅一9<1X10一9<1X10一9V1X10（椅面對腳輪、椅向?qū)勘常￢100每季度防靜電周轉(zhuǎn)箱、托盤、器件盒31X1