硅片過程檢驗培訓(xùn)

1、1整理ppt硅片過程檢驗培訓(xùn)硅片過程檢驗培訓(xùn)2整理ppt目錄： 1.引言 2.電池片過程檢驗標準 3.過程檢驗作業(yè)指導(dǎo)書3整理ppt 硅片檢驗主要分為三類： 1.硅片來料檢驗 2.電池片生產(chǎn)過程檢驗 3.電池片出貨檢驗引言引言4整理ppt 硅片來料檢驗設(shè)備：引言引言5整理ppt 硅片來料檢驗設(shè)備：引言引言6整理ppt 硅片來料檢驗?zāi)康模?保證進貨的原材料滿足規(guī)定的要求，防止不合格品流入生產(chǎn)流程造成不必要的損失。(確保合格的產(chǎn)品提供給生產(chǎn)部門)引言引言7整理ppt 硅片來料檢驗主要項目： 1.電學(xué)部分： 厚度/電阻率測試 少子壽命測試引言引言8整理ppt2.光學(xué)部分： 幾何尺寸 垂直性 硅片破裂

2、（包括崩邊、裂痕、V型缺口） 表面臟污 空洞和隱裂引言引言9整理ppt相關(guān)硅片實例：引言引言10整理ppt 電池片生產(chǎn)過程檢驗?zāi)康模?防止過程中出現(xiàn)批次性問題，避免不合格品流入下道工序。保證電池片生產(chǎn)工藝過程、操作過程均滿足規(guī)范要求，保證生產(chǎn)的穩(wěn)定性及規(guī)范性，保證產(chǎn)品效率及成品率。引言引言11整理ppt 電池片生產(chǎn)主要過程介紹： 引言引言12整理ppt 電池片生產(chǎn)過程檢驗主要相關(guān)設(shè)備：引言引言13整理ppt主要分為以下幾個控制點：1.前期準備工作檢查2.制絨清洗后；3.擴散后；4.等離子刻蝕后；5.去磷硅玻璃清洗后；6.PECVD后；7.絲網(wǎng)燒結(jié)后；8.電池片性能測試分檔后。電池片過程檢驗標準

3、電池片過程檢驗標準14整理ppt 前期準備工作檢查：前期準備工作檢查： 設(shè)備開機檢查，填寫巡檢記錄單； 工藝參數(shù)監(jiān)控：設(shè)備各參數(shù)達到工藝要求后進行生產(chǎn)。電池片過程檢驗標準電池片過程檢驗標準15整理ppt 各工序關(guān)鍵工藝參數(shù)：各工序關(guān)鍵工藝參數(shù)： 制絨清洗：NaOH、Na2O3、HF、HCL溶液濃度，溶液溫度等。 擴散：擴散溫度，氣體流量等。 等離子刻蝕：射頻功率，氣體流量等。電池片過程檢驗標準電池片過程檢驗標準16整理ppt 去磷硅玻璃：HF溶液濃度等。 PECVD：氣體流量，微波源功率，沉積壓力，工藝溫度等。 絲網(wǎng)燒結(jié)：印刷壓力，印刷速度，印刷網(wǎng)板間距，印刷方式，燒結(jié)各加熱區(qū)溫度等。電池片過

4、程檢驗標準電池片過程檢驗標準17整理ppt 制絨清洗后：制絨清洗后： 制絨后硅片外觀：硅片表面制絨均勻，無點狀亮點 硅片稱重：清洗前后重量差在0.60.7g電池片過程檢驗標準電池片過程檢驗標準18整理ppt 擴散后：擴散后： 方塊電阻：測量范圍在405/ 方阻均勻性：均勻性誤差不大于5%電池片過程檢驗標準電池片過程檢驗標準19整理ppt 等離子刻蝕后：等離子刻蝕后： 邊緣電阻測量：測量范圍在3010k 刻蝕痕跡（目測）電池片過程檢驗標準電池片過程檢驗標準20整理ppt 去磷硅玻璃清洗后：去磷硅玻璃清洗后： 電池片外觀：擴散面無明顯發(fā)暗 擴散面疏水性（目測）電池片過程檢驗標準電池片過程檢驗標準2

5、1整理ppt PECVD后：后： 工藝后外觀檢測：硅片鍍膜面呈均勻藍色（目測） 氮化硅膜的厚度、反射率、折射率 片內(nèi)均勻性、片間均勻性、批間均勻性：不大于5%電池片過程檢驗標準電池片過程檢驗標準22整理ppt 絲網(wǎng)燒結(jié)后：絲網(wǎng)燒結(jié)后： 印刷重量：正銀為0.10 g 0.02 g； 背銀為0.12 g 0.02 g； 背鋁為0.8 g 0.2 g； 電池片外觀：滿足成品電池片外觀分選標準要求。電池片過程檢驗標準電池片過程檢驗標準23整理ppt 電池片性能測試分檔后：電池片性能測試分檔后： 標準片校準 碎片記錄電池片過程檢驗標準電池片過程檢驗標準24整理ppt一、目的：防止制程中出現(xiàn)批次性問題，

6、避免不合格品流入下道工序。二、范圍：適用于產(chǎn)品生產(chǎn)過程有關(guān)的工序。過程檢驗作業(yè)指導(dǎo)書過程檢驗作業(yè)指導(dǎo)書25整理ppt三、職責(zé)： 品控員負責(zé)對生產(chǎn)過程的監(jiān)控，對生產(chǎn)工序的巡查，將遇到的問題反饋給PQC工程師。 PQC工程師負責(zé)品控員監(jiān)督、巡檢統(tǒng)計表的匯總報告，以及協(xié)調(diào)生產(chǎn)部，工藝部和設(shè)備部解決相關(guān)問題。過程檢驗作業(yè)指導(dǎo)書過程檢驗作業(yè)指導(dǎo)書26整理ppt四、工作內(nèi)容四、工作內(nèi)容: 品控員在每班開始生產(chǎn)前完成對各種測試設(shè)備的校準工作，并填寫測試設(shè)備校準記錄單。 品控員每隔一小時檢查各工序使用作業(yè)指導(dǎo)書是否正確，操作員是否按照要求進行操作，并填寫巡檢記錄單。如發(fā)現(xiàn)問題需立即告知帶班班長及PQC工程師，

7、不允許擅自處理。過程檢驗作業(yè)指導(dǎo)書過程檢驗作業(yè)指導(dǎo)書27整理ppt 品控員每隔一小時檢查產(chǎn)品流轉(zhuǎn)情況，并填寫巡檢記錄單。如發(fā)現(xiàn)問題需立即告知帶班班長及PQC工程師，不允許擅自處理。 品控員每隔一小時檢查各工序使用的設(shè)備和工裝是否符合作業(yè)指導(dǎo)書和設(shè)備操作規(guī)程，并填寫巡檢記錄單。如發(fā)現(xiàn)問題需立即告知帶班班長及PQC工程師，不允許擅自處理。過程檢驗作業(yè)指導(dǎo)書過程檢驗作業(yè)指導(dǎo)書28整理ppt 生產(chǎn)過程中有狀態(tài)變更（包括工藝、設(shè)備和操作人員等）后，品控員需對調(diào)整后的前3批產(chǎn)品質(zhì)量進行跟蹤，并填寫巡檢記錄單。 對于生產(chǎn)過程中不合格的原材料的處理，要填寫原材料異常反饋單，對不合格原材料的使用情況進行處理并向

8、技術(shù)質(zhì)量部主管反饋。過程檢驗作業(yè)指導(dǎo)書過程檢驗作業(yè)指導(dǎo)書29整理ppt 品控員若發(fā)現(xiàn)制造產(chǎn)品過程略有偏離正常狀態(tài)，尚未造成質(zhì)量問題時，應(yīng)立即口頭通知生產(chǎn)部帶班班長和PQC工程師，必要時通知生產(chǎn)部門經(jīng)理進行改善，并跟蹤改善結(jié)果，若三次改善無效，則填寫質(zhì)量信息反饋單經(jīng)技術(shù)質(zhì)量部及相關(guān)部門確認后，按確認結(jié)果進行處理。過程檢驗作業(yè)指導(dǎo)書過程檢驗作業(yè)指導(dǎo)書30整理ppt 對于現(xiàn)場中出現(xiàn)的質(zhì)量問題，品控員立即告知PQC工程師及帶班班長，帶班班長要立即停產(chǎn)。QC與生產(chǎn)、工藝人員（必要時請研發(fā)人員協(xié)助）共同對事故原因進行分析，要立即發(fā)放糾正與預(yù)防措施單，找出發(fā)生質(zhì)量問題的真正原因，制定糾正預(yù)防措施。并同時用電話或郵件通知技術(shù)質(zhì)量部主管和生產(chǎn)部主管。發(fā)現(xiàn)重大異常立即向技術(shù)質(zhì)量部經(jīng)理和制造部經(jīng)理報告。確認是否造成質(zhì)量事故，如造成質(zhì)量事故，根據(jù)質(zhì)量事故的管理規(guī)定執(zhí)行。過程檢驗作業(yè)指導(dǎo)書過程檢驗作業(yè)指導(dǎo)書31整理ppt 品控員每隔一小時需對各生產(chǎn)工序的成品監(jiān)控點進行抽檢，并填寫相關(guān)巡檢記錄單。過程檢驗作業(yè)指導(dǎo)書過程檢驗作業(yè)指導(dǎo)