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文檔簡介

1、制絨段常見異常及常規(guī)解決方法 制絨不良樹狀結(jié)構(gòu)圖片源異常及解決方法1、指紋及劃痕指紋片源于:硅片廠家在硅片清洗過程時(shí)進(jìn)行裸手插片,或者插片時(shí)所穿戴的手套不能滿足隔汗要求(自身來料檢有時(shí)也會(huì)引入);劃痕源于:硅片廠家在插片過程的摩擦,同時(shí)也來源于硅片廠家的硅片檢驗(yàn)以及我們公司自身的來料檢驗(yàn)。指紋區(qū)劃傷區(qū)表現(xiàn)形式:指紋或劃傷經(jīng)制絨后均清晰顯現(xiàn),制絨后,指紋或劃傷區(qū)的顏色較正常區(qū)域淺,從而顯得該區(qū)域略顯發(fā)白;解決方法:指紋與劃傷在制絨良好時(shí),均不會(huì)導(dǎo)致B2片產(chǎn)生,對B1片貢獻(xiàn)也相對較小。在上述問題產(chǎn)生時(shí),可維持正常生產(chǎn)時(shí),同時(shí),收集好指紋及劃傷片的實(shí)例照片,并進(jìn)行指紋及劃傷片數(shù)目大致匯總。片源異常及

2、解決方法更多照片:通過問題反饋及供應(yīng)商自身改善,指紋及劃傷出現(xiàn)的概率較之前大幅下降,但仍有部分廠家硅片存在較多指紋及劃傷。歷史黑名單:晶科、天元、聚能、東泰、芯能、順大當(dāng)前:合格供應(yīng)商中,天元硅片指紋及劃傷出現(xiàn)的概率仍相對較高片源異常及解決方法2、脫膠不良脫膠不良產(chǎn)生原因:硅片廠家在進(jìn)行硅片脫膠處理時(shí),硅片粘棒一側(cè)的粘膠(一般為AB膠)沒有去除完全,未去除完全的膠帶在后續(xù)清洗過程中部分溶解并附于硅片表面。脫膠不良的表現(xiàn)形式:脫膠不良的硅片經(jīng)制絨后,在硅片有機(jī)物殘留區(qū),硅片出絨不全或出絨較小導(dǎo)致該區(qū)域較其他區(qū)域發(fā)白。脫膠不良產(chǎn)生時(shí),位置固定且一般整體連續(xù)出現(xiàn)。片源異常及解決方法脫膠不良解決方法:

3、脫膠不良在輕微時(shí),脫膠不良區(qū)域硅片仍可正常出絨,但其絨面相對較小而較其余區(qū)域顏色淺而顯發(fā)白,僅對B1類有所貢獻(xiàn),不會(huì)造成B2片。對該情況,可維持正常生產(chǎn),同時(shí),做好不良硅片數(shù)目的大致統(tǒng)計(jì)及實(shí)例照片的拍攝。脫膠不良在嚴(yán)重時(shí),脫膠不良區(qū)將難以出絨而導(dǎo)致該區(qū)域明顯發(fā)白。此時(shí),脫膠不良將對B2片產(chǎn)生貢獻(xiàn)。對該種情況,對制絨后的硅片可按正常返工工藝進(jìn)行返工處理;對后續(xù)待制絨硅片,可以通過適當(dāng)增加氫氧化鈉濃度的方式來加快硅片的腐蝕速率,從而減小脫膠不良帶來的負(fù)面影響。對該情況,也同樣需要做好不良硅片數(shù)目的大致統(tǒng)計(jì)及實(shí)例照片的拍攝。歷史黑名單:脫膠不良出現(xiàn)概率極低,但仍需保持警惕,已發(fā)生過脫膠不良的廠家有兩

4、家:LDK(125M),比例較高,KMDK(156M),比例較小。片源異常及解決方法3、切割后未及時(shí)清洗,清洗劑殘留(清洗不良,硅片表面油污未得以完全去除)硅片切割后未及時(shí)清洗(圖1);清洗劑殘留(或清洗過程未徹底去除硅片表面油污)(圖2、3)片源異常及解決方法硅片切割后未及時(shí)清洗的表現(xiàn)形式:硅片切割后未及時(shí)清洗,硅片四周會(huì)因風(fēng)干而導(dǎo)致表面臟污難以去除,經(jīng)制絨,表面臟污未去除區(qū)的出絨會(huì)較正常區(qū)域差而導(dǎo)致發(fā)白產(chǎn)生。其重要特征為:周邊一圈發(fā)白,且具有良好的重復(fù)性。硅片表面臟污未得以完全去除(或硅片表面有機(jī)無殘留):硅片表面油污的存在導(dǎo)致硅片在制絨過程根本難以出絨,硅片的腐蝕變得緩慢,相同條件下的硅

5、片去重較正常情況明顯減少。解決方法:當(dāng)出現(xiàn)硅片切割后未及時(shí)清洗或硅片表面臟污殘留(有機(jī)洗劑殘留)時(shí),硅片的制絨將難以持續(xù)。正常解決流程為:先申請停線,同時(shí),開始進(jìn)行在線調(diào)整,制絨:可通過加大氫氧化鈉濃度,提高制絨溫度等方法來加快制絨過程的硅片反應(yīng)速率;預(yù)清洗:采取可去有機(jī)的溶液配制進(jìn)行硅片表面清洗;若上述方向的調(diào)整沒有明顯改善,可直接停線等待,并與供應(yīng)商進(jìn)行積極溝通。歷史黑名單:芯能、順大當(dāng)前黑名單:陽光硅谷 (出現(xiàn)比例極少,上面第四幅圖)片源異常及解決方法4、線痕 線痕片大幅存在,線痕片存在的隱患為:深線痕可能導(dǎo)致更高碎片率,多線線痕可能影響外觀并對效率有輕微影響。 線痕表現(xiàn)形式:線痕可從外

6、觀直接看出,一般為一根或數(shù)根直且細(xì)的溝壑(缺照片)。 對單晶而言,線痕分為單線線痕及多線線痕,單線線痕一般因切割斷線引起,多線線痕一般為切割漿料異常引起(如回收液的大量使用)。 對多晶而言,線痕除上述單線線痕及多線線痕外,還存在一種與單線線痕類似的硬點(diǎn)線痕,硬點(diǎn)線痕產(chǎn)生的方式為多晶鑄錠過程,涂層破損或其他因素引起碳原子擴(kuò)散進(jìn)入硅熔體而形成局部碳化硅雜質(zhì),碳化硅的存在導(dǎo)致硅片切割時(shí)產(chǎn)生斷線,引起硬點(diǎn)線痕。 對于線痕片,其引起的影響相對較小,但由于其更屬于隱性干擾,難以估量。因此,在制絨段發(fā)現(xiàn)線痕片時(shí),除非有質(zhì)量部門的明確標(biāo)識:線痕片,讓步接收,才可正常進(jìn)行統(tǒng)一生產(chǎn)。否則,在有線痕片存在時(shí),一律先

7、擱置一邊,待得到采購、質(zhì)量確認(rèn)后,才統(tǒng)一進(jìn)行正常生產(chǎn)。 黑名單:當(dāng)前因各廠家自身控制以及我們采購、質(zhì)量的嚴(yán)格把關(guān),線痕片出現(xiàn)極少。 設(shè)備異常及解決辦法設(shè)備引起的制絨異常主要有如下幾個(gè)特征:1、獨(dú)立性。由于設(shè)備的損壞,尤其是制絨設(shè)備的損壞,并不會(huì)同時(shí)產(chǎn)生,因此,因設(shè)備引起的異常往往僅表現(xiàn)為某一個(gè)槽或某一條線;2、異常硅片的規(guī)律性。設(shè)備異常,如鼓泡管堵塞,加熱器損壞,其制絨出來的硅片往往呈現(xiàn)一致的特征,并且在位置方面也有規(guī)律性。根據(jù)以上兩條,可以將制絨異常懷疑點(diǎn)引致設(shè)備方面。設(shè)備異常及解決辦法鼓泡管堵塞引起制絨異常:一廠因鼓泡管堵塞引起的制絨異常(發(fā)生時(shí)段:2009年5月)設(shè)備異常及解決辦法設(shè)備異

8、常常規(guī)解決流程: 當(dāng)將問題引致設(shè)備異常方面,對設(shè)備異常的考證其實(shí)相對簡單,當(dāng)前設(shè)備異常主要為含以下四個(gè)方面:1、槽體潔凈度 槽體潔凈度考察:可采取親自跟蹤的方式,現(xiàn)場要求員工按作業(yè)指導(dǎo)書進(jìn)行正常的槽體清潔,在有需要的時(shí)候,可以要求員工取出槽體底部多孔板,以進(jìn)行更細(xì)致的槽體清潔;2、鼓泡的考察 鼓泡的考察:由于我們線上多個(gè)槽體氣體流量計(jì)的標(biāo)準(zhǔn)并不統(tǒng)一,因此,對鼓泡的考察必須通過肉眼觀察予以實(shí)現(xiàn)。鼓泡均勻性:鼓泡管上小孔的排布在槽體內(nèi)均勻,且占有很大面積比,鼓泡正常時(shí),槽體各處均有大小較為一致的鼓泡;鼓泡大小的確定:鼓泡大小可由流量計(jì)的調(diào)節(jié)予以實(shí)現(xiàn),具體大小的判定可以要求線上工段長一起予以確認(rèn);3

9、、加熱器的考察 加熱器的考察:加熱器損壞對制絨有極大影響??疾旆椒ㄈ缦拢?、采用溫度計(jì)(煤油溫度計(jì)或熱電偶溫度探測儀)進(jìn)行溫度測定;2、取出槽體多孔板,觀察加熱器是否有明顯損壞;3、要求設(shè)備對加熱器加熱狀體進(jìn)行測控,以查證是否確實(shí)有異常;(最近案例:一廠6#槽);4、熱電偶考察 熱電偶顯示的考察:熱電偶顯示異常會(huì)導(dǎo)致實(shí)際制絨溫度產(chǎn)生較大偏差,考察方法為:通過溫度計(jì)對溶液進(jìn)行測溫,根據(jù)其與顯示溫度的差異判定其是否合格,在溫度偏差較小,且加熱器無異常時(shí),可以采取溫度補(bǔ)償?shù)姆椒ㄟM(jìn)行正常生產(chǎn);(最近案例:二廠1線6#槽,3線4、5、6槽)。工藝異常及常規(guī)解決辦法 盡管存在片源異常、設(shè)備異常等因素干擾,

10、但工藝本身才是制絨段異常的最主要因素。 工藝異??捎深A(yù)清洗及制絨共同引起: 預(yù)清洗:預(yù)清洗引起的異常主要包括如下幾個(gè)方面:1、制絨后硅片未及時(shí)清洗,硅片自然風(fēng)干引起表面出絨不均;2、預(yù)清洗酒精使用時(shí)間過長,硅片表面有機(jī)物殘留;3、初拋槽中IPA不足引起硅片跳動(dòng),消泡不良引起局部掛堿;4、初拋后漂洗槽溫度過低引起掛堿印殘留;4、初拋后漂洗槽IPA不足引起硅片發(fā)生跳動(dòng)。 制絨異常:制絨異??芍苯託w總于工藝條件的偏離或與所生產(chǎn)硅片的匹配性存在較大差異。因制絨條件偏離或與待制絨硅片匹配性差異,制絨后的硅片表面將產(chǎn)生一系列不良,主要包括局部發(fā)亮、整體發(fā)亮、整體發(fā)白、邊角發(fā)白、大面積水紋印、表面白點(diǎn)、小雨

11、點(diǎn)等。工藝異常及常規(guī)解決辦法預(yù)清洗異常及解決辦法:1、酒精使用時(shí)間過長導(dǎo)致硅片制絨后局部白斑: 該案例發(fā)生在剛引入酒精進(jìn)行預(yù)清洗的驗(yàn)證階段。當(dāng)酒精清洗時(shí)間過長,在硅片與花籃接觸區(qū)域,硅片的清潔將難以保證。因該處殘余油污的存在,硅片經(jīng)制絨后,在硅片與花籃接觸處會(huì)形成月牙狀發(fā)白。如下圖所示: 判定方法:因酒精清洗不良引起的月牙狀白斑與片源臟污引起的白斑并不相同。因片源自身引起的白斑一般表現(xiàn)為發(fā)白嚴(yán)重,并且區(qū)域較大,位置固定性較差。因酒精清洗異常引起的白斑主要集中在齒位附近,并且相對輕微。 解決方法:因酒精清洗異常引起清洗不良而導(dǎo)致的制絨月牙狀白斑,輕微的形成B1片,嚴(yán)重的則產(chǎn)生B2片。因此,在出現(xiàn)

12、上述問題時(shí),需及時(shí)對酒精清洗槽進(jìn)行換液處理。排凈廢液,并洗槽后,再次配入新液。 已完成驗(yàn)證:正常24小時(shí)內(nèi)未發(fā)現(xiàn)異常。酒精清洗不良引起的制絨后月牙狀白斑工藝異常及常規(guī)解決辦法預(yù)清洗異常及解決辦法:2、在初拋槽(2#槽)或初拋后漂洗槽(3#槽)發(fā)生跳片:表現(xiàn)方式:硅片在預(yù)清洗過程中發(fā)生跳片一般都因IPA不足,導(dǎo)致清洗過程不能有效消泡而使硅片跳動(dòng)。跳片后果:硅片發(fā)生跳動(dòng)除引起碎片外,即便未破碎的硅片也將因硅片間的相互接觸而導(dǎo)致表面清洗不良,進(jìn)而引起制絨表面出絨不均而產(chǎn)生明顯色差。解決方法:硅片跳動(dòng)主要因IPA不足引起,當(dāng)硅片在有跳片預(yù)兆時(shí),就應(yīng)及時(shí)往相應(yīng)槽體一定量IPA(2#或3#槽),一般以2L

13、為單位。對于已發(fā)生較嚴(yán)重跳片的情形,盡量將硅片提至請水槽,并對硅片進(jìn)行相應(yīng)處理(漂洗,硅片分離重新插入花籃等)。工藝異常及常規(guī)解決辦法預(yù)清洗異常及解決辦法:3、硅片清洗后未及時(shí)制絨,表面自然風(fēng)干引起硅片局部臟污導(dǎo)致制絨不良:風(fēng)干后硅片表面局部差異的存在,導(dǎo)致硅片制絨后局部白斑,如下圖所示:預(yù)清洗風(fēng)干引起的局部白斑預(yù)清洗后,硅片表面未及時(shí)制絨導(dǎo)致硅片表面出現(xiàn)局部白斑的概率將大幅上升。制絨白斑的產(chǎn)生將引起B(yǎng)1、甚至是B2色差。解決方法:降低硅片預(yù)清洗后到制絨的等待時(shí)間,注意保持預(yù)清洗與制絨的連續(xù)匹配性,預(yù)清洗后的等待時(shí)間盡量控制在半個(gè)小時(shí)內(nèi)。工藝異常及常規(guī)解決辦法預(yù)清洗異常及解決辦法:4、硅片預(yù)清

14、洗過程掛堿或清洗工藝不匹配導(dǎo)致硅片表面臟污未能去除:掛堿:掛堿僅在初拋預(yù)清洗工藝中出現(xiàn),產(chǎn)生原因有二:1、初拋液中IPA不足,或者初拋液使用至后期,初拋液中硅酸鈉含量大幅升高導(dǎo)致溶液粘度增大;2、初拋后的漂洗槽(3#)溫度過低,硅片清洗后的表面殘留物未完全去除。掛堿現(xiàn)象:初拋掛堿,將導(dǎo)致硅片經(jīng)制絨后表面有較明顯的掛堿印記,如下圖所示:掛堿印的危害:掛堿印的存在會(huì)導(dǎo)致B1甚至B2類不良片的出現(xiàn)。掛堿印的解決:1、首先觀察各槽溫度是否均在工藝控制范圍內(nèi);2、在各槽實(shí)際溫度均在控制范圍內(nèi)的前提下,對2#初拋槽及3#漂洗槽內(nèi)各補(bǔ)入2L IPA,完成IPA補(bǔ)加后,對后續(xù)清洗第一籃硅片進(jìn)行跟蹤觀察,查看問

15、題是否得到解決;3、若上述調(diào)整無效,對初拋預(yù)清洗段進(jìn)行換液處理。工藝異常及常規(guī)解決辦法制絨異常及解決辦法:1、小雨點(diǎn) 小雨點(diǎn)因制絨過程IPA不足引起,IPA不足除引起小雨點(diǎn)外,也使跳片的概率上升,因此,需予以及時(shí)解決。制絨小雨點(diǎn) 制絨小雨點(diǎn)表現(xiàn)形式:硅片表面分布有很細(xì)小白點(diǎn),并且小白點(diǎn)形狀呈現(xiàn)為從上而下逐漸變大,與雨點(diǎn)形狀相似,故稱為小雨點(diǎn)。小雨點(diǎn)產(chǎn)生原因?yàn)镮PA不足導(dǎo)致的消泡不良,根據(jù)消泡不良程度,表面小雨點(diǎn)含量發(fā)生相應(yīng)改變。 解決方法:小雨點(diǎn)一般不會(huì)導(dǎo)致B2片,輕微的連B1片也不會(huì)產(chǎn)生,因此,對于已產(chǎn)生的小雨點(diǎn)片可以正常釋放。對產(chǎn)生小雨點(diǎn)的制絨液進(jìn)行下一籃生產(chǎn)時(shí),IPA的補(bǔ)加需較正常工藝多

16、0.5L。完成該調(diào)整后,若后續(xù)制絨良好,即可恢復(fù)正常連續(xù)生產(chǎn)。工藝異常及常規(guī)解決辦法制絨異常及解決辦法:2、花籃印 產(chǎn)生花籃印的原因有兩種,一為花籃本身潔凈度問題;二為制絨工藝有偏差,硅片花籃接觸區(qū)制絨差異顯示,產(chǎn)生花籃印?;ɑ@印示意圖花籃?。夯ɑ@印既可為一兩個(gè)齒位,也為全部六個(gè)齒位?;ɑ@印的存在會(huì)造成B1片,對已制絨的片子可正常釋放,并做不良統(tǒng)計(jì)?;ɑ@自身引起的花籃印一般出現(xiàn)在新花籃,以及舊花籃很長一段時(shí)間閑置未用。因花籃自身引起的花籃印,硅片的絨面一般均良好。對該情形,需按花籃清洗工藝進(jìn)行花籃清洗,清洗完后先做小批量驗(yàn)證,驗(yàn)證合格即可正常生產(chǎn)。因制絨不良導(dǎo)致的花籃印,硅片表面除花籃印外,伴

17、有其他異常,需根據(jù)其他相應(yīng)異常進(jìn)行工藝調(diào)整。工藝異常及常規(guī)解決辦法制絨異常及解決辦法:3、發(fā)亮(發(fā)亮分大面積發(fā)亮及局部發(fā)亮)大面積發(fā)亮:大面積發(fā)亮硅片大面積發(fā)亮:硅片大面積發(fā)亮將會(huì)造成大規(guī)模B類片,發(fā)亮嚴(yán)重硅片將造成大量B2片產(chǎn)生。在短時(shí)間不能解決時(shí),需馬上申請停線,或申請工程調(diào)試。產(chǎn)生原因:硅片大面積發(fā)亮產(chǎn)生的原因?yàn)楣杵g過量。硅片表面大面積發(fā)亮,硅片的去重將較正常值明顯上升,硅片去重可作為判斷發(fā)亮是否因腐蝕過量引起的重要依據(jù)。解決辦法:主旨為降低硅片腐蝕速率,按當(dāng)前制絨調(diào)整原則:1、適當(dāng)降低氫氧化鈉;2、適當(dāng)降低制絨溫度。工藝異常及常規(guī)解決辦法制絨異常及解決辦法:3、發(fā)亮(發(fā)亮分大面積發(fā)

18、亮及局部發(fā)亮)局部發(fā)亮:局部發(fā)亮硅片局部發(fā)亮:在制絨正常時(shí),硅片局部發(fā)亮一般因硅片去重偏小引起(進(jìn)行該方面判斷時(shí),可結(jié)合硅片制絨去重?cái)?shù)據(jù))。當(dāng)出現(xiàn)硅片局部發(fā)亮?xí)r,輕微時(shí)將產(chǎn)生B1片,嚴(yán)重時(shí)將產(chǎn)生B2片。解決方法:1、當(dāng)硅片局部發(fā)亮嚴(yán)重,且硅片去重相對較小時(shí),按正常返工工藝進(jìn)行返工處理,返工后去重偏大,做好超薄標(biāo)識,并在PE后暫停;2、當(dāng)硅片局部發(fā)亮主要發(fā)生在多籃制絨后,如大于5籃,直接換液進(jìn)行再生產(chǎn);3、當(dāng)硅片制絨連續(xù)發(fā)亮,申請停線,或申請工程調(diào)試。調(diào)試主旨:適當(dāng)增加硅片制絨去重。增加氫氧化鈉濃度,或者適當(dāng)降低IPA濃度。工藝異常及常規(guī)解決辦法制絨異常及解決辦法: 4、發(fā)白:硅片制絨發(fā)白一般因

19、硅片腐蝕不足引起(需注意發(fā)白片與白斑片的區(qū)別,發(fā)白片顏色較白斑片淺,在金相顯微鏡下,白斑片幾乎不出絨,發(fā)白片會(huì)有連續(xù)性較差的絨面。發(fā)白片一般為正面發(fā)白或邊角發(fā)白,白斑則區(qū)域地分布于硅片內(nèi))。整體發(fā)白片發(fā)白片:發(fā)白片為制絨不足引起,因不同硅片廠家表面狀況略有不同,同一配比下,某些廠家硅片會(huì)出現(xiàn)整體或者邊角發(fā)白。發(fā)白片一般均會(huì)造成B2片。因此,對于發(fā)白片,一般均需采用返工工藝進(jìn)行返工處理。調(diào)試方法:發(fā)白(整體或邊角)主要為腐蝕不足引起,調(diào)試主旨為加快硅片腐蝕速率,增加硅片腐蝕量。具體做法為:1、逐步增加初配液中氫氧化鈉濃度,在制絨過程中可通過增加過程補(bǔ)加實(shí)現(xiàn);2、適當(dāng)提高制絨溫度。工藝異常及常規(guī)解

20、決辦法5、水紋印:水紋印主要發(fā)生在156M上,在125M上出現(xiàn)比例極少。當(dāng)前產(chǎn)生機(jī)理尚未完全查明,在繼續(xù)查證中。水紋印水紋印:水紋印主要出現(xiàn)在156M硅片上,且在多籃后更易產(chǎn)生。通過IPA調(diào)整實(shí)驗(yàn),增加IPA,水紋印將由大面積變?yōu)樾∶娣e,但水紋印仍然會(huì)繼續(xù)存在。解決方法:水紋印一般不會(huì)造成B類片,但在水紋嚴(yán)重的情況下仍可能造成B1類色差片,因此需要注意跟蹤觀察。在水紋產(chǎn)生的情況下,可通過適當(dāng)多增加點(diǎn)IPA予以緩解。工藝異常及常規(guī)解決辦法6、白亮點(diǎn):硅片表面制絨后,表面存在極小的白點(diǎn),完成電池制備后,在電池終檢處會(huì)發(fā)現(xiàn)電池片表面有相應(yīng)的白點(diǎn)或亮點(diǎn)。終檢白亮點(diǎn)白亮點(diǎn):出現(xiàn)概率相對較低,并且白亮點(diǎn)一

21、般僅造成B1片(注意與制絨后水珠殘留對色差的影響,水珠殘留引起的白點(diǎn)一般為空心圓,且顏色較淺) 。白亮點(diǎn)的產(chǎn)生機(jī)理仍在查證中,但制絨液的均勻性及潔凈程度也會(huì)造成白亮點(diǎn)硅片產(chǎn)生。解決方法:當(dāng)僅為單批次出現(xiàn)少量白斑,后續(xù)未產(chǎn)生情況下,只需統(tǒng)計(jì)白點(diǎn)數(shù)目,并繼續(xù)正常生產(chǎn)。若單槽連續(xù)出現(xiàn)多籃白點(diǎn),對該槽溶液進(jìn)行更換,并要求產(chǎn)生加強(qiáng)溶液攪拌。多晶制絨異常常規(guī)解決 當(dāng)前多晶制絨尚處于起步階段,制絨水平整體不高。既有能力下,制絨段默認(rèn)的不良主要分為如下三種:1、制絨去重偏大或去重偏??;2、制絨后表面產(chǎn)生較嚴(yán)重暗紋;3、過程酸液泄露導(dǎo)致硅片表面局部未出絨或出絨不完全。多晶制絨異常常規(guī)解決1、制絨去重偏大或偏小異常解決 多晶制絨SPC控制限為0.45-0.70g(規(guī)格限為0.45-0.90g),當(dāng)硅片制絨去重小于0.45g或者去重大于0.70g,默認(rèn)為制絨去重異常。 去重偏?。汗杵平q去重小于0.45g。硅片制絨去重偏小可能造成的危害為:硅片經(jīng)制絨處理,硅片表面損傷去除未完全,導(dǎo)致加工制得的電池片低效。解決方法:當(dāng)硅片制絨去重小于0.45但大于等于0.40g時(shí),超級釋放該批硅片,同時(shí)對該批硅片不需做任何特殊處理,同時(shí)要求制絨段操作員工適當(dāng)增加制絨時(shí)間,一般以20sec為單位進(jìn)行。當(dāng)硅片制絨去

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