已閱讀5頁，還剩13頁未讀， 繼續(xù)免費(fèi)閱讀
版權(quán)說明：本文檔由用戶提供并上傳，收益歸屬內(nèi)容提供方，若內(nèi)容存在侵權(quán)，請進(jìn)行舉報(bào)或認(rèn)領(lǐng)
文檔簡介
微電子工藝微電子工藝(gngy)之刻蝕技術(shù)之刻蝕技術(shù)第一頁，共18頁。第1頁/共18頁第二頁，共18頁。第2頁/共18頁第三頁，共18頁。第3頁/共18頁第四頁，共18頁。第4頁/共18頁第五頁，共18頁。第5頁/共18頁第六頁，共18頁。 T太低或太高都易浮膠或鉆蝕腐蝕時(shí)間(shjin)：由腐蝕速度和SiO2厚度決定。 t 太短：腐蝕不干凈。 t 太長：腐蝕液穿透膠膜產(chǎn)生浮膠；邊緣側(cè)蝕嚴(yán)重。第6頁/共18頁第七頁，共18頁。堿性溶液：2Al+2NaOH+2H2O=2NaAlO2+3H2配方： NaOH:H2O:甘油(n yu):酒精=5g:8ml:3ml:6ml甘油(n yu)的作用：減弱NaOH的活潑性。缺點(diǎn)：對膠膜有浸蝕，橫向腐蝕嚴(yán)重，Na污染。第7頁/共18頁第八頁，共18頁。第8頁/共18頁第九頁，共18頁。(wngshu)： HNO3（發(fā)煙）:HCl=1:3（體積比）Au+HNO3+3HCl=AuCl3+NO+2H2O3Pt+4HNO3+12HCl=3PtCl4+4NO+8H2O第9頁/共18頁第十頁，共18頁。第10頁/共18頁第十一頁，共18頁。第11頁/共18頁第十二頁，共18頁。第12頁/共18頁第十三頁，共18頁。第13頁/共18頁第十四頁，共18頁。第14頁/共18頁第十五頁，共18頁。第15頁/共18頁第十六頁，共18頁。第16頁/共1
溫馨提示
- 1. 本站所有資源如無特殊說明，都需要本地電腦安裝OFFICE2007和PDF閱讀器。圖紙軟件為CAD,CAXA,PROE,UG,SolidWorks等.壓縮文件請下載最新的WinRAR軟件解壓。
- 2. 本站的文檔不包含任何第三方提供的附件圖紙等，如果需要附件，請聯(lián)系上傳者。文件的所有權(quán)益歸上傳用戶所有。
- 3. 本站RAR壓縮包中若帶圖紙，網(wǎng)頁內(nèi)容里面會(huì)有圖紙預(yù)覽，若沒有圖紙預(yù)覽就沒有圖紙。
- 4. 未經(jīng)權(quán)益所有人同意不得將文件中的內(nèi)容挪作商業(yè)或盈利用途。
- 5. 人人文庫網(wǎng)僅提供信息存儲(chǔ)空間，僅對用戶上傳內(nèi)容的表現(xiàn)方式做保護(hù)處理，對用戶上傳分享的文檔內(nèi)容本身不做任何修改或編輯，并不能對任何下載內(nèi)容負(fù)責(zé)。
- 6. 下載文件中如有侵權(quán)或不適當(dāng)內(nèi)容，請與我們聯(lián)系，我們立即糾正。
- 7. 本站不保證下載資源的準(zhǔn)確性、安全性和完整性, 同時(shí)也不承擔(dān)用戶因使用這些下載資源對自己和他人造成任何形式的傷害或損失。
最新文檔
- 系統(tǒng)架構(gòu)設(shè)計(jì)師考試人際關(guān)系對職業(yè)發(fā)展的影響試題及答案
- 系統(tǒng)架構(gòu)設(shè)計(jì)中的全球視野考題試題及答案
- 育嬰師父母合作技巧試題及答案
- 稅務(wù)師市場需求分析與展望試題及答案
- 育嬰師教育評估的關(guān)鍵要素試題及答案
- 職業(yè)基本測試題及答案
- 紡織品設(shè)計(jì)師考試能力評估試題及答案
- 做賬實(shí)操-保險(xiǎn)經(jīng)紀(jì)與代理服務(wù)全盤賬務(wù)處理實(shí)例
- 藥物臨床試驗(yàn)實(shí)施技巧試題及答案
- 知識(shí)產(chǎn)權(quán)制度創(chuàng)新的思考試題及答案
- 2024-2025學(xué)年人教版初中物理八年級(jí)下冊期中檢測卷（第七章-第九章）
- 維修人員管理獎(jiǎng)懲制度3篇1
- 國家糧食和物資儲(chǔ)備局招聘考試真題2024
- 產(chǎn)品推廣活動(dòng)策劃方案詳解
- 手衛(wèi)生知識(shí)宣教培訓(xùn)
- 上門催收技巧培訓(xùn)
- 【初中地理】《日本》課件-2024-2025學(xué)年湘教版初中地理七年級(jí)下冊
- 智能定時(shí)開關(guān)插座設(shè)計(jì)與制作
- 醫(yī)院患者滿意度調(diào)查工作制度
- 洛索洛芬鈉口服溶液-藥品臨床應(yīng)用解讀
- 18《井岡翠竹》公開課一等獎(jiǎng)創(chuàng)新教學(xué)設(shè)計(jì)
評論
0/150
提交評論