EJA變送器講稿

1、YOKOGAWA SICHUANEJA- -智能變送器智能變送器技技 術術 交交 流流 會會感謝各位領導專家光臨感謝各位領導專家光臨李李 牧牧1360285370613602853706李宗明李宗明1392505883513925058835重慶橫河川儀有限公司（重慶橫河川儀有限公司（CYSCYS）廣東協(xié)鑫電力有限公司廣東協(xié)鑫電力有限公司YOKOGAWA SICHUANEJA新時代智能變送器新時代智能變送器品質(zhì)卓越品質(zhì)卓越 始終如一始終如一重慶橫河川儀有限公司（重慶橫河川儀有限公司（CYS）YOKOGAWA SICHUAN重慶橫河川儀有限公司重慶橫河川儀有限公司CYSCYS創(chuàng) 立 1995年0

2、9月27日資 本 金 總資本US1420萬元出資比例 日本 橫河電機株式會社 60% 中國 重慶川儀自動化股份有限公司 40%從業(yè)人員 420人、其中日本長駐人員3人 (總經(jīng)理、付總經(jīng)理、總工程師)所 在 地 重慶本部 重慶市北部新區(qū)黃山大道中段61號川儀工業(yè)園 上海營業(yè)本部 上海市天山西路568號鱷魚大廈D區(qū)3層 北京分公司 北京市東城區(qū)金寶街89號金寶大廈9層 廣州分公司 廣州市環(huán)市東路362號好世界廣場35層主營業(yè)務內(nèi)容 DPharpDPharp EJA EJA全智能變送器制造、銷售和售后服務EJA年銷售量 28.5萬臺；產(chǎn)值10億制造方式 CYSYHQ( (NYPSNYPS) ) 制造

3、設備 CYSYHQ品質(zhì)管理 ISO9002ISO90025M5M(Man Machine Material Method Measurement)同一品質(zhì) EJAEJA 全球同一技術（同步）、同一品質(zhì)、同一管理和同一商標橫河川儀 橫河電機株式會社EJAEJA變送器中國生產(chǎn)基地YOKOGAWA SICHUANEJAEJA變送器生產(chǎn)基地變送器生產(chǎn)基地日本日本(橫河電機甲府工場橫河電機甲府工場)美國【美國【美國橫河公司美國橫河公司】生產(chǎn)基地生產(chǎn)基地YOKOGAWA SICHUAN 製造：日本最新設備的引入製造：日本最新設備的引入 橫河川儀橫河川儀JA-JA-生產(chǎn)場地生產(chǎn)場地YOKOGAWA SICH

4、UANEJAEJA變送器變送器品質(zhì)品質(zhì)/ /質(zhì)量質(zhì)量管理體系管理體系n品質(zhì)保証活動品質(zhì)保証活動 GB/TI9002-1 (ISO9002-1) 97 97年年1212月月3131日取得日取得n質(zhì)量質(zhì)量改善活動改善活動QA會議會議(質(zhì)量分析會質(zhì)量分析會)制販會制販會(產(chǎn)產(chǎn)/質(zhì)質(zhì)/技技/銷銷)客戶客戶/生產(chǎn)質(zhì)量分析生產(chǎn)質(zhì)量分析質(zhì)保體系質(zhì)保體系YOKOGAWA SICHUANn有機化學物質(zhì)削減有機化學物質(zhì)削減節(jié)約資源、能源，預防污染節(jié)約資源、能源，預防污染 加強廢棄物管理加強廢棄物管理全員參與，持續(xù)改進全員參與，持續(xù)改進保護生態(tài)環(huán)境保護生態(tài)環(huán)境 我們只有一個地球我們只有一個地球遵守環(huán)境保護法律、法規(guī)

5、遵守環(huán)境保護法律、法規(guī) nCYS環(huán)境方針環(huán)境方針n電力削減電力削減n節(jié)約水節(jié)約水n紙再利用紙再利用n排水噪音管理排水噪音管理n環(huán)保購買環(huán)保購買 橫河川儀有限公司橫河川儀有限公司 YOKOGAWA SICHUANYOKOGAWA SICHUAN全球全球最最先進先進壓力傳感器技術壓力傳感器技術單單晶硅晶硅諧諧振式振式數(shù)字化差分數(shù)字化差分傳傳感器感器采用微采用微電電子精密加工技子精密加工技術術YOKOGAWA SICHUANSiSi諧振傳感器制作工諧振傳感器制作工藝藝P+ P+P+ N+ 封注外延及退火 振動子(100)N型SiSio2(600nm) 切除氧化膜及HCL煤氣腐蝕 選擇性外延及去除氧化

6、膜 選擇性腐蝕 硅片硅片YOKOGAWA SICHUAN振動子勵振端子検出端子真空室振動子振動子中心膜片中心膜片（鋼）傳感器傳感器SUS316SUS316側(cè)側(cè)BOD鍛造驅(qū)動板驅(qū)動板傳感器傳感器封入液信號SUS316LSUS316L鍛造鍛造側(cè)側(cè)BODYBODY1818Cr-12Ni-2.5Mo-Cr-12Ni-2.5Mo-低低C C密封膜片密封膜片哈氏合金-276）Ni=BAL 60% Cr=15.5% Mo=16%W=3.5% Fe=5.5% etsYOKOGAWA SICHUANu 3. 在無壓力時諧振頻率為 90 kHzu 2. 涂附在硅層上的H形諧振梁u 1. 硅層u 4. 壓力引起硅層

7、發(fā)生應變u 5.來自硅層的應變線性地改變諧振梁的頻率輸出壓力壓力YOKOGAWA SICHUAN2個個單晶硅諧振傳單晶硅諧振傳感器感器H型型 諧振器諧振器H 型硅型硅諧振器諧振器硅硅 片片YOKOGAWA SICHUAN 傳感器的構(gòu)造原理傳感器的構(gòu)造原理力力磁界磁界力力磁界磁界電電流流電壓電壓法拉第左手原理法拉第左手原理法拉第右手原理法拉第右手原理硅片硅片振子振子永久磁石永久磁石NSYOKOGAWA SICHUAN永久磁鐵永久磁鐵激勵電路激勵電路電磁力方向電磁力方向頻率輸出頻率輸出硅硅 H 型諧振傳感器型諧振傳感器硅片硅片磁場磁場硅傳感器硅傳感器YOKOGAWA SICHUAN壓縮壓縮 擴張擴

8、張u 2. 作用在硅層上的壓力u 1. 兩塊頻率為 90 kHz 的共振被固定在硅層上u 3.由于位置和深度的變化一塊被擴張而另一塊被壓縮u 4. 壓力使得被擴張的諧振梁頻率由90到110 kHz而被壓縮的一塊由90到70 kHz變化u 5. 而微處理器只需簡單的對頻率計數(shù)1109070深度kHzYOKOGAWA SICHUAN壓縮壓縮拉伸拉伸過程壓力過程壓力隔離墊片隔離墊片H H 型諧振型諧振器器基體基體傳感器傳感器YOKOGAWA SICHUAN0 020204040606080801001001201200 05050100100150150200200ftftfcfc 40 kHzu

9、被壓縮的諧振梁頻率降低u 被拉伸的諧振梁頻率升高壓力頻率 壓力壓力YOKOGAWA SICHUAN參參考考精精度度 0 to 200 H2O-0.050-0.040-0.030-0.020-0.0100.0000.0100.0200.0300.0400.0500255075100125% 輸入%輸出誤差上下行程比例輸出電容式EJA 系列YOKOGAWA SICHUANu 19.8 cmu 3.9 kgYOKOGAWA SICHUAN玻璃層芯片頭部高壓側(cè)流動 壓力低壓側(cè)流動壓力膜盒體高壓高壓低壓低壓u 1. 傳感器被分離置于膜盒體頸部隔離膜片u 2. 高低壓力通過內(nèi)部硅油以液體壓力的方式作用于傳

10、感器u 與現(xiàn)場溫度隔離與現(xiàn)場溫度隔離u 與現(xiàn)場震動隔離與現(xiàn)場震動隔離YOKOGAWA SICHUANu 零點零點/量程的數(shù)字微調(diào)量程的數(shù)字微調(diào) 0.01% 改變分辨率易于調(diào)整 無模擬電位器 溫度穩(wěn)定 傳統(tǒng)變送器的便利 手動自由調(diào)節(jié) 滿度上升/抑制承受力YOKOGAWA SICHUANpsi mbar Mk Pa gf/cmatm Torr ft in mm H O Hg22u 工程單位u 4.5位u 范圍設置開關 （零點/量程）u 輸出改變方向指示 交替 (每 3 秒.) 或固定 14種可選工程單位 錯誤代碼信息 本地零點/量程開關 可旋轉(zhuǎn)安裝 YOKOGAWA SICHUAN零點零點/量程量

11、程數(shù)碼調(diào)節(jié)數(shù)碼調(diào)節(jié) 0.01%調(diào)整精度調(diào)整精度數(shù)字數(shù)字 LCD 哈氏哈氏C-276隔離膜片隔離膜片側(cè)面排氣螺釘側(cè)面排氣螺釘傳統(tǒng)托架配置傳統(tǒng)托架配置不銹鋼螺釘不銹鋼螺釘不銹鋼容室法蘭不銹鋼容室法蘭不銹鋼位號牌不銹鋼位號牌多國防爆認證多國防爆認證YOKOGAWA SICHUANEJAEJA外特性外特性低銅鑄鋁低銅鑄鋁SCS14ASUS316L(本體本體)接液膜片接液膜片哈氏合金哈氏合金C-276高高/低壓側(cè)可互換低壓側(cè)可互換表頭表頭/上部上部YOKOGAWA SICHUAN1101009080705,00010,000 差壓差壓 (mmH2O)頻率頻率 (kHz)傳感器傳感器YOKOGAWA SI

12、CHUAN工作站工作站u 分散式控制系統(tǒng)分散式控制系統(tǒng) 對對 現(xiàn)場控制系統(tǒng)現(xiàn)場控制系統(tǒng)工作站工作站控制器控制器現(xiàn)場總線接口現(xiàn)場總線接口將來的將來的現(xiàn)場控制系統(tǒng)現(xiàn)場控制系統(tǒng) (FCS)4-20 mA今日傳感器方案其它現(xiàn)場設備現(xiàn)場總線消除了所需的I/O數(shù)字傳感器方案DPharp 消除了所需的 A/DA/D現(xiàn)場總線現(xiàn)場總線D/A微處理器微處理器A/DA/D傳感器傳感器微處理器微處理器A/DA/D傳感器傳感器現(xiàn)場總線接口現(xiàn)場總線接口微處理器微處理器A/D傳感器傳感器模擬傳感器方案YOKOGAWA SICHUAN.f1f2f1 - f2 = 與差壓成正比與差壓成正比f1 + f2 = 與靜壓成正比與靜壓

13、成正比 R = 與溫度成正比與溫度成正比傳感器傳感器YOKOGAWA SICHUAN 結(jié)構(gòu)簡單結(jié)構(gòu)簡單 歷史悠久歷史悠久 滯后小滯后小 復合傳感復合傳感 滯后小滯后小 溫度影響小溫度影響小 靜壓影響小靜壓影響小 復合傳感復合傳感 差壓差壓 靜壓靜壓 溫度溫度 滯后大滯后大 重復性差重復性差溫度誤差大溫度誤差大(未補償前未補償前)電極中心膜片傳感器傳感器YOKOGAWA SICHUAN諧振器諧振器基片基片壓力壓力真空罩真空罩y磁場磁場固定電極固定電極 可動電極可動電極固定電極固定電極DD 初始間距初始間距d 位移位移C1C2 電容電容 C1 = 電容電容 C2 = SD+dSD-dC1 - C2

14、C1 + C2 計算公式計算公式 c =dD=電極位移電極位移初始間距初始間距()感應膜片位移最大值感應膜片位移最大值 mm (100 m) 微小位移就能導致誤差微小位移就能導致誤差1 m形變形變= 1% 誤差誤差感器組件感器組件 硅硅 油油中心膜片中心膜片接液膜片接液膜片低壓側(cè)低壓側(cè)高壓側(cè)高壓側(cè)接液膜片接液膜片沖灌液沖灌液感應膜片感應膜片膜盒體膜盒體f L 傳感器傳感器YOKOGAWA SICHUAN差壓引起的信號變化壓阻式傳感器溫度變化所引起的信號變化0.25 %/ 50oC靜壓所引起的信號變化0.1% / 100kgf cm24%15 %硅諧振傳感器0.01 %4倍倍靈敏度高靈敏度高高精

15、度量程寬高精度量程寬環(huán)境變化影響小環(huán)境變化影響小長期穩(wěn)定性長期穩(wěn)定性0.03 %傳感器傳感器YOKOGAWA SICHUAN單晶硅諧振傳感器特性單晶硅諧振傳感器特性靈敏度高靈敏度高 量程比高量程比高滯后小滯后小 高精度高精度抗環(huán)境變化能力強抗環(huán)境變化能力強 溫度影響小溫度影響小 長期穩(wěn)定性長期穩(wěn)定性 靜壓影響小靜壓影響小復合傳感器復合傳感器 高精度高精度 差壓差壓 靈活多用靈活多用 靜壓靜壓 性價比高性價比高 溫度溫度 YOKOGAWA SICHUAN現(xiàn)場運行總精度現(xiàn)場運行總精度穩(wěn)定性穩(wěn)定性輸入輸入/輸出特性輸出特性( 標準狀態(tài)下標準狀態(tài)下 )溫度影響溫度影響( 現(xiàn)場工作狀態(tài)下現(xiàn)場工作狀態(tài)下

16、)靜壓影響靜壓影響( 現(xiàn)場工作狀態(tài)下現(xiàn)場工作狀態(tài)下 )過壓影響過壓影響( 現(xiàn)場工作狀態(tài)下現(xiàn)場工作狀態(tài)下 ) YOKOGAWA SICHUAN型號型號 : EJA110-M量程量程 : 10000 mm H20型號型號 : EJA110-H量程量程 : 5 kgf/cm223(oC)No.223(oC)No.1 0.1 0.050-0.05-0.1誤差誤差 (%)23(oC)輸入輸入(%) -100 0 50 100 -50No.2 0.1 0.050-0.05-0.1誤差誤差 (%)輸入輸入 (%)No.1 0.1 0.050-0.05-0.1誤差誤差 (%)-100050100-50輸入輸入

17、 (%)-100050100-5023(oC) 0.1 0.050-0.05-0.1誤差誤差(%)輸入輸入 (%)-100 0 50100-50EJAEJA變送器變送器YOKOGAWA SICHUAN型號型號 : EJA110-M量程量程 : 10000 mm H20型號型號 : EJA110-H量程量程 : 5 kgf/cm2No.2SPANZEROSPANZERONo.1No.2SPANZERO-0.2 0.2 0.1 0-0.1 誤差誤差 (%)No.1溫度溫度 0C-50050100SPANZERO 0.2 0.1 0-0.1 誤差誤差 (%)-0.2 0.2 0.1 0-0.1 誤差

18、誤差 (%)-0.2溫度溫度0C-50050100溫度溫度 0C-50050100溫度溫度 0C-50050100 0.2 0.1 0-0.1 誤差誤差 (%)-0.2EJAEJA變送器變送器YOKOGAWA SICHUANEJA vs. 3051C智能變送器智能變送器 (100mH2o)- 6. 00- 6. 00- 5. 00- 5. 00- 4. 00- 4. 00- 3. 00- 3. 00- 2. 00- 2. 00- 1. 00- 1. 000. 000. 001. 001. 002. 002. 003. 003. 004. 004. 005. 005. 006. 006. 002

19、3- 40- 25023508023- 40- 25023508023誤差誤差(%)其它-No3其它-No4EJA- No4EJA- No5EJA- No6溫度變化溫度變化零點漂移零點漂移YOKOGAWA SICHUAN溫度影響溫度影響諧諧振振頻頻率率 輸輸入入壓壓力力室溫室溫 fc 室溫室溫 fr 高溫高溫 fr1 高溫高溫 fc1 Iout(0): 室溫室溫時輸時輸出出 Iout(p): 高溫高溫時輸時輸出出 Iout(0)=fr-fc Iout(p)=(fr- fr)-(fc- fc) =(fr-fc)-( fr- fc) =Iout(0)-( fr- fc) fr= fc Iout(p

20、)=Iout(0) 故：故：溫度溫度對輸對輸出沒有影響出沒有影響EJAEJA變送器變送器YOKOGAWA SICHUANS.P kg/cm2050100150-0.1 0.1 0.050-0.05 零點誤差零點誤差 %No.1No.2No.2No.1型號型號 : EJA110A-XM量程量程 : 10000 mm H20型號型號 : EJA110A-XH量程量程 : 5 kgf/cm2-0.1 0.1 0.050-0.05 零點誤差零點誤差 %-0.1 0.1 0.050-0.05 零點誤差零點誤差 %S.P kg/cm205010010S.P kg/cm2050100150-0.1 0.1

21、0.050-0.05 零點誤差零點誤差 %S.P kg/cm2050100150EJAEJA變送器變送器YOKOGAWA SICHUAN性能對比性能對比EJA vs. EJA vs. 其它智能式變送器其它智能式變送器0.8 0.8 0.6 0.6 0.4 0.4 0.2 0.2 0 0 -0.2 -0.2 -0.4 -0.4 -0.6 -0.6 -0.8-0.8誤差誤差 (%)(%)0 35 70 105 1400 35 70 105 140靜壓靜壓 (Kgf/cm2)(Kgf/cm2)1.2 1.2 1.0 1.0 0.8 0.8 0.6 0.6 0.4 0.4 0.2 0.2 0 0 -

22、-0.20.2誤差誤差 (%)(%)0 35 70 105 1400 35 70 105 140靜壓靜壓 (Kgf/cm2)(Kgf/cm2) EJA110A-XEJA110A-XM 量程：量程：0 01000mmH2O1000mmH2O其它智能式變送器其它智能式變送器 量程：量程：0 01000mmH2O1000mmH2O靜壓變化靜壓變化零點漂移零點漂移YOKOGAWA SICHUANEJA vs. EJA vs. 其它智能式變送器其它智能式變送器 靜壓變化靜壓變化零點漂移零點漂移誤差誤差(%)(%)靜壓靜壓(Kgf/cm2)(Kgf/cm2)3051c3051c智能式變送器智能式變送器 1

23、/1001/100量程比量程比(100mmH2O)(100mmH2O) 0 20 40 60 80 100 120 140 0 20 40 60 80 100 120 1401010 5 5 0 0-5-5 -10-10誤差誤差(%)(%) 0 20 40 60 80 100 120 140 0 20 40 60 80 100 120 1401010 5 5 0 0-5-5 -10-10靜壓靜壓(Kgf/cm2)(Kgf/cm2)EJA110A-XEJA110A-XM 1/1001/100量程比量程比(100 mmH2O)(100 mmH2O)YOKOGAWA SICHUAN靜壓影響靜壓影響諧

24、諧振振頻頻率率輸輸入入壓壓力力大氣大氣壓壓 fc大氣大氣壓壓 fr高靜高靜壓壓 fr1 高靜高靜壓壓 fc1 Iout(0): 大氣大氣壓時輸壓時輸出出 Iout(p): 高靜高靜壓時輸壓時輸出出 Iout(0)=fr-fc Iout(p)=(fr- fr)-(fc- fc) =(fr-fc)-( fr- fc) =Iout(0)-( fr- fc) fr= fc Iout(p)=Iout(0) 故：故：靜靜壓對輸壓對輸出沒有響出沒有響EJAEJA變送器變送器YOKOGAWA SICHUAN型號型號 : EJA110A-XM量程量程 : 1000 mm H20 (1/10 of Max Spa

25、n)壓力壓力 : 10 kgf/cm2型號型號 : EJA110A-XM量程量程 : 1000 mm H20 (1/10 of Max Span)壓力壓力 : 10 kgf/cm2Error (%)+0.1-0.1LLLLHHHHError (%)+0.1-0.120406080100120 x 1000 TimesEJAEJA變送器變送器YOKOGAWA SICHUAN2000 PSI 過壓偏移校正過壓偏移校正0 to 200 H2O 范圍范圍-1.000-0.5000.0000.5001.0000255075100125% 輸入%輸出變化電容式EJA 系列零點漂移上下行程比例輸出YOKOG

26、AWA SICHUAN性能對比性能對比EJA vs. EJA vs. 其它智能式變送器其它智能式變送器2.0 2.0 1.5 1.5 1.0 1.0 0.5 0.5 0 0 -0.5 -0.5 -1.0 -1.0 -1.5 -1.5 -2.0-2.0誤差誤差 (%)(%)0 35 70 105 1400 35 70 105 140過壓過壓 (Kgf/cm2)(Kgf/cm2)2.0 2.0 1.5 1.5 1.0 1.0 0.5 0.5 0 0 -0.5 -0.5 -1.0 -1.0 -1.5 -1.5 -2.0 -2.0 誤差誤差 (%)(%)0 35 70 105 1400 35 70 1

27、05 140過壓過壓 (Kgf/cm2)(Kgf/cm2)EJA110A-XMEJA110A-XM量程：量程：0 01000mmH2O1000mmH2O其它智能式變送器其它智能式變送器 量程：量程：0 01000mmH2O1000mmH2O過壓滯后性過壓滯后性YOKOGAWA SICHUAN性能對比性能對比EJA vs. EJA vs. 其它智能式變送器其它智能式變送器2.0 2.0 1.5 1.5 1.0 1.0 0.5 0.5 0 0 -0.5 -0.5 -1.0 -1.0 -1.5 -1.5 -2.0-2.0誤差誤差 (%)(%)0 35 70 105 1400 35 70 105 14

28、0過壓過壓 (Kgf/cm2)(Kgf/cm2)0.5 0.5 0 0 -0.5 -0.5 -1.0 -1.0 -1.5 -1.5 -2.0 -2.0 -2.5 -2.5 -3.0 -3.0 -3.5-3.5誤差誤差 (%)(%)0 35 70 105 1400 35 70 105 140過壓過壓 (Kgf/cm2)(Kgf/cm2)EJA110A-XEJA110A-XM 量程：量程：0 01000mmH2O1000mmH2O 3051c 3051c智能式變送器智能式變送器 量程：量程：0 01000mmH2O1000mmH2O過壓滯后性過壓滯后性YOKOGAWA SICHUAN常規(guī)安裝方式常

29、規(guī)安裝方式 EJA 其他其他無無3閥組安裝方式閥組安裝方式 用戶為何需要用戶為何需要3 3閥組？閥組？1. 1. 單向過壓損壞變送器單向過壓損壞變送器2. 2. 單向過壓的零點飄移單向過壓的零點飄移3. 3. 靜壓下的零點漂移靜壓下的零點漂移4. 4. 長期零點漂移長期零點漂移EJAEJA變送器變送器YOKOGAWA SICHUAN3閥組閥組 其他其他常規(guī)安裝常規(guī)安裝 EJA無無3閥組安裝閥組安裝密封點密封點（7處）處）No Possibility of Leakage from 3 Valve Manifold無無3閥組閥組無操作無操作危危 險險 區(qū)區(qū)維護維護/維修減少維修減少EJAEJA變

30、送器變送器YOKOGAWA SICHUAN常規(guī)安裝常規(guī)安裝EJA無無3 3閥組安裝閥組安裝安裝成本降低安裝成本降低1) 無需購買無需購買3閥組閥組2) 引壓管直接安裝引壓管直接安裝維護維護/維修成本低維修成本低1) 無需維護無需維護3閥組閥組2) 泄漏檢查點減小泄漏檢查點減小3閥組閥組 其他其他EJAEJA變送器變送器YOKOGAWA SICHUAN 無無3閥組安裝方式閥組安裝方式無需無需3閥組安裝閥組安裝1. 靜壓下的零點調(diào)整靜壓下的零點調(diào)整 靜壓影響靜壓影響小小 投運前的零點調(diào)整投運前的零點調(diào)整 2. 運行中的零點檢測運行中的零點檢測 長期零點漂移長期零點漂移小小 停機時檢測零點停機時檢測

31、零點3. 過壓后的零點調(diào)整過壓后的零點調(diào)整 過壓滯后過壓滯后小小 過壓后無須零點調(diào)整過壓后無須零點調(diào)整 用戶為何需要用戶為何需要3閥組閥組非特殊運用，無需非特殊運用，無需3閥組閥組YOKOGAWA SICHUAN210-1-2210-1-2誤差誤差(%)(%)誤差誤差(%)(%)1/100 1/50 1/20 1/10 1/5 1/1 量程變化比量程變化比1/100 1/50 1/20 1/10 1/5 1/1 量程變化比量程變化比 No.1 No.1 零點零點 No.2 No.2 零點零點 No.1 No.1 量程量程 No.2 No.2 量量程程EJAEJA3051c3051c智能式變送器智能式變送器遠程設定遠程設定 零點零點/ /量程漂移量程漂移YOKOGAWA SICHUAN第第1年年第第2年年第第3年年第第4年年第第5年年第第6年年+0.1誤差誤差 (%)-0.10溫度溫度 ：室溫：室溫量程量程 ：最大量程：最大量程SiSi傳感器傳感器YOKOGAWA SICHUAN 長期穩(wěn)定性測試長期穩(wěn)定性測試型號：型號：EJA110EJA110M