信息檢索課題

1、課題：集成電路制造工藝（integrated circuit technology）一、研究背景：集成電路，就是在一塊半導(dǎo)體單晶片上，通過(guò)一系列特定的加工工藝，制造出許多晶體管、二極管等有源器件和電容、電阻等無(wú)源器件（元件工作時(shí)，內(nèi)部沒(méi)有任何形式的電源供電），并按照一定的電路互連關(guān)系“組裝”起來(lái)，封裝在一個(gè)外殼內(nèi)，執(zhí)行特定的電路或系統(tǒng)功能，這種新型電子器件在體積、重量、耗電、壽命上都優(yōu)于傳統(tǒng)的半導(dǎo)體分立元件電路。從晶圓到集成電路成品大概需要數(shù)百道工序，這些工序大致可分為三類：圖形轉(zhuǎn)換、摻雜、制模。這些工序需要反復(fù)進(jìn)行幾十次，例如Pentium 4 CPU要經(jīng)過(guò)26道光刻工序，每次需要使用不同的

2、掩膜，再加上摻雜以及金屬鍍膜等很多處理步驟，一個(gè)CPU制造工序達(dá)數(shù)百道。簡(jiǎn)言之，集成電路制造工藝就是把電路所需的各種元件用一定的工藝制作在一塊硅片上或其他材料上，再用適當(dāng)?shù)墓に囘M(jìn)行互連，然后封裝起來(lái)，使之成為能應(yīng)用于實(shí)際的芯片。二、所屬學(xué)科和檢索式學(xué)科范疇：無(wú)線電電子學(xué)、電信技術(shù)中圖分類號(hào)：TN405（無(wú)線電電子學(xué)、電信技術(shù)>微電子學(xué)、集成 電路（IC）>一般性問(wèn)題>制造工藝）檢索詞：集成電路制造 工藝原理檢索擴(kuò)展詞（含上位詞、下位詞、同義詞等）：集成電路、IC 、integrated circuit、半導(dǎo)體器件、integrated semiconductor、制造工藝、制

3、造原理、工藝流程、manufacturing technology中文檢索式：（集成電路OR IC OR 半導(dǎo)體器件 ）AND（制造工藝OR工藝原理OR工藝流程 ）英文檢索式：（integrat* circuit OR integrat* semiconductor）AND（manufactur* technolog* OR technolog* process)3、 中文數(shù)據(jù)庫(kù)萬(wàn)方數(shù)據(jù)庫(kù)：利用萬(wàn)方搜索，通過(guò)武漢大學(xué)圖書館首頁(yè)進(jìn)入萬(wàn)方數(shù)據(jù)庫(kù)。我們先在不限定條件的情況下檢索一次看看 有什么樣的結(jié)果：找到918條結(jié)果：現(xiàn)在利用高級(jí)檢索：文獻(xiàn)類型選擇期刊論文、學(xué)位論文、會(huì)議論文檢索表達(dá)式：題名或關(guān)鍵

4、詞:("集成電路 ") * 題名或關(guān)鍵詞:(制造工藝) * Date:1995-2014 檢索結(jié)果82條，數(shù)量倒是還可以，但是仔細(xì)看看有一些和我想要的內(nèi)容不相干，比如第一篇就是：淺談"集成電路制造工藝"的課程建設(shè)和教學(xué)實(shí)踐 ，所以我加入了條件，去掉包含“課程 or教學(xué)”的論文，再次檢索，檢索式：題名或關(guān)鍵詞:("集成電路 ") * 題名或關(guān)鍵詞:(制造工藝) 題名或關(guān)鍵詞:(課程 or 教學(xué)) * Date:1995-2014 這次結(jié)果是75條，數(shù)量和內(nèi)容都比較滿意。在檢索結(jié)果中，一篇名為集成電路制造工藝探析的論文比較吸引我。我對(duì)這篇論文進(jìn)行了閱讀、導(dǎo)出到NoteExpress，并查看了相關(guān)的文獻(xiàn)和博文。4、 外文數(shù)據(jù)庫(kù)EI數(shù)據(jù)庫(kù)設(shè)置好文獻(xiàn)類型，時(shí)間是1990-2