化學(xué)品供應(yīng)系統(tǒng)簡介

1、Chemical Supply System化學(xué)品供應(yīng)系統(tǒng)簡介 課 程 大 綱 系統(tǒng)之目的 化學(xué)品之種類與用途 系統(tǒng)之基本要求 化學(xué)品供應(yīng)質(zhì)量要求 系統(tǒng)之流程圖 CDU之流程圖 TEE-BOX之構(gòu)造 VMB之構(gòu)造 SAMPLING BOX之構(gòu)造 系統(tǒng)設(shè)備之材料要求 運轉(zhuǎn)操作注意事項系統(tǒng)之目的 供應(yīng)高純度化學(xué)品以清洗芯片上之雜質(zhì)、微粒子 供應(yīng)高純度化學(xué)品以蝕刻芯片圖案 供應(yīng)高純度化學(xué)品以顯影芯片圖案 供應(yīng)高純度化學(xué)品以為化學(xué)氣相沉積前置反應(yīng)物 供應(yīng)高純度化學(xué)品以研磨芯片 供應(yīng)高純度化學(xué)品以清洗制程設(shè)備零配件化學(xué)品之種類與用途(一) 酸性: 腐蝕性腐蝕性:H2SO4,HCl,HNO3,HF,H3O

2、P4. 毒性毒性:HF,HNO3,Poly-Mix,BOE. 堿性:NH4OH,KOH,Developer. 有機(jī)溶劑 易燃液體易燃液體:IPA,Acetone,NBA,光阻液光阻液. 腐蝕性有機(jī)溶劑腐蝕性有機(jī)溶劑:EKC,EBR,HMDS. 氧化性:HNO3,H2O2.化學(xué)品之種類與用途(二)系統(tǒng)之基本要求 操作安全：腐蝕性、毒性、耐壓、防爆之考慮操作安全：腐蝕性、毒性、耐壓、防爆之考慮 化學(xué)品零污染：與化學(xué)品接觸部份完全與化學(xué)品化學(xué)品零污染：與化學(xué)品接觸部份完全與化學(xué)品 兼容兼容 微粒子控制：過濾器循環(huán)過濾微粒子控制：過濾器循環(huán)過濾 滿足最大需求流量：高濃度化學(xué)品如滿足最大需求流量：高濃度

3、化學(xué)品如H2SO4、 H3PO4 自動控制操作運轉(zhuǎn)：系統(tǒng)單元與機(jī)臺界面自動化自動控制操作運轉(zhuǎn)：系統(tǒng)單元與機(jī)臺界面自動化 取樣分析：系統(tǒng)、管路之粒子數(shù)、金屬離子含量取樣分析：系統(tǒng)、管路之粒子數(shù)、金屬離子含量 取樣分析取樣分析 泄漏警報：偵測泄漏及緊急關(guān)閉系統(tǒng)泄漏警報：偵測泄漏及緊急關(guān)閉系統(tǒng)(EMO) 系統(tǒng)診斷：系統(tǒng)診斷：Pump、Filter 、Valve運轉(zhuǎn)時數(shù)運轉(zhuǎn)時數(shù) 維修保養(yǎng)管路維修保養(yǎng)管路 Auto Purge/Flush 功能功能 化學(xué)品用量統(tǒng)計化學(xué)品用量統(tǒng)計化學(xué)品供應(yīng)質(zhì)量要求Geometry SizeParticles/mlSizeMetallics11000.510 PPb.810

4、0-2000.2-0.31-2 PPb.550-1000.21 PPb.35200.21 PPb.25100.1100 PPt系統(tǒng)之流程圖(一)CCBStorge Tank12m3CDUVMBTTTVMBVMBVMBTool-1Tool-2Tool-3Tool-46m3Tote1m3200LDrum化學(xué)槽車充填銜接站將化學(xué)品由槽車以N2加壓直接輸送至Tank適合使用量較大之化學(xué)品,如H2O2,H2SO4等適合使用量中等之化學(xué)品,如HF,H3PO4等適合使用量較小之化學(xué)品,如BOE,HNO3等將化學(xué)品經(jīng)循環(huán)過濾,再經(jīng)N2或Pump加壓輸送至有需求之生產(chǎn)機(jī)臺內(nèi)將化學(xué)品經(jīng)管路分配至不同生產(chǎn)機(jī)臺S可依

5、實際用量需求選擇使用Tee BoxSampling Box系統(tǒng)之流程圖(二)Provided By Systems Chemistry,INCFMCSOCPHUBCDUVMBToolTee Box系統(tǒng)之流程圖(三)TOOL機(jī)臺機(jī)臺OCPSCADA ComputerHUBCDUT-BOX主管路GN2加強(qiáng)訊號循環(huán)過濾 25”后供酸啟動CDU 循環(huán)過濾后，同時由OCP供應(yīng)GN2，打開VMB內(nèi)氣動閥，將化學(xué)品供應(yīng)至TOOLCHEMICAL LINEGN2 LINESIGNAL LINE供酸VMB泄漏警報系統(tǒng)之流程圖(四)Tool SideOCP SideTroubleReadyStopRequestE

6、lectric Signal Interface Between BCDS & ToolEMO1.當(dāng)機(jī)臺需求化學(xué)品時,傳送Request訊號給OCP2.OCP收到訊號后,會先檢查CDU是否Ready供應(yīng) 若是，則回傳Ready訊號若否，則回傳Trouble訊號3.機(jī)臺端EMO被壓下時，則停止供應(yīng)化學(xué)品+24V+24V+24VCCB之流程圖Provided By NOVAGN2inletStorageTank充填槽車CDUCDU之流程圖(型一)Provided By NOVAOutletPumpTransferFilterSupplyFilterGN2inletCDAinletDrumD

7、ay TankTankCDU之流程圖(型二)Provided By Systems Chemistry,INCOutletDrumTankPumpTrans/RecFilterSupplyFilterTEE-BOX之構(gòu)造主管路主管路VMBDrain Port手動閥箱體內(nèi)側(cè)下方裝設(shè)泄漏偵測器Provided By NOVA1.箱體以PP制成2.CPVC外蓋3.箱體與外蓋間以 O-Ring密合4.管件以PFA制成一般酸堿類適用VMB之構(gòu)造箱體內(nèi)側(cè)下方裝設(shè)泄漏偵測器Drain PortinletTo ToolsCDA inlet From OCP to 氣動閥For The Future UsePu

8、rge inletDrain PortExhaust氣動閥手動閥保養(yǎng)管路時需先以PN2將化學(xué)品 Purge至機(jī)臺端 Drain4132Provided By NOVA1.箱體以PP制成2.CPVC外蓋3.箱體與外蓋間以 O-Ring密合4.管件以PFA制成一般酸堿類適用SAMPLING-BOX之構(gòu)造1.將取樣瓶置入,并關(guān)閉 箱門2.按壓按鈕,再打開取樣 手動閥3.化學(xué)品流出達(dá)需求之 量后,關(guān)閉手動閥,放開 按鈕4.打開箱門,蓋上瓶蓋,取 出取樣瓶5.清潔取樣箱按鈕手動閥箱體內(nèi)側(cè)下方裝設(shè)泄漏偵測器Drain PortinletProvided By NOVA1.箱體以SUS制成2.鋼絲玻璃外蓋3

9、.箱體與外蓋間以 O-Ring密合有機(jī)溶劑類適用系統(tǒng)設(shè)備之材料要求 一般無機(jī)酸堿類 外管：CPVC 內(nèi)管：PFA Piping & Tubing 管件：鐵弗龍材質(zhì)制品 有機(jī)溶劑類 外管：SUS 304 內(nèi)管：SUS 316L EP 管件：SUS 316L以上制品 有機(jī)堿類 外管：SUS 304 內(nèi)管：PFA Piping & Tubing 管件：鐵弗龍材質(zhì)制品運轉(zhuǎn)操作注意事項(一)充份閱讀MSDS，認(rèn)識化學(xué)品之物質(zhì)特性，危害性，危害標(biāo)示，危害途徑及防護(hù)措施工作前，先行思考及演練各細(xì)節(jié)后，再行動工作時應(yīng)雙人以上搭配作業(yè)，事前事后確認(rèn)正確選用及使用適當(dāng)防護(hù)器具正確處理化學(xué)品廢棄物，

10、避免造成后續(xù)傷害良好個人安全衛(wèi)生環(huán)保習(xí)慣認(rèn)知工作安全”意外”意識運轉(zhuǎn)操作注意事項(二)熟知化學(xué)品泄漏處理七項步驟遠(yuǎn)離泄漏源辨示泄漏狀況 尋求協(xié)助支持 管制隔離污染區(qū) 拯救傷員 圍堵外泄物 清除污染物及環(huán)境檢測 事故調(diào)查記錄留存運轉(zhuǎn)操作注意事項(三)熟知化學(xué)品淋濺燒傷之急救處理稀釋、去除污染在皮膚或粘膜上之有害化學(xué)物質(zhì)自救-救人前應(yīng)先保護(hù)自己沖-清水不斷沖洗至少15分鐘脫-邊沖邊脫并避免二次傷害支持-請求支持成立緊急處理ERT 對HF時-須不斷地涂抹葡萄酸鈣(涂抹-按摩-擦凈-涂抹)送-盡速送醫(yī)運轉(zhuǎn)操作注意事項(四)熟知化學(xué)品吸入/食入/眼睛接觸之處理原則1.維持呼吸，血液循環(huán)，維持患者生命2.減輕患者病痛，促使其能早日康