四十八所擴(kuò)散爐教程

1、 擴(kuò)擴(kuò) 散散 培培 訓(xùn)訓(xùn)2目錄目錄一.擴(kuò)散原理.二.工藝衛(wèi)生三.異常的處理3一一.擴(kuò)散原理擴(kuò)散原理 1.三氯氧磷簡介POCl3是目前磷擴(kuò)散用得較多的一種雜質(zhì)源無色透明液體，具有刺激性氣味。比重為1.67，熔點(diǎn)2，沸點(diǎn)107，在潮濕空氣中發(fā)煙。POCl3很容易發(fā)生水解，POCl3極易揮發(fā)。4 擴(kuò)散裝置5 600）分解生成五氯化磷（PCl5）和五氧化二磷（P2O5），其反應(yīng)式如下：生成的P2O5在擴(kuò)散溫度下與硅反應(yīng)，生成二氧化硅（SiO2）和磷原子，其反應(yīng)式如下：5253OP3PCl5POClC600 4P5SiO5SiO2P2526 由上面反應(yīng)式可以看出，POCl3熱分解時(shí)，如果沒有外來的氧（O

2、2）參與其分解是不充分的，生成的PCl5是不易分解的，并且對(duì)硅有腐蝕作用，破壞硅片的表面狀態(tài)。但在有外來O2存在的情況下，PCl5會(huì)進(jìn)一步分解成P2O5并放出氯氣（Cl2）其反應(yīng)式如下：2522510ClO2P5O4PCl2過量O7 在有氧氣的存在時(shí)，POCl3熱分解的反應(yīng)式為： POCl3分解產(chǎn)生的P2O5淀積在硅片表面，P2O5與硅反應(yīng)生成SiO2和磷原子，并在硅片表面形成一層磷-硅玻璃，然后磷原子再向硅中進(jìn)行擴(kuò)散 。322524526POClOPOCl8二二.工藝衛(wèi)生工藝衛(wèi)生 潔凈度.空氣潔凈度，主要指潔凈空氣環(huán)境中的含塵濃度?？諝鉂崈舳鹊燃?jí)，是按照每立方米（或每升）空氣中，大于等于0.

3、5m的塵粒數(shù)量來劃分9 人員方面1.擴(kuò)散間員工出擴(kuò)散間必須穿鞋套.其他崗位、部門員工進(jìn)入擴(kuò)散間必須按要求穿潔凈服、戴鞋套2.進(jìn)入擴(kuò)散間時(shí)要風(fēng)淋30s3.嚴(yán)禁同時(shí)打開傳遞窗及風(fēng)淋門;傳遞窗的兩邊不能同時(shí)打開4.員工工作服穿著整潔,頭發(fā)嚴(yán)禁露在衣服外面5.清洗間小車禁止推入擴(kuò)散間使用6.袖子不能高挽10 7.擴(kuò)散前的硅片嚴(yán)禁戴乳膠手套接觸(用手卡住硅片邊緣) 新的乳膠手套 新的一次性手套11 8.甩干后的片子不能在空氣中暴露超過2h(潔凈柜除外);嚴(yán)禁用口去哈吹硅片12 9.嚴(yán)禁用石英制品專用工夾具以外的東西接觸石英制器10. Sic槳不能暴露在空氣中時(shí)間過長11.擴(kuò)散間旁門除洗管、領(lǐng)源、逃生之外

4、嚴(yán)禁打開12.凈化風(fēng)機(jī)保證24h常開（潔凈柜、插卸片臺(tái))13.外界進(jìn)入擴(kuò)散間的物品一定要處理干凈13 14.嚴(yán)禁擦拭石英爐門及Sic槳上的Hpo314 設(shè)備方面該區(qū)域?yàn)榭刂乒駛?cè)蓋需要經(jīng)常擦拭,保證無明顯污跡該區(qū)域?yàn)榭刂魄懊姘?不允許用酒精擦洗,防止觸電15 該區(qū)域?yàn)椴讳P鋼接偏磷酸槽,每天清理一次,保證無明顯偏磷酸液體存在該區(qū)域?yàn)殇摶Ａ?每天清理一次,保證無明顯偏磷酸液體存在16 該區(qū)域?yàn)闋t體側(cè)蓋,保證無明顯污跡17 擴(kuò)散管爐口18三三.異常的處理異常的處理 1.恒溫箱溫度的異常.恒溫箱溫度異常可以造成方塊電阻不受控制,造成的返工片數(shù)量很多.經(jīng)過現(xiàn)場的檢查,發(fā)現(xiàn)恒溫箱溫度不受控可能由以下原因引

5、起:(1).恒溫箱內(nèi)水太少.預(yù)防措施:定期檢查,發(fā)現(xiàn)水量少時(shí)及時(shí)添加.(2).恒溫箱本身的原因,例如循環(huán)出現(xiàn)故障，表現(xiàn)現(xiàn)恒溫箱的水上下層溫度不一樣,判定為恒溫箱的循環(huán)有異常,隨后讓設(shè)備人員進(jìn)行了更換.19 2.方塊電阻的異常.方塊電阻的異常在擴(kuò)散間異常中是占很大比例,方塊電阻的異常的種類、可能的原因及解決措施如下:(1)整舟方塊電阻高可能的原因：1.大氮保護(hù)開著。2.四探針測試儀沒有調(diào)整好（如電流）或故障3. 源量過少.4.擴(kuò)散溫度低.解決方法：1.關(guān)閉大氮保護(hù).2.按要求調(diào)整或讓相關(guān)人員維修3. 讓員工經(jīng)常檢查源瓶，按要求更換源瓶.4.調(diào)整擴(kuò)散溫度.(2)整舟方塊電阻低可能的原因：1.換源后

6、沒有及時(shí)降低溫度.2. .四探針測試儀沒有調(diào)整好.3.工藝運(yùn)行完該出舟時(shí)，因其他原因沒有退舟，導(dǎo)致擴(kuò)散后的片子長時(shí)間處在高溫的管子里.4.恒溫箱缺水或各種故障導(dǎo)致的溫度升高.5. 誤用方塊電阻低的工藝號(hào).6.二次擴(kuò)散.7.擴(kuò)散溫度高.解決方法：1. 換源后按要求調(diào)整溫度.2. 按要求調(diào)整并定時(shí)確認(rèn).3.員工應(yīng)經(jīng)常關(guān)注各個(gè)擴(kuò)散管的運(yùn)行狀態(tài)，及時(shí)發(fā)現(xiàn)問題.4.添水或通知設(shè)備維修.5. 讓員工按流程卡上標(biāo)注的工藝運(yùn)行.6. 屬于員工誤操作.返工.7.調(diào)整擴(kuò)散溫度.20 (3)方塊電阻某一部分高可能的原因：1.個(gè)別溫區(qū)溫度設(shè)定低.2.個(gè)別溫區(qū)溫度升不上去.3.爐口抽風(fēng)大4.電阻率過高.5.員工調(diào)整溫度

7、時(shí)誤操作，調(diào)錯(cuò)溫度.6.PB值異常.解決方法：1.根據(jù)測試的方塊電阻及時(shí)調(diào)整擴(kuò)散溫度.2.讓設(shè)備維修.3.讓設(shè)施人員調(diào)整.4.回爐后往下做.5.要求員工調(diào)整時(shí)認(rèn)真一些.6.調(diào)整PB值.(4)方塊電阻某一部分低.可能的原因：1.個(gè)別溫區(qū)溫度設(shè)定高.2.PB值異常.3. 電阻率過低.4.員工調(diào)整溫度時(shí)誤操作.5.N型片.解決方法：1. 及時(shí)調(diào)整擴(kuò)散溫度.2.把PB值恢復(fù)正常.3.正常做.4. 要求員工調(diào)整時(shí)認(rèn)真一些. 5 .N型片的方阻在實(shí)際生產(chǎn)中一般不超過30，發(fā)現(xiàn)后可取一些去原材料庫測試非擴(kuò)散面的PN型.21 3.偏磷酸.原因及解決的方法:(1).人員的操作,比如進(jìn)出舟交叉,下舟不及時(shí)等.這些

8、需要員工按要求規(guī)范操作. 22 (2).抽風(fēng)不暢,比如抽風(fēng)小或尾氣管被偏磷酸膏體堵塞.需要加大抽風(fēng)或定期清洗尾氣管.23 5.報(bào)警報(bào)警(1).擴(kuò)散小氮報(bào)警.（壓力或流量）可能的原因：1.傳感器的連接或傳感器（或流量計(jì)）本身有問題.2.源瓶閥門沒有打開.處理措施： 1.通知設(shè)備人員檢查2. 換源時(shí)打開閥門，換源后認(rèn)真確認(rèn).(2).干氧流量及大氮流量報(bào)警 可能的原因：1.流量計(jì)誤差大.2.氣體壓力不足.3.其他原因 處理措施： 在實(shí)際中如果過低及時(shí)通知設(shè)施設(shè)備工藝等人 員.24 (3).舟未前進(jìn)到位報(bào)警. 可能的原因：1.進(jìn)舟時(shí)間設(shè)定短.2.限位開關(guān)故障.3.絲杠故障.處理措施： 1.設(shè)定合適的進(jìn)

9、舟時(shí)間.2.3.通知設(shè)備人員維修.25 6.有關(guān)三氯氧磷方面的異常：有關(guān)三氯氧磷方面的異常：(1).有三氯氧磷的氣味.(冒煙) 可能的原因：1.爐門密封不嚴(yán). 2.氣路部分連接不緊密.3.抽風(fēng)小. 4.當(dāng)有擴(kuò)散管運(yùn)行到通擴(kuò)散小氮時(shí)，其他管出舟，造成抽風(fēng)相對(duì)小.5.石英爐門有缺口.6.源瓶的閥門裝反并且沒有檢查出來.導(dǎo)致三氯氧磷以液態(tài)進(jìn)入石英管內(nèi).處理措施： 1.通知設(shè)備人員調(diào)整.2.安裝源瓶及四通等氣路時(shí)要確保連接緊密.3.通知設(shè)施人員處理.4.合理安排進(jìn)出舟時(shí)間.5.通知設(shè)備人員更換后運(yùn)行清洗工藝.6.換源時(shí)按要求認(rèn)真操作.26 (2).源回流.可能的原因：溫度或其他原因造成的源瓶內(nèi)壓力大.處理措施:倒流的源如果在閥門附近，通過打鼓泡可以解決；少量又離閥門遠(yuǎn)的，如果打鼓泡不行，可以拔下氣管，之后按少量源泄露的方法處理.(3).源泄露.可能的原因：1.打開閥門的順序錯(cuò)誤.2.其他原因.處理措施：根據(jù)泄露的量而定，按應(yīng)急預(yù)案處理27 (4).源液變色，有雜質(zhì)