MOCVD培訓(xùn)總結(jié)

1、第四期工程技術(shù)人員培訓(xùn)總結(jié)報告第四期工程技術(shù)人員培訓(xùn)總結(jié)報告K465I設(shè)備控制系統(tǒng)部分第四期工程技術(shù)人員培訓(xùn)總結(jié)報告第四期工程技術(shù)人員培訓(xùn)總結(jié)報告K465I控制系統(tǒng)總結(jié)構(gòu)圖第四期工程技術(shù)人員培訓(xùn)總結(jié)報告第四期工程技術(shù)人員培訓(xùn)總結(jié)報告K465I Device Net網(wǎng)絡(luò)結(jié)構(gòu)圖第四期工程技術(shù)人員培訓(xùn)總結(jié)報告第四期工程技術(shù)人員培訓(xùn)總結(jié)報告K465I 模擬數(shù)字網(wǎng)絡(luò)結(jié)構(gòu)圖第四期工程技術(shù)人員培訓(xùn)總結(jié)報告第四期工程技術(shù)人員培訓(xùn)總結(jié)報告K465I溫度控制系統(tǒng)結(jié)構(gòu)圖第四期工程技術(shù)人員培訓(xùn)總結(jié)報告第四期工程技術(shù)人員培訓(xùn)總結(jié)報告K465I溫度體系結(jié)構(gòu)圖第四期工程技術(shù)人員培訓(xùn)總結(jié)報告第四期工程技術(shù)人員培訓(xùn)總結(jié)報告K4

2、65I過熱聯(lián)鎖系統(tǒng)K465IK465I設(shè)備過熱硬件聯(lián)鎖系統(tǒng)。包括：設(shè)備過熱硬件聯(lián)鎖系統(tǒng)。包括： PLC PLC通過監(jiān)控程序軟件，來處理更改電源使能狀態(tài)，來禁用電源。其優(yōu)先級最低。通過監(jiān)控程序軟件，來處理更改電源使能狀態(tài)，來禁用電源。其優(yōu)先級最低。 PID PID 控制器硬連線至電源的使能位，如果控制器測量到過熱情況，則可取代來自控制器硬連線至電源的使能位，如果控制器測量到過熱情況，則可取代來自Nexus/PLCNexus/PLC的使能輸入。的使能輸入。PIDPID控制器持續(xù)監(jiān)視兩個控制器持續(xù)監(jiān)視兩個PVPV（直接連接到（直接連接到PIDPID控制器的控制器的T/CT/C，以，以及通過及通過Et

3、hernetEthernet連接接入的連接接入的 PyroPyro）。如果兩個）。如果兩個PVPV都顯示過熱，則都顯示過熱，則PIDPID控制器將通過硬控制器將通過硬連線的使能位禁用電源。同時，過熱狀態(tài)將通過數(shù)字輸入傳送至連線的使能位禁用電源。同時，過熱狀態(tài)將通過數(shù)字輸入傳送至PLCPLC，收到信號后，收到信號后PLCPLC將調(diào)整電源狀態(tài)。將調(diào)整電源狀態(tài)。 高溫計（高溫計（PyroPyro）也硬連線至電源使能位。如果高溫計測量到過熱狀態(tài)，電源將被）也硬連線至電源使能位。如果高溫計測量到過熱狀態(tài)，電源將被禁用。同時，過熱狀態(tài)將通過數(shù)字輸入傳送至禁用。同時，過熱狀態(tài)將通過數(shù)字輸入傳送至PLCPLC

4、，收到信號后，收到信號后PLCPLC將調(diào)整電源狀態(tài)。將調(diào)整電源狀態(tài)。 第四期工程技術(shù)人員培訓(xùn)總結(jié)報告第四期工程技術(shù)人員培訓(xùn)總結(jié)報告K465I設(shè)備程序分析部分第四期工程技術(shù)人員培訓(xùn)總結(jié)報告第四期工程技術(shù)人員培訓(xùn)總結(jié)報告K465I “Dynamic Shutdown”程序舉例分析1.0 程序開始。程序開始。1.1 除了反應(yīng)室維護程序，終止其他所有程序。除了反應(yīng)室維護程序，終止其他所有程序。1.2 設(shè)定所有的設(shè)定所有的MFC和和PC的流量斜率為的流量斜率為“1”。1.3 關(guān)閉電源。關(guān)閉電源。A）設(shè)定溫度斜率為）設(shè)定溫度斜率為“0”（內(nèi)，中，外）（內(nèi)，中，外）B）設(shè)定溫度為）設(shè)定溫度為“0”C）設(shè)定加

5、熱模式為）設(shè)定加熱模式為“電流加熱電流加熱”D）設(shè)定電流為）設(shè)定電流為“0”E）軟件使能禁用電源）軟件使能禁用電源1.4 設(shè)定閥門狀態(tài)為設(shè)定閥門狀態(tài)為Shutdown狀態(tài)，關(guān)閉所狀態(tài)，關(guān)閉所有閥除了：有閥除了：A）關(guān)閉）關(guān)閉Diff Seal 閥（只有閥（只有K475有）有）B）關(guān)閉所有氣體進氣閥）關(guān)閉所有氣體進氣閥第四期工程技術(shù)人員培訓(xùn)總結(jié)報告第四期工程技術(shù)人員培訓(xùn)總結(jié)報告K465I “Dynamic Shutdown”程序舉例分析1.5 設(shè)定所有設(shè)定所有MFC流量為流量為“0”，設(shè)定壓力值：，設(shè)定壓力值：A）設(shè)定）設(shè)定PCRT（GSD-88,89,110&111）值為）值為0（只有（只有K

6、475有）有）B）設(shè)定）設(shè)定Bubble PC值為值為1000TorrC）設(shè)定蝶閥壓力為）設(shè)定蝶閥壓力為15Torr1.6 判斷宕機是否由危險判斷宕機是否由危險Alarm造成的：造成的：2.0 不是：保持蝶閥為當(dāng)前開合角度。不是：保持蝶閥為當(dāng)前開合角度。2.1 是：關(guān)閉蝶閥。是：關(guān)閉蝶閥。2.2 檢查檢查Warnings值值3.0 數(shù)值數(shù)值=03.1 數(shù)值數(shù)值0第四期工程技術(shù)人員培訓(xùn)總結(jié)報告第四期工程技術(shù)人員培訓(xùn)總結(jié)報告K465I “Dynamic Shutdown”程序舉例分析3.0 數(shù)值數(shù)值=0 關(guān)閉軟掛閘關(guān)閉軟掛閘3.1 數(shù)值數(shù)值0 開啟軟掛閘開啟軟掛閘3.2 設(shè)定閥門狀態(tài)為設(shè)定閥門狀態(tài)

7、為Shutdown狀態(tài)，關(guān)閉所狀態(tài)，關(guān)閉所有閥除了：有閥除了：A）關(guān)閉）關(guān)閉Diff Seal 閥（只有閥（只有K475有）有）B）關(guān)閉所有氣體進氣閥）關(guān)閉所有氣體進氣閥3.3 設(shè)定所有設(shè)定所有MFC流量為流量為“0”，設(shè)定壓力值：，設(shè)定壓力值：A）設(shè)定）設(shè)定PCRT（GSD-88,89,110&111）值為）值為0（只有（只有K475有）有）B）設(shè)定）設(shè)定Bubble PC值為值為1000TorrC）設(shè)定蝶閥壓力為）設(shè)定蝶閥壓力為15Torr第四期工程技術(shù)人員培訓(xùn)總結(jié)報告第四期工程技術(shù)人員培訓(xùn)總結(jié)報告K465I “Dynamic Shutdown”程序舉例分析3.4 延遲延遲5秒。秒。3.5

8、 設(shè)定馬達轉(zhuǎn)速為設(shè)定馬達轉(zhuǎn)速為“0”：A）使）使Spindle Motor使能使能B）以）以 3轉(zhuǎn)轉(zhuǎn)/秒秒 降速。降速。3.6 將存儲配置設(shè)定給閥。（配置表：將存儲配置設(shè)定給閥。（配置表：TDSW20102）3.7 復(fù)位所有處于禁止?fàn)顟B(tài)的程序為待機狀復(fù)位所有處于禁止?fàn)顟B(tài)的程序為待機狀態(tài)。態(tài)。4.0 程序完成。程序完成。第四期工程技術(shù)人員培訓(xùn)總結(jié)報告第四期工程技術(shù)人員培訓(xùn)總結(jié)報告K465I “Dynamic Shutdown”程序舉例分析1.6 危險危險Alarm： CDA Pressure Low 條件：條件：70Psig PEA Cabinet Ventilation（HW） 條件：條件：0

9、.5” WC PEA Pressure Exhaust Overpressure 條件：條件：3Psig Process Stop Button 條件：條件：Button Depressed SDA RHA THA Cabinet Ventilation（HW）條件：）條件：0.5” WC Reactor Overpressure PLC Alarm 條件：條件：ATM+40Torr Process Pump Stopped PLC Alarm 條件：條件：Pump Off注：注： ” WC英寸水柱，壓力單位，英寸水柱，壓力單位，1inwc=1000Kg/m9.8N/Kg0.0254m=248

10、.92Pa 第四期工程技術(shù)人員培訓(xùn)總結(jié)報告第四期工程技術(shù)人員培訓(xùn)總結(jié)報告K465I 設(shè)備控制程序思考 程序思考：程序思考： K465I設(shè)備除了設(shè)備工藝設(shè)計和工藝生產(chǎn)程序，剩下最重要的要是設(shè)備控制系統(tǒng)程設(shè)備除了設(shè)備工藝設(shè)計和工藝生產(chǎn)程序，剩下最重要的要是設(shè)備控制系統(tǒng)程序了，它是設(shè)備自動化運轉(zhuǎn)的前提和保證。序了，它是設(shè)備自動化運轉(zhuǎn)的前提和保證。 K465I設(shè)備有很多的系統(tǒng)控制程序，以上列舉了動態(tài)設(shè)備有很多的系統(tǒng)控制程序，以上列舉了動態(tài)Shutdown程序，在分析了程序程序，在分析了程序流程后，我們可以加深對設(shè)備一個操作的行為原理進行充分的了解，在對我們理解系流程后，我們可以加深對設(shè)備一個操作的行為

11、原理進行充分的了解，在對我們理解系統(tǒng)結(jié)構(gòu)，系統(tǒng)運行狀態(tài)及系統(tǒng)故障分析有很大的幫助。統(tǒng)結(jié)構(gòu)，系統(tǒng)運行狀態(tài)及系統(tǒng)故障分析有很大的幫助。 例如，例如，“Idle Routine” 程序，在理解其程序流程后，我們就可以清楚的指導(dǎo)當(dāng)程序程序，在理解其程序流程后，我們就可以清楚的指導(dǎo)當(dāng)程序開始后，設(shè)備將會進行哪一步動作，設(shè)備在當(dāng)前步驟中的狀態(tài)。若沒有進入成功，我開始后，設(shè)備將會進行哪一步動作，設(shè)備在當(dāng)前步驟中的狀態(tài)。若沒有進入成功，我們可以根據(jù)程序流程來檢查設(shè)備條件是否滿足程序條件，逐個排查，直到程序運行完們可以根據(jù)程序流程來檢查設(shè)備條件是否滿足程序條件，逐個排查，直到程序運行完成。成。 第四期工程技術(shù)人

12、員培訓(xùn)總結(jié)報告第四期工程技術(shù)人員培訓(xùn)總結(jié)報告K465I設(shè)備維護部分第四期工程技術(shù)人員培訓(xùn)總結(jié)報告第四期工程技術(shù)人員培訓(xùn)總結(jié)報告維護項（說明書）維護項（說明書）狀況狀況頻率頻率動作動作反應(yīng)室清理UGan/Ngan在200TorrBuffer在500Torr150RUN或一個月擦拭爐壁和FF，清理干凈金屬反應(yīng)殘留物，檢查燈絲是否正常FF和ScreenUGan/Ngan在200TorrBuffer在500Torr三個月拆除FF，對Screen進行清洗尾氣排放管路發(fā)生堵塞一年抽干凈尾氣排放金屬管道，從反應(yīng)室到泵進口，更換所有O-Ring。燈絲（中和外）燈絲壽命盡三個月更換新的燈絲過濾器清理GC與TGV

13、壓差過大2個月或清反應(yīng)室清洗，更換LL和HUB發(fā)現(xiàn)適當(dāng)?shù)奈⒘０葱枨箝_蓋，擦拭K465I 日常維護項目第四期工程技術(shù)人員培訓(xùn)總結(jié)報告第四期工程技術(shù)人員培訓(xùn)總結(jié)報告K465I 日常維護項目維護項（藍光）維護項（藍光）狀況狀況頻率頻率動作動作反應(yīng)室清理UGan/Ngan在200TorrBuffer在500Torr約12020爐/次擦拭爐壁和FF，清理干凈金屬反應(yīng)殘留物，檢查燈絲是否正常FF和ScreenUGan/Ngan在200TorrBuffer在500Torr從不拆除FF，對Screen進行清洗尾氣排放管路發(fā)生堵塞約2年/次（直至堵塞）抽干凈尾氣排放金屬管道，從反應(yīng)室到泵進口，更換所有O-Rin

14、g。燈絲（中和外）燈絲壽命盡直至用壞更換新的燈絲過濾器清理GC與TGV壓差過大約705爐/次清洗，更換LL和HUB發(fā)現(xiàn)適當(dāng)?shù)奈⒘牟婚_蓋，擦拭第四期工程技術(shù)人員培訓(xùn)總結(jié)報告第四期工程技術(shù)人員培訓(xùn)總結(jié)報告K465I 日常維護項目維護項（藍光）維護項（藍光）狀況狀況頻率頻率動作動作冷水機濾芯更換出水流量不夠約12020爐/次（從不更換）更換濾芯冷水機循環(huán)水更換約半年（從不更換）2桶純凈水更換冷卻水濾芯更換進出水壓力40Psi約1-2月/次更換水盤過濾芯燈絲內(nèi)外圍鉬絲支架約130爐/次（從不更換）更換新支架燈絲內(nèi)外隔熱陶瓷片更換約150爐/次（從不更換）更換新陶瓷片第四期工程技術(shù)人員培訓(xùn)總結(jié)報告第四

15、期工程技術(shù)人員培訓(xùn)總結(jié)報告K465I 日常維護項目l 以上為是設(shè)備說明書中維護項目與上?，F(xiàn)實行的維護項目的對比，相對于說明書以上為是設(shè)備說明書中維護項目與上海現(xiàn)實行的維護項目的對比，相對于說明書中所建議的維護，現(xiàn)實行的維護項目很多都不能符合要求，對于一些維護項目，我中所建議的維護，現(xiàn)實行的維護項目很多都不能符合要求，對于一些維護項目，我甚至根本沒有進行，甚至根本沒有進行， 這對安全正常生產(chǎn)沒有很好的保障。這對安全正常生產(chǎn)沒有很好的保障。l 例如：對于燈絲，建議維護頻率：三個月。對于生產(chǎn)企業(yè)來說，過頻的更換必定例如：對于燈絲，建議維護頻率：三個月。對于生產(chǎn)企業(yè)來說，過頻的更換必定會帶來成本的增加

16、。但對于安全生產(chǎn)來說，很多次設(shè)備宕機都是因為加熱燈絲變形會帶來成本的增加。但對于安全生產(chǎn)來說，很多次設(shè)備宕機都是因為加熱燈絲變形，斷裂導(dǎo)致的。，斷裂導(dǎo)致的。l 希望在條件允許的情況下，認真落實日常維護項目，為工藝生產(chǎn)提供穩(wěn)定的設(shè)備希望在條件允許的情況下，認真落實日常維護項目，為工藝生產(chǎn)提供穩(wěn)定的設(shè)備條件。條件。第四期工程技術(shù)人員培訓(xùn)總結(jié)報告第四期工程技術(shù)人員培訓(xùn)總結(jié)報告一、清機一、清機1）反應(yīng)室開腔前抽充，建議反復(fù)多抽充幾次，減少反應(yīng)室的）反應(yīng)室開腔前抽充，建議反復(fù)多抽充幾次，減少反應(yīng)室的NH3殘留。殘留。2）公司有能力的條件下，更換鎢絲支架和陶瓷。）公司有能力的條件下，更換鎢絲支架和陶瓷。3

17、）由于清機動了）由于清機動了FF，RT和和DRT肯定有一定的位置偏差，所以建議在安裝過后，調(diào)整及肯定有一定的位置偏差，所以建議在安裝過后，調(diào)整及校準(zhǔn)校準(zhǔn)RT和和DRT。4）清機后進行）清機后進行SlowBake,可將反應(yīng)室和陶瓷中的水分充分蒸發(fā)而又很好的保護陶瓷器件可將反應(yīng)室和陶瓷中的水分充分蒸發(fā)而又很好的保護陶瓷器件及反應(yīng)室工藝條件。及反應(yīng)室工藝條件。二、更換過濾器二、更換過濾器1）更換過濾器前，進行程序）更換過濾器前，進行程序Bake，為了開過濾器時減少過濾芯燃燒。若公司采用過濾器，為了開過濾器時減少過濾芯燃燒。若公司采用過濾器多用一備的維護方式時，可不用進行程序多用一備的維護方式時，可不

18、用進行程序Bake。2）在球閥（）在球閥（ 104，105，106 ）連接處，采用較好的）連接處，采用較好的O-Ring，接口表面清潔、平行，減，接口表面清潔、平行，減少應(yīng)力，便于檢漏通過。少應(yīng)力，便于檢漏通過。K465I 日常維護項目思考（舉例）第四期工程技術(shù)人員培訓(xùn)總結(jié)報告第四期工程技術(shù)人員培訓(xùn)總結(jié)報告K465I設(shè)備故障處理部分第四期工程技術(shù)人員培訓(xùn)總結(jié)報告第四期工程技術(shù)人員培訓(xùn)總結(jié)報告K465I報警故障處理案例分析（一）故障現(xiàn)象：機臺宕機，冷水機故障現(xiàn)象：機臺宕機，冷水機1#機關(guān)機。機關(guān)機。故障處理：故障處理：1、查看宕機信息，明確宕機原因為循環(huán)水問題。、查看宕機信息，明確宕機原因為循環(huán)

19、水問題。 2、查看冷水機，發(fā)現(xiàn)無法開啟冷水機。、查看冷水機，發(fā)現(xiàn)無法開啟冷水機。 3、打開、打開CBA，查點表，查看冷水機空開是否跳閘。，查點表，查看冷水機空開是否跳閘。 4、冷水機空開沒有跳閘，可能由于冷水機自身內(nèi)部原因?qū)е聼o法正常啟動。、冷水機空開沒有跳閘，可能由于冷水機自身內(nèi)部原因?qū)е聼o法正常啟動。 5、首先確定冷水機進電是否正常。（此步由于處理操作不認真，沒有及時發(fā)、首先確定冷水機進電是否正常。（此步由于處理操作不認真，沒有及時發(fā)現(xiàn)故障次故障點，導(dǎo)致以下多余步驟）現(xiàn)故障次故障點，導(dǎo)致以下多余步驟） 6、拆開冷水機，查看電阻絲是否正常，查看表頭是否有問題。、拆開冷水機，查看電阻絲是否正常

20、，查看表頭是否有問題。 7、表頭沒有問題，查看內(nèi)部繼電器是否正常。（懷疑其中有個繼電器有問題，、表頭沒有問題，查看內(nèi)部繼電器是否正常。（懷疑其中有個繼電器有問題，從其他冷水機拆卸一個繼電器安裝，結(jié)果燒了，后發(fā)現(xiàn)將從其他冷水機拆卸一個繼電器安裝，結(jié)果燒了，后發(fā)現(xiàn)將24VDC繼電器代替繼電器代替220VAC繼電繼電器，結(jié)果導(dǎo)致設(shè)備二次故障）器，結(jié)果導(dǎo)致設(shè)備二次故障） 8、返回第、返回第5步，發(fā)現(xiàn)設(shè)備進電電壓為步，發(fā)現(xiàn)設(shè)備進電電壓為110V左右，確定故障點。左右，確定故障點。 9、查看、查看CBA 冷水機配電模塊是否問題，發(fā)現(xiàn)接線端子燒焦，導(dǎo)致接觸不良。冷水機配電模塊是否問題，發(fā)現(xiàn)接線端子燒焦，導(dǎo)致

21、接觸不良。 10、更換接線端子，重啟冷水機。、更換接線端子，重啟冷水機。第四期工程技術(shù)人員培訓(xùn)總結(jié)報告第四期工程技術(shù)人員培訓(xùn)總結(jié)報告K465I報警故障處理案例分析（二）故障現(xiàn)象：機臺故障現(xiàn)象：機臺 14：01分出現(xiàn)超溫報警。分出現(xiàn)超溫報警。第四期工程技術(shù)人員培訓(xùn)總結(jié)報告第四期工程技術(shù)人員培訓(xùn)總結(jié)報告K465I報警故障處理案例分析（二）故障分析：根據(jù)報警信息，查詢報警表，確定故障信息。故障分析：根據(jù)報警信息，查詢報警表，確定故障信息。根據(jù)報警信息，我們可知，循環(huán)冷卻水回水溫度超過根據(jù)報警信息，我們可知，循環(huán)冷卻水回水溫度超過75時，設(shè)備將會宕機。但從時，設(shè)備將會宕機。但從實際報警信息中來看，在實

22、際報警信息中來看，在75和和95時都有報警，不知道是否為宕機溫度窗口，有時都有報警，不知道是否為宕機溫度窗口，有待查證。待查證。明確故障信息，但明確故障信息，但TC有很多，無法確定準(zhǔn)確位置，這就要借助有很多，無法確定準(zhǔn)確位置，這就要借助SQL電腦，查詢數(shù)據(jù)，電腦，查詢數(shù)據(jù)，確定故障點。確定故障點。點開點開DATAVIEW軟件，查詢數(shù)據(jù)。軟件，查詢數(shù)據(jù)。選擇選擇TC溫度記錄，對比查詢，看是否有異常數(shù)據(jù)。溫度記錄，對比查詢，看是否有異常數(shù)據(jù)。根據(jù)異常數(shù)據(jù)信息，我們得知異常點為根據(jù)異常數(shù)據(jù)信息，我們得知異常點為Confined Inlet #1 TC出現(xiàn)故障。出現(xiàn)故障。由于由于Confined Inlet #1 和和#2同為同為1路進水，路進水，1路出水?？膳懦捎谒氯斐傻脑?。路出水?？膳懦捎谒氯斐傻脑?。對比數(shù)據(jù)，發(fā)現(xiàn)對比數(shù)據(jù)，發(fā)現(xiàn)TC溫度出現(xiàn)頻繁跳動，可確定為溫度出現(xiàn)頻繁跳動，可確定為TC接觸不良導(dǎo)致的溫度跳動。接觸不良導(dǎo)致的溫度跳動。故障處理：在結(jié)束這個故障處理：在結(jié)束這個RUN的生長后，更換的生長后，更換TC，并在生長過程中，嚴禁觸碰，并在生長過程中，嚴禁觸碰TC。第四期工程技術(shù)人員培訓(xùn)總結(jié)報告第四期工程技