PECVD日常報(bào)警說(shuō)明

1、PECVDPECVD日常報(bào)警說(shuō)明日常報(bào)警說(shuō)明管式管式PECVD日常報(bào)警說(shuō)明日常報(bào)警說(shuō)明nProcess recipe has terminated with error state-Alarm ACK-(1)to store(2)to store enable unload(3)Restart recipe . n說(shuō)明：進(jìn)行中的工藝以錯(cuò)誤的狀態(tài)結(jié)束說(shuō)明：進(jìn)行中的工藝以錯(cuò)誤的狀態(tài)結(jié)束-警報(bào)確認(rèn)警報(bào)確認(rèn)-（1）儲(chǔ)存（）儲(chǔ)存（2）儲(chǔ)存并卸下（）儲(chǔ)存并卸下（3）重新開(kāi)始工藝。）重新開(kāi)始工藝。n(1)用錯(cuò)工藝號(hào)，手動(dòng)結(jié)束工藝，重新開(kāi)始新的其它工用錯(cuò)工藝號(hào)，手動(dòng)結(jié)束工藝，重新開(kāi)始新的其它工藝時(shí)進(jìn)行選擇。藝

2、時(shí)進(jìn)行選擇。n(2)多數(shù)情況下選擇此項(xiàng)。；多數(shù)情況下選擇此項(xiàng)。； n(3)工藝中斷需要重新進(jìn)行時(shí)選擇，選擇前應(yīng)查看鍍膜工藝中斷需要重新進(jìn)行時(shí)選擇，選擇前應(yīng)查看鍍膜情況。情況。1管式管式PECVD日常報(bào)警說(shuō)明日常報(bào)警說(shuō)明nBoat already in tube-select: process=0 unload=1.n說(shuō)明：石墨舟已經(jīng)在管內(nèi)說(shuō)明：石墨舟已經(jīng)在管內(nèi)-選擇選擇運(yùn)行工藝運(yùn)行工藝=0 取出卸下取出卸下=1。n當(dāng)管內(nèi)有石墨舟時(shí)，異常排除后手動(dòng)運(yùn)行工藝當(dāng)管內(nèi)有石墨舟時(shí)，異常排除后手動(dòng)運(yùn)行工藝時(shí)會(huì)出現(xiàn)這樣的提示，查看鍍膜情況后在做選時(shí)會(huì)出現(xiàn)這樣的提示，查看鍍膜情況后在做選擇。擇。2管式管式PE

3、CVD日常報(bào)警說(shuō)明日常報(bào)警說(shuō)明nLost homing, check position. n說(shuō)明：失去引導(dǎo)，檢查位置。說(shuō)明：失去引導(dǎo)，檢查位置。n此報(bào)警會(huì)自動(dòng)解除，只需要檢查一下此報(bào)警會(huì)自動(dòng)解除，只需要檢查一下槳是否在原點(diǎn)的位置即可。槳是否在原點(diǎn)的位置即可。3管式管式PECVD日常報(bào)警說(shuō)明日常報(bào)警說(shuō)明nHFGen out of 1st(2nd) tolerance. n說(shuō)明：高頻發(fā)生器超過(guò)第一（二）個(gè)位置，如果在說(shuō)明：高頻發(fā)生器超過(guò)第一（二）個(gè)位置，如果在鍍膜中退出，如已經(jīng)沉積到氮化硅，檢查鍍膜時(shí)間鍍膜中退出，如已經(jīng)沉積到氮化硅，檢查鍍膜時(shí)間后，選擇手動(dòng)工藝輸入剩余時(shí)間。后，選擇手動(dòng)工藝輸入剩

4、余時(shí)間。n通常出現(xiàn)這樣的報(bào)警有三種情況：通常出現(xiàn)這樣的報(bào)警有三種情況：n(1)石墨舟的電極孔放反。石墨舟的電極孔放反。 n(2)石墨電極內(nèi)有硅片倒落或者小碎片卡在兩片電石墨電極內(nèi)有硅片倒落或者小碎片卡在兩片電極的中間。極的中間。n(3)爐內(nèi)的碎片太多，石墨電極底部接觸到碎片形爐內(nèi)的碎片太多，石墨電極底部接觸到碎片形成兩片電極之間的短路。成兩片電極之間的短路。4管式管式PECVD日常報(bào)警說(shuō)明日常報(bào)警說(shuō)明nRecipe abort2-process abort! TO continue: enter AB. n說(shuō)明：工藝推出說(shuō)明：工藝推出-運(yùn)行終止。繼續(xù)輸運(yùn)行終止。繼續(xù)輸入入AB。n 對(duì)工藝異常確

5、認(rèn)輸入對(duì)工藝異常確認(rèn)輸入AB后，會(huì)出現(xiàn)第后，會(huì)出現(xiàn)第（一）個(gè)報(bào)警（一）個(gè)報(bào)警 5管式管式PECVD日常報(bào)警說(shuō)明日常報(bào)警說(shuō)明nVacuum tube out of 1st(2nd) tolerance. n說(shuō)明：石英管內(nèi)的真空度超過(guò)第一（二）個(gè)限說(shuō)明：石英管內(nèi)的真空度超過(guò)第一（二）個(gè)限值。值。n系統(tǒng)會(huì)對(duì)石英管內(nèi)的真空度三秒鐘檢查一次，系統(tǒng)會(huì)對(duì)石英管內(nèi)的真空度三秒鐘檢查一次，由于某種原因?qū)е鲁檎婵毡谎訒r(shí)，在特定的時(shí)由于某種原因?qū)е鲁檎婵毡谎訒r(shí)，在特定的時(shí)間內(nèi)無(wú)法達(dá)到真空設(shè)定值的要求，系統(tǒng)會(huì)出現(xiàn)間內(nèi)無(wú)法達(dá)到真空設(shè)定值的要求，系統(tǒng)會(huì)出現(xiàn)這樣的報(bào)警，檢查一下?tīng)顟B(tài)欄中的壓力值和真這樣的報(bào)警，檢查一下?tīng)顟B(tài)欄

6、中的壓力值和真空泵的工作是否正常，如正常過(guò)幾分鐘后報(bào)警空泵的工作是否正常，如正常過(guò)幾分鐘后報(bào)警會(huì)自動(dòng)解除；如果此報(bào)警連同第（八）個(gè)報(bào)警會(huì)自動(dòng)解除；如果此報(bào)警連同第（八）個(gè)報(bào)警一起出現(xiàn)的話，聯(lián)系工序長(zhǎng)和領(lǐng)班。一起出現(xiàn)的話，聯(lián)系工序長(zhǎng)和領(lǐng)班。6管式管式PECVD日常報(bào)警說(shuō)明日常報(bào)警說(shuō)明nBoat sensor of grab has changed without permission. n說(shuō)明：機(jī)械手上的傳感器被非允許移動(dòng)。說(shuō)明：機(jī)械手上的傳感器被非允許移動(dòng)。 n機(jī)械手喜愛(ài)上下移動(dòng)時(shí)不會(huì)前后移動(dòng)，若機(jī)械手喜愛(ài)上下移動(dòng)時(shí)不會(huì)前后移動(dòng)，若這時(shí)前后的位置發(fā)生變化，機(jī)械臂將會(huì)被這時(shí)前后的位置發(fā)生變化，機(jī)

7、械臂將會(huì)被鎖定，出現(xiàn)報(bào)警。此警報(bào)需要通知工序長(zhǎng)鎖定，出現(xiàn)報(bào)警。此警報(bào)需要通知工序長(zhǎng)或領(lǐng)班?；蝾I(lǐng)班。7管式管式PECVD日常報(bào)警說(shuō)明日常報(bào)警說(shuō)明nCollective alert pump st.1 n說(shuō)明：真空泵報(bào)警。說(shuō)明：真空泵報(bào)警。n一般情況下是由于真空泵的負(fù)壓太大，導(dǎo)一般情況下是由于真空泵的負(fù)壓太大，導(dǎo)致報(bào)警。如復(fù)位無(wú)效的話通知工序長(zhǎng)或領(lǐng)致報(bào)警。如復(fù)位無(wú)效的話通知工序長(zhǎng)或領(lǐng)班。班。 8管式管式PECVD日常報(bào)警說(shuō)明日常報(bào)警說(shuō)明nGas N2(SiH4、NH3)out of 1st(2nd) tolerance. n說(shuō)明：特氣氮?dú)猓ü柰椤睔猓┏^(guò)第一（二）說(shuō)明：特氣氮?dú)猓ü柰?、氨氣）超過(guò)

8、第一（二）個(gè)限值。個(gè)限值。n出現(xiàn)這種報(bào)警的原因是多面的：高頻放電失敗、出現(xiàn)這種報(bào)警的原因是多面的：高頻放電失敗、管內(nèi)的壓力不正?；蛘哂捎谀撤N原因系統(tǒng)被鎖管內(nèi)的壓力不正?；蛘哂捎谀撤N原因系統(tǒng)被鎖定（冷卻水報(bào)警），都會(huì)出現(xiàn)這樣的報(bào)警，出定（冷卻水報(bào)警），都會(huì)出現(xiàn)這樣的報(bào)警，出現(xiàn)超過(guò)第一個(gè)限值報(bào)警，只是警告；超過(guò)第二現(xiàn)超過(guò)第一個(gè)限值報(bào)警，只是警告；超過(guò)第二個(gè)限值報(bào)警出現(xiàn)后工藝會(huì)自動(dòng)停止，此時(shí)報(bào)警個(gè)限值報(bào)警出現(xiàn)后工藝會(huì)自動(dòng)停止，此時(shí)報(bào)警消失，出現(xiàn)第五個(gè)報(bào)警信息消失，出現(xiàn)第五個(gè)報(bào)警信息 9管式管式PECVD日常報(bào)警說(shuō)明日常報(bào)警說(shuō)明nWarming: check SiH4 distribution. n說(shuō)

9、明：警告說(shuō)明：警告,檢查硅烷的流量。檢查硅烷的流量。n檢查硅烷的流量是否于設(shè)定值吻合，如果檢查硅烷的流量是否于設(shè)定值吻合，如果不是退出并重新運(yùn)行工藝不是退出并重新運(yùn)行工藝 10管式管式PECVD日常報(bào)警說(shuō)明日常報(bào)警說(shuō)明nRecipe couldnt de started. please check protocol for reason.。 n說(shuō)明：工藝不能被運(yùn)行，請(qǐng)檢查原因。說(shuō)明：工藝不能被運(yùn)行，請(qǐng)檢查原因。 n原因：此管已有一個(gè)工藝在運(yùn)行；此管沒(méi)原因：此管已有一個(gè)工藝在運(yùn)行；此管沒(méi)有你要選的工藝文件；狀態(tài)不正確有你要選的工藝文件；狀態(tài)不正確 11管式管式PECVD日常報(bào)警說(shuō)明日常報(bào)警說(shuō)明n

10、There is already an active recipe form local listing. n說(shuō)明：已經(jīng)有說(shuō)明：已經(jīng)有工藝在此管的工藝列工藝在此管的工藝列表中。表中。n十一、十二倆個(gè)報(bào)警有時(shí)會(huì)一起出現(xiàn)，終十一、十二倆個(gè)報(bào)警有時(shí)會(huì)一起出現(xiàn)，終止任何一個(gè)報(bào)警都會(huì)止任何一個(gè)報(bào)警都會(huì)解除。解除。 12管式管式PECVD日常報(bào)警說(shuō)明日常報(bào)警說(shuō)明nTube ready in undefined please ensure that the CESAR loading machine is at“0” position and softlander is “UP”. n說(shuō)明：管子的狀態(tài)無(wú)法被

11、確認(rèn)，請(qǐng)確保說(shuō)明：管子的狀態(tài)無(wú)法被確認(rèn)，請(qǐng)確保CESAR接收到槳在接收到槳在“0”和和“UP”的位置。的位置。n檢查槳是否在上位和原點(diǎn)的位置，如果是的，檢查槳是否在上位和原點(diǎn)的位置，如果是的，在空槳的情況下運(yùn)行在空槳的情況下運(yùn)行homing工藝；如果不工藝；如果不是，手動(dòng)移動(dòng)槳到上位和原點(diǎn)。是，手動(dòng)移動(dòng)槳到上位和原點(diǎn)。 13管式管式PECVD日常報(bào)警說(shuō)明日常報(bào)警說(shuō)明nBoat collision. n說(shuō)明：舟被撞擊。說(shuō)明：舟被撞擊。nHandling對(duì)話框中將舟移動(dòng)到安全的對(duì)話框中將舟移動(dòng)到安全的位置；若是在上下舟，檢查一下小車和位置；若是在上下舟，檢查一下小車和儲(chǔ)存架的位置是否于舟的位置匹配

12、。儲(chǔ)存架的位置是否于舟的位置匹配。14管式管式PECVD日常報(bào)警說(shuō)明日常報(bào)警說(shuō)明nThe boat sensor has detected no boat in the grab although a boat should be in the grab. please check boat in grab sensor and try again. n說(shuō)明：雖然有一個(gè)舟在機(jī)械臂上，但傳感器測(cè)說(shuō)明：雖然有一個(gè)舟在機(jī)械臂上，但傳感器測(cè)不到，請(qǐng)檢查一下舟是否接觸到傳感器后再試不到，請(qǐng)檢查一下舟是否接觸到傳感器后再試一次。一次。n機(jī)械臂上的傳感器沒(méi)有感應(yīng)到舟，將舟放到正機(jī)械臂上的傳感器沒(méi)有感應(yīng)到舟，

13、將舟放到正確的位置即可。確的位置即可。15管式管式PECVD日常報(bào)警說(shuō)明日常報(bào)警說(shuō)明nGrab sensor undefined. No movement possible! Check boat position. n說(shuō)明：傳感器不明確，無(wú)法移動(dòng)，檢查舟的位說(shuō)明：傳感器不明確，無(wú)法移動(dòng)，檢查舟的位置。置。n機(jī)械臂不在正確的位置，無(wú)法移動(dòng)，若機(jī)械臂機(jī)械臂不在正確的位置，無(wú)法移動(dòng)，若機(jī)械臂沒(méi)有被鎖定在沒(méi)有被鎖定在Handling的界面中將機(jī)械臂移至的界面中將機(jī)械臂移至正確的位置。正確的位置。16管式管式PECVD日常報(bào)警說(shuō)明日常報(bào)警說(shuō)明nBoat position (speed) out of

14、1st(2nd) tolerance. n說(shuō)明：舟的位置（速度）超過(guò)第一（二）說(shuō)明：舟的位置（速度）超過(guò)第一（二）限值。通常會(huì)發(fā)生在退舟失敗后，手動(dòng)使限值。通常會(huì)發(fā)生在退舟失敗后，手動(dòng)使槳復(fù)位。槳復(fù)位。17管式管式PECVD日常報(bào)警說(shuō)明日常報(bào)警說(shuō)明nBoat failure . n說(shuō)明：退舟失敗。說(shuō)明：退舟失敗。n檢查舟在槳上的位置，如果正確手動(dòng)將檢查舟在槳上的位置，如果正確手動(dòng)將槳復(fù)位；如果不正確，戴上高溫手套把槳復(fù)位；如果不正確，戴上高溫手套把舟拉到正確的位置后手動(dòng)復(fù)位。舟拉到正確的位置后手動(dòng)復(fù)位。18管式管式PECVD日常報(bào)警說(shuō)明日常報(bào)警說(shuō)明nWater flow gas side st.1. n說(shuō)明：說(shuō)明：TGA（gas side ）冷卻水報(bào)）冷卻水報(bào)警。將石英管后的冷卻水流量