壓力檢測(cè)電阻應(yīng)變式傳感器

1、第二章第二章 壓力檢測(cè)壓力檢測(cè) 本章主要內(nèi)容：介紹各種壓力傳感本章主要內(nèi)容：介紹各種壓力傳感器的工作原理以及它們的應(yīng)用方法器的工作原理以及它們的應(yīng)用方法第一節(jié)第一節(jié) 壓力單位及表示方法壓力單位及表示方法一、工程上所講的一、工程上所講的“壓力壓力”就是物理學(xué)中的壓強(qiáng)；就是物理學(xué)中的壓強(qiáng)；單位：帕斯卡，千帕，兆帕單位：帕斯卡，千帕，兆帕二、壓力的幾種表示方法：二、壓力的幾種表示方法：絕對(duì)壓力大氣壓力表壓力絕對(duì)壓力大氣壓力表壓力真空度差壓真空度差壓第二節(jié)第二節(jié)電阻應(yīng)變式傳感器電阻應(yīng)變式傳感器 導(dǎo)體或半導(dǎo)體材料在外界力的作用下，導(dǎo)體或半導(dǎo)體材料在外界力的作用下，會(huì)產(chǎn)生機(jī)械變形，其電阻值也將隨著發(fā)生會(huì)產(chǎn)

2、生機(jī)械變形，其電阻值也將隨著發(fā)生變化，這種現(xiàn)象稱(chēng)為應(yīng)變效應(yīng)。變化，這種現(xiàn)象稱(chēng)為應(yīng)變效應(yīng)。 電阻應(yīng)變式傳感器主要由電阻應(yīng)變片及電阻應(yīng)變式傳感器主要由電阻應(yīng)變片及測(cè)量轉(zhuǎn)換電路等組成。測(cè)量轉(zhuǎn)換電路等組成。一、工作原理一、工作原理應(yīng)變應(yīng)變片的工作原理的工作原理 2llRAr金屬絲受拉時(shí)，金屬絲受拉時(shí)，l變長(zhǎng)、變長(zhǎng)、r變小，導(dǎo)致變小，導(dǎo)致R變大變大 。二、應(yīng)變片的工作原理二、應(yīng)變片的工作原理 設(shè)有一長(zhǎng)度為、截面積為設(shè)有一長(zhǎng)度為、截面積為A、半徑為、半徑為r、電阻率、電阻率為為 的金屬單絲，它的電阻值的金屬單絲，它的電阻值R可表示為可表示為 當(dāng)沿金屬絲的長(zhǎng)度方向作用均勻拉力（或壓力當(dāng)沿金屬絲的長(zhǎng)度方向作用

3、均勻拉力（或壓力）時(shí)，上式中）時(shí)，上式中 、r、l都將發(fā)生變化，從而導(dǎo)致電阻都將發(fā)生變化，從而導(dǎo)致電阻值值R發(fā)生變化。例如金屬絲受拉時(shí)，發(fā)生變化。例如金屬絲受拉時(shí)，l將變長(zhǎng)、將變長(zhǎng)、r變小變小，均導(dǎo)致，均導(dǎo)致R變大；又如，某些半導(dǎo)體受拉時(shí)，變大；又如，某些半導(dǎo)體受拉時(shí)， 將變將變大，導(dǎo)致大，導(dǎo)致R變大。變大。 實(shí)驗(yàn)證明，電阻絲及應(yīng)變片的電阻相對(duì)變化量實(shí)驗(yàn)證明，電阻絲及應(yīng)變片的電阻相對(duì)變化量 R R與材料力學(xué)中的軸向應(yīng)變與材料力學(xué)中的軸向應(yīng)變 x的關(guān)系在很大范圍的關(guān)系在很大范圍內(nèi)是線性的，即內(nèi)是線性的，即 2llRAr 2-1xRKRK電阻應(yīng)變片的靈敏度電阻應(yīng)變片的靈敏度微應(yīng)變微應(yīng)變() 對(duì)于不

4、同的金屬材料，對(duì)于不同的金屬材料，K K 略微不同，一般為略微不同，一般為2 2左左右。而對(duì)半導(dǎo)體材料而言，由于其感受到應(yīng)變時(shí)，右。而對(duì)半導(dǎo)體材料而言，由于其感受到應(yīng)變時(shí)，電阻率電阻率 會(huì)產(chǎn)生很大的變化，所以靈敏度比金屬材料會(huì)產(chǎn)生很大的變化，所以靈敏度比金屬材料大幾十倍。大幾十倍。 在材料力學(xué)中，在材料力學(xué)中， x = /稱(chēng)為電阻絲的軸向應(yīng)變，稱(chēng)為電阻絲的軸向應(yīng)變，也稱(chēng)縱向應(yīng)變，是量綱為也稱(chēng)縱向應(yīng)變，是量綱為1的數(shù)。的數(shù)。 x通常很小，常用通常很小，常用10-6表示之。例如，當(dāng)表示之。例如，當(dāng) x為為0.000001時(shí)，在工程中常時(shí)，在工程中常表示為表示為1 10-6或或 m/m。在應(yīng)變測(cè)量中

5、，也常將之稱(chēng)。在應(yīng)變測(cè)量中，也常將之稱(chēng)為微應(yīng)變?yōu)槲?yīng)變()。 對(duì)金屬材料而言，當(dāng)它受力之后所產(chǎn)生的軸向?qū)饘俨牧隙?，?dāng)它受力之后所產(chǎn)生的軸向應(yīng)變最好不要大于應(yīng)變最好不要大于1 10-3，即，即1000 m/m，否則有可，否則有可能超過(guò)材料的極限強(qiáng)度而導(dǎo)致斷裂。能超過(guò)材料的極限強(qiáng)度而導(dǎo)致斷裂。 應(yīng)變片用于測(cè)量力應(yīng)變片用于測(cè)量力F的計(jì)算公式的計(jì)算公式 由材料力學(xué)可知，由材料力學(xué)可知， x=F /（AE），所以），所以 R /R又又可表示為可表示為 如果應(yīng)變片的靈敏度如果應(yīng)變片的靈敏度K K 和試件的橫截面積和試件的橫截面積A A以及以及彈性模量彈性模量均為已知，則只要設(shè)法測(cè)出均為已知，則只要設(shè)法

6、測(cè)出 R R / /R R的數(shù)值的數(shù)值，即可獲知試件受力，即可獲知試件受力的大小，例如可用于電子秤的大小，例如可用于電子秤的稱(chēng)重。的稱(chēng)重。 2-2RFKRAE二、應(yīng)變片的種類(lèi)與結(jié)構(gòu)二、應(yīng)變片的種類(lèi)與結(jié)構(gòu) 應(yīng)變片可分為金屬應(yīng)變片及半導(dǎo)體應(yīng)變片兩大類(lèi)。前者應(yīng)變片可分為金屬應(yīng)變片及半導(dǎo)體應(yīng)變片兩大類(lèi)。前者可分成金屬絲式、箔式、薄膜式三種。目前箔式應(yīng)變片應(yīng)用可分成金屬絲式、箔式、薄膜式三種。目前箔式應(yīng)變片應(yīng)用較多。較多。金屬絲式應(yīng)變片使用最早，有紙基、膠基之分。由于金屬絲式應(yīng)變片使用最早，有紙基、膠基之分。由于金屬絲式應(yīng)變片蠕變較大，金屬絲易脫膠，有逐漸被箔式所金屬絲式應(yīng)變片蠕變較大，金屬絲易脫膠，有

7、逐漸被箔式所取代的趨勢(shì)。但其價(jià)格便宜，多用于應(yīng)變、應(yīng)力的大批量、取代的趨勢(shì)。但其價(jià)格便宜，多用于應(yīng)變、應(yīng)力的大批量、一次性試驗(yàn)。一次性試驗(yàn)。 箔式應(yīng)變片中的箔柵是金屬箔通過(guò)光刻、腐蝕等工藝制箔式應(yīng)變片中的箔柵是金屬箔通過(guò)光刻、腐蝕等工藝制成的。箔的材料多為電阻率高、熱穩(wěn)定性好的銅鎳合金成的。箔的材料多為電阻率高、熱穩(wěn)定性好的銅鎳合金。箔箔式應(yīng)變片與片基的接觸面積大得多，散熱條件較好，在長(zhǎng)時(shí)式應(yīng)變片與片基的接觸面積大得多，散熱條件較好，在長(zhǎng)時(shí)間測(cè)量時(shí)的蠕變較小，一致性較好，適合于大批量生產(chǎn)。還間測(cè)量時(shí)的蠕變較小，一致性較好，適合于大批量生產(chǎn)。還可以對(duì)金屬箔式應(yīng)變片進(jìn)行適當(dāng)?shù)臒崽幚恚箍梢詫?duì)金屬箔

8、式應(yīng)變片進(jìn)行適當(dāng)?shù)臒崽幚?，使其其線脹系數(shù)、線脹系數(shù)、電阻溫度系數(shù)以及被粘貼的試件的線脹系數(shù)三者相互抵消，電阻溫度系數(shù)以及被粘貼的試件的線脹系數(shù)三者相互抵消，從而將溫度影響減小到最小的程度，目前廣泛用于各種應(yīng)變從而將溫度影響減小到最小的程度，目前廣泛用于各種應(yīng)變式傳感器中。式傳感器中。箔式應(yīng)變片的外形箔式應(yīng)變片的外形半導(dǎo)體應(yīng)變片半導(dǎo)體應(yīng)變片及金屬絲及金屬絲式應(yīng)變片的結(jié)構(gòu)式應(yīng)變片的結(jié)構(gòu)半導(dǎo)體應(yīng)變片半導(dǎo)體應(yīng)變片外形外形金屬絲式應(yīng)變片的金屬絲式應(yīng)變片的內(nèi)部結(jié)構(gòu)內(nèi)部結(jié)構(gòu)應(yīng)變片主要性能指標(biāo)舉例應(yīng)變片主要性能指標(biāo)舉例 上表中，哪幾個(gè)型號(hào)是半導(dǎo)體應(yīng)變片？依據(jù)上表中，哪幾個(gè)型號(hào)是半導(dǎo)體應(yīng)變片？依據(jù)是什么？是什么

9、？ 應(yīng)變片的粘貼：應(yīng)變片的粘貼： 1. 去污：采用去污：采用手持砂輪工具除去手持砂輪工具除去構(gòu)件表面的油污、構(gòu)件表面的油污、漆、銹斑等，并用漆、銹斑等，并用細(xì)紗布交叉打磨出細(xì)紗布交叉打磨出細(xì)紋以增加粘貼細(xì)紋以增加粘貼力力 ，用浸有酒精，用浸有酒精或丙酮的紗布片或或丙酮的紗布片或脫脂棉球擦洗。脫脂棉球擦洗。 2.2.貼片：在應(yīng)變貼片：在應(yīng)變片的表面和處理過(guò)的片的表面和處理過(guò)的粘貼表面上，各涂一粘貼表面上，各涂一層均勻的粘貼膠層均勻的粘貼膠 ，用鑷子將應(yīng)變片放上用鑷子將應(yīng)變片放上去，并調(diào)好位置，然去，并調(diào)好位置，然后蓋上塑料薄膜，用后蓋上塑料薄膜，用手指揉和滾壓，排出手指揉和滾壓，排出下面的氣泡下

10、面的氣泡 。 3.測(cè)量測(cè)量 ：從分開(kāi)的端子從分開(kāi)的端子處，預(yù)先用萬(wàn)用表處，預(yù)先用萬(wàn)用表測(cè)量應(yīng)變片的電阻，測(cè)量應(yīng)變片的電阻，發(fā)現(xiàn)端子折斷和壞發(fā)現(xiàn)端子折斷和壞的應(yīng)變片。的應(yīng)變片。4.焊接：焊接： 將引線和端子將引線和端子用烙鐵焊接起來(lái)，用烙鐵焊接起來(lái)，注意不要把端子扯注意不要把端子扯斷。斷。 5.固定：固定： 焊接后用焊接后用膠布將引線和膠布將引線和被測(cè)對(duì)象固定被測(cè)對(duì)象固定在一起，防止在一起，防止損壞引線和應(yīng)損壞引線和應(yīng)變片。變片。 三、測(cè)量轉(zhuǎn)換電路三、測(cè)量轉(zhuǎn)換電路不平衡電橋不平衡電橋 金屬應(yīng)變片的電阻變化范圍很小，如果直接用歐金屬應(yīng)變片的電阻變化范圍很小，如果直接用歐姆表測(cè)量其電阻值的變化將十分

11、困難，且誤差很大。姆表測(cè)量其電阻值的變化將十分困難，且誤差很大。 例例如，有一金屬箔式應(yīng)變片，標(biāo)稱(chēng)阻值如，有一金屬箔式應(yīng)變片，標(biāo)稱(chēng)阻值R R0 0為為100100 ，靈敏度靈敏度K K=2=2，粘貼在橫截面積為，粘貼在橫截面積為9.89.8mmmm2 2的鋼質(zhì)圓柱體上，的鋼質(zhì)圓柱體上，鋼的彈性模量鋼的彈性模量E E=2=2 10101111N/mN/m2 2，所受拉力，所受拉力F F=0.2t=0.2t，受拉，受拉后應(yīng)變片的阻值后應(yīng)變片的阻值R R 的變化量?jī)H為的變化量?jī)H為0.20.2 ，所以必須使用所以必須使用不平衡電橋來(lái)測(cè)量這一微小的變化量。下面分析該橋不平衡電橋來(lái)測(cè)量這一微小的變化量。下

12、面分析該橋式測(cè)量轉(zhuǎn)換電路是如何將式測(cè)量轉(zhuǎn)換電路是如何將 R /R轉(zhuǎn)換為輸出電壓轉(zhuǎn)換為輸出電壓Uo的。的。 3i124o1234() 2-34RURRRURRRR電橋平衡的條件電橋平衡的條件 ：R1/R2=R4/R3 調(diào)節(jié)調(diào)節(jié)RPRP，最終可以，最終可以使使R R1 1 / /R R2 2 = =R R4 4/ /R R3 3（ R R1 1 、R R2 2 是是R R1 1、R R2 2并聯(lián)并聯(lián)RPRP后的后的等效電阻）等效電阻），電橋趨于，電橋趨于平衡，平衡，U Uo o被預(yù)調(diào)到零位，被預(yù)調(diào)到零位，這一過(guò)程稱(chēng)為調(diào)零。圖這一過(guò)程稱(chēng)為調(diào)零。圖中的中的R R5 5是用于減小調(diào)節(jié)是用于減小調(diào)節(jié)范圍的

13、限流電阻。范圍的限流電阻。 單臂電橋單臂電橋 全橋四臂工全橋四臂工作方式的靈敏度作方式的靈敏度最高，雙臂半橋最高，雙臂半橋次之，單臂半橋次之，單臂半橋靈敏度最低。靈敏度最低。 雙臂電橋雙臂電橋 R1、 R2為應(yīng)變?yōu)閼?yīng)變片，片， R3、R4為固定電為固定電阻阻 。應(yīng)變。應(yīng)變片片R1 、R2 感感受到的應(yīng)變受到的應(yīng)變 1 2以及以及產(chǎn)生的電阻增量正負(fù)產(chǎn)生的電阻增量正負(fù)號(hào)相間，可以使輸出號(hào)相間，可以使輸出電壓電壓Uo成倍地增大。成倍地增大。四臂全橋四臂全橋 全橋的四個(gè)橋臂都為應(yīng)變片，全橋的四個(gè)橋臂都為應(yīng)變片，如果設(shè)法使試件受力后，應(yīng)變?nèi)绻O(shè)法使試件受力后，應(yīng)變片片R1 R4產(chǎn)生的電阻增量（或產(chǎn)生的電

14、阻增量（或感受到的應(yīng)變感受到的應(yīng)變 1 4）正負(fù)號(hào)相）正負(fù)號(hào)相間，就可以使輸出電壓間，就可以使輸出電壓Uo成倍成倍地增大。上述三種工作方式中，地增大。上述三種工作方式中，全橋四臂工作方式的靈敏度最全橋四臂工作方式的靈敏度最高，雙臂半橋次之，單臂半橋高，雙臂半橋次之，單臂半橋靈敏度最低。采用全橋（或雙靈敏度最低。采用全橋（或雙臂半橋）還能實(shí)現(xiàn)溫度自補(bǔ)償。臂半橋）還能實(shí)現(xiàn)溫度自補(bǔ)償。全橋的溫度補(bǔ)償原理全橋的溫度補(bǔ)償原理 當(dāng)環(huán)境溫度升高當(dāng)環(huán)境溫度升高時(shí)，橋臂上的應(yīng)變片時(shí)，橋臂上的應(yīng)變片溫度同時(shí)升高，溫度溫度同時(shí)升高，溫度引起的電阻值漂移數(shù)引起的電阻值漂移數(shù)值一致，可以相互抵值一致，可以相互抵消，所以

15、全橋的溫漂消，所以全橋的溫漂較??；半橋也同樣能較??；半橋也同樣能克服溫漂?？朔仄?。 四、應(yīng)變效應(yīng)的應(yīng)用四、應(yīng)變效應(yīng)的應(yīng)用 應(yīng)變效應(yīng)的應(yīng)用十分廣泛。它可以測(cè)量應(yīng)變應(yīng)力、應(yīng)變效應(yīng)的應(yīng)用十分廣泛。它可以測(cè)量應(yīng)變應(yīng)力、彎矩、扭矩、加速度、位移等物理量。電阻應(yīng)變片的彎矩、扭矩、加速度、位移等物理量。電阻應(yīng)變片的應(yīng)用可分為兩大類(lèi)：應(yīng)用可分為兩大類(lèi)：第一類(lèi)第一類(lèi)是將應(yīng)變片粘貼于某些彈性體上，并將其是將應(yīng)變片粘貼于某些彈性體上，并將其接到測(cè)量轉(zhuǎn)換電路，這樣就構(gòu)成測(cè)量各種物理量的專(zhuān)接到測(cè)量轉(zhuǎn)換電路，這樣就構(gòu)成測(cè)量各種物理量的專(zhuān)用應(yīng)變式傳感器。應(yīng)變式傳感器中，敏感元件一般為用應(yīng)變式傳感器。應(yīng)變式傳感器中，敏感元

16、件一般為各種彈性體，傳感元件就是應(yīng)變片，測(cè)量轉(zhuǎn)換電路一各種彈性體，傳感元件就是應(yīng)變片，測(cè)量轉(zhuǎn)換電路一般為橋路；般為橋路；第二類(lèi)第二類(lèi)是將應(yīng)變片貼于被測(cè)試件上，然后將其接是將應(yīng)變片貼于被測(cè)試件上，然后將其接到應(yīng)變儀上就可直接從應(yīng)變儀上讀取被測(cè)試件的應(yīng)變到應(yīng)變儀上就可直接從應(yīng)變儀上讀取被測(cè)試件的應(yīng)變量。量。 應(yīng)變式力傳感器應(yīng)變式力傳感器 FFFF各種懸臂梁各種懸臂梁 各種懸臂梁各種懸臂梁 FF固定點(diǎn)固定點(diǎn)固定點(diǎn)固定點(diǎn)電纜電纜應(yīng)變片在懸臂梁上的粘貼及變形應(yīng)變片在懸臂梁上的粘貼及變形 應(yīng)變式荷重傳感器的外形及應(yīng)變片的粘貼位置應(yīng)變式荷重傳感器的外形及應(yīng)變片的粘貼位置FR1R2 R4應(yīng)變式荷重傳感器外形及

17、受力位置應(yīng)變式荷重傳感器外形及受力位置FF應(yīng)變式荷重傳感器外形及受力位置應(yīng)變式荷重傳感器外形及受力位置FF荷重傳感器原理演示荷重傳感器原理演示 荷重傳荷重傳感器上的應(yīng)感器上的應(yīng)變片在重力變片在重力作用下產(chǎn)生作用下產(chǎn)生變形。軸向變形。軸向變短，徑向變短，徑向變長(zhǎng)。變長(zhǎng)。 汽車(chē)衡汽車(chē)衡汽車(chē)衡汽車(chē)衡汽車(chē)衡汽車(chē)衡稱(chēng)重系統(tǒng)稱(chēng)重系統(tǒng)荷重傳感器計(jì)算公式荷重傳感器計(jì)算公式 當(dāng)當(dāng)KF 為常數(shù)時(shí)，橋路所加的激勵(lì)源電壓為常數(shù)時(shí)，橋路所加的激勵(lì)源電壓Ui 越高，滿量程輸出電壓越高，滿量程輸出電壓Uom也越高。也越高。 思考：綜合考慮靈敏度與功耗發(fā)熱，思考：綜合考慮靈敏度與功耗發(fā)熱， Ui 的取值范圍多少為好？的取值范

18、圍多少為好？ioommmFK UFUUFFF荷重傳感器應(yīng)用估算荷重傳感器應(yīng)用估算 例現(xiàn)用圖例現(xiàn)用圖2-8所示的荷重傳感器稱(chēng)重。當(dāng)橋路所示的荷重傳感器稱(chēng)重。當(dāng)橋路電壓為電壓為6V時(shí)，測(cè)得橋路的輸出電壓為時(shí)，測(cè)得橋路的輸出電壓為24mV，求被測(cè)，求被測(cè)荷重為多少?lài)?。荷重為多少?lài)崱?解解 從圖從圖2-8所示的荷重傳感器銘牌上得到所示的荷重傳感器銘牌上得到F m=100 103N，KF= 2mV/V，根據(jù)式（，根據(jù)式（2-5）得）得Uom=24mV。被測(cè)荷重。被測(cè)荷重 ioommmFK UFUUFFF333O3Fi100 106 1012.5 10 N 1.3t2 1024mF UFK U 荷重傳感器

19、應(yīng)用估算荷重傳感器應(yīng)用估算 在上面介紹過(guò)的汽車(chē)衡示意圖中，共使用了在上面介紹過(guò)的汽車(chē)衡示意圖中，共使用了4個(gè)個(gè)荷重傳感器，量程荷重傳感器，量程Fm =20t， 靈敏度靈敏度KF =2.5mV/V，使用使用4個(gè)獨(dú)立的橋路電源，每一個(gè)電源電壓均相等，個(gè)獨(dú)立的橋路電源，每一個(gè)電源電壓均相等， Ui =12V，四個(gè)荷重傳感器的輸出串聯(lián)，總的輸出電，四個(gè)荷重傳感器的輸出串聯(lián)，總的輸出電壓壓Uo =24mV， 請(qǐng)估算汽車(chē)的質(zhì)量。請(qǐng)估算汽車(chē)的質(zhì)量。 汽車(chē)在鋼板上有少許的前、后、左、右偏位，汽車(chē)在鋼板上有少許的前、后、左、右偏位，是否會(huì)影響測(cè)量結(jié)果？為什么？是否會(huì)影響測(cè)量結(jié)果？為什么？ ioommmFK UF

20、UUFFF荷重傳感器用于構(gòu)件的荷重傳感器用于構(gòu)件的稱(chēng)重稱(chēng)重 荷重傳感器荷重傳感器（共（共 3個(gè)，個(gè)，120度分布，以度分布，以達(dá)到均衡目的，另兩個(gè)達(dá)到均衡目的，另兩個(gè)未拍出）未拍出）底座底座墊塊墊塊電纜電纜電子秤電子秤 磅秤磅秤超市打印秤超市打印秤遠(yuǎn)距離遠(yuǎn)距離顯示顯示電子天平電子天平電子天平的精度可電子天平的精度可達(dá)十萬(wàn)分之一達(dá)十萬(wàn)分之一人體秤人體秤 吊鉤秤吊鉤秤 便攜式便攜式應(yīng)變式數(shù)顯扭矩扳手應(yīng)變式數(shù)顯扭矩扳手 可用于汽車(chē)、摩托車(chē)、飛機(jī)、內(nèi)燃機(jī)、機(jī)械制可用于汽車(chē)、摩托車(chē)、飛機(jī)、內(nèi)燃機(jī)、機(jī)械制造和家用電器等領(lǐng)域，準(zhǔn)確控制緊固螺紋的裝配扭矩。造和家用電器等領(lǐng)域，準(zhǔn)確控制緊固螺紋的裝配扭矩。量程量

21、程2500N.m，耗電，耗電10mA，有公制，有公制/英制單位轉(zhuǎn)換、英制單位轉(zhuǎn)換、峰值保持、自動(dòng)斷電等功能。峰值保持、自動(dòng)斷電等功能。壓阻式固態(tài)壓力傳感器壓阻式固態(tài)壓力傳感器 利用擴(kuò)散工藝制作的四個(gè)半導(dǎo)體應(yīng)變電阻處利用擴(kuò)散工藝制作的四個(gè)半導(dǎo)體應(yīng)變電阻處于同一硅片上，工藝一致性好，靈敏度相等，漂于同一硅片上，工藝一致性好，靈敏度相等，漂移抵消，遲滯、蠕變非常小，動(dòng)態(tài)響應(yīng)快。移抵消，遲滯、蠕變非常小，動(dòng)態(tài)響應(yīng)快。 壓阻式固態(tài)壓力傳感器的隔離、承壓膜片壓阻式固態(tài)壓力傳感器的隔離、承壓膜片 隔離、承壓隔離、承壓膜片可以將腐蝕膜片可以將腐蝕性的氣體、液體性的氣體、液體與硅膜片與硅膜片 隔離開(kāi)隔離開(kāi)來(lái)。來(lái)。 壓阻式固態(tài)壓阻式固態(tài) 壓力傳感