壓電MEMS麥克風簡介

1、WeiFang XinGang Electronics Co.,LTDMEMS麥克風工作原理 傳統(tǒng)電容式MEMS麥克風是由MEMS微電容傳感器（硅片）、微集成轉換電路(放大器)、聲腔及RF抗噪電路組成。 硅片主要由振膜和背極板上下組成,振膜可直接將接收到的音頻信號經電容傳感器原理傳輸給微集成電路, 微集成電路可將傳感器原始信號放大,同時經RF抗噪電路濾波,輸出電信號完成“聲-電”轉換過程.輸出硅振膜硅極板地RF電路電源MEMS傳感器放大器 聲源輸入轉換輸出WeiFang XinGang Electronics Co.,LTD MEMS麥克風結構示意MEMS傳感器ASIC放大器振膜極板WeiFa

2、ng XinGang Electronics Co.,LTD 壓電式MEMS麥克風工作原理 壓電MEMS麥克風是一種新型MEMS產品，其利用集成在薄膜硅材表面的壓電材料進行能量轉換。當薄膜受氣流壓迫時，薄膜進行形變并帶動壓電材質產生形變，壓電材質在物理特性改善時產生電信號進行輸出。當薄膜受連續(xù)氣流壓迫時，壓力材質 的物理特性也相應改善，與之產生連續(xù)的電信號。WeiFang XinGang Electronics Co.,LTD 壓電式MEMS麥克風結構示意壓電薄膜壓電MEMSASICWeiFang XinGang Electronics Co.,LTD 壓電MEMS麥克風優(yōu)勢壓電MEMS無需B

3、ias電壓，信號響應速度更快IP6X優(yōu)秀的防塵能力IPX7優(yōu)秀的防水能力優(yōu)秀的氣流防護能力良好的SNR可持續(xù)進化能力結構簡化，單層膜結構，產品具有極高可靠性區(qū)別與傳統(tǒng)電容式MEMS麥克風，壓電MEMS的物理材質特性以及簡潔結構，使其具備了以下優(yōu)點。WeiFang XinGang Electronics Co.,LTD MEMS麥克風信號采樣對比壓電式MEMS麥克風信號輸出延遲5uS, 電容式MEMS麥克風信號輸出延遲4.5mSWeiFang XinGang Electronics Co.,LTD MEMS麥克風防塵對比WeiFang XinGang Electronics Co.,LTD ME

4、MS麥克風防塵對比Knowles MIC: 測試后靈敏度衰減-8.4dBWeiFang XinGang Electronics Co.,LTD MEMS麥克風防塵對比ST MIC: 測試后靈敏度衰減-7.4dBWeiFang XinGang Electronics Co.,LTD MEMS麥克風防塵對比Vesper MIC: 測試后靈敏度無衰減WeiFang XinGang Electronics Co.,LTD MEMS麥克風防水測試WeiFang XinGang Electronics Co.,LTD MEMS麥克風防水測試Knowles MIC:測試后靈敏度嚴重衰減， Vesper MIC: 測試后靈敏度無衰減WeiFang XinGang Electronics Co.,LTD MEMS麥克風氣流測試 垂直氣流沖擊測試1.出風口徑針管型號19#2.壓力及時間設定氣壓范圍0.3Mpa0.6Mpa，每0.1Mpa遞增測試，每次打壓0.5s。3.測試距離固定距離0mm,4.重復測試每unit/3cycleVesper MIC: 測試后靈敏度無衰減WeiFang XinGang Electronics Co.,LTDMEMS麥克風SNR研發(fā)WeiFang XinGang Elect