真空鍍膜操作規(guī)程

1、真空鍍膜操作規(guī)程準(zhǔn)備：開啟設(shè)備總電源，穩(wěn)壓器，確認(rèn)三相供電電壓正常：370440V；開啟電容補(bǔ)償器；確認(rèn)水池冷卻水水量充足（見浮標(biāo)尺）打開循環(huán)水泵；根據(jù)工藝要求，確定是否需要啟動冷水機(jī)以及啟動幾臺冷水機(jī)；啟動前應(yīng)確認(rèn)冷水機(jī)入口水壓-3kg，內(nèi)部增壓泵旋轉(zhuǎn)正常，可采用自動或手動方式啟動；確認(rèn)各部分冷卻水循環(huán)系統(tǒng)完好，確認(rèn)擴(kuò)散泵循環(huán)水工作正常，緊急冷卻系統(tǒng)準(zhǔn)備就緒；確認(rèn)工藝氣體氣壓不低于20個(gè)大氣壓裝基膜：領(lǐng)膜：鍍膜工按生產(chǎn)任務(wù)單要求，從凈化室中領(lǐng)到基膜時(shí)，應(yīng)立即檢查該膜是否合格，有無花紋、斑點(diǎn)、劃傷、污跡，收卷是否整齊等直接觀測到的問題，如有應(yīng)立即向生產(chǎn)主管報(bào)告，以決定是否采用；裝軸：操作時(shí)必須

2、帶手套，將合格的基膜放在專用膜托架上，取一對尺寸相同的軸安裝好，安裝時(shí)請注意膜的正反面，確認(rèn)一切準(zhǔn)備就緒了，即可吊裝。吊裝時(shí)必須輕拿輕放，嚴(yán)禁碰撞，必須保持基膜水平，以免膜打滑引起螺紋狀；裝膜：確認(rèn)冷輥無冷凝水后，即可裝膜，裝膜時(shí)不要對著膜講話，以保持膜面干凈。注意不要碰透過率分析儀的探頭，裝膜時(shí)應(yīng)保證膜在冷輥的中心；按任務(wù)書車速要求設(shè)置鍍膜速度、張力；試卷：引膜完成后，手動預(yù)卷幾圈，打開張力控制器，啟動冷輥、收卷、卷膜（其中ITO膜卷12m，前檔膜和建筑膜卷20m）仔細(xì)觀察膜是否走正，啟動是否容易，冷輥是否與膜同步，走速是否平穩(wěn)，膜是否變形、起皺、劃傷等等，并及時(shí)處置，最后用記號筆在放料端畫

3、起始標(biāo)志線；按生產(chǎn)任務(wù)書要求確認(rèn)各靶位、布?xì)庀到y(tǒng)、電源配置正確，靶材量充足，確認(rèn)無其他物品遺忘在真空室內(nèi)或小車上，關(guān)閉真空室；抽真空擴(kuò)散泵預(yù)加熱（約需40分鐘）：啟動維持泵，確認(rèn)運(yùn)轉(zhuǎn)正常后，打開維持閥（燈亮），逐一打開擴(kuò)散泵；低抽：確認(rèn)真空室門已關(guān)閉啟動計(jì)算機(jī)，進(jìn)入鍍膜系統(tǒng)監(jiān)控程序，充氣閥關(guān)閉，啟動機(jī)械泵（1、2），確認(rèn)機(jī)械泵正常運(yùn)行后，開預(yù)抽閥，五分鐘后打開復(fù)合真空計(jì)，打開羅茨泵開關(guān)，（當(dāng)真空達(dá)到1500Pa時(shí)，羅茨泵允許信號燈（紅燈）亮，再延遲25秒后，羅茨泵自動啟動）；高抽：當(dāng)羅茨泵啟動五分鐘后，打開熱偶真空計(jì)，當(dāng)真空度達(dá)到5Pa時(shí)，開高閥允許信號燈（紅燈）亮，此時(shí)確認(rèn)擴(kuò)散泵預(yù)熱已完成（

4、加熱40分鐘或油窗油面達(dá)到規(guī)定位置情況下），關(guān)閉預(yù)抽閥，依次打開各前級閥，關(guān)維持閥、關(guān)維持泵。依次打開各路高閥，確認(rèn)到位開關(guān)燈亮，開始高抽。真空度進(jìn)入10-2Pa后，打開電離真空計(jì)測量高真空，直到工藝規(guī)定的背景真空，真空進(jìn)入6x10-3Pa后，打開靶電源總開關(guān)及透過率分析儀預(yù)熱，與計(jì)算機(jī)系統(tǒng)完成通訊連接；鍍膜：確認(rèn)已達(dá)背景真空，關(guān)閉電離真空計(jì)，打開冷輥、隔離槽、靶電源、冷卻水，確認(rèn)工作正常；打開所需各路供氣電磁閥，抽取殘留雜質(zhì)氣體，確認(rèn)到達(dá)背景真空，按工藝要求設(shè)置各路氣體流量，打開總氣閥、減壓閥、氣體控制器開關(guān)，用中真空計(jì)觀察工藝氣體總壓，穩(wěn)定后進(jìn)行透過率分析儀初始化整定（此時(shí)需關(guān)閉真空室照明

5、燈）；鍍膜：啟動傳動系統(tǒng)，確認(rèn)收放卷工作正常，按靶1靶5依次設(shè)置各靶鍍膜功率，關(guān)照明燈，觀察記錄透過率變化情況，開照明燈，觀察鍍膜后剩余反射光、外觀、顏色、質(zhì)量是否符合工藝要求，在穩(wěn)定工作的情況下，做好工藝記錄，不斷巡查設(shè)備運(yùn)轉(zhuǎn)狀況，合理處置各種隨機(jī)問題，鍍膜結(jié)束時(shí)，依次關(guān)閉傳動、靶電源，工藝氣體、冷卻水、（擴(kuò)散泵水除外），依次關(guān)閉各路高閥，啟動維持泵，開維持閥，依次關(guān)各路前級閥、羅茨泵、機(jī)械泵、各真空測量儀，對冷輥升溫，如不繼續(xù)鍍膜，關(guān)閉擴(kuò)散泵，保持冷卻水，降溫3小時(shí)后，關(guān)維持閥和維持泵；恢復(fù)大氣壓力：確認(rèn)冷輥高于露點(diǎn)溫度后，打開充氣閥，充氣完成后，打開真空室門；質(zhì)量檢驗(yàn)：在收卷一側(cè)壓緊輥處用記號筆標(biāo)記鍍膜終止位置橫線，對鍍膜質(zhì)量進(jìn)行必要的觀測檢驗(yàn)記錄；卸膜：將鍍膜剩余引膜收卷完畢，用吊車小心將成品膜吊裝到專用托架上，送交凈化室；七、分卷、分切、入庫保存；八、包裝、出庫、運(yùn)輸；九、特別提示：當(dāng)系統(tǒng)發(fā)生