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1、2022/7/171條紋解釋: 透射光路(透明試件): 位相物體是指忽略內(nèi)部折射效應(yīng)的透明物體。當(dāng)光線穿過此物體時(shí)將沿入射方向出射不發(fā)生偏折,但產(chǎn)生相應(yīng)的位相延遲。 2022/7/172條紋解釋: 反射光路(不透明試件): 由于觀察系統(tǒng)的孔徑是有限的,因此僅僅以試件表面上 P 點(diǎn)為中心的小區(qū)域內(nèi)的點(diǎn)對觀察記錄平面上Q點(diǎn)的光強(qiáng)有貢獻(xiàn) 。被稱為Q點(diǎn)對應(yīng)的物面Airy斑,其大小一般為微米或幾十微米量級。2022/7/173條紋解釋: 反射光路(不透明試件):, 變形前:定義靈敏度矢量:2022/7/174條紋解釋: 反射光路(不透明試件):變形后小區(qū)域內(nèi)的 M 點(diǎn)移到M點(diǎn),相應(yīng)的位置矢量由 變?yōu)?,
2、對應(yīng)的位移為 。由于區(qū)域很小,可認(rèn)為區(qū)域內(nèi)位移和子光波實(shí)振幅均為常數(shù)。合成再現(xiàn)光強(qiáng):2022/7/175反射光路(不透明試件):, 合成再現(xiàn)光強(qiáng):條紋方程: 干涉條紋實(shí)際上是位移在靈敏度矢量方向分量的等值線. 2022/7/176 靈敏度分析提高靈敏度的方法:減小照明激光的波長改變靈敏度矢量的方向,減小其與位移方向的夾角增大靈敏度矢量的大小。測試方法的靈敏度是指該法可以測量的最小物理量值。對干涉方法,一般以一階條紋對應(yīng)的被測物理量值定義為方法的靈敏度。可以由條紋方程計(jì)算物理量對條紋級數(shù)的偏微商得到?,F(xiàn)在,位移測試靈敏度為:由2022/7/177反射光路(不透明試件):靈敏度矢量:定義: 方向:沿 夾角的平分線方向。大?。?與 的夾角有關(guān)。夾角越小靈敏度矢量的模越大,靈敏度越高 。當(dāng) 同向時(shí),達(dá)到最大值 2 。光路布置原則: 的夾角越小越好靈敏度矢量 與位移矢量的夾角越小越好 2022/7/178實(shí)例1:薄方板受純扭 SZXQ122022/7/179實(shí)例 2:討論如下條件下得到的再現(xiàn)全息圖的干涉條紋形狀: 試件被與表面法線成60度方向的準(zhǔn)直相干光照明,再現(xiàn)時(shí)沿表面法線方向準(zhǔn)直觀察,平板試件做如下運(yùn)動面內(nèi)剛體平移離面剛
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