平板顯示技術(shù)：Color Filter基礎(chǔ)培訓(xùn)資料

1、Color Filter基礎(chǔ)培訓(xùn)資料第一章 CF的基本原理和結(jié)構(gòu) CF（Color Filter）是用來實現(xiàn)彩色顯示的主要器件，在色光中存在三種最基本的色光，它們的顏色分別為紅色、綠色和藍色。這三種色光以不同比例混合，幾乎可以得到自然界中的一切色光；而且這三種色光具有獨立性，其中一種原色不能由另外的原色光混合而成，由此，我們稱紅、綠、藍為色光三原色。在TFT-LCD中， ARRAY基板上每個TFT控制一個亞像素（也叫子像素，Sub-pixel)上方的液晶分子的扭曲程度，以此來調(diào)整亞像素的透光量；每三個亞像素分別透過紅光、綠光和藍光，并合成一個顯示像素（Pixel)。由于每個像素透過的紅光、綠光

2、和藍光的比例都是不同的，因此合成的顏色也是不同的，從而形成彩色顯示。液晶盒的基本結(jié)構(gòu)見下圖所示：其中CF的基本構(gòu)成為BM層，RGB色層，Over Coat層，ITO導(dǎo)電層及支撐盒厚的隔墊物。玻璃基板配向膜偏光片玻璃基板偏光片液晶層彩色層薄膜晶體管黑矩陣保護層ITO導(dǎo)電膜第一章 CF的基本原理和結(jié)構(gòu)第二章 CF制法分類和工藝流程 彩膜的制造工藝一般有染色法、電沉積法、印刷法、噴墨法和顏料 分散法。各工藝的簡單流程如下圖所示：染色法電沉積法印刷法顏料分散法GelatinhITOResisth感光性color Resisth噴墨法比較項目染色法電沉積法印刷法噴墨法顏料分散法著色劑染料顏料顏料染料/顏

3、料顏料成膜膜厚1.0 2.5 1.5 2.5 1.0 3.0 1.0 2.5 1.5 2.5 分辨率1020 1020 5080 1020 1020 色 特性非常優(yōu)秀普通優(yōu)秀優(yōu)秀優(yōu)秀耐熱性普通優(yōu)秀優(yōu)秀普通優(yōu)秀耐光性普通非常優(yōu)秀非常優(yōu)秀普通非常優(yōu)秀耐化學(xué)性 不好優(yōu)秀優(yōu)秀優(yōu)秀優(yōu)秀平坦性優(yōu)秀非常優(yōu)秀不好普通優(yōu)秀大型化的可能性優(yōu)秀普通不好不好優(yōu)秀第二章 CF制法分類和工藝流程 各種制法的特點比較見下表。 現(xiàn)在國際上被廣泛使用的是顏料分散法。依據(jù)不同顯示模式顏料分散法的工藝流程也有所區(qū)別，見下表所示：第二章 CF制法分類和工藝流程ModeProcess Flow ChartTNMVAPVAIPSFFSB

4、MRGBITOPSBMRGBITOPSRibBMRGBOCPSITO EtchingRearITO BMRGBOCPSRearITO BMRGBOCPS第二章 CF制法分類和工藝流程第二章 CF制法分類和工藝流程 TN模式的制造工藝是最基礎(chǔ)的，下面詳細介紹其工藝流程：第二章 CF制法分類和工藝流程曝光PW玻璃清洗顯影R光阻涂布RPR+PRBM光阻涂布顯影G光阻涂布GPR曝光曝光顯影B光阻涂布BPR曝光顯影O/CO/CSputteringITOPS光阻涂布PS PR曝光顯影CF成品第二章 CF制法分類和工藝流程ITEMMain Process ConditionControl ItemClean

5、ingType: Brush， CJ，UV；Flow；Pressure；Particle NumberCoatingCoating Type: Spin or Spin/Slit or Slit； Coating Speed ；Film Thickness& UniformityPre BakeTemperature；Time；PR StiffnessExposureGap；Dose；Temperature；Accuracy, Total PitchDeveloperChemical Type& Concentration: KOH, Na2CO3 ； Temperature；Time；PR

6、residualPost BakeTemperature；Time；Adhesive Force Between Glass and PRSputteringTemperature；Pressure；Power；Vacuum levelFilm Thickness; Transmittance; ResistanceNo設(shè)備中文名稱1Coater涂布機2Exposure曝光機3Sputter濺射機4 Cleaner清洗機5Developer顯影機6Developer Concentration Adjust Unit顯影液濃度調(diào)整裝置7HP/CP熱盤/冷盤(前烘設(shè)備)8Post Bake后烘設(shè)

7、備9Repair維修機10Pattern Repair圖形修正機11Rework再加工設(shè)備12 Rework Marking再加工記數(shù)器13Titler打標(biāo)機14UV Asher紫外灰化設(shè)備15 Eximer UV紫外清洗設(shè)備16Glass Corner Cut玻璃加工機17Cassette Cleaner玻璃載盒清洗機18Mask Cleaner掩膜板清洗機第三章 CF主要設(shè)備介紹:Process裝置No設(shè)備中文名稱19Thin film Difference Measurement薄膜段差計20Film Thickness Conveyor膜厚檢查傳送機21CD&TP精密測長機22AOI全

8、數(shù)檢查機23Review, Micro外觀檢查機 24Mask Inspection掩膜板檢查機25MCPD/OD顯微分光光度計26PS Inspection隔墊物高度檢查機27Sheet Resistance方塊電阻測量器28Macro, Visual Inspection目視檢查機29Orientation Flat Inspection方向別平坦度檢查機30Glass Crack Inspection玻璃裂痕檢查機31Stocker, loader, Unloader, AGV玻璃載荷搬送系統(tǒng)32Unpack (Dens Pack)拆包機33Conveyor, Robot玻璃搬送系統(tǒng)34

9、Cassette MGV玻璃載荷手動搬送車35Sheet MGV玻璃手動搬送車36Cassette, Wire Cassette玻璃載荷第三章 CF主要設(shè)備介紹:檢測和物流裝置No設(shè)備No設(shè)備37AFM(原子力顯微鏡)55SCRATCH TESTER38FE-SEM(場發(fā)射掃描電鏡）56光學(xué)顯微鏡39FIB-SEM(聚焦粒子束掃描電鏡)57実體燎微鏡40EDX (x熒光光譜儀 )58實驗用表面粗糙器41恒溫恒濕器59實驗用膜厚測定器42低溫試驗器60Small MCPD43熱處理器61顕微44熱處理器(N2)62電子天平45熱衝擊實驗機63Heater PHH-20146Xe weater meter64接觸角測定器47UV Lamp(254nm)65MULTI HOT PLATE48曝光機66Xenon Fade Meter49DYNAMIC硬度計67Refrige