現(xiàn)代制造技術(shù)第3章-精密加工和超精密加工課件

1、第三章精密加工和超精密加工3.1精密、超精密加工基本概念3.1.1基本概念3.1.2分類3.1.3工藝特點3.2精密切削加工3.2.1精密切削加工概念3.2.1精密、超精密切削加工應用實例3.3精密磨削加工3.3.1精密磨削加工概念3.3.2精密磨削加工工藝3.3.3精密磨削加工實例3.4珩磨3.4.1珩磨的概念3.4.2珩磨的工藝特點3.4.3珩磨的用途3.5超精研目錄3.5.1超精研概念3.5.2超精研切削過程3.5.3超精研的應用3.6研磨3.6.1研磨的概念3.6.2超精密研磨3.7納米加工3.7.1原子、分子加工單位的加工方法3.7.2原子、分子加工單位的超精密微細加工方法分類3.7

2、.3原子、分子加工單位加工方法的應用3.8精密圓柱齒輪加工3.8.1齒輪精度要求3.8.2精密齒輪圓柱加工方法3.9基于微機器人的超精密加工技術(shù)3.9.1微機器人在超精密加工領(lǐng)域中的應用3.9.2宏-微結(jié)合的驅(qū)動方式3.9.3機床與微機器人技術(shù)結(jié)合3.9.4掃描隧道顯微鏡3.1 精密、超精密加工基本概念3.1.1 概念 隨著現(xiàn)代工業(yè)的不斷發(fā)展，精密加工和超精密加工在機械、電子、輕工及國防等領(lǐng)域已占有愈來愈重要的地位。從一般意義上講，精密加工是指在一定的發(fā)展時期，加工精度和表面質(zhì)量達到很高程度的加工工藝。超精密加工是指加工精度和表面質(zhì)量達到極高程度的精密加工工藝。3.1.2 分類1一般加工一般指

3、加工精度在1左右，相當于在IT57級精度，表面粗糙度Ra值在0.20.8的加工方法，如車、銑、刨、磨、鉸等。適用于汽車、拖拉機制造等工業(yè)。2. 精密加工 一般指加工精度在0.10.01，相當于IT5級精度和5級精度以上，表面粗糙度Ra值在0.1以下的加工方法，如金剛車、金剛鏜、研磨、珩磨、超精研、砂帶磨、鏡面磨削和冷壓加工等。3超精密加工超精密加工是指被加工零件的尺寸公差為0.001數(shù)量級，表面粗糙度Rz為0.001數(shù)量級的加工方法，加工中所使用的設(shè)備，其分辨率和重復精度應為0.01數(shù)量級。目前，超精密加工的精度正從微米工藝向納米工藝提高。微米工藝是指精度為1102的微米、亞微米級工藝，而納米

4、工藝是指精度為10-210-3的納米級工藝（1103nm,nm稱納米）。3.1.3 工藝特點1精密加工和超精密加工都是以精密元件為加工對象，與精密元件密切結(jié)合而發(fā)展起來的。2精密加工和超精密加工不僅要保證很高的精度和表面質(zhì)量，同時要求有很高的穩(wěn)定性或保持性，不受外界條件變化的干擾，因此，要注意以下幾個方面：（1）工件材料本身的均勻性和性能的一致性，不允許存在內(nèi)部或外部的微觀缺陷，甚至對材料組織的纖維化有一定要求，如精密磁盤的鋁合金盤基就不允許有組織纖維化，精密金屬球也是一樣。（2）要有嚴格的加工環(huán)境，精密加工和超精密加工大多在恒溫室凈化間中工作，其凈化要求為100級，溫度要求達200.006。

5、同時要有防振地基及其他防振措施。（3）精密加工設(shè)備本身不僅有很高的精度，并且在設(shè)備內(nèi)部采用恒溫措施，逐漸形成獨立的加工單元。如某些精密機床整個在一個大罩內(nèi)，罩內(nèi)保持恒溫。（4）要合理安排熱處理工藝。精密加工和熱處理工藝有密切關(guān)系。時效、冰冷處理等是使工件精度穩(wěn)定的有效措施。3精密測量是精密加工的必要條件，沒有相應的精密測量手段，就不能科學地衡量精密加工所達到的精度和表面質(zhì)量。4現(xiàn)代精密加工常常與微細加工結(jié)合在一起，要有與精度相適應的微量切削，因此出現(xiàn)了一系列的精密加工和微細加工的方法，如金剛石精密車削、精密拋光、彈性發(fā)射加工、機械化學加工以及電子束、離子束等加工方法。3.2 精密切削加工3.2

6、.1 精密切削加工 精密、超精密切削加工主要是利用立方氮化硼（CBN）、人造（聚晶）金剛石和單晶金剛石刀具進行的切削加工。3.2.2 精密、超精密切削加工應用實例尖端產(chǎn)品和現(xiàn)代化武器依賴于超精密加工，如：(1)導彈的命中精度，由慣性儀決定，而慣性儀是超精密加工產(chǎn)品，1Kg重的陀螺轉(zhuǎn)子，其質(zhì)量中心偏離其對稱軸0.5nm，會引起100m的射程誤差和50m的軌道誤差；(2)哈脖望遠鏡重量達900Kg的大型反射鏡的加工(3)精密雷達、精確制導、電子對抗、TMD、NMD、間諜衛(wèi)星等(4)人造衛(wèi)星儀表軸承(5)紅外導彈中紅外線反射鏡(6)超小型計算機等(7)海灣戰(zhàn)爭、克索沃戰(zhàn)爭、伊拉克戰(zhàn)爭中美國及其盟國武

7、器系統(tǒng)中大部分與超精密加工技術(shù)有關(guān)。如：精密雷達、精確制導、電子對抗、隱形飛機、夜戰(zhàn)能力、間諜衛(wèi)星、紅外制導等。(8)美國及其盟國的勝利在某種意義上看，可以說是高技術(shù)戰(zhàn)爭、是高科技的勝利。沒有超精密加工技術(shù)，就沒有真正的國防工業(yè)。大規(guī)模集成電路依賴于微細加工：集成度與最小線條寬度,如表3-3。 表3-3分類名稱單元芯片上的單元邏輯門路數(shù)單元芯片上的電子元件數(shù)最小線條寬度（m）小規(guī)模集成電路10121008中規(guī)模集成電路1210010010006大規(guī)模集成電路100104100010636超大規(guī)模集成電路1041050.12.5各種民用產(chǎn)品計算機磁盤基片、錄像機磁鼓、激光反射鏡隱形眼睛、光盤、各

8、種天文望遠鏡顯微鏡、光學儀器、復印機等3.3.1 精密磨削加工磨削后使工件尺寸公差小于10，表面粗糙度Ra值小于0.1的磨削通常稱為精密磨削?，F(xiàn)代高精度磨削技術(shù)的發(fā)展，使磨削尺寸精度達到0.10.3， 表面粗糙度達 Rz0.20.05 。 磨削表面變質(zhì)層 和殘留應力均甚 小，明顯提高了 加工零件的質(zhì)量。精密磨削加工3.3 精密磨削加工3.3.2 精密磨削加工工藝1）工件在磨削前要修研中心孔，使其表面的接觸要足夠多。2）砂輪的修整要仔細，作好砂輪靜、動平衡。3）磨削前要使機床進行空轉(zhuǎn)，使機床各項性能都處于穩(wěn)定狀態(tài)，再進行磨削加工。4）磨削時嚴格控制徑向進給，機床刻度不準時，在徑向可裝上千分表來進

9、行控制。5）切削液要進行很好的過濾和定期更換，一定保持清潔，避免污物、雜物劃傷表面。3.3.3 精密磨削加工實例1）圓柱形鏡面磨削加工方法：磨削速度選V=2535m/s，粗磨時fr=0.020.07mm，精磨時fr=310m；當用油石研、拋時，V=1050m/min，材料的去除速度為0.1m1m/min。超精磨削可達到0.01m的圓度和Ra 0.002m的表面粗糙度。2）平面形鏡面的磨削加工：平面形鏡面的加工主要采用磨削和研拋工藝方法來加工，目前此法所能達到的最高平面度0.2m/300mm，表面粗糙度Ra1nm。3.4 珩磨3.4.1 珩磨 珩磨是利用珩磨工具對工件表面施加一定的壓力，珩磨工具

10、同時作相對旋轉(zhuǎn)和直線往復運動，切除工件上極小余量的一種光整加工方法。3.4.2 珩磨工藝特點 珩磨加工是一種使工件加工表面達到高精度、高表面質(zhì)量、高壽命的一種高效加工方法?？捎行У靥岣叱叽缇?、形狀精度和減小Ra值，但不能提高孔與其他表面的位置精度。 可加工鑄鐵件、淬硬和不淬硬鋼件及青銅件等，但不宜加工韌性大的有色金屬件。 珩磨主要用于孔加工。在孔珩磨加工中，是以原加工孔中心來進行導向。加工孔徑范圍為5 500，深徑比可達10。 珩磨廣泛用于大批大量生產(chǎn)中加工汽缸孔、油缸筒、閥孔以及多種炮筒等。亦可用于單件小批生產(chǎn)中。珩磨時同軸度無法確定。珩磨與研磨相比，珩磨具有可減輕工人體力勞動、生產(chǎn)率高、

11、易實現(xiàn)自動化等特點。3.4.3珩磨的用途 珩磨主要用于加工孔徑為5500毫米或更大的各種圓柱孔，如缸筒、閥孔、連桿孔和箱體孔等，孔深與孔徑之比可達10，甚至更大。在一定條件下，珩磨也能加工外圓、平面、球面和齒面等。圓柱珩磨的表面粗糙度一般可達Ra0.320.08微米，精珩時可達Ra0.04微米以下,并能少量提高幾何精度,加工精度可達IT74。平面珩磨的表面質(zhì)量略差。 3.5 超精研3.5.1 超精研 超精研是在良好的潤滑冷卻和較低的壓力條件下，用細粒度油石以快而短促的往復振動頻率，對低速旋轉(zhuǎn)的工件進行光整加工，它是一種用以降低工件表面粗糙度值的簡單而高生產(chǎn)率的方法。超精研加工3.5.2 超精研

12、切削過程 超精研的切削過程與磨削、研磨不同，當工件粗糙表面磨去之后，油石能自動停止切削，超精研大致分為四個階段：1）初期切削階段當油石開始同比較粗糙的工件表面接觸時，雖然壓力不大，但實際接觸面積小，壓強較大，因而工件與油石之間不能形成完整的潤滑油膜；加之油石磨粒的切削方向經(jīng)常變化，磨粒破碎的機會較多，油石的自勵性好，所以切削作用較強。2）正常切削階段當少數(shù)凸峰磨平后，接觸面積增加，壓強降低，油石磨粒不再破碎、脫落而進入正常切削階段。3）微弱切削階段隨著接觸面積逐漸增大，壓強進一步降低，油石磨粒已經(jīng)變鈍，切削作用微弱，細小的切屑形成氧化物而嵌入油石的氣孔內(nèi)使油石表面逐漸變光滑，油石從微弱的切削過

13、渡到對工件表面起研磨拋光作用。4）停止切削階段油石和工件表面已很光滑，接觸面積大為增加，壓強很小，磨粒已不能穿破工件表面的油膜，工件與油石之間有油膜，不再接觸，切削作用停止。3.5.3 超精研的應用超精研廣泛用于加工內(nèi)燃機的曲軸、凸輪軸、刀具、軋輥、軸承、精密量儀及電子儀器等精密零件；能對不同的材料如鋼、鑄鐵、黃銅、磷青銅、鋁、陶瓷、玻璃、花崗巖等進行加工，能加工外圓、內(nèi)孔、平面及特殊輪廓表面等。3.6 研磨3.6.1 研磨 研磨是一種簡便可靠的精密加工方法，研磨后的表面的尺寸誤差和幾何形狀誤差，在研具精度足夠高的情況下可以小到0.10.3，表面粗糙度可達Ra0.040.01。在現(xiàn)代工業(yè)中往往

14、采用研磨作為加工最精密和最光潔的零件的終加工方法。3.6.2 超精密研磨超精密研磨是一種加工精度達0.1以下，表面粗糙度Ra在0.02以下的研磨方法。3.7 納米加工3.7.1 原子、分子加工單位的加工方法 在進行納米級加工時，要求精度為1nm，這時，必須用比它小一個數(shù)量級的尺寸作為加工單位，即用0.1nm的大小為加工單位，這就是原子、分子加工單位的精密加工。目前，這類加工主要是用電子束或離子束加工大規(guī)模集成電路芯片，以得到線寬從0.5到0.1的超密型線路。3.7.2 原子、分子加工單位的超精密微細加工方法分類：1. 分離（去除）加工分離（去除）加工就是從工件上分離（去除）分子或原子，這需要很

15、大能量，所需能量可用臨界加工能量密度（單位為Jcm3）或單位體積切削能量（單位為J/cm3）來表示。臨界加工能量密度就是當應力超過材料彈性極限時，在與各加工單位相對應的空間內(nèi)，材料由于微觀結(jié)構(gòu)的缺陷而產(chǎn)生破壞時的臨界彈性能量密度；而單位體積切削能量則是指在產(chǎn)生該加工單位切屑時，消耗在單位體積上的加工能量。由于材料微觀結(jié)構(gòu)的缺陷，實際的臨界加工能量密度和單位體積切削能量比理論值要低得多。 材料微觀結(jié)構(gòu)缺陷通常有：晶體缺陷、點缺陷、位錯（晶格位移）缺陷和微裂紋、晶界空隙、裂紋和缺口。 分離（去除）加工的方法有電子束加工、激光加工、熱射線加工和離子濺射加工等，也包括單晶金剛石精密切削、超精密拋光、電

16、解加工等。2. 沉積和結(jié)合加工 沉積和結(jié)合加工與分離（去除）加工相反，它是把分子或原子沉積覆在工件表面上，或者與工作表面結(jié)合，形成新的化合物。其加工方法有化學鍍、電鍍、陽極氧化、分子束外延、燒結(jié)、摻雜、滲碳、離子鍍、離子束外延、離子束沉積、離子注入等。3. 變形加工 變形加工是利用熱表面流動、摩擦流動、粘滯性流動等使工件表面產(chǎn)生變形。其加工方法有利用氣體火焰、高頻電流、熱射線、電子束、激光等的熱流加工；液體、氣體流加工（拋光）和微粒子流加工（拋光）等。3.7.3 原子、分子加工單位加工方法的應用(1) 電子束加工 電子束加工是利用電子束的高能量密度直接進行打孔、切槽等熱加工。電子是一個非常小的

17、粒子（半徑為2.810-13cm），質(zhì)量也很?。?10-29g ），但其能量很高（達幾千keV），而且電子束可以聚焦到直徑12，因此有很高的能量密度。高能量的電子會透入表面層達幾微米至幾十微米，并以熱的形式傳輸?shù)较喈敶蟮膮^(qū)域，所以在精密加工和超精密加工時應給予充分的注意。(2) 離子束加工離子束加工被認為是極有前途的超精密加工方法。這種方法是利用氬（Ar）離子或其他帶有10keV數(shù)量級動能的惰性氣體離子，在電場中加速，以其動能轟擊工件表面而進行的加工。有時也稱這種方法為“濺射”。3.8 精密圓柱齒輪加工3.8.1 齒輪精度要求從齒輪的整個技術(shù)要求來說有：幾何精度、表面粗糙度、耐磨性、強度及抗蝕

18、性等。從單個齒輪的傳動精度要求來說有四個綜合性指標。 1. 運動精度 要求能準確地傳遞運動，即傳動比恒定，在齒輪一轉(zhuǎn)中，轉(zhuǎn)角誤差不超過一定限度。精密齒輪加工2. 工作平穩(wěn)性工作平穩(wěn)性影響局部傳動比的變動量i，使齒輪傳遞運動不平穩(wěn)，產(chǎn)生沖擊，振動和噪聲。影響工作平穩(wěn)性的因素有齒形誤差和基節(jié)偏差等。其誤差大都具有短周期特性。3. 齒接觸精度齒接觸精度影響載荷分布的均勻性，否則造成應力集中和局部磨損，要求有一定的實際接觸面積對理想接觸面積的百分比和接觸位置。 對單個齒輪來說，齒接觸精度的檢驗只有一項，即齒向誤差F及公差F。4. 齒側(cè)間隙 齒輪傳動時要求相嚙合的兩齒非工作面間有一定的間隙，以儲存潤滑油

19、，補償溫度變形和彈性變形，以及制造和安裝中的一些誤差。在單個齒輪上通常是適當?shù)販p小齒厚。3.8.2 精密圓柱齒輪加工方法1. 齒面形成的三種加工方法 為了便于研究齒輪加工過程中的精度問題，根據(jù)運動特征，將齒面加工歸結(jié)于三種加工方法： (1) 包絡(luò)法 齒面由刀具的生產(chǎn)面（切削刃）的包絡(luò)線形成，如用成形銑刀切削斜齒輪或蝸桿，要配合著單個分度，才能切出所有齒。(2) 展成法 展成法是包絡(luò)法的特殊情況，這時刀具生產(chǎn)面和工件有相對運動，是一個圓在一個平面上作無滑動的滾動。展成法又可分為兩種。1）強迫對滾：連續(xù)強迫對滾：如滾齒、插齒、車齒等，刀具和工件之間的相對運動是由機床傳動系統(tǒng)強迫保證的。帶單個分度的

20、強迫對滾：如用齒條形砂輪磨齒。 2）自由對滾：如剃齒、研齒、珩齒等，工件是由刀具帶動而對滾，工件本身處于可自由回轉(zhuǎn)狀態(tài)。(3) 成形法 齒面由刀具生產(chǎn)面直接形成，即齒面與刀具生產(chǎn)面的接觸線和刀具生產(chǎn)面的截面重合。如用成形銑刀（盤狀或指狀）銑削直齒輪，一般帶有單個分度，但也可以不用分度。如拉削扇形齒輪，用插齒頭插，這時可同時加工全部的輪齒。加工時，工件裝于主軸上作軸向往復運動，插齒頭各刀具同時作進給運動和移讓運動。這種方法用于大量生產(chǎn)中加工精度不高的齒輪。2. 精密齒輪加工工藝 按照齒輪傳動精度的要求，齒輪可分為：超精密（4級以上）、精密（5、6級）、普通精度（7、8級）和低精度（9級到12級）

21、四種。1、2、3級留作儲備。 精密齒輪加工工藝可分為齒坯加工和齒形加工兩個階段，齒坯加工比較簡單，其關(guān)鍵是保證內(nèi)孔和外圓的同軸度、端面和內(nèi)孔中心的垂直度。齒形加工則比較復雜，可根據(jù)淬硬和非淬硬齒輪分別采用下列工藝路線。(1) 淬硬齒輪： A.精滾淬火磨齒（36級）； B.精滾（或精插）剃齒淬火珩齒（一般僅適于6級）。(2) 非淬硬調(diào)質(zhì)齒輪： A.精滾（精密滾齒機可切出45級精度的齒輪，這時材料可在精滾前調(diào)質(zhì)）； B.精滾剃齒珩齒（精滾前調(diào)質(zhì)）； C.精滾調(diào)質(zhì)磨齒。(3) 精密齒輪加工中的關(guān)鍵問題有： 1）齒形精度及齒面的表面粗糙度。 2）精度的穩(wěn)定性，要注意熱處理工藝，防止產(chǎn)生殘余奧氏體。 3

22、）要保證定位、裝配的內(nèi)孔和齒面的同軸度，一般在熱處理后，先應以齒面定位磨內(nèi)孔，再以內(nèi)孔定位加工齒形。滾齒滾齒精度分析應注意的問題1）在精密加工和超精密加工中，滾齒精度的關(guān)鍵是滾齒機的精度，特別要注意傳動鏈的精度、剛度和熱變形的影響。2）在眾多影響滾齒精度的因素中，應注意主要因素，還有些因素可能互相抵消，因此可用概率法來綜合。3）分析精度問題可以從刀具、機床、工件等方面著手，這種方法比較直接，便于改進刀具和機床結(jié)構(gòu)。對于齒輪來說，也可以從運動精度、工作平穩(wěn)性、接觸精度、齒側(cè)間隙等幾個方面來分析。這樣可以針對某一問題來尋找和分析原因。4）精密齒輪的最終加工是在精密滾齒機、精密磨齒機等關(guān)鍵設(shè)備上進行

23、，這些設(shè)備是十分寶貴的，而且多半是工廠自己生產(chǎn)，有自己獨特的技術(shù)。例如：精密滾齒機的關(guān)鍵零件是精密蝸輪和精密蝸桿，它們分別有專門的機床進行加工，而精密滾齒機本身又設(shè)計有校正機構(gòu)，來提高其傳動鏈精度。5）精密滾齒應注意工作環(huán)境，一般都應在恒溫室進行，并配以精密測量。插齒插齒加工 插齒也是一種廣泛應用的齒形加工方法，常與滾齒并提。它相當于一對圓柱齒輪嚙合，插齒刀相當于一個變位齒輪。插齒時，有插齒刀上下往復運動，往下是切削；有讓刀運動，即插齒刀向上時，工件或刀具在徑向退讓一個距離，以防止刀具擦傷已加工面；有展成運動，還有徑向進給運動。插齒加工的特點 插齒和滾齒相比，在加工質(zhì)量，表面粗糙度，生產(chǎn)率和應

24、用范圍等方面都有其特點。加工質(zhì)量（1）插齒的齒形精度比滾齒高（2）插齒后齒面的粗糙度比滾齒細（3）插齒的運動精度比滾齒差（4）插齒的齒向誤差比滾齒大 2. 表面粗糙度分析 插齒的表面粗糙度和波度值比滾齒的小。因為插齒相當于刨齒，滾齒相當于銑齒。對齒面來說，插齒時切削是連續(xù)的。滾齒時，由于刀槽數(shù)量有限，齒形的多邊棱角形較大，插齒時，插齒刀的上下往復運動次數(shù)可隨工件周向進給速度的減小而相對增加，因而可以減小多邊棱角，降低表面粗糙度Rz值。實際上，插齒刀上下往復運動的速度不變，只改變范成運動的速度。3. 生產(chǎn)率分析 一般來說滾齒的生產(chǎn)率高于插齒的生產(chǎn)率，因為插齒是往復運動，回程不切削。插齒系統(tǒng)剛度較

25、低，切削用量不能太大。對于小模數(shù)齒輪（m2.5mm），插齒的生產(chǎn)率可能高于滾齒。對于薄齒輪，單件生產(chǎn)時，滾齒的切入長度大，可能生產(chǎn)率不及插齒。插齒的生產(chǎn)率可從以下幾方面來提高：（1）高速插齒。目前一般插齒機的插齒刀往復運動的速度為每分鐘幾百次，高速插齒機可提高到每分鐘12001500次。但由于是往復運動，會受到慣性和振動的限制。（2）可提高周向進給量。這和齒形精度有矛盾。另外隨著周向進給量的增加，讓刀量也要增加。（3）多件加工。對于薄工件可以幾件疊在一起加工。（4）循環(huán)工位加工，將安裝工件的時間和機工時間重合起來，采用轉(zhuǎn)位的方法上料。還可以雙主軸插齒機同時加工兩個工件。4. 應用范圍（1）插齒

26、可加工內(nèi)齒輪和齒條（有專門的插齒刀插齒條機床），滾齒卻不能。（2）插齒刀加工多聯(lián)齒輪時，齒輪間的空刀可較小，而滾刀則需較大空間。（3）插齒刀加工扇形齒輪時比滾齒生產(chǎn)率高，滾齒的空程損失太大。（4）插齒刀有專門附件時能加工斜齒輪，即插齒刀上有螺旋導套使它在上下往復運動時附加一個往復回轉(zhuǎn)運動，而滾刀加工斜齒輪則比較方便，一般多用滾刀加工斜齒輪。（5）滾刀可以加工蝸輪，因為它可以徑向進給，插齒刀卻不能加工蝸輪。剃齒剃齒加工 剃齒時工件和剃齒刀之間的相對運動是作斜齒輪副運動，剃齒刀是一個在齒面上開有許多小溝槽（切刃）的斜齒輪，在與工件作斜齒輪副的嚙合時，依靠齒面的滑動而獲得切削作用。剃齒加工剃齒精度分

27、析 剃齒是自由對滾，從剃齒刀到工件之間無剛性傳動鏈，因此它對精度的校正能力總的來說是有限的。(1) 對齒圈徑向跳動有一定的校正能力。(2) 對齒距累積誤差的校正能力很小。(3) 對基節(jié)偏差的校正能力較強。(4) 對齒形誤差的校正能力(5)對齒向誤差的校正能力較強剃齒方法 為了提高剃齒的精度和生產(chǎn)率，有幾種普通剃齒方法的演變。(1) 桶形齒剃削桶形齒在全齒寬上是中間厚、兩端薄，這種桶形齒的齒輪在裝配時，可以減小由于軸心線偏斜所引起的不良嚙合，因而可以減小齒輪噪聲。在剃削過程中，工作臺往復運動時依靠機床上滑塊和斜槽的作用，使工作臺產(chǎn)生擺動，從而使工件的兩端齒面多剃掉一些，形成桶形齒。(2) 對角線

28、剃齒、切向剃齒及徑向剃齒 普通剃齒時，工作臺是沿工件軸向往復運動，一般往復行程長L=B工+12mm，式中B工為工件的寬度。這種軸向剃齒法的剃齒刀工作部分僅在其齒寬中部附近的一圈，因而刀具磨損不均勻，影響剃齒刀壽命(3) 精車剃齒 剃齒相當于是斜齒輪副嚙合，嚙合時是點接觸，整個漸開線齒面從開始嚙合到脫開，其接觸點軌跡如圖3-463-34a所示。如果將剃齒刀的刃口按照理論嚙合點的軌跡作出，這時的剃齒即為精車剃齒。精車剃齒刀可作成裝配式（圖3-4634b），以便于刃磨。精車剃齒刀壽命高，便于刃磨，不必用精密磨床，只要用工具磨就可以了。磨齒磨齒加工方法 磨齒是加工精密齒輪和淬火齒輪最常用的加工方法，它可分為兩大類：(1) 成形法：是用成形砂輪配以單齒分度，磨齒精度可達56級。但要有專門機構(gòu)修整砂輪齒形，磨齒時接觸面大，易燒