高純度管道施工程序-p

1、 PAGE 第 PAGE 12 頁(yè) 共 NUMPAGES 12頁(yè) 高純度管道施工程序范圍本施工手冊(cè)適用UHP高純氣體管道施工全過(guò)程（Bulk gas and special gas）目的 本手冊(cè)的目的是：確保UHP氣體管道施工的質(zhì)量，以向客戶提供最可靠，最安全的服務(wù)使管道作業(yè)者理解UHP Piping 的施工原則，并自覺(jué)貫徹與始終每天開(kāi)始的管道施工應(yīng)嚴(yán)格按照如下程序：材料的管理3.1材料與配件的接收3.1.1直觀檢查確認(rèn)無(wú)損壞，劃痕或凹坑 檢查是否有塑料帽密封*如為雙層包裝 應(yīng)檢查內(nèi)外是否有損壞檢查型號(hào)與數(shù)量3.1.2檢查記錄 根據(jù)本方的訂貨要求和供應(yīng)商的供貨質(zhì)保書(shū)對(duì)材料和配件進(jìn)行核對(duì)，作到貨

2、單 對(duì)應(yīng)無(wú)誤，達(dá)到驗(yàn)收要求3.2材料與配件的驗(yàn)收記錄 3.2.1驗(yàn)收記錄需驗(yàn)收負(fù)責(zé)人完成 3.2.2材料與配件的接收必須由負(fù)責(zé)人記錄3.3材料與配件的儲(chǔ)存與運(yùn)輸 3.3.1材料與配件的儲(chǔ)存地方應(yīng)在指定區(qū)域內(nèi)有序放置 3.3.2材料與配件應(yīng)根據(jù)型號(hào)、尺寸和級(jí)別分開(kāi)儲(chǔ)藏 3.3.3雙層包裝的材料與配件只有使用時(shí)才可打開(kāi)包裝，同樣乙烯套只有使用時(shí) 才可拿去 3.3.4儲(chǔ)放預(yù)制件及暫時(shí)不用的切管，應(yīng)內(nèi)充徑過(guò)0.01u過(guò)濾器的氬氣（或氮?dú)猓?在首尾端用乙烯套罩住，并采取其他保護(hù)措施 3.3.5運(yùn)輸時(shí)，無(wú)論室內(nèi)于室外都應(yīng)用乙烯套保護(hù)，并盡可能放在充填氬氣（貨 單期）的乙烯袋內(nèi)運(yùn)輸3.4材料與配件的取出保

3、管員允許后方可取出材料與配件保管員應(yīng)在總帳上注明材料/配件名，種類與數(shù)量保管員應(yīng)根據(jù)總帳進(jìn)行盤存 4. 管道施工管理 本程序是為了控制每天施工開(kāi)始前的所有準(zhǔn)備工作，以及確保一天的施工在潔凈，有序的環(huán)境中進(jìn)形 4.1.1作業(yè)安全 4.1.1.2管道作業(yè)者必須通過(guò)有關(guān)的技術(shù)培訓(xùn)考試，并取得專業(yè)施工資格證書(shū) 4.1.1.3所有者都必須穿帶好勞動(dòng)防護(hù)用品具，準(zhǔn)備齊安全區(qū) 4.1.1.4施工現(xiàn)場(chǎng)動(dòng)火，需取得客戶許可，持有作業(yè)許可證，備齊有關(guān)的消防設(shè)備 4.1.1.5遵守客戶現(xiàn)場(chǎng)的安全作業(yè)制度及有關(guān)的法規(guī)，條列 4.1.1.6作業(yè)場(chǎng)所的潔凈 4.1.1.7.管道施工場(chǎng)所的整理及清掃需定期進(jìn)行并檢查 4.1

4、.1.8作業(yè)場(chǎng)所需有良好的通風(fēng)和照明條件 4.1.1.9.檢查設(shè)備及工具的潔凈，如有沾污迅速用IPA擦拭 4.1.1.10.設(shè)備及工具的完好 4.1.1.11.為確保施工，特別是焊接過(guò)程的電穩(wěn)定，需使用穩(wěn)壓電源，并合理分配負(fù)荷 4.1.2.如設(shè)備及工具狀態(tài)不好，加以維護(hù)（如切削刀頭鈍或有缺口 4.1.3.特別強(qiáng)調(diào)對(duì)焊機(jī)的檢查，仔細(xì)檢查鎢棒，夾具，連接線等，并定期按焊機(jī)操作手 冊(cè)對(duì)焊頭加以校正和維護(hù) 4.1.4只有通過(guò)0.01u過(guò)濾器的純凈氬氣或氣，才可用作焊接保護(hù)氣，特別對(duì)UHP管道來(lái)說(shuō)，焊接保護(hù)氬氣應(yīng)徑過(guò)純化器，其出口氧含量小于1ppm，水含量小于1ppm 4.1.5.檢查材料 管道施工材料

5、必須根據(jù)種類、尺寸和級(jí)別分開(kāi)堆放，并保持良好的包裝狀態(tài)，當(dāng)日的施工材料應(yīng)以最低量從庫(kù)房中領(lǐng)出 4.1.6.現(xiàn)場(chǎng)施工主管應(yīng)對(duì)上述內(nèi)容定期檢查，發(fā)現(xiàn)問(wèn)題及時(shí)糾正5. 配管加工 配管加工過(guò)程分為配管準(zhǔn)備（切割、彎管、配管連接焊接及非焊接方式、配管固定三部分 5.1總則 工作前應(yīng)開(kāi)一工作會(huì)準(zhǔn)備會(huì)討論安全問(wèn)題，確定時(shí)間表、問(wèn)題點(diǎn)及改進(jìn)策略然 后開(kāi)始工作 不可使用臟工作衣、潔凈間應(yīng)穿防塵服，在客戶的潔凈間室內(nèi)工作時(shí)應(yīng)遵守客 戶潔凈市內(nèi)的規(guī)章制度潔凈室內(nèi)不可帶入散發(fā)粒子的材料，如木材、紙張和鉛筆工具應(yīng)區(qū)分時(shí)潔凈室內(nèi)用還是一般作業(yè)場(chǎng)所用材料與配件使用前應(yīng)盡可能長(zhǎng)時(shí)間放于乙烯袋內(nèi)只有使用時(shí)才可打開(kāi)。同樣， 即使

6、是在潔凈室內(nèi)，乙烯套也只有在連接時(shí)才可拿掉管道加工時(shí)去掉乙烯套的時(shí)間應(yīng)盡可能短如臨時(shí)存放材料與配件于作業(yè)場(chǎng)所，需得到客戶的同意，確認(rèn)存放時(shí)間，負(fù)責(zé) 人、聯(lián)絡(luò)地方和其它必要信息即使材料與配件不是將與氣體接觸部分，也不可用臟手套或裸手觸摸（通常應(yīng) 戴一干凈手套）如材料與配件因不可控制原因而變臟時(shí)，用IPA清潔管道施工時(shí)，預(yù)制件應(yīng)近可能多地在潔凈房?jī)?nèi)完成以減少現(xiàn)場(chǎng)作業(yè)量焊接用保護(hù)氣與吹洗用氣體應(yīng)使用通過(guò)001u過(guò)濾器的純氣體焊接用保護(hù)氣與吹洗用氣體連接處應(yīng)常保持潔凈，并在使用后用潔凈布清潔以 保持干凈施工負(fù)責(zé)人應(yīng)定期檢查上述各項(xiàng)及控制。5.2.配管準(zhǔn)備 半導(dǎo)體行業(yè)氣體供應(yīng)管道多采用不銹鋼管（電拋光或

7、化學(xué)拋光） 5.2.1.配管切割 對(duì)于小口徑配管（1/4-1/2）,切割原則如下：切割前應(yīng)確認(rèn)配管表面無(wú)有害痕跡、破損配管切割時(shí)須使用不銹鋼專用切割器緩慢進(jìn)行切割原則上被切割管應(yīng)橫放水平固定、防止切屑進(jìn)入管內(nèi)。配管切割后須用潔凈的氣體吹掃管子切割端、切割端應(yīng)置于低處，氣流從高處望 低處吹洗。切割后如管上附有切屑或其它雜質(zhì)、須用無(wú)塵紙及IPA擦凈。切割后應(yīng)用專用的切面加工器處理切面，坡口型式應(yīng)為I型，并用特殊的銑毛刺 機(jī)消除毛刺，此時(shí)應(yīng)小心不可鑿得太多；（一直保持端面朝下） 進(jìn)行切面和銑毛刺加工時(shí)、為了防止切屑進(jìn)入管內(nèi)、應(yīng)始終置加工面于下流、從 上流沖放潔凈的氣體。加工后、使切面朝下、從上方敲打

8、幾次、去除切屑雜質(zhì)。切面加工終了后、確認(rèn)切面處理是否良好，檢查合格、用潔凈的氣體清洗配管外 表。如確認(rèn)配管內(nèi)外無(wú)雜質(zhì)或異?，F(xiàn)象、于兩端加蓋待用。一般如配管不能很放水平切割、下方管便不可使用。使用專用吸塵器消除切割及處理過(guò)程中產(chǎn)生的粒子。 中大口徑管子（3/4）采用專用的切割機(jī)切割中大口徑管子切割后將切割端朝下輕微抖動(dòng)消除切屑，然后用潔凈氣體（配過(guò)濾器的氣槍）從 上往下吹洗 切割后目視檢查是否有灰塵污染，如存在污染，再吹洗一次或用無(wú)稱紙擦拭切割后用端面處理器進(jìn)行端面處理，坡口型式應(yīng)為I型；并銑去毛刺，必要時(shí)使 用銼刀，應(yīng)十分小心的進(jìn)行修邊處理端面處理及銑毛刺過(guò)程中，應(yīng)確保端面朝下，處理后輕輕抖動(dòng)

9、消除切屑端面處理后，用潔凈氣體從上流往下流吹洗，處理端面為下流端面處理后目視檢查是否有切屑污染管子的端面加蓋使用專門吸塵器消除切割及處理過(guò)程中產(chǎn)生的粒子 5.2.2.彎管 5.2.2.1.原則上只有直徑小于1/2的BA管才可彎曲；對(duì)于EP 管，除非客戶有特殊的要求才可進(jìn)行彎管操作 5.2.2.2.配管彎曲式（除了量尺寸外）不可取開(kāi)兩端蓋子 5.2.2.3.配管彎曲應(yīng)使用專門的彎管器進(jìn)行操作 5.2.2.4.對(duì)不同尺寸的BA、EP管彎管半徑規(guī)定如下 EP管1/4(10D彎徑) R=63.5 EP管3/8(10D彎徑) R=95.5 BA管1/4(標(biāo)準(zhǔn)彎徑2.5D) R=約為15 BA管3/8(標(biāo)

10、準(zhǔn)彎徑2.5D) R=約為24 BA管1/2(標(biāo)準(zhǔn)彎徑2.5D) R=約為32 管子彎曲時(shí)，管子的正負(fù)角度應(yīng)小于155.3配管連接5.3.1焊接5.3.1.1.總則焊工須通過(guò)不銹鋼焊接工藝技術(shù)測(cè)試或公司的焊接工藝授權(quán)測(cè)試作為對(duì)自動(dòng)焊接的管理，每天正式實(shí)施焊接工作前，焊工須對(duì)每臺(tái)焊機(jī)的各種尺寸配管進(jìn)行樣本制作，交現(xiàn)場(chǎng)工程師進(jìn)行評(píng)估和檢查，樣本通過(guò)后才能進(jìn)行焊接操作。關(guān)機(jī)后再使用應(yīng)重做樣品并檢查每天焊接工作結(jié)束及當(dāng)日管徑變換前應(yīng)制作結(jié)束樣本，檢驗(yàn)已完成部分的焊接質(zhì)量，如結(jié)束樣本不合格，則檢驗(yàn)最后一個(gè)焊點(diǎn)的質(zhì)量，依次類推用于評(píng)估的焊接工作的樣本須按照樣本制作條件與判定結(jié)果單制作及評(píng)估通常焊接總時(shí)從管

11、子上流往下流進(jìn)行現(xiàn)場(chǎng)焊接時(shí)，采用特殊的密封法以減少外界的污染，如在潔凈室內(nèi)作業(yè)就可免去自動(dòng)焊機(jī)的電源應(yīng)保持恒定并配有穩(wěn)壓裝置當(dāng)焊接大口徑管子時(shí)，小心電源的供給（手工焊大于200V360A）該部分管路在施工結(jié)束前，管內(nèi)需始終充有高純度氮或氬，以防止空氣的進(jìn)入5.3.1.2保護(hù)氣的吹洗方法保護(hù)氣吹洗是為了UHP管路系統(tǒng)進(jìn)入空氣通常吹洗管道采用不銹鋼管，與被要焊接的管道的連接采用PTFE材料（不可采用會(huì)釋放氣體的聚氮乙烯材料）保護(hù)氣體的純度應(yīng)為管端（將焊的管子）氧分低于1ppm，水分低于1ppm，氧分、水分應(yīng)定時(shí)測(cè)量被保護(hù)氣壓力應(yīng)在被焊管子出口端用氣壓計(jì)測(cè)量，并調(diào)節(jié)為30-50mmHg，焊接區(qū)域全氣

12、壓計(jì)有一定距離時(shí)，調(diào)節(jié)前應(yīng)考慮壓力損失焊接直到焊接區(qū)域冷卻(2米)作業(yè)時(shí),用安全帶和梯子以保證作業(yè)安全并通知第三方高空作業(yè)正在進(jìn)行不要用裸手觸碰材料及配件檢查完包裝內(nèi)剩余部分,擰緊密封接頭對(duì)于雙層環(huán)形接頭,檢查壓蓋方向并擰緊沒(méi)有不可承受的壓力作用的螺紋接頭和法蘭接頭要設(shè)定狀態(tài),當(dāng)不可承受的壓力明顯時(shí)要更換管子參照用戶手冊(cè)固定接頭連接完成后,管內(nèi)需連續(xù)用氮?dú)?或氦氣)吹洗配管固定夾固工作夾固管子時(shí),需考慮到可能對(duì)已安裝管子的損壞或超載安裝管道支架時(shí)需考慮管子的自重、延伸、收縮、振動(dòng)、氣壓、位置、外部環(huán)境和安全管道支架的距離參照設(shè)計(jì)標(biāo)準(zhǔn)在可能發(fā)生振動(dòng)的地方，采用防震吊架或防震橡皮作為防震措施管道穿

13、越混凝土墻或地板時(shí)，必要時(shí)管子外可裹反腐蝕帶或開(kāi)一間隙并采用無(wú)腐蝕材料隔開(kāi)管子與支架不可用不同金屬，有必要用樹(shù)脂或絕緣體隔開(kāi)以避免接觸當(dāng)管子與支架的腐蝕可能由外界環(huán)境產(chǎn)生，應(yīng)用防銹漆保護(hù)(盡可能避免采 用此法)當(dāng)高空(高于2米)作業(yè)時(shí)采用安全帶和梯子高空作業(yè)以保證安全同時(shí)需通知 第三方高空作業(yè)正在進(jìn)行標(biāo)記UHP管道施工，必須從供氣點(diǎn)到用氣點(diǎn)全程定點(diǎn)設(shè)置標(biāo)記，標(biāo)計(jì)需醒目，以利于施工者和客戶識(shí)別管內(nèi)介質(zhì)及流向.標(biāo)注的地方 標(biāo)簽1)彎頭兩端 2)分支連接處 3)通孔前后 4)直管每隔4米處7.烘烤烘烤時(shí)由管道上方至下方選行 在官子上纏加熱線以烘烤，纏上絕緣物象PEF以絕熱烘烤的標(biāo)準(zhǔn)為80-120；(

14、如溫度太高，將對(duì)樹(shù)脂產(chǎn)生不良影響)烘烤時(shí)，管內(nèi)需連續(xù)用高純氬或純氮吹洗標(biāo)準(zhǔn)烘烤時(shí)間為工作完成至第二天開(kāi)工前的12個(gè)小時(shí)，也可根據(jù)工作難度改變烘烤量的標(biāo)準(zhǔn)是當(dāng)天的施工量，也可根據(jù)加熱線的長(zhǎng)度或工作可行性改變高純管道工程潔凈廠房施工守則目錄總則目標(biāo)常識(shí)我國(guó)潔凈廠房設(shè)及規(guī)范中的潔凈度等級(jí)標(biāo)準(zhǔn)潔凈室程序6.潔凈室更衣程序7.潔凈室工作注意點(diǎn) 8.潔凈室安全總則: 本作業(yè)指導(dǎo)書(shū)所述內(nèi)容，均為操作人員在高純管道項(xiàng)目施工過(guò)程當(dāng)中，尤其是在客戶潔凈廠房作業(yè)時(shí)必須遵守的內(nèi)容。目標(biāo): 制定此作業(yè)指導(dǎo)書(shū)的目的在于，使在客戶潔凈廠房中施工的操作人員，能了解潔凈廠房施工工程中的注意事項(xiàng)，從而嚴(yán)格遵守執(zhí)行，以保證每一個(gè)施

15、工環(huán)節(jié)的質(zhì)量，進(jìn)而保證整個(gè)工程的質(zhì)量。常識(shí)： 人是潔凈時(shí)最主要的污染源，人散發(fā)的污染物分自身產(chǎn)生和人體攜帶兩種。自身產(chǎn)生的污染物包括：體表脫落物和體表呼吸排出物。例如：每人每天大約脫落1000萬(wàn)個(gè)屑粒；人吸煙20分外后，隨呼吸排出的吸煙粒子，可使周圍污染程度比正常情況增加2-5倍。人體攜帶的污染物由三種：一種是附在頭發(fā)、衣服鞋子上的污染物；一種是人體表的涂抹物；第三種是服裝磨損的脫落物。例如：著舊棉織服裝，靜止?fàn)顟B(tài)下每分鐘平均產(chǎn)塵為10個(gè)，因此人員進(jìn)入潔凈廠房以前必須采取嚴(yán)格的人身凈化措施。 人身凈化的方法主要有：洗滌、更衣、換鞋、吹淋和對(duì)作業(yè)人員進(jìn)行培訓(xùn)教育建立必要的規(guī)章制度等。 洗滌：用水

16、洗去手、臉乃至全身體表附著的灰塵、微生物以積極存在體表的排出物。 更衣：為了減少人體的污染，進(jìn)入潔凈室以前應(yīng)首先脫去外出服以及多毛的內(nèi)衣?lián)Q上適合潔凈室工作的潔凈工作服。 換鞋：外出鞋污染物最多，需在入口處用水洗吸塵和粘著的辦法處理以免沾污門廳入口。進(jìn)入潔凈區(qū)前應(yīng)換上適合潔凈室穿的潔凈鞋。 空氣吹淋：用25m/s以上的高速潔凈空氣吹掃全身服裝和裸露體表的附著物。經(jīng)過(guò)吹淋后方能進(jìn)入潔凈室。 .我國(guó)潔凈廠房設(shè)計(jì)規(guī)范中的潔凈度的等級(jí)標(biāo)準(zhǔn) 潔凈度等級(jí)1m3空氣0.5m的粒子數(shù)(n/l) 1m3空氣0.5m的粒子數(shù)(n/l) 100 3.5 1000 35 0.25 10000 350 2.5 10000

17、0 3500 255.潔凈程序5.1潔凈室更衣程序5.1.1脫去外套5.1.2脫去工作鞋5.1.3洗手5.1.4在進(jìn)更衣室前先進(jìn)空氣沖淋室5.1.5進(jìn)入更衣室后，帶上面罩5.1.6帶上發(fā)罩5.1.7在發(fā)罩外帶上頭罩5.1.8穿上潔凈服5.1.9穿上潔凈鞋5.1.10帶上潔凈室專用的安全眼鏡5.1.11帶上潔凈室專用的手套5.1.12進(jìn)入空氣沖淋室5.2.潔凈室工作注意點(diǎn) 5.2.1所有工具在進(jìn)潔凈室之前必須清潔及油污 5.2.2在進(jìn)入潔凈室前，去除所有紙包裝，比如VCR墊片及其它備品的包裝 5.2.3不要帶木制品進(jìn)入潔凈室 5.2.4在潔凈室環(huán)境中，任何情況下禁止取消面罩 5.2.5在潔凈室環(huán)境中，必須帶手套和眼鏡 5.2.6在潔凈室中施工時(shí)，任何情況都必須帶手套，手套臟或破損，立即更換 5.2.7休息時(shí)避免在地板上或躺 5.2.8在有切割、焊接等有大量顆粒產(chǎn)生的過(guò)程中，必須使用吸塵器 5.2.9在潔凈室內(nèi)施工時(shí)，禁止隨便開(kāi)關(guān)任何氣體閥和電氣閥 5.2.10