磁控濺射技術(shù)和透明電薄膜課件

1、磁控濺射技術(shù)和透明導(dǎo)電薄膜第1頁(yè)，共32頁(yè)。什么叫鍍膜薄膜： 在固體表面上鍍上一層于基體材料不同的薄層材料。厚度通常在幾微米以下。第2頁(yè)，共32頁(yè)。濺射原理第3頁(yè)，共32頁(yè)。濺射示意圖第4頁(yè)，共32頁(yè)。成膜示意圖第5頁(yè)，共32頁(yè)。磁控濺射原理電子在加速飛向基片的過(guò)程中受到磁場(chǎng)洛侖磁力的影響，被束縛在靠近靶面的等離子體區(qū)域內(nèi)，并在磁場(chǎng)的作用下圍繞靶面作圓周運(yùn)動(dòng)，該電子的運(yùn)動(dòng)路徑很長(zhǎng)，在運(yùn)動(dòng)過(guò)程中不斷的與氬原子發(fā)生碰撞電離出大量的氬離子轟擊靶材，經(jīng)過(guò)多次碰撞后電子的能量逐漸降低，擺脫磁力線(xiàn)的束縛，遠(yuǎn)離靶材，最終沉積在基片上。 第6頁(yè)，共32頁(yè)。等離子詳解定義:等離子體是一種電離氣體，是離子、電子和

2、高能原子的集合體，整體顯中性，它是一種由帶電粒子組成的電離狀態(tài).等離子體的現(xiàn)象，所發(fā)生的輝光放電原理，產(chǎn)生離子濺射基理（低壓氣體中顯示輝光的氣體放電現(xiàn)象，即是稀薄氣體中的自激導(dǎo)電現(xiàn)象）洛侖磁力：運(yùn)動(dòng)電荷在磁場(chǎng)中受到的作用力第7頁(yè)，共32頁(yè)。磁控濺射靶材結(jié)構(gòu)圖第8頁(yè)，共32頁(yè)。磁控濺射設(shè)備第9頁(yè)，共32頁(yè)。 射頻（RF）磁控濺射：SIO2 直流（DC）磁控濺射:ITO、MO、AL 中頻（MF）磁控濺射：SI、MO、AL、NB2O5磁控濺射電源及靶材第10頁(yè)，共32頁(yè)。薄膜的種類(lèi)及應(yīng)用電子工業(yè)：電極、電阻膜、電介質(zhì)膜、絕緣膜、透明導(dǎo)電膜、超導(dǎo)膜等。光學(xué)工業(yè)：熒光膜、反射膜、增透膜、干涉膜等。機(jī)械工

3、業(yè)：硬化膜、耐熱膜、耐腐蝕膜等。能源工業(yè)：聚熱膜、防反射膜、透射膜等。傳感器：熱敏、氣敏、壓敏、氧氣傳感器、紅外線(xiàn)傳感器等。其它：裝飾膜等。第11頁(yè)，共32頁(yè)。電學(xué)薄膜第12頁(yè)，共32頁(yè)。光學(xué)薄膜第13頁(yè)，共32頁(yè)。力學(xué)薄膜第14頁(yè)，共32頁(yè)。裝飾薄膜第15頁(yè)，共32頁(yè)。薄膜的制備手段氣相法：化學(xué)氣相沉積（CVD）硅烷和氮反應(yīng)形成氮化硅膜(Si3N4)把含有構(gòu)成薄膜元素的一種或幾種化合物的單質(zhì)氣體供給基片，利用加熱、等離子體、紫外光以及激光等能源，借助氣相作用或在基板表面的化學(xué)反應(yīng)（熱分解或化學(xué)合成）生長(zhǎng)形成固態(tài)的薄膜。 物理氣相沉積（PVD）熱蒸發(fā) 濺射 離子鍍 分子束外延液相法：化學(xué)鍍、電

4、鍍、浸漬鍍等。其他方法：噴涂、涂敷等。第16頁(yè)，共32頁(yè)。磁控濺射儀器結(jié)構(gòu)圖第17頁(yè)，共32頁(yè)。磁控濺射儀器外觀第18頁(yè)，共32頁(yè)。 大型多弧離子/磁控濺射鍍膜機(jī)?？稍谳^大體積的工件表面鍍制厚度均勻的金屬、合金、氧化物、氮化物、碳化物、硼化物等防腐、耐磨、導(dǎo)電透明等多種功能薄膜。第19頁(yè)，共32頁(yè)。磁控濺射技術(shù)的優(yōu)點(diǎn)薄膜與基底的結(jié)合力強(qiáng)。鍍膜均勻，可鍍大面積薄膜。鍍膜種類(lèi)豐富：各種金屬(合金)薄膜 各種金屬氧化物、碳化物、氮化物、硼化物等薄膜其它(如類(lèi)金剛石薄膜等) 基底種類(lèi)豐富：金屬、玻璃、陶瓷、 有機(jī)玻璃(薄膜)等第20頁(yè)，共32頁(yè)。ITO膜層的主要成份是氧化銦錫。在厚度只有幾千埃的情況下

5、，氧化銦透過(guò)率高，氧化錫導(dǎo)電能力強(qiáng)，液晶顯示器所用的ITO玻璃正是一種具有高透過(guò)率的導(dǎo)電玻璃。電極膜（ITO層）Iindium Tin Oxido 銦 錫 氧化物什么是ITO透明導(dǎo)電膜第21頁(yè)，共32頁(yè)。透明導(dǎo)電薄膜厚度：幾十幾百納米透明性：與玻璃接近導(dǎo)電性：與金屬接近第22頁(yè)，共32頁(yè)。透明導(dǎo)電薄膜種類(lèi)氧化銦錫（ITO）摻鋁氧化鋅（ZAO）多層結(jié)構(gòu)： SiO2/ITO MO-AL-MO 第23頁(yè)，共32頁(yè)。透明導(dǎo)電薄膜的應(yīng)用液晶顯示器（LCD）第24頁(yè)，共32頁(yè)。觸摸屏第25頁(yè)，共32頁(yè)。太陽(yáng)能電池第26頁(yè)，共32頁(yè)。除霜防霧第27頁(yè)，共32頁(yè)。保溫、隔熱第28頁(yè)，共32頁(yè)。電磁屏蔽第29頁(yè)

6、，共32頁(yè)。軍事領(lǐng)域： 雷達(dá)隱身第30頁(yè)，共32頁(yè)。THANKS第31頁(yè)，共32頁(yè)。中國(guó)觸摸屏網(wǎng)（)32中國(guó)觸摸屏網(wǎng) 無(wú)“觸”不在您下載的該觸摸屏技術(shù)文檔來(lái)自于中國(guó)觸摸屏網(wǎng)( / )What you are downloading are from China Touchscreen Site: ( / )中國(guó)觸摸屏網(wǎng)四大版塊：觸摸屏論壇： /觸摸屏供求商機(jī)： /招聘/找工作求職： /forum-12-1.html觸摸屏行業(yè)雜志： /emag/1. 觸摸屏論壇：中國(guó)觸摸屏網(wǎng)論壇是觸控面板人討論觸摸屏技術(shù)，解決觸摸屏技術(shù)問(wèn)題，發(fā)布觸摸屏產(chǎn)品供求信息，了解觸摸屏市場(chǎng)動(dòng)態(tài)，觸摸屏廠(chǎng)商招聘和找工作求職的第一平臺(tái)。2. 觸摸屏供求商機(jī)：免費(fèi)發(fā)布觸摸屏相關(guān)產(chǎn)品：觸控面板、觸摸屏材料、觸摸屏設(shè)備、觸摸屏一體機(jī)、人機(jī)界面、大屏幕顯示器、廣告機(jī)、金融自助設(shè)備、薄膜開(kāi)關(guān)、