《多晶硅行業(yè)準(zhǔn)入條件》測(cè)評(píng)細(xì)則

1、?多晶硅行業(yè)準(zhǔn)入條件?測(cè)評(píng)細(xì)那么 中華人民共和國(guó)工業(yè)和信息化部二一一年九月引 言本測(cè)評(píng)細(xì)那么是為配合我國(guó)?多晶硅行業(yè)準(zhǔn)入條件?的實(shí)施，科學(xué)、客觀、公正、有效地評(píng)價(jià)多晶硅生產(chǎn)企業(yè)是否符合行業(yè)準(zhǔn)入條件而編制，其包含了多晶硅生產(chǎn)企業(yè)應(yīng)具備的根本準(zhǔn)入條件和對(duì)應(yīng)的評(píng)價(jià)方法。?多晶硅行業(yè)準(zhǔn)入條件?測(cè)評(píng)細(xì)那么1 范圍 本測(cè)評(píng)細(xì)那么規(guī)定了在中華人民共和國(guó)境內(nèi)從事多晶硅生產(chǎn)包括改擴(kuò)建企業(yè)以下簡(jiǎn)稱“多晶硅生產(chǎn)企業(yè)行業(yè)準(zhǔn)入的評(píng)價(jià)方法。 本測(cè)評(píng)細(xì)那么適用于采用不同工藝從事多晶硅生產(chǎn)企業(yè)行業(yè)準(zhǔn)入的評(píng)價(jià)。2 引用標(biāo)準(zhǔn)以下標(biāo)準(zhǔn)包含的條文，通過在本方法中引用而構(gòu)成為本方法的條文。在標(biāo)準(zhǔn)出版時(shí)所示版本均為有效。所有標(biāo)準(zhǔn)都會(huì)被修

2、改，使用本方法的各方應(yīng)探討使用以下標(biāo)準(zhǔn)最新版本的可能性。GB/T1550非本征半導(dǎo)體材料導(dǎo)電類型測(cè)試方法GB/T1551硅單晶電阻率測(cè)定方法GB/T1557硅晶體中間隙氧含量的紅外吸收測(cè)量方法GB/T1558硅中代位碳原子含量紅外吸收測(cè)量方法GB/T4059硅多晶氣氛區(qū)熔基磷檢驗(yàn)方法GB/T4060硅多晶真空區(qū)熔基硼檢驗(yàn)方法GB/T4061硅多晶斷面夾層化學(xué)腐蝕檢驗(yàn)方法GB 8978污水綜合排放標(biāo)準(zhǔn)GB/T 12348工業(yè)企業(yè)廠界環(huán)境噪聲排放標(biāo)準(zhǔn)GB/T 12963硅多晶GB 16297大氣污染物綜合排放標(biāo)準(zhǔn)GB 18599一般工業(yè)固體廢物貯存、處置場(chǎng)污染控制標(biāo)準(zhǔn)GB/T 24001環(huán)境管理體

3、系 要求及使用指南GB/T 24574 硅單晶中-族雜質(zhì)的光致發(fā)光測(cè)試方法BD082D1A47546E.htm t _blank GB/T 24579酸浸取 HYPERLINK :/ instrument /zc/aas.asp t _blank 原子吸收光譜法測(cè)定多晶硅外表金屬污染物GB/T24580重?fù)絅型硅襯底中硼沾污的二次離子質(zhì)譜測(cè)試方法GB/T 24581低溫傅里葉變換紅外光譜法測(cè)量硅單晶中、族雜質(zhì)含量的測(cè)試方法GB/T24582 酸萃取 電感耦合等離子體質(zhì)譜儀測(cè)定多晶硅外表金屬雜質(zhì)GB/T 25074太陽(yáng)能級(jí)多晶硅GB/T 28001職業(yè)健康平安管理體系 標(biāo)準(zhǔn)GB/T XXXX 光

4、伏電池用硅材料中Fe、Cu、Ni、Cr、Zn金屬雜質(zhì)含量的ICP-MS測(cè)量方法SEMI PV1光伏級(jí)硅中微量元素的輝光放電質(zhì)譜測(cè)試方法SEMI PV10中子活化INAA分析測(cè)試方法SEMI MF 1723 用區(qū)熔拉晶法和光譜分析法評(píng)價(jià)多晶硅棒的標(biāo)準(zhǔn)規(guī)程3 術(shù)語(yǔ)和定義 以下術(shù)語(yǔ)和定義適用于本方法。 3.1 原料單耗原料單耗為生產(chǎn)1kg多晶硅所消耗原料量。3.2 多晶硅復(fù)原電耗 復(fù)原爐生長(zhǎng)1kg多晶硅產(chǎn)品所消耗的電量。3.3 多晶硅綜合電耗 生產(chǎn)1kg多晶硅產(chǎn)品所消耗的總電量，包括生產(chǎn)輔助消耗電量。3.4 折合電耗將外購(gòu)的多晶硅生產(chǎn)用主要原料氫氣、液氯、三氯氫硅折合成生產(chǎn)消耗的用電量。氫氣單位原料

5、折算電耗為5kwh/Nm3h/kg,三氯氫硅單位原料折算電耗為1kwh/kg。3.5復(fù)原尾氣利用率 復(fù)原爐中四氯化硅、氯化氫和氫氣的回收利用率。3.6實(shí)際產(chǎn)能。 企業(yè) 同一廠區(qū)內(nèi)1年生產(chǎn)多晶硅產(chǎn)品的實(shí)際生產(chǎn)能力(產(chǎn)量)。3.7水循環(huán)利用率水循環(huán)利用率是指企業(yè)循環(huán)用水量占企業(yè)總用水量的比值。企業(yè)循環(huán)用水指企業(yè)生產(chǎn)用水中循環(huán)利用的水量，包括一水多用和串級(jí)使用的水量含經(jīng)過處理后回用量，用水總量是指企業(yè)廠區(qū)用于生產(chǎn)和生活的水量，等于企業(yè)用新鮮水與企業(yè)循環(huán)用水量之和。3.8資本金比例資本金比例是指企業(yè)以自有資產(chǎn)投資占總投資的比例。4.現(xiàn)場(chǎng)測(cè)評(píng)及判定4.1現(xiàn)場(chǎng)核查進(jìn)行?多晶硅行業(yè)準(zhǔn)入條件?的現(xiàn)場(chǎng)測(cè)評(píng)，核查

6、內(nèi)容及結(jié)論記錄在表1中。表1中有一個(gè)不符合項(xiàng)，那么現(xiàn)場(chǎng)核查不合格。表1現(xiàn)場(chǎng)測(cè)評(píng)表一、工程建設(shè)條件和生產(chǎn)布局序號(hào)評(píng)價(jià)內(nèi)容評(píng)價(jià)要點(diǎn)結(jié)論測(cè)評(píng)記錄對(duì)企業(yè)的建設(shè)工程中最低資本金比例的要求是否滿足工程投資中最低資本金比例不低于30%的要求。 符合 不符合對(duì)企業(yè)布局的要求。是否符合在依法設(shè)立的環(huán)境條件要求高的區(qū)域周邊1000米內(nèi)，不得新建多晶硅工程的要求。 符合 不符合二、生產(chǎn)規(guī)模與技術(shù)裝備序號(hào)評(píng)價(jià)內(nèi)容評(píng)價(jià)要點(diǎn)結(jié)論測(cè)評(píng)記錄2.1 生產(chǎn)規(guī)模1.太陽(yáng)能級(jí)多晶硅每期規(guī)模是否到達(dá)了3000噸/年。2.半導(dǎo)體級(jí)太陽(yáng)能每期規(guī)模是否到達(dá)了1000噸/年。 符合 不符合技術(shù)設(shè)備1.是否具有先進(jìn)工藝技術(shù)和產(chǎn)污強(qiáng)度小、節(jié)能環(huán)保

7、的工藝設(shè)備以及平安設(shè)施。2.主要工段、設(shè)備參數(shù)應(yīng)能實(shí)現(xiàn)連續(xù)流程在線檢測(cè)。 符合 不符合三、資源回收利用及能耗序號(hào)評(píng)價(jià)內(nèi)容評(píng)價(jià)要點(diǎn)結(jié)論測(cè)評(píng)記錄占地面積要求占地面積是否小于6公頃/千噸。 符合 不符合太陽(yáng)能級(jí)多晶硅電耗復(fù)原電耗小于80千瓦時(shí)/千克，到2021年底前小于60千瓦時(shí)/千克；到2021年底前，綜合電耗不大于200千瓦時(shí)/千克。 符合 不符合半導(dǎo)體級(jí)多晶硅電耗復(fù)原電耗小于100千瓦時(shí)/千克，半導(dǎo)體級(jí)區(qū)熔用多晶硅復(fù)原電耗小于120千瓦時(shí)/千克。 符合 不符合復(fù)原尾氣利用率復(fù)原尾氣中四氯化硅、氯化氫、氫氣回收利用率是否到達(dá)了98.5%、99%、99%。 符合 不符合水資源回收利用率水循環(huán)利用率

8、95%。 符合 不符合四、環(huán)境保護(hù)序號(hào)評(píng)價(jià)內(nèi)容評(píng)價(jià)要點(diǎn)結(jié)論測(cè)評(píng)記錄環(huán)境評(píng)價(jià)及環(huán)保驗(yàn)收1.依法向有審批權(quán)限的環(huán)境保護(hù)行政主管部門報(bào)批環(huán)境影響評(píng)價(jià)文件。2.建設(shè)工程配套環(huán)境保護(hù)設(shè)施并依法申請(qǐng)工程竣工環(huán)境保護(hù)驗(yàn)收，并驗(yàn)收合格。3.現(xiàn)有企業(yè)應(yīng)依法定期實(shí)施清潔生產(chǎn)審核，并通過評(píng)估驗(yàn)收，兩次審核的時(shí)間間隔不得超過三年。 符合 不符合廢氣1.尾氣及NOx、HF酸霧排放部位均應(yīng)當(dāng)配備凈化裝置，采用溶液吸收法或其他方法對(duì)其凈化處理。2.是否有地方環(huán)保部門出具的廢氣排放達(dá)標(biāo)證明。 符合 不符合廢水1.按照規(guī)定設(shè)置排污口。2. 是否有地方環(huán)保部門出具的廢水排放達(dá)標(biāo)證明。 符合 不符合固體廢物是否有地方環(huán)保部門出具的

9、固體廢物貯存和處置達(dá)標(biāo)證明。 符合 不符合4.5 噪聲是否有地方環(huán)保部門出具的工業(yè)企業(yè)廠界環(huán)境噪聲達(dá)標(biāo)證明。 符合 不符合五、產(chǎn)品質(zhì)量序號(hào)評(píng)價(jià)內(nèi)容評(píng)價(jià)要點(diǎn)結(jié)論測(cè)評(píng)記錄檢驗(yàn)管理1.是否有檢驗(yàn)機(jī)構(gòu)和專職檢驗(yàn)人員，能否獨(dú)立行使權(quán)力。2.是否制定了檢驗(yàn)管理制度。 符合 不符合產(chǎn)品質(zhì)量檢驗(yàn)1.是否有產(chǎn)品質(zhì)量檢驗(yàn)規(guī)定。2.產(chǎn)品質(zhì)量是否符合標(biāo)準(zhǔn)要求。 符合 不符合六、平安衛(wèi)生和社會(huì)責(zé)任序號(hào)評(píng)價(jià)內(nèi)容評(píng)價(jià)要點(diǎn)結(jié)論測(cè)評(píng)記錄遵守法律和平安教育2.是否進(jìn)行?平安生產(chǎn)法?、?職業(yè)病防治法?等法律法規(guī)的宣貫、培訓(xùn)，并保存記錄。 符合 不符合平安管理體系1.企業(yè)應(yīng)當(dāng)有健全的平安生產(chǎn)組織管理體系。2.有職工平安生產(chǎn)培訓(xùn)制度和

10、平安生產(chǎn)檢查制度并保存相關(guān)記錄。 符合 不符合危險(xiǎn)化學(xué)品平安管理1.企業(yè)應(yīng)當(dāng)遵守?危險(xiǎn)化學(xué)品平安管理?xiàng)l例?。2.是否進(jìn)行?危險(xiǎn)化學(xué)品平安管理?xiàng)l例?法律法規(guī)的宣貫、培訓(xùn)，并保存記錄。 符合 不符合職業(yè)危害和重大危險(xiǎn)源控制1.是否提供了必要的勞動(dòng)防護(hù)品及職業(yè)危害防治措施。2.員工的生產(chǎn)操作是否符合平安標(biāo)準(zhǔn)。3.重大危險(xiǎn)源是否有檢測(cè)、評(píng)估、監(jiān)控措施和應(yīng)急預(yù)案，是否配備必要的器材和設(shè)備。4.車間、庫(kù)房等是否配備了消防器材，消防器材是否在有效期內(nèi)。5.是否對(duì)易燃、易爆等危險(xiǎn)品進(jìn)行隔離和防護(hù)。 符合 不符合員工社會(huì)保險(xiǎn)是否遵守國(guó)家法律法規(guī)，依法參加養(yǎng)老、失業(yè)、醫(yī)療、工傷等保險(xiǎn)。 符合 不符合4.2評(píng)價(jià)方法

11、4.2.1 生產(chǎn)企業(yè)的設(shè)立和布局檢查審核多晶硅生產(chǎn)企業(yè)提供的省級(jí)規(guī)劃部門批準(zhǔn)的工程選址證明和土地部門的用地證明。檢查審核多晶硅生產(chǎn)企業(yè)提供的資本金和總投資費(fèi)用證明材料，并計(jì)算資本金比例。4.2.2生產(chǎn)規(guī)模與技術(shù)設(shè)備4.2.2.1實(shí)際產(chǎn)能檢查企業(yè)近一年內(nèi)連續(xù)正常三個(gè)月的多晶硅產(chǎn)品入庫(kù)單必要時(shí)調(diào)取其它能證明產(chǎn)量的企業(yè)生產(chǎn)記錄，核定月產(chǎn)量，計(jì)算公式為： W平均=(W1+W2+W3)/3(1) 式中： W平均平均月產(chǎn)量，噸/月； W1第一個(gè)月產(chǎn)量，噸/月； W2第二個(gè)月產(chǎn)量，噸/月； W3第三個(gè)月產(chǎn)量，噸/月。 企業(yè)的實(shí)際產(chǎn)能由下式計(jì)算： W= W平均12 (2)式中： W實(shí)際產(chǎn)能，噸； 12一年月數(shù)

12、，月/年；4.2.2.2技術(shù)設(shè)備審核企業(yè)提供的技術(shù)設(shè)備清單和運(yùn)行狀態(tài)記錄，并現(xiàn)場(chǎng)進(jìn)行核實(shí)。4.2.3資源回收利用、能耗及單耗4.2.3.1資源回收利用 采用物料平衡評(píng)定法計(jì)算復(fù)原爐尾氣中四氯化硅、氯化氫和氫氣的回收利用率，即以某一周期內(nèi)，對(duì)復(fù)原爐的進(jìn)料和多晶硅生產(chǎn)量進(jìn)行計(jì)算，復(fù)原爐尾氣總量W尾氣量的計(jì)算公式為： W尾氣量=W進(jìn)料量W多晶硅量(3) 式中： W進(jìn)料量復(fù)原爐的總進(jìn)料量，公斤； W多晶硅量多晶硅生產(chǎn)量，公斤。a) 四氯化硅回收利用率計(jì)量轉(zhuǎn)化爐四氯化硅進(jìn)料量WSTC，轉(zhuǎn)化爐的轉(zhuǎn)化效率KC的計(jì)算公式為： (4)式中：KC轉(zhuǎn)化爐的轉(zhuǎn)化效率，%；KSTC轉(zhuǎn)化爐尾氣中四氯化硅的百分含量，%。四

13、氯化硅回收利用率RSTC的計(jì)算公式為： (5) 式中：WSTC各爐次沉積反響生成四氯化硅總量，公斤。b) 氯化氫回收利用率計(jì)量周期內(nèi)各爐次生成氯化氫總量WHCl，氯化氫回收利用率RHCl的計(jì)算公式為： (6)式中：WHCl尾氣回收單元回收的氯化氫總量，公斤。c) 氫氣回收利用率氫氣回收利用率R計(jì)算公式為： (7)式中：Qin周期內(nèi)補(bǔ)充的新鮮氫氣量，千升；Qf月初系統(tǒng)內(nèi)的循環(huán)氫氣總量，千升；Qr月末總回收氫氣，千升。4.2.3.2能耗對(duì)多晶硅生產(chǎn)企業(yè)的復(fù)原電耗和綜合電耗分別進(jìn)行評(píng)定，以自然月為統(tǒng)計(jì)評(píng)價(jià)周期，采集連續(xù)三個(gè)月的數(shù)據(jù)計(jì)算。a)復(fù)原電耗復(fù)原電耗按以下公式計(jì)算： Xi=Hi/Wi(8)式中

14、：Xi第i個(gè)月復(fù)原電耗，kwh/kg；Hi第i個(gè)月復(fù)原用電量，kwh；Wi第i個(gè)月多晶硅產(chǎn)量，kg；i1、2、3，月。平均復(fù)原電耗按以下公式計(jì)算： X平均= X1+X2+X3/3 (9)式中：X平均復(fù)原電耗，kwh/kg；X1第一個(gè)月復(fù)原電耗kwh/kg；X2第二個(gè)月復(fù)原電耗kwh/kg；X3第三個(gè)月復(fù)原電耗kwh/kg。b)綜合電耗綜合電耗按以下公式計(jì)算： Zi=Z1i+Z2i(10)式中：Zi第i個(gè)月綜合電耗，kwh/kg；Z1i第i個(gè)月生產(chǎn)1千克多晶硅用電量，kwh/kg；Z2i第i個(gè)月生產(chǎn)1千克多晶硅用折合用電量，kg/kg；i1、2、3，月。 Z平均= Z1+Z2+Z3/3 (11)

15、式中：Z平均綜合電耗，kwh/kg；X1第一個(gè)月綜合電耗kwh/kg；X2第二個(gè)月綜合電耗kwh/kg；X3第三個(gè)月綜合電耗kwh/kg。折合電耗計(jì)算公式為： Zi2=Li/Wi(12)式中：Li第i個(gè)月消耗所有購(gòu)置原料如氫氣、液氯、三氯氫硅折合的總的用電量，kwh；4.2.3.3 循環(huán)水利用率以自然月為統(tǒng)計(jì)評(píng)價(jià)周期，采集正常生產(chǎn)的連續(xù)三個(gè)月企業(yè)循環(huán)水和總用水量數(shù)據(jù)計(jì)算循環(huán)水利用率，計(jì)算公式為：X=X 循環(huán)量/X總量(13)式中：X采集周期內(nèi)循環(huán)水利用率，%；X 循環(huán)量采集周期內(nèi)循環(huán)水，m3； W多晶硅采集周期內(nèi)總用水量，m3。4.2.3.4 原料單耗以自然月為統(tǒng)計(jì)評(píng)價(jià)周期，采集正常生產(chǎn)的連續(xù)

16、三個(gè)月原料投入量和產(chǎn)品產(chǎn)量數(shù)據(jù)計(jì)算原料單耗，計(jì)算公式為：Y原料單耗=W原料/W多晶硅(14)式中：Y原料單耗采集周期內(nèi)原料的單耗，kg 、m3；W原料采集周期內(nèi)原料的投入量，kg/ kg 、m3/ k g； W多晶硅采集周期內(nèi)多晶硅的產(chǎn)量，kg。4.2.4環(huán)境保護(hù)檢查企業(yè)屬地環(huán)境監(jiān)測(cè)機(jī)構(gòu)出具的定期監(jiān)測(cè)報(bào)告，審查其大氣污染物綜合排放、固體廢物和污水綜合排放是否符合規(guī)定要求。4.2.5產(chǎn)品質(zhì)量4.2.5.1質(zhì)量管理多晶硅生產(chǎn)企業(yè)應(yīng)當(dāng)有獨(dú)立的質(zhì)量檢驗(yàn)機(jī)構(gòu)和專職檢驗(yàn)人員，有健全的質(zhì)量檢驗(yàn)管理制度。檢驗(yàn)人員應(yīng)熟悉產(chǎn)品檢驗(yàn)規(guī)定，具有與工作相適應(yīng)的質(zhì)量管理知識(shí)和檢驗(yàn)技能，專職檢驗(yàn)人員應(yīng)有相關(guān)培訓(xùn)證明。4.2

17、.5.2 現(xiàn)場(chǎng)抽樣對(duì)于現(xiàn)場(chǎng)測(cè)評(píng)結(jié)果合格的多晶硅生產(chǎn)企業(yè)進(jìn)行產(chǎn)品質(zhì)量的現(xiàn)場(chǎng)抽樣，所抽取的樣品由現(xiàn)場(chǎng)測(cè)評(píng)組所在檢測(cè)機(jī)構(gòu)進(jìn)行產(chǎn)品質(zhì)量檢驗(yàn)。a) 抽樣規(guī)那么現(xiàn)場(chǎng)評(píng)價(jià)組抽取樣品應(yīng)在企業(yè)有關(guān)人員在場(chǎng)的情況下進(jìn)行。抽取的樣品應(yīng)是企業(yè)自產(chǎn)并經(jīng)檢驗(yàn)合格的產(chǎn)品。并填寫抽樣單見附件2一式四份。b)抽樣評(píng)價(jià)組根據(jù)臺(tái)帳對(duì)產(chǎn)品進(jìn)行隨機(jī)抽樣，根據(jù)企業(yè)生產(chǎn)規(guī)模抽取樣品數(shù)目及數(shù)量見表2。生產(chǎn)企業(yè)應(yīng)準(zhǔn)備實(shí)驗(yàn)室檢驗(yàn)的相關(guān)樣品。表2抽取樣品數(shù)目及數(shù)量產(chǎn)品名稱生產(chǎn)規(guī)模產(chǎn)品級(jí)別每個(gè)級(jí)別產(chǎn)品抽樣個(gè)數(shù)個(gè)*抽樣數(shù)量量/樣品太陽(yáng)能級(jí)多晶硅6000噸/年以下1級(jí)品、2級(jí)品、3級(jí)品3取1個(gè)u形多晶棒制備4個(gè)區(qū)熔測(cè)試棒2個(gè)包括硅芯、2個(gè)不包括硅芯，再

18、取包括外表的多晶硅1000g。6000噸/年-10000噸/年510000噸/年以上7半導(dǎo)體級(jí)多晶硅2000噸/年以下1級(jí)品、2級(jí)品、3級(jí)品32000噸/年-4000噸/年54000噸/年以上7*樣品數(shù)量含備份樣品量；測(cè)試棒需要測(cè)評(píng)組隨機(jī)抽樣后現(xiàn)場(chǎng)制備。c)樣品送達(dá)及檢驗(yàn)時(shí)限要求現(xiàn)場(chǎng)評(píng)價(jià)組抽取的樣品封存后，由企業(yè)在5日內(nèi)將樣品寄送達(dá)指定檢驗(yàn)機(jī)構(gòu)。檢驗(yàn)機(jī)構(gòu)應(yīng)當(dāng)在收到企業(yè)樣品之日起20日內(nèi)完成檢驗(yàn)工作，并出具檢驗(yàn)報(bào)告(格式見附件3)一式四份。產(chǎn)品檢驗(yàn)結(jié)果，由評(píng)價(jià)組書面上報(bào)工信部相關(guān)管理部門。4.2.5.3實(shí)驗(yàn)室檢驗(yàn)指標(biāo)及合格判定多晶硅行業(yè)準(zhǔn)入檢驗(yàn)工程、檢驗(yàn)方法及判定標(biāo)準(zhǔn)見表3。假設(shè)檢驗(yàn)結(jié)果有一項(xiàng)不

19、合格，那么利用備份樣品對(duì)該不合格的工程進(jìn)行加倍復(fù)驗(yàn)。對(duì)復(fù)驗(yàn)結(jié)果仍不合格的產(chǎn)品，應(yīng)直接判為不合格。對(duì)于備份樣品復(fù)驗(yàn)結(jié)果合格的產(chǎn)品判定為合格。 表3 多晶硅產(chǎn)品準(zhǔn)入檢驗(yàn)工程、檢驗(yàn)方法及判定標(biāo)準(zhǔn)產(chǎn)品名稱檢驗(yàn)工程檢驗(yàn)方法判定標(biāo)準(zhǔn)太陽(yáng)能級(jí)多晶硅基磷電阻率和施主雜質(zhì)濃度GB/T4059、GB/T1550、GB/T1551、GB/T24574、GB/T24581GB/T 25074-2021基硼電阻率和受主雜質(zhì)濃度GB/T4060、GB/T1550、GB/T1551、GB/T24574、GB/T24581、GB/T24580少數(shù)載流子壽命GB/T1553、SEMI MF1535氧濃度GB/T1557碳濃度G

20、B/T1558基體金屬濃度SEMI PV1、GB/T XXXX外表金屬濃度GB/T24579、GB/T 24582半導(dǎo)體級(jí)多晶硅基磷電阻率和施主雜質(zhì)濃度GB/T4059、GB/T1550、GB/T1551、GB/T24574、GB/T24581GB/T 12963-2021基硼電阻率和受主雜質(zhì)濃度GB/T4060、GB/T1550、GB/T1551、GB/T24574、GB/T24581、GB/T24580少數(shù)載流子壽命GB/T1553、SEMI MF1535碳濃度GB/T1558氧濃度GB/T1557基體金屬濃度SEMI PV1、SEMI PV10、GB/T XXXX外表金屬濃度GB/T24

21、579、GB/T 245825. ?多晶硅行業(yè)準(zhǔn)入條件?測(cè)評(píng)收費(fèi)根據(jù)?多晶硅行業(yè)準(zhǔn)入條件?測(cè)評(píng)細(xì)那么的要求，多晶硅產(chǎn)品生產(chǎn)企業(yè)應(yīng)委托工業(yè)和信息化部指定的第三方檢驗(yàn)機(jī)構(gòu)對(duì)其進(jìn)行現(xiàn)場(chǎng)測(cè)評(píng)及有關(guān)參數(shù)的實(shí)驗(yàn)室檢測(cè)，相關(guān)收費(fèi)以保障測(cè)評(píng)工作為主，不以盈利為目的。5.1現(xiàn)場(chǎng)評(píng)價(jià)費(fèi)用根據(jù)企業(yè)生產(chǎn)規(guī)模不同準(zhǔn)入評(píng)價(jià)委派專家每組通常不少于2人，現(xiàn)場(chǎng)評(píng)價(jià)費(fèi)用見表4。表4?多晶硅行業(yè)準(zhǔn)入?測(cè)評(píng)費(fèi)用產(chǎn)品名稱生產(chǎn)規(guī)模派專家人日測(cè)評(píng)費(fèi)萬(wàn)元太陽(yáng)能級(jí)多晶硅6000噸/年以下56000噸/年-10000噸/年810000噸/年以上104半導(dǎo)體級(jí)多晶硅2000T噸/年一下52000噸/年-4000噸/年84000噸/年以上1045.

22、2 檢驗(yàn)費(fèi)多晶硅行業(yè)準(zhǔn)入檢驗(yàn)現(xiàn)場(chǎng)評(píng)價(jià)組對(duì)多晶硅生產(chǎn)企業(yè)進(jìn)行現(xiàn)場(chǎng)檢驗(yàn)及實(shí)驗(yàn)室檢驗(yàn)，檢驗(yàn)工程及費(fèi)用況見表5。 表5準(zhǔn)入檢驗(yàn)工程及費(fèi)用序號(hào)產(chǎn)品名稱準(zhǔn)入檢驗(yàn)工程檢測(cè)方法準(zhǔn)入評(píng)價(jià)費(fèi)用元1太陽(yáng)能級(jí)多晶硅基磷電阻率施主雜質(zhì)濃度P，As，SbGB/T1551 6000GB/T4059 GB/T24574、 GB/T24581基硼電阻率受主雜質(zhì)濃度B，Al，GaGB/T1551 GB/T4060、GB/T24574、GB/T24581少數(shù)載流子壽命GB/T1553、 SEMI MF15351000氧濃度GB/T15571000碳濃度GB/T1558基體金屬雜質(zhì)濃度SEMI PV1、GB/T XXXX5000外表

23、金屬雜質(zhì)濃度GB/T24579、GB/T 2458270002半導(dǎo)體級(jí)多晶硅基磷電阻率施主雜質(zhì)濃度P，As，SbGB/T1551 6000GB/T4059、 GB/T24574、GB/T24581基硼電阻率受主雜質(zhì)濃度B，Al，GaGB/T1551 GB/T4060、GB/T24574、GB/T24581少數(shù)載流子壽命GB/T15531000氧濃度GB/T15571000碳濃度GB/T1558基體金屬雜質(zhì)濃度SEMI PV1 、GB/T XXXX5000外表金屬雜質(zhì)濃度GB/T24579、GB/T 24582 70006準(zhǔn)入測(cè)評(píng)及監(jiān)督6.1對(duì)于申請(qǐng)準(zhǔn)入的多晶硅生產(chǎn)企業(yè)，應(yīng)委托工業(yè)和信息化部指定

24、的第三方專業(yè)檢測(cè)機(jī)構(gòu)按?多晶硅行業(yè)準(zhǔn)入條件?的要求進(jìn)行現(xiàn)場(chǎng)評(píng)價(jià)及有關(guān)參數(shù)的實(shí)驗(yàn)室檢測(cè)。檢測(cè)機(jī)構(gòu)出具評(píng)價(jià)報(bào)告。6.2已獲得?多晶硅行業(yè)準(zhǔn)入?的多晶硅生產(chǎn)企業(yè)，準(zhǔn)入測(cè)評(píng)周期為5年。每年抽取一定比例的多晶硅生產(chǎn)企業(yè)，由工業(yè)和信息化部指定的第三方專業(yè)檢測(cè)機(jī)構(gòu)對(duì)其定期進(jìn)行監(jiān)督檢驗(yàn)。7 ?多晶硅行業(yè)準(zhǔn)入條件?測(cè)評(píng)人員工作守那么7.1遵紀(jì)守法，依法行政，保守秘密，老實(shí)守信；7.2 堅(jiān)持原那么，秉公辦事，忠于職守，盡職盡責(zé)；7.3 效勞企業(yè)，高效快捷，謙虛謹(jǐn)慎、文明待人；7.4 作風(fēng)正派，清正廉潔，自警自省，慎權(quán)慎欲。附件1?多晶硅行業(yè)準(zhǔn)入條件?現(xiàn)場(chǎng)測(cè)評(píng)記錄表 測(cè)評(píng)日期： 年 月 日 至 年 月 日企業(yè)名稱蓋章 生產(chǎn)地址聯(lián)系人產(chǎn)品名稱產(chǎn)品牌號(hào)評(píng)價(jià)依據(jù)工程最低資本金比例水循環(huán)利用率生產(chǎn)規(guī)模太陽(yáng)能級(jí)噸/年半導(dǎo)體級(jí)噸/年準(zhǔn)入條件要求30%95%30001000核查結(jié)果準(zhǔn)入條件要求資 源 回 收單耗四氯化硅%氯化氫%氫氣%硅粉kg/kg氯氣kg/kg氫氣m3/kg三氯氫硅kg/kg9999核查結(jié)果工程能 耗準(zhǔn)入條件要求太陽(yáng)能級(jí)千瓦時(shí)/千克半導(dǎo)體級(jí)直拉千瓦時(shí)/千克半導(dǎo)體級(jí)區(qū)熔千瓦時(shí)/千克80100120核查結(jié)果類別姓名職務(wù)單位名稱現(xiàn)場(chǎng)評(píng)價(jià)組企業(yè)代表簽字姓名職務(wù)備注附件2多晶硅產(chǎn)品抽樣單企業(yè)情況申請(qǐng)單位名稱(蓋章)生產(chǎn)地址郵政編碼聯(lián)系人 產(chǎn)品名稱執(zhí)行標(biāo)準(zhǔn)抽樣情況牌號(hào)產(chǎn)品等級(jí)生產(chǎn)日期或批號(hào)抽樣方式抽樣基數(shù)抽樣