三甲基鋁安全使用說(shuō)明書(shū)

1、 電子級(jí)三甲基鋁請(qǐng)?jiān)谑褂帽井a(chǎn)品前認(rèn)真閱讀本安全產(chǎn)品說(shuō)明書(shū)電子級(jí)三甲基鋁作為化合物半導(dǎo)體沉積的鋁源。應(yīng)用于發(fā)光二極管、激光二極管、晶體管離性能和離效率太陽(yáng)能電池中。它還用于硅半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)化學(xué)氣相沉積過(guò)程中。1物理性能分子式(CH3)3A1分子量72.09CAS號(hào)75-24-1外觀清亮透明液體沸點(diǎn)127C(760mmHg)熔點(diǎn)15C液體密度0.752g/ml(20C)蒸氣壓力at10C(283.15K)4.87torrat15C(288.15K)6.57torr蒸汽壓方程logP(torr)=B-A/T(K)A=2134,B=8.224危害識(shí)別三甲基鋁為易燃液體，遇水劇烈反應(yīng)。接觸皮狀時(shí)可能導(dǎo)致嚴(yán)重

2、的燒傷。煙霧可能會(huì)導(dǎo)致皮狀和眼睛不適。由丁三甲基鋁及其分解物屈有毒物質(zhì)，應(yīng)避免吸入。建議急救接觸大量三甲基鋁和及其副產(chǎn)品后應(yīng)立即就醫(yī)。急救人員應(yīng)配備相應(yīng)的防護(hù)裝備（呼吸器具等），以防止三甲基鋁在空氣中H燃或與水反應(yīng)發(fā)生的爆炸等潛在危險(xiǎn)。皮膚接觸立即排出產(chǎn)品所在區(qū)域范圍內(nèi)的水，在未接觸皮膚時(shí)盡可能快的裝備好防護(hù)用具。用肥皂和水清潔可能接觸到的三甲基鋁，包括頭發(fā)和指甲下的肌膚等部位。并立即就醫(yī)咨詢。眼睛接觸戴隱形眼鏡的人員，盡可能不要接觸三甲基鋁。三甲基鋁誤入眼睛時(shí)，應(yīng)立即用大量清水沖洗至少15分鐘。并撥開(kāi)眼臉以保證徹底沖洗，同時(shí)立即就醫(yī)咨詢。吸入吸入時(shí)可能導(dǎo)致過(guò)敏。作業(yè)人員應(yīng)快速轉(zhuǎn)移到安全區(qū)域，

3、立即使用獨(dú)立呼吸器具。如呼吸困難，應(yīng)給氧。如呼吸已停止，應(yīng)進(jìn)行人工呼吸，并立即尋求醫(yī)療援助。FIRE滅火措施滅火器械金屬有機(jī)化學(xué)材料發(fā)生火災(zāi)時(shí)，只能使用干粉、純堿或石灰滅火，絕對(duì)不能使用水、泡沫或鹵代化合物滅火。為保險(xiǎn)起見(jiàn)，三甲基鋁在儲(chǔ)運(yùn)和使用過(guò)程中應(yīng)遠(yuǎn)離火源。暴露的危險(xiǎn)在已控火災(zāi)中，三甲基鋁在暴露的空氣中或與水接觸時(shí)會(huì)重新燃燒。專用防護(hù)設(shè)備防火服裝、獨(dú)立呼吸器具、而罩、安全護(hù)目鏡、安全鞋和抗火手套。意外泄露措施個(gè)人預(yù)防措施發(fā)生意外時(shí)，所有人員應(yīng)撤離危險(xiǎn)區(qū)域，并使用適當(dāng)?shù)姆雷o(hù)設(shè)備，確保足夠的通風(fēng)。在嘗試處理現(xiàn)場(chǎng)時(shí)應(yīng)先用悄性氣體保護(hù)設(shè)備。如果容器或閥門發(fā)生泄漏,立即呼叫緊急電話。環(huán)境的預(yù)防措施在

4、確保安全的前提下，盡可能的試著處理泄露的區(qū)域。防滅火措施見(jiàn)第4節(jié)。清理方法具體方法請(qǐng)聯(lián)系合林。6、包裝和運(yùn)包裝任何接觸三甲基鋁的設(shè)備都必須保證徹底清潔并保持密閉狀態(tài)。使用前，必須排除系統(tǒng)內(nèi)所有的空氣和水分。運(yùn)輸三甲基鋁為金屈有機(jī)化合物，液體，燃，遇水劇烈反應(yīng)。包裝運(yùn)輸應(yīng)符合相關(guān)安全規(guī)則。特殊保護(hù)呼吸保護(hù)呼吸器具可供緊急使用。通風(fēng)大型通風(fēng)設(shè)備。廢氣排放防止大量的鋁氧化粉塵散入空氣中。防護(hù)手套耐火手套保護(hù)眼睛安全護(hù)目鏡或面罩。其他保護(hù)安全鞋、安全淋浴、洗眼噴頭和防火服。8、定性和反應(yīng)性預(yù)防措施空氣中易白燃。避免與水、空氣或其它氧化劑接觸。氧化分解產(chǎn)物鋁氧化灰塵、CO、C02,具有一定危險(xiǎn)性。9、毒理學(xué)資料鋁氧化灰塵形成這種化合物氧化時(shí)可能會(huì)導(dǎo)致試驗(yàn)動(dòng)物肝臟和腎臟的毒性作用。鋁氧化粉塵作業(yè)（三甲基鋁燃燒時(shí)）不屬是劇毒操作。IARC、NTP和OSHA并未將三甲基鋁列為致癌物質(zhì)或潛在致癌物質(zhì)。TSCA清單上列出三甲基鋁為有毒物質(zhì)。根據(jù)對(duì)該產(chǎn)品己有信息的了解,我們可以保證本安全說(shuō)明書(shū)內(nèi)容的準(zhǔn)確性,但并不保證其完整性。由丁在本品使用過(guò)程中可能存在未知因素,因此我們不能保證其安全使用。同時(shí)因使用本產(chǎn)品造成的損害,我們不承擔(dān)責(zé)任。所有化學(xué)品本身就存在未知的健康