真空泵場(chǎng)各類泵設(shè)備發(fā)展現(xiàn)狀概要

1、真空泵市場(chǎng)各類泵設(shè)備發(fā)展現(xiàn)狀2010年10月真空泵是一個(gè)量大面廣的產(chǎn)品，產(chǎn)量很大，產(chǎn)值不高，但它確實(shí)是一個(gè)直接影響 到真空成套設(shè)備性能 質(zhì)量的必不可少的基礎(chǔ)產(chǎn)品。局/超真空低溫泵、分子泵、濺射離子泵、鈦升華泵、擴(kuò)散泵。中真空 干泵、雙級(jí)旋片泵、羅茨泵、油增壓泵、水蒸氣噴射泵。粗/低真空單級(jí)旋片泵、滑閥泵、液環(huán)泵、往復(fù)式真空泵。真空泵的市場(chǎng)根據(jù)用戶的需要而發(fā)生動(dòng)態(tài)變化。市場(chǎng)增長(zhǎng)的主要驅(qū)動(dòng)力來(lái)自于 半導(dǎo)體工業(yè) 的迅速發(fā)展以及干泵和分子泵應(yīng)用 領(lǐng)域的日益擴(kuò)大。目前，全球真空泵市場(chǎng)的年銷售額約 20億美元，年增長(zhǎng)率在7% 左右0我國(guó)生產(chǎn)真空泵的廠家很多，全部真空泵的年銷售額大約在1.5億元左右，僅相

2、當(dāng)于美國(guó)Kinney (凱尼公司一家真空泵的年銷售額。通過(guò)對(duì)全球真空泵市場(chǎng)的分析我們可以看出，各類真空泵的市場(chǎng)及應(yīng)用領(lǐng)域都 在不斷變化和發(fā)展。我國(guó)真空泵制造業(yè)有著悠久的歷史和雄厚的基礎(chǔ)，國(guó)產(chǎn)真空泵 已經(jīng)在各個(gè)不同領(lǐng)域得到應(yīng)用并經(jīng)過(guò)驗(yàn)證，有些泵還出口國(guó)外 福到國(guó)外用戶的認(rèn)可 并受到好評(píng)，應(yīng)該說(shuō)我國(guó)真空泵制造業(yè)在國(guó)內(nèi)外市場(chǎng)仍然有著巨大的發(fā)展空間。.水環(huán)真空泵雖然水環(huán)真空泵屬于粗真空泵，但在我國(guó)的石油、化工、電 力、輕紡、造紙、醫(yī)藥 等領(lǐng)域仍然有著很大的市場(chǎng)。 在國(guó)外，水環(huán)泵的銷售額占 全部真空泵市場(chǎng)的14%,僅次于干泵，所以NasM納西姆、Seimems(H門(mén)子和 Kinney等公司都在我國(guó)投資建

3、廠或建立銷售網(wǎng)絡(luò)，不斷擴(kuò)大在我國(guó)的市場(chǎng)份額。由 于水環(huán)泵大部分是鑄件，加工要求也不高，屬勞動(dòng)密集型產(chǎn)品，所以國(guó)產(chǎn)水環(huán)泵在價(jià)格 上有競(jìng)爭(zhēng)優(yōu)勢(shì)，關(guān)鍵是要改進(jìn)設(shè)計(jì)，縮小體積，減輕重量，提高效率，降低能耗。.滑閥泵是油封式真空泵 的一種。由于滑閥泵比較耐用、可靠，國(guó)內(nèi)外各種 真空爐、鍍膜機(jī)以及干燥、浸漬等設(shè)備都是用滑閥泵作為前級(jí)泵，但是滑閥泵鑄件重，加工工作量較大，所以國(guó)外各真空廠都在中國(guó) 尋找合作伙伴。為了使國(guó)產(chǎn)滑閥 泵能夠進(jìn)入國(guó)際市場(chǎng)，必須進(jìn)一步降低泵的 振動(dòng)噪聲，杜絕噴油和漏油，提高滑閥泵 長(zhǎng)期運(yùn)行的可靠性。.直聯(lián)旋片泵 隨著真空技術(shù)在各個(gè)應(yīng)用領(lǐng)域的不斷擴(kuò)大，直聯(lián)旋片泵的需求量 越來(lái)越大。由于這

4、種泵 數(shù)量很多，加工裝配工作量很大，價(jià)格又很低，所以有的國(guó)外真 空廠商在中國(guó)建立專業(yè)廠。國(guó)產(chǎn)中小型直 聯(lián)旋片泵在技術(shù)上已經(jīng)過(guò)關(guān)，價(jià)格又遠(yuǎn)比 國(guó)外的泵便宜，所以國(guó)產(chǎn)泵仍然有競(jìng)爭(zhēng)優(yōu)勢(shì)，關(guān)鍵是要解決軸封 漏油以及旋片材料和 真空泵油的性能質(zhì)量問(wèn)題，確保直聯(lián)泵在高速、高溫下性能穩(wěn)定和運(yùn)行可靠，同時(shí)還要進(jìn)一步提高國(guó)產(chǎn)直聯(lián)旋片泵抽除水蒸氣的能力。.羅茨真空泵從國(guó)外羅茨真空泵生產(chǎn)情況來(lái)看，國(guó)外幾家大公司，如Leybold （萊 寶、Balzers（PFEIFFER BALZERS、Alcatell（阿爾卡特、Edwards（愛(ài)德華和 ULVAC（日本，他們各家羅茨 泵的銷售額占全球羅茨泵銷售額的比例都沒(méi)超過(guò)

5、5%,這5家總計(jì)才20%,羅茨泵產(chǎn)量不大，但國(guó)外羅茨泵 的價(jià)格遠(yuǎn)比國(guó)產(chǎn)泵要高得多。目 前，國(guó)內(nèi)外幾乎所有大型或小型的高真空和中真空系統(tǒng)，為了縮短抽氣時(shí) 間、提高生產(chǎn)效率都配有羅茨泵，所以國(guó)產(chǎn)羅茨泵一定要在占領(lǐng)國(guó)內(nèi)市場(chǎng)基礎(chǔ)上設(shè)法進(jìn)入國(guó)際 市場(chǎng)，這樣就必須進(jìn)一步降低國(guó)產(chǎn)羅茨泵的振動(dòng)噪聲，徹底解決軸封漏油問(wèn)題，改進(jìn)泵 的外觀質(zhì)量，提高泵內(nèi)的光潔 度和清潔度。另外，還要考慮到有些國(guó)家和地區(qū)的電源 頻率為60Hz，更要確保羅茨泵在提高轉(zhuǎn)速的情況下長(zhǎng)期運(yùn)行的可靠性。目前，國(guó)內(nèi)氣冷式直排大氣羅茨泵進(jìn)展很快，技術(shù)上已經(jīng)成熟。由于這種泵在排 氣口的下面裝有氣體 冷卻器，其中一部分被冷卻的氣體通過(guò)管道返回泵腔以冷

6、卻轉(zhuǎn) 子，從而使壓縮熱得到平衡，所以這種泵可 以直排大氣。為了滿足不同極限真空度的 要求，這種泵可以串聯(lián)使用，一般前面加一臺(tái)氣冷式直排大氣羅 茨泵，所達(dá)到的極限真 空要比前級(jí)泵高一個(gè)數(shù)量級(jí)。這種泵由于在泵腔內(nèi)沒(méi)有工作介質(zhì)，實(shí)際上也是屬于干泵。目前,這種氣冷式直排大氣羅茨泵及機(jī)組已經(jīng)在石油、化工、塑料、農(nóng)藥、汽 輪機(jī)轉(zhuǎn)子動(dòng)平衡、航空航天空間模擬等裝置上得到了長(zhǎng)期運(yùn)行的考驗(yàn)，所以應(yīng)該在 國(guó)內(nèi)大力推廣和應(yīng)用。.分子泵在國(guó)外半導(dǎo)體領(lǐng)域里的許多工藝場(chǎng)合是用來(lái)代替低溫泵，尤其是濺 射、刻蝕和LCVD等裝置都采用復(fù)合分子泵和牽引泵作為主泵。由于分子泵對(duì) 水蒸氣的抽速僅為同口徑低溫泵抽速的四分之一，所以分子泵

7、的排氣時(shí)間比低溫泵長(zhǎng)。為了提高抽速，國(guó)外在分子泵的入口側(cè)裝一個(gè)-130C-150C的低溫冷板，稱之 為低溫分子泵，水蒸氣被低溫板捕獲，其他氣體則由分子泵抽走。這種低溫分子泵在 真空鍍膜裝置上 應(yīng)用，既提高了生產(chǎn)效率又改善了膜層質(zhì)量。隨著我國(guó)半導(dǎo)體工 業(yè)、薄膜產(chǎn)業(yè)和科學(xué)研究事業(yè)迅速發(fā)展，分子泵應(yīng)該是我國(guó)真空泵制造業(yè)發(fā)展的重 點(diǎn)。首先，分子泵要從小到大建立完整系列，并研究開(kāi)發(fā)各種復(fù) 合分子泵、牽引泵和 低溫分子泵，以滿足不同場(chǎng)合的需要。6.干式機(jī)械真空泵國(guó)外干式機(jī)械真空泵市場(chǎng)的不斷增長(zhǎng)，其主要驅(qū)動(dòng)來(lái)自于半 導(dǎo)體行業(yè)、化學(xué)工業(yè)、 薄膜產(chǎn)業(yè)的迅速發(fā)展。在日本，半導(dǎo)體行業(yè)已全部用干式真 空泵代替油封式機(jī)

8、械泵，歐美半導(dǎo)體行業(yè)45%以上用干式真空泵代替了油封式機(jī)械 泵，大大提高了產(chǎn)品的性能和質(zhì)量。為了滿足不同應(yīng)用領(lǐng)域和不同工況的要求，國(guó)外有多級(jí)羅茨真空泵、多級(jí)爪式真空泵、螺桿式真空泵、渦旋式真空泵、往復(fù)式活塞 真空泵 以及渦輪式無(wú)油真空泵等。極限壓力從 10Pa 10-2Pa抽速?gòu)?0m 3/h-500m 3/h0據(jù)統(tǒng)計(jì)，目前國(guó)產(chǎn)干泵的 應(yīng)用還不足1%,國(guó)內(nèi)半導(dǎo)體工業(yè)用的干泵全部從國(guó)外 進(jìn)口，其價(jià)格十分昂貴。所以，我國(guó)應(yīng)大力研究開(kāi)發(fā) 干泵,使干泵成為我國(guó)真空工業(yè)新 的經(jīng)濟(jì)增長(zhǎng)點(diǎn)。真空泵技術(shù)進(jìn)展趨勢(shì)技術(shù)發(fā)展的原動(dòng)力在于市場(chǎng)的需求。由于真空技術(shù)領(lǐng)域的擴(kuò)展和迅速成長(zhǎng)的 高新技術(shù)，國(guó)內(nèi)真空泵市 場(chǎng)對(duì)真空

9、泵的技術(shù)水平提出了更高的要求。真空泵的生產(chǎn) 企業(yè)必須通過(guò)技術(shù)創(chuàng)新和產(chǎn)品結(jié)構(gòu)的調(diào)整兩個(gè)途徑來(lái)保住原有市場(chǎng)，進(jìn)而繼續(xù)擴(kuò)大市場(chǎng)占有率。(1提高真空泵的可靠性，降低振動(dòng)、噪聲，注重真空泵的綜合水平。過(guò)去的若干 年,生產(chǎn)廠注重真 空泵的主要性能指標(biāo)，比如，極限壓力、抽速等，而忽視真空泵的綜 合性能。而現(xiàn)在，產(chǎn)品的可靠性、性能的穩(wěn)定性以及對(duì)環(huán)境不造成污染逐漸成為用戶購(gòu)買產(chǎn)品時(shí)考慮的主要因素。 對(duì)于旋片泵、羅茨泵、滑閥 泵等而言要將成熟的可靠性設(shè)計(jì)理念運(yùn)用到真空泵的 設(shè)計(jì)中，在可靠性設(shè)計(jì)、可靠性實(shí)驗(yàn)等方面下工夫，以大幅度提高真空泵的可靠 性、穩(wěn)定性和壽命，保證真空泵能夠在各種工況下長(zhǎng)期可靠的運(yùn)行。同時(shí)通過(guò)

10、采用 新技術(shù)、新材料、新工藝、新結(jié)構(gòu)來(lái)降低振動(dòng)、噪聲 ，解決泵的噴油、漏油問(wèn)題，還 用戶一個(gè)清潔環(huán) 保的工作環(huán)境。(2真空泵向個(gè)性化、多樣化發(fā)展。企業(yè)面對(duì)的永遠(yuǎn)是變化的市場(chǎng)，而我們的真空泵產(chǎn)品卻千篇一律的雷同。產(chǎn)品 和市場(chǎng)的不銜接，使我們丟掉了許多機(jī)會(huì)。真空泵的下一步發(fā)展應(yīng)該面向個(gè)性化和 多樣化。所謂個(gè)性化和多樣化就是針對(duì)不同用 戶的不同需求，設(shè)計(jì)針對(duì)某一用戶的 特定場(chǎng)合的產(chǎn)品，使產(chǎn)品在這一場(chǎng)合應(yīng)用，其特性的發(fā)揮恰倒好處。(3盡快形成分子泵和干泵的規(guī)模生產(chǎn)。根據(jù)預(yù)測(cè)，到2010年我國(guó)將成為世界上第二大半導(dǎo)體集成電路市場(chǎng) ，總需求量 約1000億塊，達(dá)到1000億美元以上的總金額，需要建30多條

11、大生產(chǎn)線才能滿足需 求。30條生產(chǎn)線所需干式真空泵大約15000臺(tái)，是目前我國(guó)真空泵年產(chǎn)量的1/10 左右0國(guó)內(nèi)目前真空獲得設(shè)備仍然以傳統(tǒng)的真空泵為主，主要為旋片真空泵、滑閥真 空泵、羅茨真 空泵、蒸 汽流泵、水環(huán)真空泵等，且全部用于傳統(tǒng)產(chǎn)業(yè)，我國(guó)生產(chǎn)的 真空泵用于電子信息產(chǎn)業(yè)不足1%,與日本、歐美等國(guó)相比差距巨大。我國(guó)干式真空泵的生產(chǎn)處于剛剛起步階段，在全國(guó)200多家生產(chǎn)真空泵的企業(yè) 中，能夠生產(chǎn)干式真空 泵的企業(yè)不足10家，年產(chǎn)量不足1000臺(tái)。沒(méi)有形成批量生產(chǎn)。目前國(guó)內(nèi)生產(chǎn)的干泵絕大多數(shù)用于實(shí)驗(yàn)室 及化學(xué)、醫(yī)藥等領(lǐng)域，用于半導(dǎo)體行 業(yè)的很少。國(guó)內(nèi)飛速發(fā)展的電子信息產(chǎn)業(yè)沒(méi)有有效的刺激國(guó)內(nèi)干

12、式真空泵發(fā)展，而卻成為國(guó)際上真空工業(yè)發(fā)達(dá)國(guó) 家的擴(kuò)張之地。目前國(guó)內(nèi)建成的半導(dǎo)體集成電路生產(chǎn)線 ，幾 乎所有的干式真空泵(包括其它真空設(shè)備 均為進(jìn)口，主要來(lái)自英國(guó)、日本、德國(guó)、 美國(guó)等。國(guó)內(nèi)生產(chǎn)的干式真空泵進(jìn)入該領(lǐng)域十分艱難 ，使得干式真空 泵這個(gè)未來(lái)真 空獲得設(shè)備的主導(dǎo)產(chǎn)品在我國(guó)處于十分困難的境地。造成此狀況的主要原因?yàn)楦墒?真空泵在 我國(guó)的起步較晚，剛一起步即面臨國(guó)外已經(jīng)發(fā)展成熟的產(chǎn)品大量進(jìn)入我國(guó) 市場(chǎng)，國(guó)內(nèi)產(chǎn)品除了價(jià)格低外，在加工制造、技術(shù)水平、質(zhì)量狀況等各方面不含有優(yōu) 勢(shì)，國(guó)外各國(guó)的產(chǎn)品經(jīng)過(guò)幾年的較量，已經(jīng)基本瓜分了國(guó)內(nèi)市場(chǎng)，并且站穩(wěn)了腳，國(guó)內(nèi) 的干式真空泵生產(chǎn)由于失去了市場(chǎng)的激勵(lì)，沒(méi)有

13、了發(fā)展的動(dòng)力，進(jìn)步緩慢。業(yè)內(nèi)專家一致認(rèn)為干式真空泵是真空獲得設(shè)備發(fā)展的方向，也是真空獲得手段 的尖端”技術(shù)，我國(guó)的真空泵產(chǎn)業(yè)必須在此領(lǐng)域有所作為，首先進(jìn)入食品、化工、 醫(yī)藥等行業(yè)。經(jīng)過(guò)這些市場(chǎng)的培育和鍛煉，進(jìn)而打入半導(dǎo)體行業(yè)。才能使整個(gè)行業(yè) 與時(shí)俱進(jìn)的發(fā)展。目前國(guó)內(nèi)分子泵應(yīng)健全系列并開(kāi)發(fā)多品種，如低溫分子泵、復(fù)合分子泵等，逐漸 擴(kuò)展市場(chǎng)。(4引進(jìn)國(guó)外先進(jìn)技術(shù)，打造國(guó)產(chǎn)自主品牌。引進(jìn)國(guó)外先進(jìn)技術(shù)，提升我國(guó)產(chǎn)品的科技含量在其他行業(yè)有成功的經(jīng)驗(yàn)。在發(fā) 展真空獲得設(shè)備的高端 產(chǎn)品中引進(jìn)國(guó)外技術(shù)，并很好的消化吸收，將宅譽(yù)速改變我 國(guó)產(chǎn)品技術(shù)含量低、 質(zhì)量和技術(shù)水平不能滿足 市場(chǎng)需求的現(xiàn)狀。但芒引進(jìn)國(guó)外技

14、 術(shù)，應(yīng)特別注意兩點(diǎn)：一是重在消化吸收，在此基礎(chǔ)上培育企業(yè)的自主知識(shí)產(chǎn)權(quán)和創(chuàng)新能力。二是不要重復(fù)盲目引進(jìn)，要瞄準(zhǔn)國(guó)際上當(dāng)代最新技術(shù)，避 免引進(jìn)一代，落后一代。引進(jìn)國(guó)外技術(shù)不是目的，而是手段，通過(guò)引進(jìn)技術(shù)最終打造國(guó) 產(chǎn)自主品牌！(5抓緊產(chǎn)品結(jié)構(gòu)調(diào)整，全力開(kāi)發(fā)適應(yīng)市場(chǎng)需求的產(chǎn)品傳統(tǒng)的真空設(shè)備我們生產(chǎn)了幾十年，在全國(guó)范圍內(nèi)形成了產(chǎn)品分布的穩(wěn)定格 局。但是隨著經(jīng)濟(jì)的高速 發(fā)展，信息技術(shù)、航空航天、納米科學(xué) 等高科技弓I導(dǎo) 了當(dāng)今科學(xué)技術(shù)發(fā)展的潮流。而這些高新技術(shù)的發(fā) 展離不開(kāi)真空獲得設(shè)備這個(gè)基 礎(chǔ)裝備。目前國(guó)內(nèi)的狀況是真空泵生產(chǎn)企業(yè)仍然以生產(chǎn)傳統(tǒng)產(chǎn)品為主 ，在傳統(tǒng)應(yīng)用 領(lǐng)域占領(lǐng)90%以上的市場(chǎng)份額。在高科技領(lǐng)域，國(guó)內(nèi)產(chǎn)品在技術(shù)水平和質(zhì)量上不能 滿足要求,90%以上市場(chǎng)份額由國(guó)外產(chǎn)品占領(lǐng)。國(guó)內(nèi)真空獲得產(chǎn)品與高新技術(shù)的發(fā)展嚴(yán)重脫節(jié)，產(chǎn)品結(jié)構(gòu)不盡合理。多數(shù)企業(yè) 期望靠已有的老產(chǎn)品，不斷增加產(chǎn)量而逐年增加利潤(rùn)，這種可能性在市場(chǎng)競(jìng)爭(zhēng)日益激 烈的今天會(huì)越來(lái)越小。在今天的國(guó)內(nèi)外市場(chǎng) 格局面前，盡快調(diào)整產(chǎn)品結(jié)構(gòu)，使其適應(yīng) 市場(chǎng)需求才是最明智的選擇。