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1、奈米級超精密切削技術簡介華梵大學機電工程學系奈米級超精密加工技術Source：工研院機械工業(yè)研究所華梵大學機電工程學系奈米級超精密切削超精密車床 高精度高速旋轉(zhuǎn)主軸(靜油壓，空壓軸承)， 傳動機構精度高，剛性高，微細進給(1um以下)， 精密量測控制裝置。被削材 磁碟、磁鼓、球面鏡等電子光學元件與精密模具 Cu、Au、Ag、Al、Pt、Pb、electroless Ni、Be、 Brass、Si、Glass 、 、 等。 20 50 nm Rmax 的面粗糙度。其值可更小，但 取決於加工機械的運動精度。 紅外線窗用材料，面粗糙度 Rmax (nm) SrF2(23)、ZnS(40)、CaF2(

2、43)、NaCl(45)、ZnSe(76)、Ge(27 137)。華梵大學機電工程學系奈米級超精密切削單點鑽石超精密車削 (SPDT)鑽石刀具 劍形形狀，側(cè)切刃角 0 50C，斜角小00 正 ，單晶天然鑽石車刀。切削條件 feed：0.01 0.1mm/rev 1 40 nm DOC：0.2 0.6 mm 5 50 nm V：1000m/min華梵大學機電工程學系Schematic of orthogonal cutting operation華梵大學精密加工實驗室理想的工件表面粗糙度Rmax = f 2 / 8 r = 0.001 m = 1 nm 當 f： 於工件1迴轉(zhuǎn)的進給量 = 5 m

3、/rev。 r：鑽石刀具刃端半徑 = 3 mm。華梵大學機電工程學系切削精加工面形成模式華梵大學機電工程學系CNC超精密車床的機械組合華梵大學機電工程學系CNC超精密車床的機械組合 (續(xù))華梵大學機電工程學系 花崗巖特性 振衰減能 ( 為Fe的數(shù)倍)。 熱安定性 (熱傳率為Fe的 1/50)。 時效安定性。超精密主軸的球面空氣軸承華梵大學機電工程學系床臺運動之6自由度華梵大學機電工程學系拘束形靜壓軸承滑軌面華梵大學機電工程學系CNC超精密車床的控制系統(tǒng)華梵大學機電工程學系雷射干涉位置回饋系統(tǒng)華梵大學機電工程學系掃描器干涉與其光學系華梵大學機電工程學系精密切斷加工機華梵大學機電工程學系精密平面加工機華梵大學

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