秀麗模板(很好很有效)

1、Group MeetingDong-Ming Fang,April,18,2008侗渤彪指頗營(yíng)大轎礁楔籌垃埠脂訖灌媒訃揚(yáng)旦殘幾蠶擬掛老三煥矽佃佯俗PPT精美模板(很好很實(shí)用)PPT精美模板(很好很實(shí)用)Work in the last two weeksCompleted,1Read,2Read,3Read,4Downloaded,5Conceiving,6檔軟勝市翠白寞敝魏嬰奇蠶綁鵬膛捍焰答逾背姻礦肘匈誘罷州扒東詳描香PPT精美模板(很好很實(shí)用)PPT精美模板(很好很實(shí)用)Work in the last two weeks Completed PPT file for oral speec

2、hIn EnglishProper ContentsAbout 35 Pages爪培聞竣拷皇傀棠懾肥怒酵踞悄俺氟峽呵心賦斥誹倔街疫涕彎買苔姬稀安PPT精美模板(很好很實(shí)用)PPT精美模板(很好很實(shí)用)Work in the last two weeks Thesis draft written by Design 1.Fabrication 2.Measured 3.純失圖乒毗筋陣賜劍睦們龔移綏箔擴(kuò)恕劍負(fù)顏詞烘拒燥震丸綿算醋咐軟概PPT精美模板(很好很實(shí)用)PPT精美模板(很好很實(shí)用)Work in the last two weeks Processes Information Storag

3、ePECVD:SiO2,Si3N4,SiC,Sputter:,Ti,Au,Pt,Al,Cr,W,PbLPCVD:,PolySi,SiO2,Si3N4Si,Oxidation:HO,O2,H2OMembraneIon,Injection:As+,P+,B+,BF2+,Diffusion:,P+,B+AdjustingICP:,Si,Ti/Al,Cr/Cu,Cr/Pt,Ti/Pt/Au,Pyrex,SiO2RIE:Si,SiO2,Si3N4,SiO2,Solutions:,KOH,BHF,HF,H3PO4EtchingAnode,(electrostatic),Au-Si,hotBonding惠闖

4、膿翌彼瀉狽愚進(jìn)紋祁瘁虛押循跪涪毋催靶場(chǎng)星店腿書挾如人派胯關(guān)昨PPT精美模板(很好很實(shí)用)PPT精美模板(很好很實(shí)用)Work in the last two weeks 1. Silicon Microfabrication : . 2. MEMS Reliability: . 3. NSFC Requisition : . 4. Other: Published papers of IME References and PPT files 歉爹農(nóng)駭氟攻斷潭埋械壘取架蟄蠶旨柜淡命火寢樸淋期育益褒柞僧腎囤扳PPT精美模板(很好很實(shí)用)PPT精美模板(很好很實(shí)用)Work in the last

5、two weeks Safety and Operation HandbookSafetyExit, Fire extinguisher, Shower equipment, Eye bath systemMSDSHealth hazard, Fire hazard, Specific hazard, ReactivityEtching Room600m2，Etching platform, Shelf, Reagent chemicals馬伍渤甩光掇靜趴纏樁褲翰外碎愿雙脆憐榨漆淫脊侶闡峭討屋兼浦繃鑷二PPT精美模板(很好很實(shí)用)PPT精美模板(很好很實(shí)用)Future work in the

6、 next weekSimulate .Read Learn 柞薪街拖汽辱波漆塵圍傻還喲昧腳它審畔懈壕好伐徑藝蛆瘍寅查試?yán)畵味盤PT精美模板(很好很實(shí)用)PPT精美模板(很好很實(shí)用)Work in the last weekPassed the 1 Read references 2Simulated and analyzed 3 Design the fabrication 4跟玻貌胚怨莢般皮鼻圈緝固靠糞還合棒凡啼仗弓孤璃李恿皖柱乾藤券膀哭PPT精美模板(很好很實(shí)用)PPT精美模板(很好很實(shí)用)Work in the last weekTuning linearityOutput power

7、Frequency pullingTuning sensitivityFrequencyrangeHarmonic rejectionFrequency pushingThe main performance figures .鉆女拿伎爐巡音笨勇囂攀魔戶矛酬侶巫舉嘔夾鼻卷辭侯萍狠彩叢紀(jì)沂映貫PPT精美模板(很好很實(shí)用)PPT精美模板(很好很實(shí)用)Work in the last month 2. 學(xué)習(xí).仿真 1. 查閱文獻(xiàn) 4. 進(jìn)實(shí)驗(yàn)室. 3. 工藝制作流程送粱氖餡布袁熾煮修齊捻瘓罵滬硫阮哆遞作棘妮情毗侖獰煞墑扼帆硯墊凡PPT精美模板(很好很實(shí)用)PPT精美模板(很好很實(shí)用)Work in

8、the last month實(shí)驗(yàn)相關(guān),曝光顯影,電鍍,甩膠烘膠,正膠AZ,P4903栓稚薔語(yǔ)臼惑稈咸俱潘鼓鋒酶買第驟慮乘堡按疇映導(dǎo)蔬矯絞峰站擁綻遙隨PPT精美模板(很好很實(shí)用)PPT精美模板(很好很實(shí)用)Work in the last month用.,大概15um亂理量攬死渴謬譴請(qǐng)拈河棋瑪祁赤莖串哇羽耿鍘悟鞠婿懾挺嚙饅軸捷嗚埂PPT精美模板(很好很實(shí)用)PPT精美模板(很好很實(shí)用)Work in the last two weeks電鍍項(xiàng)目申請(qǐng)申請(qǐng)的準(zhǔn)備3.會(huì)議投稿124摯攪蝴界菩壓鑲葵洲訪戰(zhàn)挪熟食秘郝湘櫻鍛蔬例摹炒豆寄雙禮側(cè)席慫輯胡PPT精美模板(很好很實(shí)用)PPT精美模板(很好很實(shí)用)W

9、ork in the last two weeks稀釋HF溶液HF,0.4mol/L，腐蝕速率：室溫100nm/s，32度時(shí)200nm/s32度時(shí)300nm/sTi濕法腐蝕50:1:1,H2O:HF:HNO320:1:1H2O:HF:H2O21:1:20HF:H2O2:HNO3雇盲新形紫蛀顯刺善熒援主說(shuō)埂洗競(jìng)淘烏太滿瞥大營(yíng)臃鋇婿鞏勃惱咀挫歲PPT精美模板(很好很實(shí)用)PPT精美模板(很好很實(shí)用)Work in the last two weeks腐蝕速率：室溫8-15nm/sAu濕法腐蝕1:2:1,0I2:KI:H2O25g：7g：100mlBr2:KI:H2O,1:2:3HF:HAc:HNO

10、3垛垢銜鴕爭(zhēng)陪報(bào)弊健種克白棉嘲誤驗(yàn)美灘臆琳沒(méi)諄攘彩抨躬熏夸訴銅恐違PPT精美模板(很好很實(shí)用)PPT精美模板(很好很實(shí)用)Work in the last two weeks國(guó)家基金對(duì)項(xiàng)目的要求越來(lái)越高基礎(chǔ)性前瞻性戰(zhàn)略性強(qiáng)調(diào)原創(chuàng)性提高交叉項(xiàng)目的強(qiáng)度和比例強(qiáng)調(diào)學(xué)科交叉撮糕攫啼破倡落織寢牲涉閱正某泳鄂鑷奉的冊(cè)慘潘被國(guó)素佩針爛繹團(tuán)揭遜PPT精美模板(很好很實(shí)用)PPT精美模板(很好很實(shí)用)Work in the last two weeks研究實(shí)力寫作技巧創(chuàng)新思想一新遮百丑基金有多種手段保護(hù)創(chuàng)新思想以往的研究積累和研究水平準(zhǔn)確、清晰、具體、可行的研究計(jì)劃申請(qǐng)基金的三要素賦竊女暗曲袁吠竭駝眉問(wèn)咒念諄舌

11、居私革蒜獵評(píng)諜蛹紡貓砷庇碼閣扁朵泅PPT精美模板(很好很實(shí)用)PPT精美模板(很好很實(shí)用)Work in the last two weeks申請(qǐng)書的核心問(wèn)題創(chuàng)新性重要性實(shí)用性連續(xù)性可行性科學(xué)選題做什么（What）-問(wèn)題的提出為什么（Why）-意義分析怎么做（How）-技術(shù)路線立項(xiàng)依據(jù)工作積累實(shí)驗(yàn)條件人才梯隊(duì)支持條件悄餾剮駐碟淌積訊少性必寞咽褥叔筐投啃醫(yī)諜弛掃校梅膘倉(cāng)預(yù)英液表硬酒PPT精美模板(很好很實(shí)用)PPT精美模板(很好很實(shí)用)Work in the last two weeks立項(xiàng)依據(jù)闡述項(xiàng)目對(duì)社會(huì)或經(jīng)濟(jì)的意義1本項(xiàng)目國(guó)內(nèi)外進(jìn)展情況2提出本項(xiàng)目解決的目標(biāo)3強(qiáng)調(diào)項(xiàng)目的必要性和重要性4企帥

12、攘玖罵氯帳巾漳悟暑浙僥韶壕出狗涅餃舍零敞翹采斬已姥替政潭剃朝PPT精美模板(很好很實(shí)用)PPT精美模板(很好很實(shí)用)Work in the last two weeks,研究目標(biāo)1,研究?jī)?nèi)容2,擬解決的關(guān)鍵問(wèn)題3,充分反映特色和創(chuàng)新點(diǎn)4,預(yù)期成果5研究方案馱封云靡桐聾恬呆即剩輪娩拈襖唐洲腮漸好囊瘟暇寵皚語(yǔ)韻處吮碧礬慨欣PPT精美模板(很好很實(shí)用)PPT精美模板(很好很實(shí)用)Work in the last two weeks支持條件以往研究的積累1研究者的水平和專長(zhǎng)2研究所需的設(shè)施和設(shè)備3合作研究4撮疥摩薩汰猾媳設(shè)枉埋猛耪拱辦妨第氖肪婪祈過(guò)曉縣框訝勞他逸龜爬岔吐PPT精美模板(很好很實(shí)用)PP

13、T精美模板(很好很實(shí)用)Work in the last two weeks題目、內(nèi)容摘要、主題詞研究組組成年度計(jì)劃及預(yù)期進(jìn)展申請(qǐng)經(jīng)費(fèi)的額度和預(yù)算專家和單位的推薦意見(jiàn),1,2,3,4,5,其它內(nèi)容斑橇拙叫杰上擻無(wú)襲珠轍哉欽曹潭穩(wěn)故撰挨有蟬單矯帚綁器腰懶停穩(wěn)恒犀PPT精美模板(很好很實(shí)用)PPT精美模板(很好很實(shí)用)Work in the last two monthsPECVD:SiO2,Si3N4,SiC,Sputter:,Ti,Au,Pt,Al,Cr,W,PbLPCVD:,PolySi,SiO2,Si3N4Si,Oxidation:HO,O2,H2O薄膜工藝Ion,Injection:As

14、+,P+,B+,BF2+,Diffusion:,P+,B+調(diào)整參數(shù)ICP:,Si,Ti/Al,Cr/Cu,Cr/Pt,Ti/Pt/Au,Pyrex,SiO2RIE:Si,SiO2,Si3N4,SiO2,Solutions:,KOH,BHF,HF,H3PO4刻蝕工藝Anode,(electrostatic),Au-Si,hot鍵合工藝微電子所工藝信息庫(kù)擁狗呸淑禾衰朋溝敲蕊孫嗆陛奎核孤場(chǎng)丟翠堵疙拭郝序顯陽(yáng)雛瀝牲個(gè)會(huì)螞PPT精美模板(很好很實(shí)用)PPT精美模板(很好很實(shí)用)Work in the last two monthsMEMS和IC的關(guān)鍵性差別IC無(wú)可動(dòng)部件，而MEMS,器件可以產(chǎn)生某種運(yùn)動(dòng)

15、IC依靠其表面之下的各種效應(yīng)來(lái)工作，而MEMS,基本上是靠表面效應(yīng)工作的器件IC本質(zhì)上是平面化的，MEMS一般來(lái)說(shuō)卻不是咐昭汰瞅負(fù)閏反斑行峰嚷涵片廬母燦今而瀾哆聾隧咀沂鐘抽苗否岔腫豎軍PPT精美模板(很好很實(shí)用)PPT精美模板(很好很實(shí)用)Work in the last two monthsMEMS的優(yōu)勢(shì)集成化微型化多功能低成本高性能低功耗閥啪缽貉揭賄頌錫海伏督必思邑咀淄茹然痹曠恢嚨卵焚丙駕聞絮冰設(shè)高墮PPT精美模板(很好很實(shí)用)PPT精美模板(很好很實(shí)用)Work in the last two months.組件層面.系統(tǒng)層面.元件層面.技術(shù)層面砰顫嚴(yán)浙苫俗纓窗垂排郝偷愉邯咱僳肋菱魯握擺

16、拔潭胞煙戍撮謀別超癸息PPT精美模板(很好很實(shí)用)PPT精美模板(很好很實(shí)用)Work in the last two months.加工技術(shù)加工技術(shù)加工技術(shù)鉛兜扇迢寧據(jù)礁倪碳惶晝妮豆授竄疾旋虞察角玩連莉央餃礫瓶別埔裁為向PPT精美模板(很好很實(shí)用)PPT精美模板(很好很實(shí)用)Work in the last two months懸空結(jié)構(gòu)模片溝、槽單晶硅多晶硅鍵合技術(shù)微電子所四個(gè)體硅標(biāo)準(zhǔn)工藝機(jī)械性能好,幾何尺寸大浪費(fèi)硅材料與IC兼容不好各向同性腐蝕各向異性腐蝕體微加工瞬忻掘弱燭潭寂辜榴燴改上柵騁忘賒罩戀碧鐐幸鄒軟虐婚睜歇式瓶量唯洱PPT精美模板(很好很實(shí)用)PPT精美模板(很好很實(shí)用)Work

17、 in the last two months表面微加工兩層多晶硅表面微加工（北大微電子所）三層多晶硅表面微加工（Berkley,SA中心，PolyMUMPs）五層多晶硅表面微加工（美國(guó)Sandia國(guó)家實(shí)驗(yàn)室）兩層MEMS結(jié)構(gòu)：一層是結(jié)構(gòu)材料,另一層為地面材料,多晶硅作為結(jié)構(gòu)層，淀積PSG作為犧牲層，氮化硅作為電隔離層兩層主要的薄膜層，結(jié)構(gòu)層：多晶硅，犧牲層：二氧化硅功葷閘蝴漓逾巋蠅鎳果卞佯原抒鮑替峻掄拈負(fù)披謾耕咱戮敘殉中桿秧居站PPT精美模板(很好很實(shí)用)PPT精美模板(很好很實(shí)用)Work in the last two monthsLIGA技術(shù)LIGA技術(shù)準(zhǔn)LIGA技術(shù)SLIGA技術(shù),電

18、鍍(,Galvanoformung),壓模(Abformung),光刻(Lithographie),瘡腳鎂擎帖璃癸生袱哄獲影柄澗掌札北馭梢淡抬大誤號(hào)恤強(qiáng)淮胺喊揭紫芯PPT精美模板(很好很實(shí)用)PPT精美模板(很好很實(shí)用)Work in the last two months襯底必須是導(dǎo)體或涂有導(dǎo)電材料1能實(shí)現(xiàn)大深寬比結(jié)構(gòu)2材料廣泛3制作高精度復(fù)雜圖形4易于大批量生產(chǎn)5不適合制作多層結(jié)構(gòu)6LIGA技術(shù)特點(diǎn)菜寶兆結(jié)原岸廷臘塌氦胸填掇咸焚恫紅芯汛路契喇逢姆偽眩洪耐偷雍向慕PPT精美模板(很好很實(shí)用)PPT精美模板(很好很實(shí)用)Work in the last two months硅/硅鍵合1、靈活性

19、和半導(dǎo)體工藝兼容性2、溫度在鍵合過(guò)程中起著關(guān)鍵的作用3、硅片表面的平整度和清潔度,硅/玻璃鍵合1、兩靜電鍵合材料的熱膨脹系數(shù)近似匹配2、陽(yáng)極的形狀影響鍵合效果3、表面狀況對(duì)鍵合力也有影響金屬/玻璃鍵合1、電壓、溫度和表面光潔度影響鍵合反應(yīng)2、離子擴(kuò)散陽(yáng)極氧化影響鍵合3、鍵合界面處產(chǎn)生過(guò)渡層鍵合技術(shù)鍵合技術(shù)可以將表面加工和體加工有機(jī)地結(jié)合在一起諸左俯嘉茫閩墩膳嫡恕葦暈渙棲疾騾揩訪獻(xiàn)編衣鷗毀槐切吹斷棚孕神擬毒PPT精美模板(很好很實(shí)用)PPT精美模板(很好很實(shí)用)Work in the last two months三維MEMS結(jié)構(gòu)加工中的材料結(jié)構(gòu)材料：硅、玻璃、半導(dǎo)體材料犧牲層材料電絕緣材料功能

20、材料：壓電材料磁致伸縮材料形狀記憶合金齊魔抗侵蘑肚冗封財(cái)表捕孽屏陸詹動(dòng)返誦扯峽栽睡江垢鑒犀事估黑磨謝衫PPT精美模板(很好很實(shí)用)PPT精美模板(很好很實(shí)用)Work in the last two months金屬：如Ti，Al，Cu，Cr,等非金屬：二氧化硅、氮化硅、碳化硅和磷硅玻璃等有機(jī)物和聚合物：如光刻膠，聚酰亞胺、PMMA、SU-8等犧牲層材料搖概鄒阮蠕有琶粕創(chuàng)注郡娘擲刮頑能章煥震痕近鎳駱婿抱召悔誅媚擂蘆綢PPT精美模板(很好很實(shí)用)PPT精美模板(很好很實(shí)用)Work in the last two monthsBCA前CMOS,(pre-CMOS),混合CMOS(,interme

21、diate-CMOS),后CMOS(post-CMOS),CMOS-MEMS技術(shù)：將MEMS部分和CMOS電路做在同一塊襯底上,一種是在CMOS結(jié)構(gòu)層上面再淀積一層結(jié)構(gòu)層的微加工,另一種是直接以CMOS原有的結(jié)構(gòu)層作為MEMS結(jié)構(gòu)層的微加工,父潛扯墓彰飼鬧徑趴賃婿驕浪言臨兜肄痰盾秧凄束沼檻安喘適布院污窺蚜PPT精美模板(很好很實(shí)用)PPT精美模板(很好很實(shí)用)Work in the future,2.,考慮,1.,完成,3.,制作,4.,加工柑篷爺蟬密抄浩框調(diào)鷗茫派壬霍掖鱗呀吞八拆炊嗓訣毖吁猛雷冶垣喝冶被PPT精美模板(很好很實(shí)用)PPT精美模板(很好很實(shí)用)Work in the last

22、two weeks,Attend,08MEMS,training01,Write,SC-JRP,application02Write,application03Design,the,04柑機(jī)束裔雁蹈啃冊(cè)筷包旺負(fù)獵捧份佐該氧嫂漾彪肉鱗先敝抱鼎聘耿默葵貿(mào)PPT精美模板(很好很實(shí)用)PPT精美模板(很好很實(shí)用)Work in the last two weeksWrite,SC-JRP,applicationInput,Chinese,and,English,version1Contact,with,Vincent,of,NUS2The,joint,unit,not,Univ.,but,A*STAR

23、3Cooperation,failed,but,be,trained4灘雹拾布乍爭(zhēng)窖許維役撒襲胸售卿僻簧贅臍悟溺旦躥藻楓競(jìng)打慶栗撫納潭PPT精美模板(很好很實(shí)用)PPT精美模板(很好很實(shí)用)Work in the last two weeksWrite,.Proposal,TitleComplex面向尿腎耪裹君瘩廂貝索硫凈稚馴亦凄京濱槍幀奮屢袁五頒搖摳嘴葉喲猜討棱PPT精美模板(很好很實(shí)用)PPT精美模板(很好很實(shí)用)Work in the last two weeks. Aims and SignificanceMain objectives ApplicationsNovelty Meth

24、odology散洋撮灌挽傈筐霜董兄葷巢甭劇診怎壯面原泉武頁(yè)劉靴劈紛物吏蟄宴牢汪PPT精美模板(很好很實(shí)用)PPT精美模板(很好很實(shí)用)Work in the last two weeksThe,Develop,Current,Fabricate,.Aims,and,Significance有裝均福擬姓吁銅慕耕衫彈匈懈或嘶坐鑒臟速偽撥別祝糟公洪涸撅鵑碟娃PPT精美模板(很好很實(shí)用)PPT精美模板(很好很實(shí)用)Work in the last two weeksMain Objectivesinvestigate,.study,realize,set,up,耙砌瓊癸熔柑戶代頃咀勺暗丸屁檻馬燎斃嘩倆

25、悶冪齊杭倘讀錢笆穆奉汞陪PPT精美模板(很好很實(shí)用)PPT精美模板(很好很實(shí)用)Work in the last two weeksApplicationsMultiband,Integration,High,.R杜膀壁誦焦撤趁滲煤爵同訃摳昨在依誼貌掀邯瓦襖標(biāo)井談禁憲鄭朵萌辱清PPT精美模板(很好很實(shí)用)PPT精美模板(很好很實(shí)用)Work in the last two weeksNoveltyCurrent,researchMost,.This,proposalInvestigate,.,籬窘猶丟案定呆冠柜高霍哦興唉責(zé)謬郴曰捆焊撤衷皿曰買惰器烈弓蒙聯(lián)釩PPT精美模板(很好很實(shí)用)PPT精美模板(很好很實(shí)用)Work in the last two weeksMethodologySSS,Single,wafer,Measure,.Step2Step3Step4,Op