ESD防護(hù)治理方式

1、修訂履歷修序號(hào)原內(nèi)容修訂后舊版訂人修訂日期目的防止靜電對(duì)靜電敏感器件造成早期損壞或縮短使用壽命；使ESD 防護(hù)工作具有較強(qiáng)的可操作性。范圍適用于從靜電敏感器件進(jìn)貨到產(chǎn)品形成的全過程。定義靜電放電（ESD）處于不同電位的兩個(gè)物體之間，由于直接接觸或者電場(chǎng)感應(yīng)導(dǎo)致的電荷傳輸。靜電敏感器件（ESDS）在常規(guī)處理、測(cè)試或運(yùn)輸中可能會(huì)受到靜電場(chǎng)或者靜電放電損害的分立器件、集成電路或組件。職責(zé)生產(chǎn)部門負(fù)責(zé)靜電防護(hù)用品的使用和管理；實(shí)施所確定的靜電防護(hù)區(qū)域的靜電防護(hù)措施。品質(zhì)部(IQC, IPQC, QAESDESD/預(yù)防措施的提出及跟進(jìn)。研發(fā)部&營(yíng)業(yè)部負(fù)責(zé)對(duì)有特殊ESD 防護(hù)要求的產(chǎn)品/零部件，書面明確提

2、出具體防護(hù)要求。PMC(貨倉(cāng))負(fù)責(zé)對(duì)倉(cāng)庫(kù)內(nèi)所有ESD/行政人事部測(cè)一次。工程部ESD負(fù)責(zé)確定靜電防護(hù)控制點(diǎn)、區(qū)域和控制要求；負(fù)責(zé) ESD 防護(hù)文件和操作指導(dǎo)文件的編寫與建立；解釋靜電靜電的發(fā)生及帶電靜電的定義：物質(zhì)是由分子組成，分子是由原子組成，原子是構(gòu)成一切化學(xué)元素的最小微粒，這種物體表面所帶過?；虿蛔愕南鄬?duì)靜止不動(dòng)電荷，稱之為靜電。靜電的產(chǎn)生：靜電的產(chǎn)生有多種，這里主要講述與電子制程緊密相關(guān)的接觸起電、感應(yīng)起電、靜電的產(chǎn)生：靜電的產(chǎn)生有多種，這里主要講述與電子制程緊密相關(guān)的接觸起電、感應(yīng)起電、剝離起電、摩擦起電；其它如：粉體帶電、液體靜電、氣體帶電、飛沫帶電、噴出帶電在此不進(jìn)行講述。接觸起

3、電：當(dāng)兩種物質(zhì)接觸時(shí)，其間距小于10-8cm 時(shí)在其間即發(fā)生電子的轉(zhuǎn)移，界面兩側(cè)出現(xiàn)大小相等，符號(hào)相反的兩種電荷。感應(yīng)起電：它是導(dǎo)體在外部靜電場(chǎng)作用下，在不同部位表面感應(yīng)出不同符號(hào)的電荷。剝離起電：兩個(gè)接觸非常緊密的物質(zhì)，在外力作用下突然分開，由于剝離的原因使物體帶電。摩擦起電：由于摩擦生熱，熱使離子（電子）的活性增加，容易向其他物體轉(zhuǎn)移。靜電的危害對(duì)人體產(chǎn)生電擊：帶了電的人體接近接地體時(shí)，會(huì)由于靜電放電產(chǎn)生的瞬間沖擊電流流過人體某一部位而引起電擊。或者是原來不帶電的人體接近一個(gè)帶電物體時(shí)，帶電物體對(duì)人體放電而引起的電擊。對(duì)電子組件的損壞：對(duì)組件的損壞大體可分為兩種失效模式：一、突發(fā)性完全失效

4、即一次性擊穿、燒毀，產(chǎn)品在拿取、傳遞、作業(yè)時(shí)由于靜電放電造成的產(chǎn)品完全破壞，永久失效。；二、潛在性緩慢失效即靜電放電使產(chǎn)品造成毫無規(guī)律可循的潛在性失效，導(dǎo)致其可靠性下降。絕緣體與導(dǎo)體絕緣體絕緣體具有大表面電阻率，一般大于或等于 1012。產(chǎn)生靜電時(shí)即使接地電荷也不會(huì)泄放到大地， 物體仍處于帶電狀態(tài)。如：普通塑料制品、乙烯等導(dǎo)體導(dǎo)體一般表面電阻率在 105以下，電荷具有良好的流動(dòng)性，進(jìn)行接地電荷會(huì)大量流向大地，造成大電流而損壞電子元器件或擊傷人體。防靜電材料根據(jù)防靜電材料的導(dǎo)電性能，可分為靜電絕緣、耗散、導(dǎo)電、屏蔽四種。103-105； 靜電發(fā)生源人：人是最大的靜電發(fā)生源。人在作業(yè)過程中的任何操

5、作都可能使人的皮膚、頭發(fā)、衣服等帶上靜電。環(huán)境：地板、工作臺(tái)面、儀器設(shè)備等都是靜電發(fā)生源。材料：生產(chǎn)中的一些原材料、生產(chǎn)輔助材料、包裝材料等也可能是靜電發(fā)生源。表 1 常見物體的靜電發(fā)生序列漏電測(cè)試工具如電烙鐵、電批、示波器等；由于使用 220V 電進(jìn)行供電，會(huì)產(chǎn)生對(duì)地的漏電；漏電電壓較低， 1V。電子元器件的靜電耐壓表 2 一些器件類型的靜電敏感電壓值作業(yè)員對(duì)于可接觸到靜電敏感元器件或有機(jī)會(huì)接觸到靜電敏感元器件的作業(yè)員需配戴防靜電手環(huán)、坐式作業(yè)須坐防靜電凳；SMT 車間員工需配戴防靜電手環(huán)、穿防靜電衣、戴防靜電帽、穿防靜電鞋； DIP 車間員工需配戴防靜電手環(huán)、戴防靜電帽、穿防靜電鞋；倉(cāng)庫(kù)、

6、IQC、工程分析人員接觸靜電敏感元器件時(shí)（如：直接接觸IC、MOS 元件、加工好的PCBA 等） 需配戴防靜電手環(huán)，當(dāng)沒有靜電地線時(shí)應(yīng)戴防靜電手套進(jìn)行作業(yè)，但是不能長(zhǎng)時(shí)間接觸靜電敏感器件； 帶靜電手環(huán)注意事項(xiàng)員工在作業(yè)前必須先測(cè)試所佩帶的防靜電腕帶是合格的,方可開始作業(yè)； 作業(yè)時(shí), 防靜電腕帶戴在不影響作業(yè)的一只手上；一定要使防靜電腕帶緊貼到手腕皮膚；不能戴在手套、衣袖上不能使防靜電腕帶拉長(zhǎng)超過彈性限度,防止將內(nèi)部導(dǎo)線拉斷；當(dāng)防靜電腕帶因汗、灰等變臟時(shí)會(huì)影響接觸效果,要清潔金屬接觸部位；防靜電凳子修理臺(tái)、組件加工、生產(chǎn)作業(yè)臺(tái)面（如插件物料加工臺(tái)、SMT 爐后檢查臺(tái)、PCB 測(cè)試臺(tái)、爐后分板臺(tái)、

7、皮帶線拉體加工臺(tái)等）電批需進(jìn)行接設(shè)備地，防止漏電損傷電子元器件；接地時(shí)直接接到設(shè)備地，電阻小于4。漏電電壓要求在 Vac；電烙鐵需接設(shè)備地，防止漏電損傷電子元器件；接地阻值小于10，漏電電壓要求在Vac。電源插座接地孔應(yīng)接設(shè)備地，接地電阻10。測(cè)試儀器、測(cè)試工裝、顯示器、帶燈放大鏡等要求接設(shè)備地，接地電阻10。臺(tái)面要求鋪設(shè)靜電膠皮2 米需接接地線扣（1M電阻電地線連接，或可通過接地銅片直接接防靜電地線；臺(tái)面為金屬類材料，需在臺(tái)面上鋪設(shè)絕緣膠皮或其它絕緣層；防靜電膠皮鋪在絕緣膠皮或其它絕緣層上，每 2 米需接接地線扣（內(nèi)含 1M電阻）1個(gè)，與防靜電地線連接，或可通過接地銅片直接接防靜電地線；（即

8、造成設(shè)備地與靜電地短路；周轉(zhuǎn)箱/周轉(zhuǎn)框/周轉(zhuǎn)板架用于 PCBPCBA/1051011；。周轉(zhuǎn)車用于 PCBA、半成品周轉(zhuǎn)的周轉(zhuǎn)車，要求使用防靜電材料制作的周圍車進(jìn)行周轉(zhuǎn)。表面電阻要求在1051011；表面電壓150V。有接地鐵鏈的必須保證鐵鏈接地導(dǎo)通性良好，不能生銹、或者懸空。防靜電袋、物料盒試，合格后才能投入使用。測(cè)試標(biāo)準(zhǔn)表面電阻要求在1051011；表面電壓150V。防靜電物料盒、金屬物料盒不能用錫箔紙包，一般的不防靜電的物料盒且離靜電敏感器件距離較近（裝靜電敏感器件（如IC。治具、機(jī)架通常情況要求測(cè)試機(jī)架使用防靜電材料進(jìn)行制作，表面電阻要求在1051011；如果使用一般不防靜電材料（如有

9、機(jī)玻璃）制作，必須采取防靜電措施，如需在測(cè)試機(jī)架上加防靜電膠皮或包錫箔紙并實(shí)施接地；或者噴防靜電液使其表面電阻達(dá)到1051011；相對(duì)濕度：工廠重點(diǎn)區(qū)域要求相對(duì)濕度在 40%-75%。各個(gè)電子倉(cāng)庫(kù)、車間在對(duì)靜電敏感器件做防塵處理時(shí)，要確保防塵膜不能直接和靜電敏感器件接觸， 需先在靜電敏感器件上蓋上防靜電材料，然后再圍防塵膜。地線靜電地線：用于靜電手環(huán)、靜電席等接地。設(shè)備地線：用于生產(chǎn)線上的儀器設(shè)備接地。設(shè)備接地規(guī)則接地位置：優(yōu)先順序由高到低依次為：設(shè)備儀器的后面、左側(cè)、前面（設(shè)備儀器后面可以接地的都必須接在后面，后面不能接地的則可以選擇左側(cè)或者前面）接地線規(guī)格要求:總干線使用 的黃綠線;連接儀

10、器設(shè)備支線使用 的黑線； 接地方法：接地線在設(shè)備地線上繞接約 2cm（緊密纏繞）如圖所示，再采取焊接方式，直接將連接點(diǎn)用錫焊接起來，接點(diǎn)更加牢靠。接地線可以直接使用鱷魚夾夾在設(shè)備地線上;鱷魚夾的連接線必須使用焊接或工具壓接方式，不可以直接纏繞在上面；接地線連接儀器、工具的一端，須使用線耳焊接或工具壓接的方式，將其固定在儀器、工具的螺絲下面；防靜電材料編碼規(guī)則所有的防靜電膠皮、防靜電膠箱、接地扣、防靜電椅/凳子、防靜電周轉(zhuǎn)車，防靜電周轉(zhuǎn)架等需要進(jìn)行編碼管理，以便于檢驗(yàn)記錄使用；編碼規(guī)則編碼共 9-10 位數(shù)代表， 如： LTA-JDK001 為一車間 001 號(hào)接地扣 ,第 1、2 位LT3 位

11、為車間代碼（如：SMTA；SMTB；DIPC；為D；品質(zhì)部為E；工程部為F； 等依次排序；第4、6 位為物品類型（防靜電膠皮為JD，防靜電膠箱為JDK 等710001 開始累加。6.11.2.2標(biāo)簽使用 尺寸為 40MM*15MM 的貼紙,可以打印和手寫,字體要工整,清晰,不易擦除/掉色。工廠防靜電措施檢測(cè)防靜電手環(huán)測(cè)試，及物品（地板）表面電阻/電壓測(cè)試規(guī)定：責(zé)任檢測(cè)項(xiàng)目部門ESD 防護(hù)要求表面電阻靜電電壓檢測(cè)檢測(cè)頻次異儀器日 周 月處生產(chǎn)/上若綠色“PASS”指示燈一直亮,則表防靜電手環(huán)品質(zhì)/靜電測(cè)試儀班反饋拉明佩帶防靜電腕帶良好，其。倉(cāng)庫(kù)前防靜電地板品質(zhì)防靜電地板品質(zhì)1110150V防靜電

12、膠皮品質(zhì)生產(chǎn)/1111110150V0150V電壓測(cè)試儀人事表面電阻/反饋生產(chǎn)/電壓測(cè)試儀采購(gòu)反饋防靜電膠箱/膠盒倉(cāng)庫(kù)表面電阻/電壓測(cè)試儀部門主管防靜電膠袋品質(zhì)1110150V表面電阻/電壓測(cè)試儀反饋采購(gòu)防靜電車生產(chǎn)/倉(cāng)庫(kù)1110150V表面電阻/電壓測(cè)試儀反饋部門主管防靜電衣生產(chǎn)/倉(cāng)庫(kù)1110150V表面電阻/電壓測(cè)試儀反饋人事防靜電帽生產(chǎn)/倉(cāng)庫(kù)1110150V表面電阻/電壓測(cè)試儀反饋人事防靜電手套生產(chǎn)/倉(cāng)庫(kù)1110150V表面電阻/電壓測(cè)試儀反饋人事防靜電鞋生產(chǎn)/倉(cāng)庫(kù)1110150V表面電阻/電壓測(cè)試儀反饋人事防靜電隔板、刀卡、珍珠棉防靜電貨物棧板品質(zhì)生產(chǎn)1111110150V表面電阻/

13、電壓測(cè)試儀表面電阻測(cè)試儀反饋采購(gòu)反饋部門主管備注：所有防靜電要求的材料，來料時(shí)IQC 須按照ESD 防護(hù)要求進(jìn)行檢查。接地系統(tǒng)檢測(cè)項(xiàng)目規(guī)定:測(cè)試項(xiàng)目ESD地電阻生產(chǎn)線接地線線尾對(duì)專用接地箱中接地銅條的電阻設(shè)備接地電阻萬用表設(shè)備接地電阻萬用表4每周IPQC設(shè)備漏電電壓萬用表每周IPQC電烙鐵的接地電阻萬用表10上班前生產(chǎn)電烙鐵漏電壓萬用表上班前生產(chǎn)測(cè)試儀器、機(jī)架接地電阻萬用表4每周IPQC測(cè)試儀器、機(jī)架漏電電壓萬用表每周IPQC電批的接地電阻萬用表4上班前生產(chǎn)電批漏電壓萬用表上班前生產(chǎn)測(cè)試儀器接地電阻測(cè)試儀（搖表）萬用表+延長(zhǎng)導(dǎo)線萬用表合格范圍值R=R1+R21010電阻大于2以上（非短路）即可

14、，測(cè)試頻率每 年 每 月 每周檢測(cè)部門電 工 工程IPQC防靜電手環(huán)由各生產(chǎn)線人員每天上班前進(jìn)行點(diǎn)檢；同時(shí)將每個(gè)測(cè)試結(jié)果記錄在防靜電手環(huán)測(cè)試記錄表中； 對(duì)點(diǎn)檢中發(fā)現(xiàn)的不良靜電手環(huán)要求立即進(jìn)行更換，并重新測(cè)試；對(duì)點(diǎn)檢中個(gè)別員工皮膚干臊引起接觸電阻高使測(cè)試不通過的，可在作業(yè)員與靜電手環(huán)金屬片接觸的皮膚處涂抹潤(rùn)膚保濕霜，2 小時(shí)涂一次；電批、電烙鐵由各生產(chǎn)線指定專人每天進(jìn)行點(diǎn)檢；同時(shí)將每個(gè)測(cè)試結(jié)果記錄在電批扭力/漏電/接地記錄卡、電烙鐵溫度&漏電&接地記錄卡中；烙鐵溫度&漏電&接地記錄卡中；防靜電衣、帽、手套、鞋，防靜電車、膠箱、膠盒、棧板由各生產(chǎn)線指定專人每月進(jìn)行抽檢；同時(shí)將測(cè)試結(jié)果記錄在靜電檢查

15、記錄表中； 防靜電地板、膠皮、膠袋、隔板、刀卡、珍珠棉由品質(zhì)部IPQC 指定專人,根據(jù)檢測(cè)頻次要求，每周/每月進(jìn)行抽檢；同時(shí)將測(cè)試結(jié)果分別記錄在靜電皮檢查記錄、防靜電膠袋/隔板/刀卡/珍珠棉檢查記錄及靜電檢查記錄表中；儀器、設(shè)備、機(jī)架、治具由品質(zhì)部IPQC&中；每條生產(chǎn)線設(shè)備地線與防靜電地線短路檢測(cè)由品質(zhì)部IPQC 指定專人,每周進(jìn)行檢查；同時(shí)將測(cè)試結(jié)果記錄在設(shè)備地線與靜電地線間電阻點(diǎn)檢表中；生產(chǎn)線接地線線尾對(duì)專用接地箱中接地銅條的電阻由工程部指定專人,每周月進(jìn)行檢查；同時(shí)將測(cè)試結(jié)果記錄在產(chǎn)線靜電地線與主干線間電阻點(diǎn)檢表中；ESD 專用接線箱銅條到大地電阻由電工每年測(cè)試一次；同時(shí)將測(cè)試結(jié)果記錄

16、在防靜電接地系統(tǒng)檢查表中； 相對(duì)濕度濕度記錄表中。防靜電的管理防靜電的措施制定由工程制定、完善、解釋本管理辦法ESD 檢查清單中，不合格項(xiàng)發(fā)出不合格項(xiàng)整改對(duì)策報(bào)告，責(zé)任部門按時(shí)完成。外來人員的靜電防護(hù)措施制定外來人員要進(jìn)入靜電防護(hù)區(qū)域，必須按照工廠要求實(shí)施相應(yīng)的靜電防護(hù)措施。臨時(shí)增加的作業(yè)區(qū)域靜電防護(hù)措施對(duì)于臨時(shí)增加工位的ESD 點(diǎn)檢同樣要形成記錄，定期進(jìn)行點(diǎn)檢, ESD 點(diǎn)檢合格方可進(jìn)行生產(chǎn)。防護(hù)等級(jí)制定靜電審查不符合項(xiàng)判斷標(biāo)準(zhǔn)Maj：1、直接接觸ESDS 的人或儀器未按照靜電防護(hù)要求進(jìn)行防護(hù)； 2、人員無靜電防護(hù)意識(shí)；32 次檢查都有出現(xiàn)的Min；4、無點(diǎn)檢記錄或點(diǎn)檢記錄不真實(shí)；52Min1Min：1、突發(fā)性較強(qiáng)的問題；2、不易直接接觸到ESDS 的工位人員或者設(shè)備未按照靜電防護(hù)要求進(jìn)行防護(hù)；3、有點(diǎn)檢記錄，但不齊全或有遺漏；無明顯靜電標(biāo)示、未對(duì)靜電防護(hù)器材進(jìn)行編號(hào)管理；4、已經(jīng)有改善措施，且正在進(jìn)行改善的問題點(diǎn)；見到此標(biāo)識(shí)，則說明此工作區(qū)域或產(chǎn)品是靜電敏感的，進(jìn)入此區(qū)域或操作此產(chǎn)品時(shí)需要做好防靜電準(zhǔn)備。同時(shí)也是經(jīng)過防靜電包裝的，可以進(jìn)行運(yùn)培訓(xùn)員工入職時(shí)，由人事安排進(jìn)行ESD 基礎(chǔ)知識(shí)培訓(xùn)，并記錄于入職培訓(xùn)卡中