化工廠化學(xué)供應(yīng)系統(tǒng)課件

1、化學(xué)供應(yīng)系統(tǒng)介紹2012年8月16日化工廠化學(xué)供應(yīng)系統(tǒng)課件目錄:1.系統(tǒng)目的2.化學(xué)品的種類3.化學(xué)系統(tǒng)流程圖4.化學(xué)設(shè)備PID圖5.CDM外觀及構(gòu)造6.VMB的構(gòu)造7.TEE-BOX的構(gòu)造8.輔助系統(tǒng)設(shè)計(jì)9.緊急應(yīng)變介紹目錄:1.總述：化學(xué)品供應(yīng)系統(tǒng)位于G07的酸堿/有機(jī)溶劑房中，為G07的生產(chǎn)設(shè)備提供生產(chǎn)原料化學(xué)品。酸堿/有機(jī)溶劑房化學(xué)品按照性質(zhì)分類：1） 酸堿液體2） 有機(jī)溶劑 控制系統(tǒng)分為：1） 化學(xué)品供應(yīng)系統(tǒng)2） 化學(xué)品泄漏報(bào)警系統(tǒng)以上二個(gè)系統(tǒng)整合為化學(xué)控制系統(tǒng) 化學(xué)品供應(yīng)系統(tǒng)1.總述：酸堿/有機(jī)溶劑房化學(xué)品按照性質(zhì)分類：控制系統(tǒng)分為：目錄:1.系統(tǒng)目的2.化學(xué)品的種類3.化學(xué)系統(tǒng)流

2、程圖4.化學(xué)設(shè)備PID圖5.CDM外觀及構(gòu)造6.VMB的構(gòu)造7.TEE-BOX的構(gòu)造8.輔助系統(tǒng)設(shè)計(jì)9.緊急應(yīng)變介紹目錄:2. 廠務(wù)集中供應(yīng)的化學(xué)品種類：化學(xué)名稱中文名稱化學(xué)品性質(zhì)VMB分布區(qū)域H2SO4硫酸酸性背面工藝區(qū)HCL鹽酸酸性清洗剝離區(qū)HF+HNO3氫氟酸+硝酸酸性背面工藝區(qū)H3PO4磷酸酸性清洗剝離區(qū)BOE氫氟酸+氟化銨酸性清洗剝離區(qū)I2+KI碘+碘化鉀酸性黃光區(qū)H2O2雙氧水強(qiáng)氧化性清洗剝離區(qū)NH4OH氨水堿性清洗剝離區(qū)DEV顯影液（SD-1）堿性黃光區(qū)/背面黃光NMPN-甲基吡咯烷酮有機(jī)類清洗剝離區(qū)IPA異丙酮有機(jī)清洗剝離區(qū)EBROK73稀釋劑有機(jī)黃光區(qū)/背面黃光Remover

3、去除劑有機(jī)背面工藝區(qū)酸堿類化學(xué)品一共有9種，位于G07酸堿化學(xué)房間有機(jī)溶劑類化學(xué)品一共有4種，位于G07有機(jī)溶劑房間化學(xué)品供應(yīng)系統(tǒng)2. 廠務(wù)集中供應(yīng)的化學(xué)品種類：化學(xué)名稱中文名稱化學(xué)品性質(zhì)V離子注入?yún)^(qū)背面工藝區(qū)晶圓開(kāi)始備件清洗區(qū)空片清洗區(qū)老化實(shí)驗(yàn)室測(cè)試區(qū)品質(zhì)實(shí)驗(yàn)室化學(xué)實(shí)驗(yàn)室搬運(yùn)通道進(jìn)料檢驗(yàn)區(qū)出貨檢驗(yàn)區(qū)EBRDEVI2+KIHCLG07一樓核心區(qū)域化學(xué)品VMB分布區(qū)域圖：化學(xué)品供應(yīng)系統(tǒng)H3PO4BOEH2O2NH4OHIPANMPDEVEBRH2SO4HF+HNO3Remover離子注入?yún)^(qū)晶圓開(kāi)始化學(xué)實(shí)驗(yàn)室搬運(yùn)通道進(jìn)料檢驗(yàn)區(qū)出貨檢驗(yàn)區(qū)EB目錄:1.系統(tǒng)目的2.化學(xué)品的種類3.化學(xué)系統(tǒng)流程圖4.化

4、學(xué)設(shè)備PID圖5.CDM外觀及構(gòu)造6.VMB的構(gòu)造7.TEE-BOX的構(gòu)造8.輔助系統(tǒng)設(shè)計(jì)9.緊急應(yīng)變介紹目錄:有機(jī)類：EBRREMOVER NMPIPA酸堿類：BOE(HF+NH4F)I2+KI H2O2H2SO4 H3PO4 HCl HF(HF+HNO3) NH4OHDEV化學(xué)供應(yīng)系統(tǒng)取樣口G07二樓機(jī)臺(tái)G07一樓G07一樓酸堿/有機(jī)溶劑房間過(guò)濾器化學(xué)隔膜泵照明燈化學(xué)品桶氣液分離器取樣口Piping(1)PFA&C-PVC(2)SUS316-EPT-BOX取樣口3.化學(xué)系統(tǒng)流程圖(一)有機(jī)類：酸堿類：化學(xué)供應(yīng)系統(tǒng)取樣口G07二樓機(jī)臺(tái)G07一樓GI2+KI溶劑供應(yīng)流程圖：化學(xué)系統(tǒng)流程圖（二）

5、化學(xué)品供應(yīng)系統(tǒng)I2+KI溶劑供應(yīng)流程圖：化學(xué)系統(tǒng)流程圖（二）化學(xué)品供應(yīng)系統(tǒng)TOOL機(jī)臺(tái)PLCSCADA計(jì)算機(jī)CDM化學(xué)供應(yīng)柜T-BOX主管路循環(huán)過(guò)濾25秒后供酸化學(xué)品供液流程： 機(jī)臺(tái)提出供酸需求，啟動(dòng)CDM（化學(xué)供應(yīng)柜）循環(huán)過(guò)濾后，打開(kāi)VMB（分閥箱）內(nèi)氣動(dòng)閥，將化學(xué)品供應(yīng)至機(jī)臺(tái)。化學(xué)品供應(yīng)供酸VMB分閥箱泄漏警報(bào)化學(xué)系統(tǒng)流程圖（三）控制系統(tǒng)化學(xué)供應(yīng)系統(tǒng)信號(hào)傳輸TOOL機(jī)臺(tái)PLCSCADA計(jì)算機(jī)CDMT-BOX主管路化學(xué)控制要點(diǎn)：1.房?jī)?nèi)需有UPS 電盤，并將化學(xué)品柜的信號(hào)連線至中控室。2.化學(xué)房及中控室設(shè)置緊急停止按鈕于中央監(jiān)控系統(tǒng)上，在中控室的監(jiān)控系統(tǒng)上可以關(guān)閉供應(yīng)機(jī)臺(tái)。3.化學(xué)控制室和F

6、MCS 系統(tǒng)上監(jiān)控化學(xué)系統(tǒng)設(shè)備實(shí)施運(yùn)行狀態(tài)。設(shè)備種類檢測(cè)項(xiàng)目控制系統(tǒng)化學(xué)供應(yīng)柜運(yùn)行狀態(tài)、閥門開(kāi)/關(guān)、壓力、各種報(bào)警、泵壓力、過(guò)濾器壓差報(bào)警 1.采用數(shù)據(jù)遠(yuǎn)程傳輸。 2.聲光報(bào)警裝置 3.數(shù)據(jù)實(shí)時(shí)共享上傳 化學(xué)VMB閥門開(kāi)/關(guān)、壓力、運(yùn)行狀態(tài)、泄漏報(bào)警監(jiān)控電腦各種設(shè)備運(yùn)行狀態(tài)、采集機(jī)臺(tái)數(shù)據(jù)、與FMCS電腦共享數(shù)據(jù)化學(xué)品供應(yīng)系統(tǒng)化學(xué)控制要點(diǎn)：設(shè)備種類檢測(cè)項(xiàng)目控制系統(tǒng)化學(xué)供應(yīng)柜運(yùn)行狀態(tài)、閥目錄:1.系統(tǒng)目的2.化學(xué)品的種類3.化學(xué)系統(tǒng)流程圖4.化學(xué)設(shè)備PID圖5.CDM外觀及構(gòu)造6.VMB的構(gòu)造7.TEE-BOX的構(gòu)造8.輔助系統(tǒng)設(shè)計(jì)9.緊急應(yīng)變介紹目錄: H2SO4/H3P04 PID 4.化學(xué)設(shè)

7、備PID圖化學(xué)品供應(yīng)系統(tǒng) H2SO4/H3P04 P HCl/BOE/HF/DEV/NH4OH/H2O2 PID化學(xué)品供應(yīng)系統(tǒng) HCl/BOE/HF/DEV/NH4OH/ I2+KI PID化學(xué)品供應(yīng)系統(tǒng) I2IPA/EBR/NMP/Remover PID化學(xué)品供應(yīng)系統(tǒng)IPA/EBR/NMP/Remover PID化學(xué)品供應(yīng)系統(tǒng)目錄:1.系統(tǒng)目的2.化學(xué)品的種類3.化學(xué)系統(tǒng)流程圖4.化學(xué)設(shè)備PID圖5.CDM外觀及構(gòu)造6.VMB的構(gòu)造7.TEE-BOX的構(gòu)造8.輔助系統(tǒng)設(shè)計(jì)9.緊急應(yīng)變介紹目錄:5.酸堿CDM（化學(xué)供應(yīng)柜）外觀構(gòu)造 三色燈控制柜設(shè)備配套管路酸桶柜CDM正面酸桶柜內(nèi)部鏈條掛鉤抽風(fēng)

8、口鏈條照明燈滑輪波紋管接頭控制柜正面控制柜側(cè)面壓力表空桶狀態(tài)指 示燈按鈕備用狀態(tài)指 示燈按鈕蜂鳴器靜音按鈕EMO緊急停機(jī)按鈕觸摸屏PN2氣源壓力隔膜泵氣源壓力氣動(dòng)閥氣源壓力化學(xué)品供應(yīng)系統(tǒng)5.酸堿CDM（化學(xué)供應(yīng)柜）外觀構(gòu)造 三色燈控制柜設(shè)備配套化學(xué)品取樣口過(guò)濾器氣動(dòng)隔膜泵控制柜壓力表有機(jī)溶劑CDM外觀構(gòu)造CDM正面CDM側(cè)面CDM內(nèi)部正面酸桶柜控制柜正面空桶狀態(tài)指示燈按鈕備用狀態(tài)指示燈按鈕蜂鳴器靜音按鈕EMO緊急停機(jī)按鈕觸摸屏化學(xué)品供應(yīng)系統(tǒng)化學(xué)品取樣口過(guò)濾器氣動(dòng)隔膜泵控制柜壓力表有機(jī)溶劑CDM外觀構(gòu)應(yīng)急培訓(xùn)酸堿供應(yīng)設(shè)備（參考圖）酸堿供應(yīng)柜（參考圖）有機(jī)溶劑供應(yīng)柜（參考圖）I2+KI儲(chǔ)罐（參考圖

9、）化學(xué)品供應(yīng)系統(tǒng)應(yīng)急培訓(xùn)酸堿供應(yīng)設(shè)備（參考圖）酸堿供應(yīng)柜（參考圖）有機(jī)溶劑供應(yīng)急培訓(xùn)酸堿VMB (參考圖)有機(jī)溶劑VMB (參考圖)有機(jī)溶劑供應(yīng)柜(參考圖)T-BOX (參考圖)化學(xué)品供應(yīng)系統(tǒng)應(yīng)急培訓(xùn)酸堿VMB (參考圖)有機(jī)溶劑VMB (參考圖)有機(jī)目錄:1.系統(tǒng)目的2.化學(xué)品的種類3.化學(xué)系統(tǒng)流程圖4.化學(xué)設(shè)備PID圖5.CDM外觀及構(gòu)造6.VMB的構(gòu)造7.TEE-BOX的構(gòu)造8.輔助系統(tǒng)設(shè)計(jì)9.緊急應(yīng)變介紹目錄:箱體內(nèi)側(cè)下方裝設(shè)泄漏偵測(cè)器Drain PortinletTo ToolsCDA inletDrain PortExhaust氣動(dòng)閥手動(dòng)閥41321.箱體以PP/SUS制成2.CP

10、VC/SUS外蓋3.箱體與外蓋間以密封 條密合4.管件以PFA/SUS316L -EP材質(zhì)制成6.VMB構(gòu)造化學(xué)品供應(yīng)系統(tǒng)箱體內(nèi)側(cè)下方裝設(shè)泄漏偵測(cè)器Drain PortinletT目錄:1.系統(tǒng)目的2.化學(xué)品的種類3.化學(xué)系統(tǒng)流程圖4.化學(xué)設(shè)備PID圖5.CDM外觀及構(gòu)造6.VMB的構(gòu)造7.TEE-BOX的構(gòu)造8.輔助系統(tǒng)設(shè)計(jì)9.緊急應(yīng)變介紹目錄:主管路主管路VMBDrain Port手動(dòng)閥箱體內(nèi)側(cè)下方裝設(shè)泄漏偵測(cè)器1.箱體以PP/SUS制成2.CPVC/SUS外蓋3.箱體與外蓋間以密封條密合4.管件以PFA/SUS316L-EP材質(zhì)制成化學(xué)品供應(yīng)系統(tǒng)7.TEE-BOX構(gòu)造主管路主管路VMBD

11、rain Port手動(dòng)閥箱體內(nèi)側(cè)下方裝應(yīng)急培訓(xùn)酸堿VMB (參考圖)有機(jī)溶劑VMB (參考圖)有機(jī)溶劑供應(yīng)柜(參考圖)T-BOX (參考圖)化學(xué)供應(yīng)系統(tǒng)應(yīng)急培訓(xùn)酸堿VMB (參考圖)有機(jī)溶劑VMB (參考圖)有機(jī)化學(xué)系統(tǒng)主要材料介紹：化學(xué)供應(yīng)系統(tǒng)氣動(dòng)隔膜泵（參考圖）過(guò)濾器外殼（參考圖）濾芯（參考圖）氣動(dòng)隔膜閥（參考圖）化學(xué)系統(tǒng)主要材料介紹：化學(xué)供應(yīng)系統(tǒng)氣動(dòng)隔膜泵（參考圖）過(guò)濾器應(yīng)急培訓(xùn)酸堿管路（參考圖）PFA-Tube（參考圖）Clear-PVC（參考圖）化學(xué)品接頭材料（參考圖）化學(xué)供應(yīng)系統(tǒng)應(yīng)急培訓(xùn)酸堿管路（參考圖）PFA-Tube（參考圖）Clea目錄:1.系統(tǒng)目的2.化學(xué)品的種類3.化學(xué)系

12、統(tǒng)流程圖4.化學(xué)設(shè)備PID圖5.CDM外觀及構(gòu)造6.VMB的構(gòu)造7.TEE-BOX的構(gòu)造8.輔助系統(tǒng)設(shè)計(jì)9.緊急應(yīng)變介紹目錄:輔助系統(tǒng)流程圖CDAN2UPWEXHDrain化學(xué)品供應(yīng)系統(tǒng)輔助系統(tǒng)流程圖化學(xué)品供應(yīng)系統(tǒng)酸堿房輔助系統(tǒng)流程圖化學(xué)品供應(yīng)系統(tǒng)酸堿房輔助系統(tǒng)流程圖化學(xué)品供應(yīng)系統(tǒng)成都嘉石：有機(jī)房輔助系統(tǒng)流程圖化學(xué)品供應(yīng)系統(tǒng)成都嘉石：有機(jī)房輔助系統(tǒng)流程圖化學(xué)品供應(yīng)系統(tǒng)CDA 作用：CDM和VMB中的氣動(dòng)閥、氣動(dòng)泵等的動(dòng)力源。工作壓力：氣動(dòng)閥：3Bar-4Bar； 氣動(dòng)泵：3Bar-5Bar；管路材質(zhì)：SUS316L-BA 。管路配置：1.CDA管路進(jìn)化學(xué)房1米，預(yù)留截止閥 。 2.進(jìn)口安裝5過(guò)

13、濾器。 3.接每臺(tái)CDM或VMB的CDA管路配置閥門。 UPW作用：水槍、管路Flush用。管路材質(zhì)：HP-PVDF ；管路配置：1.界面：供回水管路進(jìn)化學(xué)房1米，預(yù)留截止閥 。 2.UPW用于藥液稀釋和沖洗管路，需將UPW供回水接至CDM進(jìn)口處。 3.接每臺(tái)CDM 的UPW管路配置閥門。 4.有機(jī)溶劑化學(xué)品不需配置UPW。 5.特殊化學(xué)品不能使用UPW，如：H2SO4系統(tǒng)不能UPW沖洗管路?；瘜W(xué)品供應(yīng)系統(tǒng)CDA 作用：CDM和VMB中的氣動(dòng)閥、氣動(dòng)泵等的動(dòng)力源。U作用：用于氣槍、Drum氮封、KOG箱和管路Purge。工作壓力： 氣 槍： 2-3Bar。 氮 封：1Bar。 電 箱 Purg

14、e: 系統(tǒng)壓力，配節(jié)流閥 管 路 Purge: 2-3Bar，配單向閥 管路材質(zhì)：SS316L-EP； 管路配置：1.界面：管路進(jìn)化學(xué)房1米，預(yù)留截止閥 。 2.接每臺(tái)CDM的N2管路配置閥門。PN2化學(xué)品供應(yīng)系統(tǒng)作用：用于氣槍、Drum氮封、KOG箱和管路Purge。PNEXH作用：將CDM內(nèi)含化學(xué)品空氣抽走，保持設(shè)備內(nèi)新風(fēng)環(huán)境。通常工作壓力范圍：130Pa-250Pa。 分類及管路材質(zhì)： 酸性排風(fēng)：PP； 堿性排風(fēng)： PP； 有機(jī)排風(fēng)：SS304。管路配置：1.界面：管路進(jìn)化學(xué)房1米，預(yù)留風(fēng)閥 。 2.接每臺(tái)CDM或VMB的管路配置閥門。 3. 排風(fēng)系統(tǒng)不能混接，特別是酸性排風(fēng)和有機(jī)排風(fēng)不

15、能混接。 4.主管須有5的坡度，最低點(diǎn)接排水管，接至 廢液收集盒。 5.保證每臺(tái)CDM 每分鐘換氣2-3次?；瘜W(xué)品供應(yīng)系統(tǒng)EXH作用：將CDM內(nèi)含化學(xué)品空氣抽走，保持設(shè)備內(nèi)新風(fēng)環(huán)境。Drain作用：排除設(shè)備內(nèi)積液、管路排液。通常工作壓力范圍：CDM至廢液收集盒采用重力排。分類及管路材質(zhì)：酸性排水堿性排水有機(jī)排水管路材質(zhì)PPPPSS304Pump材質(zhì)PPPPSS304Pit Tank 材質(zhì)PPPPSS304連桿式液位傳感器PPPPSS304防爆化學(xué)品供應(yīng)系統(tǒng)Drain作用：排除設(shè)備內(nèi)積液、管路排液。酸性排水堿性排水有目錄:1.系統(tǒng)目的2.化學(xué)品的種類3.化學(xué)系統(tǒng)流程圖4.化學(xué)設(shè)備PID圖5.CD

16、M外觀及構(gòu)造6.VMB的構(gòu)造7.TEE-BOX的構(gòu)造8.輔助系統(tǒng)設(shè)計(jì)9.運(yùn)轉(zhuǎn)化學(xué)品注意事項(xiàng)化學(xué)品供應(yīng)系統(tǒng)目錄:化學(xué)品供應(yīng)系統(tǒng)1.充份閱讀MSDS，認(rèn)識(shí)化學(xué)品之物質(zhì)特性，危害性，危害標(biāo)示，危害途徑及防護(hù)措施。2.工作前，先行思考及演練各細(xì)節(jié)后，再行動(dòng)。3.工作時(shí)應(yīng)雙人以上搭配作業(yè)，事前事后確認(rèn)。4.嚴(yán)格按照作業(yè)指導(dǎo)書(shū)進(jìn)行操作，兩人互相檢查。5.正確選用及使用適當(dāng)防護(hù)器具。6.正確處理化學(xué)品廢棄物，避免造成后續(xù)傷害。7.良好個(gè)人安全衛(wèi)生環(huán)保習(xí)慣。8.認(rèn)知工作安全”意外”意識(shí)。運(yùn)轉(zhuǎn)操作注意事項(xiàng)（一）化學(xué)品供應(yīng)系統(tǒng)1.充份閱讀MSDS，認(rèn)識(shí)化學(xué)品之物質(zhì)特性，危害性，危害標(biāo)示熟知化學(xué)品泄漏處理七項(xiàng)步驟 遠(yuǎn)離泄漏源辨示泄漏狀況尋求協(xié)助支持管制隔離污染區(qū)拯救傷員圍堵外泄物清除污染物及環(huán)境檢測(cè)事故調(diào)查記錄留存熟知化學(xué)品淋濺燒傷之急救處理稀釋、去除污染在皮膚或粘膜上之有害化學(xué)物質(zhì)自救-救人前應(yīng)先保護(hù)自己沖-清水不斷沖洗至少15分鐘脫-邊沖邊脫并避免二次傷害支持-請(qǐng)求支持成立緊急處理ERT 對(duì)HF時(shí)-須不斷地涂抹葡萄酸鈣(涂抹-按摩-擦凈-涂抹)送-盡速送醫(yī)運(yùn)轉(zhuǎn)操作注意事項(xiàng)（二）化學(xué)品供應(yīng)系統(tǒng)熟知化學(xué)品泄漏處理七項(xiàng)步驟 熟知化學(xué)品吸入/食入/眼睛接觸之處理原則 1.維持呼吸，血液循環(huán)，維持患者生命2.減輕患者病痛，促使其能早日康復(fù)呼吸道 1.離開(kāi)污