多晶硅精餾車間培訓資料

多晶硅精餾車間培訓資料培訓內(nèi)容精餾簡介物料介紹原理及設備塔器及工藝流程操作安全1、精餾簡介1.1精餾技術是現(xiàn)代傳質(zhì)理論在化學、化工過程工業(yè)分離領域中的一項關鍵共性技術，廣泛應用于石油煉制、石油化工、化學工業(yè)、精細化學品、化肥工業(yè)、空氣分離、原子能化工、環(huán)境保護、中藥現(xiàn)代化和天然產(chǎn)物分離等產(chǎn)品和工業(yè)過程。在提高產(chǎn)品的純度和收益率、降低生產(chǎn)過程的能耗和控制環(huán)境污染方面具有重要作用。對顯著提升傳統(tǒng)化工裝置技術水平、推動行業(yè)科技進步具有重要意義。1.2精餾單元簡介多晶硅生產(chǎn)的工藝過程：多晶硅生產(chǎn)的工藝過程簡單概括為：三個化學反應，一系列的分餾提純，使冶金硅成為高純度多晶硅的除雜過程。在半導體硅的生產(chǎn)中，三氯氫硅或四氯化硅提純是一個關鍵工序。TCS合成工序產(chǎn)品有SiHCl3（TCS），SiCl4（STC），SiH2Cl2（DCS），CH3SiHCl2（MDCS），BCl3，PCl3，PCl5，AlCl3，F(xiàn)eCl2，其中的雜質(zhì)（如硼），在物理提純過程中很難除掉，對于其他雜質(zhì)，物理提純也要耗費更多的時間和費用方能除去。其中有：精餾、萃取、固體吸附、部分水解、絡合等。但在工業(yè)生產(chǎn)中，目前應用最為廣泛的是精餾提純，下圖是工藝技術路線圖。高純概念多晶硅生產(chǎn)是一個由SiSi99.5Si成六到十個“9”的過程。產(chǎn)品純度高，生產(chǎn)所用原、副材料要求純度高，生產(chǎn)工藝過程中的設備、管道等給介質(zhì)帶入的雜質(zhì)量要少，安裝、清洗要求相應要嚴格得多，目的都是為了追求一個“純”字。通常用百分比含量來表示物質(zhì)的純度，半導體行業(yè)常用“PPm”“PPb”“PPt”表示物質(zhì)的純度，其換算關系為：PPm10-6；99.9999%6“9”PPb——雜質(zhì)含10-9；99.9999999%9“9”PPt——99.9999999999%11“9”2.0物料介紹精餾工序主要涉及到的物料有SiHCl3（TCS），SiCl4（STC），SiH2Cl2（DCS），CH3SiHCl2（MDCS），BCl3，PCl3和聚氯硅烷等。-7057.6無色透明液體。有窒息氣味，對皮膚有腐蝕。潮濕受氣中水解而成硅酸和氯化氫，同時產(chǎn)生白煙。溶于四氯化碳、四氯化鈦、四氯化錫及有機溶劑。能與水發(fā)生激烈水解作用，也能與醇類起作用。干燥空氣中加熱生成氧氯化硅。與氫及其他還原劑作用生成三氯甲硅烷和其他氯代硅烷，與胺、氨迅速反應生成氮化硅聚合物，與醇反應生成硅酸酯類，與有機金屬化合物(如鋅、汞、鈉)反應生成有機硅烷，有毒性（見安全部分）。應用領域有機工業(yè)主要用于合成有機桂化合物．如有機硅樹脂、有機硅橡膠、耐熱墊襯材料、有機硅油、有機硅單體、硅酸酯類等。電子工業(yè)用于制取半導體材料硅。冶金工業(yè)用于制造耐腐蝕硅鐵。軍事工業(yè)用于制造煙幕劑。涂料工業(yè)用于制造高溫絕緣漆。鑄造工業(yè)用作說模劑。另外，還用于制造各種無機進化合物和用作分析試劑等。2.3SiH2Cl2理化性質(zhì)在室溫和大氣壓力下是一種高可燃、腐蝕性有毒氣體。于21.1℃和=1)3.484.228kg/m3；液體密1235kg/m3(21.1℃)，1188kg/m3(40.6℃)8.2℃122℃4.1％～98.858℃觸迅速水解產(chǎn)生二氧化硅和鹽酸，有毒性（見安全部分）2.4MDCS分子式CH3Cl2SiH115.04，無色液體，具有刺鼻氣味，易潮解53.32kPa(23.7℃)；-90.6℃；41.9℃；溶解性：溶于苯=1)1.10；相對密度(空氣=1)4.0定；危險標記10,7,202.5聚硅烷：分子式：[SiR2]n性質(zhì)：主鏈為直接互相連接的Si-SiRSi-Si400℃高溫下加B(OSiCl3)3硅烷共聚的聚硅烷可以生成可溶可熔的聚硅烷，故可紡絲和成膜。2.6BCL3117.19無色發(fā)煙液體或氣體，有強烈臭味，易潮解；蒸汽壓101.32kPa(12.5℃)；熔點107.3℃；沸點12.5℃；溶解性:溶于苯、二硫化碳;密度:相對密度(水=1)1.43；相對密度(空氣=1)4.03途:用作半導體硅的摻雜源或有機合成催化劑，還用于高純硼或有機硼的制取。有毒性（見安全部分）。2.7PCl3分子量137.33無色澄清易流動的發(fā)煙液體。密度1．574g／cm3。熔點-112℃。沸點75．5℃。有毒。易燃。有腐蝕勝，易刺激粘膜。潮濕空氣中或水中能迅速分解。如混有微量游離黃磷存在時，則顏色帶黃而且混蝕。可與醚、四氯甲烷、苯和二硫化碳以任何比例混合，遇乙醇和水均能水解成亞磷酸和氯化氫，發(fā)生白煙。與氧作用能生成氧氯化磷，與硫作用能生成硫氯化磷，與氯作用能生成五氯化磷，與有機物接觸會著火燃燒。應用主要用于制造敵百蟲、甲胺磷、稻瘟凈等有機農(nóng)藥原料。醫(yī)藥工(S．D)及二氯二砜。染料工業(yè)用于生產(chǎn)色酚類的縮合還用作珠光金屬的墊層、氯化劑、催化劑及磷的溶劑。有毒性（見安全部分）3.03.1（1）雙組分理想物系的汽