HF和F22裝置工藝說明

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-HF裝置工藝說明化學過程HF是通過硫酸與氟化鈣反應制得的：CaF2+H2SO4=CaSO4+2HF-Q1Kcal(固體)(液體)(固體)(氣體)Q1382kcal／kg(3000C)許多研究者已經(jīng)對該反應的機理進行了研究，其中之一是很有可能會產(chǎn)生如下所述的中間組分：第一步：硫酸在螢石雜物(碳酸鹽等)上反應第二步：根據(jù)下列反應式，硫酸與一部分螢石反應：CaF2+H2SO4=CaSO4+2HFCaSO4+H2SO4=CaSO4H2SO4酸性硫酸鈣(如上所述)事實上是一個較為復雜的產(chǎn)品混和物。這一步反應首先能夠在低溫下很快進行，并可達到50％的總轉(zhuǎn)化率。第三步：酸性硫酸鈣在較高溫度(150～1700C)下分解，釋放出的硫酸與未轉(zhuǎn)化的氟化鈣反應。CaSO4H2SO4=CaSO4+H2SO4復雜反應的簡化敘述表明有幾個物相產(chǎn)生，它們中的每一個都有不同的速度、動力學，每段混和物有不同的流變性能。與第一步和第二步反應相對應的混合物狀態(tài)依次為液態(tài)、泥漿狀物質(zhì)、粘稠物質(zhì)、糊狀物質(zhì)，接下來是濕的粉末。在此過程中產(chǎn)生腐蝕和沖蝕，限制了反應器壁上的傳熱。第三步反應有一種重新液化的物相產(chǎn)生(酸性硫酸鹽的分解…)，也為粘糊狀物，有腐蝕性。反應結(jié)束時通常產(chǎn)生砂狀、自由流動的產(chǎn)物。從轉(zhuǎn)窯里產(chǎn)生的氣體包括所有生成的氫氟酸和少量的水和硫酸(或氟磺酸)。水主要來自于：送入轉(zhuǎn)窯的98.5％的硫酸轉(zhuǎn)窯中的副反應，如下所述：由于螢石中不可避免地存在SiO2而引起的反應，即：4HF+SiO2=SiF4+2H2O(氣體)(固體)(氣體)(氣體)由于螢石中存在鐵和鋁的氧化物而引起的反應，產(chǎn)生相應的硫酸鹽和水：Fe2O3+3H2SO4=Fe2(SO4)3+3H2O(固體)(液體)(固體)(氣體)Al2O3+3H2SO4=Al2(SO4)3+3H2O(固體)(液體)(固體)(氣體)另外，在反應器出口的氣體中存在SO2，SO2是由下列反應產(chǎn)生的：MeS+H2SO4=MeSO4+H2S(金屬硫化物)H2SO4+H2S=S+SO2+2H2OFe(窯殼)+2H2SO4=FeSO4+SO2+2H2O注：上述反應中產(chǎn)生的單質(zhì)硫在氣體處理和精餾工序中會進一步沉淀。硫酸還與螢石浮選時帶來的有機殘余物纖維等反應，也可產(chǎn)生SO2、CO2、、、、碳墨等。xC2H5OH+H2SO4→xC2H4+H2SO4.xH2O(x=1,2,6,8)XC12H22O11+H2SO4→12xC+11H2SO4.xH2OC+H2SO4→2SO2+2H2O+CO2CO2它也可能來自于螢石含有的微量CaCO3：CaCO3+H2SO4=CaSO4+H2O+CO2(固體)(液體)(固體)(氣體)(氣體)因此，在反應器出口的氣體中，除氫氟酸外，還含有SiF4，水，SO2，H2S，CO2，硫，灰塵、硫酸酸霧和一些因填料圈泄漏、特別是螢石加入時帶入的微量空氣

總的工藝說明(參照所附的工藝方框圖)在兩只封閉的、外部加熱的轉(zhuǎn)窯中加入硫酸、發(fā)煙硫酸和稱為“螢石”的天然高CaF2含量的粉末礦物的混合物。反應產(chǎn)生的氣體混和物(主要為HF)被收集起來，在氣體處理和精餾工序凈化。在獲得無水氟化氫的同時，雜物如SiF4以稀溶液形式被回收。硫酸鈣以粉末形態(tài)從轉(zhuǎn)窯中排出，它含有少量的硫酸及HF，用氫氧化鈣中和。因為本工藝中大多數(shù)的產(chǎn)品是有害的，因此工廠的設計和設備的選擇必須十分小心。本裝置由以下幾個工序組成：1100號工序 原料貯存700號工序 螢石干燥100號工序 粗HF的產(chǎn)生粗氣體凈化和進料酸制備粗HF回收排空氣處理CaSO4處理CaSO4貯存和裝運站200號工序 粗HF貯存HF精餾2000號工序 無水HF貯存和輸送

1100號工序：原料貯存硫酸儲存從船運來的98%H2SO4貯存在用普通碳鋼制作的貯槽(R1151A/B)內(nèi)，在該貯槽內(nèi)設有一個用于此產(chǎn)品的常規(guī)排放系統(tǒng)(S1151A/B)一臺泵(P1151)將酸輸送到100號工序(加到HF回收塔D151中)，或HCFC22裝置，在此用來回收HF并再循環(huán)到HF/H2SO4貯槽(R151)。注：因該酸有98％的濃度，所以在冬天有必要注意凍結(jié)的可能性。發(fā)煙硫酸從船上來的20%的發(fā)煙硫酸貯存在一只用普通的碳鋼制作的貯槽(R1121)內(nèi)，該貯槽也與S1151A相連。一臺泵(P1121)將酸輸送到10012號工序，在與來自HF氣體處理工序的HF/H2SO4混和后加到轉(zhuǎn)窯內(nèi)。螢石從K720來的干燥產(chǎn)品貯存在直立料倉R10012中，其上裝有一個布袋過濾器(S1001—2)，稱量裝置(Z10012)能使加入到反應系統(tǒng)中的螢石得到控制。螺旋輸送器(T10012/T10112)將螢石粉末送至轉(zhuǎn)窯加料系統(tǒng)。700號工序-螢石干燥成套裝置K720以下說明是對一干燥轉(zhuǎn)窯而言的，該轉(zhuǎn)窯采用直接并流加熱系統(tǒng)。濕螢石(10％濕度)被安裝在干燥器進料側(cè)的燃燒器產(chǎn)生的熱氣體干燥。干燥的產(chǎn)品從轉(zhuǎn)窯的排出端排出，還有一部分從除塵器底部回收得到。濕空氣經(jīng)除塵后排入大氣。干燥的螢石一般含有少于0.1%的濕度。在K720中干燥后回收的產(chǎn)品用氣動輸送機(T730)運送到轉(zhuǎn)窯料倉(R100)里。

100號工段–粗HF該工段由兩個相同的單元組成，它們包括轉(zhuǎn)窯及硫酸鈣處理和中間產(chǎn)品儲存，含硫酸粗氣的洗滌和除霧。兩個單元都與一個公用冷凝工段相連。以下說明是對單元1001而言的。

粗HF的制備臥式轉(zhuǎn)窯(K1001)的進料是螢石和硫酸混合物，轉(zhuǎn)窯外面的夾套中有熱氣體進行循環(huán)加熱。轉(zhuǎn)窯由一傳動裝置帶動，轉(zhuǎn)窯上的兩個輪箍支承在四個輪子上。該轉(zhuǎn)窯的加料端有一加料裝置，可以：加入原料讓粗HF氣體進入粗氣體凈化和進料酸制備工段。該裝置(N1011)稱為“加料密封”，它由一機械密封(摩擦面型)組成，該機械密封安裝在與硫酸管道、螢石螺旋輸送器和粗窯氣體出口管相連的支承上。轉(zhuǎn)窯在排出端裝有能使粉狀硫酸鈣排出的裝置。該裝置(N1021)稱為“排料密封”，它由一機械密封(摩擦面型)組成，該機械密封安裝在與出料螺旋輸送器相連的支承上。轉(zhuǎn)窯內(nèi)裝有一個擋板，以使固體物料的床層保持恒定。轉(zhuǎn)窯內(nèi)裝有一內(nèi)螺旋返料系統(tǒng)，用于把尾部的硫酸鈣返回到前端和反應物料混合在一起，以增加床層的流動性，和降低酸對轉(zhuǎn)窯殼體的腐蝕。該裝置有一對鏟勺把位于末端的硫酸鈣固體鏟起并隨轉(zhuǎn)窯轉(zhuǎn)動后落到內(nèi)螺旋內(nèi)。轉(zhuǎn)窯尾部蓋板上設有相對稱的四塊抄板，出料螺旋輸送器管上有一槽縫，并伸入到四塊抄板當中，用以接受此硫酸鈣固體，最后被排出轉(zhuǎn)窯外。轉(zhuǎn)窯由熱氣體加熱，該熱氣體用風機(C1001)輸送，并在燃燒混合室(F1011)與天燃氣燃燒器燃燒所產(chǎn)生的高溫氣體一起混合，形成熱的循環(huán)煙道氣體。其溫度是要控制的，以便通過轉(zhuǎn)窯表面有最佳的熱量傳遞。注：在轉(zhuǎn)窯夾套中循環(huán)的氣體壓力必須保持少許正壓以免冷空氣進入，否則會影響正常運行。夾套在轉(zhuǎn)窯兩端設有密封，以減少氣體損失。在回氣連接管上設有一煙囪，以便將多余

的煙氣排出。粗氣體的凈化和進料酸的制備來自轉(zhuǎn)窯的粗氣體被送到填料洗滌塔(D130)內(nèi)。注：氣體連接管必須設計得能防止固體和液體的沉積，水平部分的管子必須盡可能短。在洗滌塔中，大部分重組分如硫酸、水、氟磺酸及灰塵被吸收到循環(huán)的硫酸溶液中。一臺泵(P1301)將來自儲槽(R1301)中的硫酸溶液循環(huán)到洗滌塔中，泵入口的一個熱交換器(E1301)將洗滌操作中產(chǎn)生的吸收熱移走。該洗滌塔的洗滌酸在正常生產(chǎn)時將會有一部分臟酸被連續(xù)的和Ｄ151過來的酸以及煙酸一起混合后加入到轉(zhuǎn)窯內(nèi)去,并不斷的補充干凈的硫酸進來。以避免洗滌酸過臟或過稀。注：設備之間的相對布置對盡量減少管道的堵塞、溢流等是非常重要的。酸混合裝置出口端和轉(zhuǎn)窯加料頭之間的距離要保持最短。硫酸和發(fā)煙硫酸的流量要進行控制，以便：轉(zhuǎn)窯入口的混合酸保持恒定的流量及組成轉(zhuǎn)窯中螢石／硫酸反應有好的產(chǎn)率盡量減少從轉(zhuǎn)窯中排出的硫酸鈣中未反應的硫酸含量。在洗滌塔出口，粗制氫氟酸氣體被引到HF粗餾塔(D140)中。來自E141及E142A的粗制氫氟酸冷凝液全回流至D140以洗滌粗氣當中的剩余重組份、灰塵等雜質(zhì)，以防雜質(zhì)進入冷凝器形成堵塞。洗滌下來的殘液將被排至回到R130系統(tǒng)當中。E141及E142A是用5度的冷凍水進行冷凝地。粗制HF的液化從凈化工段(D140)來的工藝氣體在兩個直立的冷凝器中分別用5度的冷凍水(E142B)、-12度低溫冷卻液(乙二醇)(E143)冷凝。冷凝的液體在集液管中收集后被存貯在R200內(nèi)。

放空氣處理離開冷凝器的氣體仍含有一些未被冷凝的HF，SO2，還有SiF4和惰性氣體物質(zhì)。第一步用含有HF的硫酸進行洗滌，以回收大部分HF。氣體經(jīng)塔D151處理，在D151的底部，HF/硫酸溶液被D151循環(huán)泵P151一部份被送到轉(zhuǎn)窯加料裝置(M130)。在D151出口，氣體被送到氟硅酸洗滌塔(D152)中，在塔中SiF4和一些HF被吸收下來，生成H2SiF6水溶液。這些洗滌液循環(huán)使用，直到它含有大于38％的氟硅酸(R152)，以符合商業(yè)標準。如存量過多，則要停車。最后洗滌用一套水噴射器(N153A/B)進行，這還可保證轉(zhuǎn)窯的壓力控制。在噴射器出口，氣體得到了凈化，可以排放到放空處理系統(tǒng)(S5801，D5800)．

硫酸鈣的處理和貯存正如指出的那樣，每個轉(zhuǎn)窯有它自己的硫酸鈣處理系統(tǒng)。以下說明是對單元1001而言的。通過螺旋輸送裝置T1021從K1001卸出的硫酸鈣中含有少量未反應的硫酸及微量HF。石灰被用來中和硫酸。石灰存放在料倉R1601中，料倉配有過濾器(S1601)和抽出裝置(N1601)。兩臺螺旋輸送器T160/16112將石灰送到T1021中。石灰的量由(N1601)調(diào)節(jié)，以保證中和殘留酸后石灰略有過量。從T1021出來的中和后的產(chǎn)品經(jīng)T103、T104最后被送到T171或C170內(nèi)，在此硫酸鈣將被轉(zhuǎn)移到貯倉R171或R170中貯存。

200號工段無水HF貯存在R200中的粗HF用泵(P200)打到精餾工段。精餾工段由兩個精餾塔及其附屬設備組成。第一個精餾塔除去高沸點組分；第二個精餾塔除去低沸點組分。高沸點組分精餾塔粗HF被送到填料塔(D210)中，該塔配有再沸器E210和冷凝器E211。精餾塔在負壓下操作。重組分雜質(zhì)在塔底以78%HF溶液(塔底控制溫度在50度時的HF百分比濃度)定量排放的形式被除去，塔底溫度由加入到再沸器中的蒸汽控制。在直立管式換熱器E211中冷凝的液態(tài)HF中的一部分回流到D210的頂部，其余部分被送到低沸點組分精餾塔D220內(nèi)。回流比現(xiàn)為7：14。（2009年10月12日大修時在回流管上已全部已開槽的形式來控制回流比。）低沸點組分精餾塔從第一個精餾塔頂部冷凝器來的物料進入第二個精餾單元D220以除去低沸點組分，這主要是S02和惰性氣體，這些氣體被送到放空氣處理工段(100號工段)。該精餾塔在負壓下操作。低沸點組分在塔頂被除去(即塔頂冷凝器氣體出口)，純凈的HF在D220底部被抽出(溢流)，然后送去貯存(送入R2201A/B)。再沸的量由向熱交換器E220注入的蒸汽量來確保，從而保證正去除低沸點組成，而D220頂部的溫度是要調(diào)節(jié)的，以控制從E221出來的放空氣中HF的含量。2000號工段HF的貯存貯存在R2201A/B中的無水HF要用液體回路(P2201A/B，E2201A/B)進行冷卻，以保持大約1巴(絕壓)的壓力。此外，為了控制壓力，當壓力過低時便引入氮氣，而壓力過高時便釋放氣體。釋放出的氣體(和來自充裝站的氣體)被送到轉(zhuǎn)窯氣體處理工段(當其投用時)或在塔D2220中用水洗滌（2009年11月該塔已必為HF沖裝時應急用）。液態(tài)廢物被送到中和池R5830/R5840中。緩沖罐R2220用于避免HF液體流到洗滌塔D2220中。泵P2201A/B用來將產(chǎn)品送到HCFC22裝置中和充裝站一容積與R2201A/B相同的安全槽R2210在發(fā)生緊急情況(泄漏、貯槽內(nèi)壓力高)時使用。

-F22生產(chǎn)工藝說明化學反應F22的合成F22是在液相中、在有五價銻存在時通過氯氟化作用用氟原子取代氯仿(三氯甲烷)分子中的氯原子而制得的。CHCl3+HFCHCl2F(F21)+HClCHCl2F+HFCHClF2(F22)+HClCHClF2+HFCHF3(F23)+HCl這些反應是放熱的，在250C和氣態(tài)下，每取代一個克原子的氯將放出約4千卡的熱量。在液態(tài)的生產(chǎn)條件下，總的反應是吸熱的。催化劑的作用根據(jù)Swart的著作，催化劑是經(jīng)氯化和氟化后的五價銻SbCl(5-X)FX，反應按下式進行：SbCl5+3HFSbCl2F3+3HClSbCl2F3+2CHCl3SbCl5+CHCl2F+CHClF2反應物中的雜質(zhì)會逐漸地將SbCl5還原成SbCl3，少量的氯氣連續(xù)地與CHCl3一起加入，以補充SbCl5的損耗。催化劑的配制(如果用SbCl3作為原料的話)SbCl5是用氯化SbCl3來制備的：所需數(shù)量的固體SbCl3裝入到反應器中。SbCl3被氯仿覆蓋，小流量的氯氣被送入反應器，保持溫度在900C以下以防止SbCl3升華。氯化作用一直繼續(xù)到約有75％的SbCl3被轉(zhuǎn)化成SbCl5。理論上氯氣的消耗量是311公斤每噸SbCl3。氯化作用會在幾小時內(nèi)完成。因此，在工廠內(nèi)用SbCl3制備SbCl5催化劑并不意味著要增加設備，但直接使用SbCl5會更簡單。

總的工藝說明(參見所附工藝方塊圖)氯仿和HF被注入一個帶夾套的反應器中，反應器中裝有催化劑的混合物。從催化劑中釋放出的反應氣體在一塔中被精餾以回收未反應的F21、F20和HF。精餾后的輕組分含有HCl、F22和少量的F21和HF。沒有反應的HF在硫酸洗滌塔中被選擇性地吸收(HF硫酸溶液被回收到HF裝置)，然后用HCl絕熱吸收塔回收低氟含量的濃HCl水溶液。然后反應氣體被中和、干燥成粗F22。粗F22精餾后得到純HCFCF22，同時輕組分被除去，而重組分回收到反應器中。工藝方塊圖HF氯仿主要HF氯仿主要反應原料反應反應溫度：80~100反應反應溫度：80~1000C反應壓力：0.8～1.4MPa返回的F21硫酸硫酸HFHF吸收在硫酸中HF+H2SOHF+H2SO4送到HF裝置HCl的吸收HCl的吸收水33%的HCl33%的HCl中和作用排出物氫氧化鈉中和作用排出物氫氧化鈉干燥干燥壓縮液化F21返回F23排出F21返回F23排出蒸餾F22F22儲存包裝300號工段--反應及HF的回收反應氯仿用隔膜泵P1311從貯槽R1311打到反應器K310中。為使催化劑有好的活性，少量的氯氣也與氯仿一起加入。HF由HF裝置送來，貯放在帶有重量控制的HF貯槽R310中。R310中的HF用隔膜泵P310打入反應器中。所有的原料都在液態(tài)常溫下由一根浸入管加入。在共沸塔D316底部得到的未反應產(chǎn)物(F20、F21和HF)與原料一起被送回反應器。氯仿和HF的進料量是比例控制的，它們在蒸汽(12巴表壓)加熱的反應器K310中轉(zhuǎn)化成碳氟化合物F21、F22、F23及HCl。分離塔D310將催化劑和大部分不完全氟化的產(chǎn)物(F20和F21)保持在反應器內(nèi)。塔頂冷凝器E311用冷卻水冷卻，以確保有適當?shù)幕亓?。反應后的氣體在一個共沸塔D316內(nèi)被精餾，在這兒：底部由F20、F21、HF組成的未反應物返回到反應器內(nèi)、頂部由HCl、F22和少量F21及HF組成的產(chǎn)物，被送到氣體處理工段塔頂冷凝器E317用直接蒸發(fā)F22來冷卻，以保證有適當?shù)幕亓鞣磻A段的壓力是同其它反應操作參數(shù)一起進行控制的，以保證獲得好的產(chǎn)率和選擇性。裝在E317氣相出口處的一個壓力控制閥用來使反應工序的壓力維持在最佳值。催化劑可從K310中移出，送入催化劑貯槽R315中，然后再可裝入反應器或裝在容器中，送到處理中心。新的催化劑是由五氯化銻組成的，它裝在一噸的類似氯氣鋼瓶的容器中，用過的催化劑也裝在同樣的鋼瓶中。所有設備都是由316L不銹鋼制成的。反應器K310是一個有碳鋼夾套的直立式圓筒形容器。夾套用來加熱(在停車過程中用來冷卻)。汽提塔D310是一個泡罩塔，反應氣體從底部進入，從E311來的回流從塔頂進入。從氣提塔來的回流通過一根浸入管回到反應器。共沸塔D316是一個泡罩塔，該塔的進料為離開E311的反應氣體和來自精餾工段經(jīng)過干燥(D630A/B)而返回的F21。正常的反應條件如下：壓力 10~14巴(表壓)反應溫度 80~1000CE311出口氣體 35-45*CE317出口氣體 -100C-00CD310回流比 0.13D316回流比 0.7所有這些設置都是為了使副產(chǎn)品F23的量盡量減少到F22產(chǎn)量的1.5％。

反應器內(nèi)液位的調(diào)整氫氟酸以恒定的流量送入反應器，以滿足生產(chǎn)的要求。反應器的液位，或者，更確切地說，反應器內(nèi)的物料重量，是通過調(diào)節(jié)CHCl3的流量來保持恒定的。安全裝置的設定自動減壓閥使反應工序的壓力維持在要求的數(shù)值上。該閥下游的壓力通過調(diào)節(jié)壓縮機C510的循環(huán)量來確定。通過自動控制閥的壓降使氣體溫度下降約200C

另一個自動控制閥則控制用來加熱反應器的蒸汽量。通向總的洗滌塔、且由一防爆板保護的釋放閥用來限制反應回路中可能出現(xiàn)的壓力波動

HF的回收沒有反應的HF用硫酸吸收而被回收。硫酸和HF溶液再被循環(huán)到HF生產(chǎn)裝置。吸收塔D320備有一個循環(huán)系統(tǒng)(P320)，它能在底部填料段吸收大部分HF。吸收過程中產(chǎn)生的熱量通過冷卻硫酸循環(huán)液在(E321)中來移去。在吸收塔頂部有幾塊塔板，在此殘余的HF被加到頂部塔板的純硫酸吸收。含有HF(一般為3~7%)的硫酸在E320中被加熱以除去可能有的微量有機物和HCl，然后冷卻(E330)，送入緩沖罐(R330)，再用泵(P330)送到HF裝置。所有的設備都由316L不銹鋼制成，但E320的管子由哈氏合金(Hastelloy)制成，無密封泵P230和P330由氟塑料制成。有襯里的碳鋼可用來制作硫酸吸收塔D320，PVDF填料用于硫酸吸收，

400號工段-HCl的吸收，粗氣的中和與干燥HCl的吸收離開D320的凈化氣體在填料塔D410(由石墨制成或用襯里的碳鋼制成)中用水逆流洗滌，水在溫度控制下從D410的頂部進入，33％的HCl溶液從塔底流到酸冷卻器E410(由石墨制成)中。離開D410頂部的氣體在一直立的換熱器(E411，用水冷卻，由石墨制成)中被冷卻，在這里，在HCl絕熱吸收過程中汽化的大部分水被冷凝下來。裝在E411底部的分離器S411將氣體從冷凝的極稀的酸液中分離出來。來自E410的冷酸液被引入R410(分配槽)，從這里再流向HCl貯槽R3010。當酸不被送到貯槽中時(質(zhì)量有問題，存量較高…)，它將溢流到密封柱N411中，該密封柱還接受來自S411的弱酸溶液。絕熱吸收系統(tǒng)中的關鍵儀表是工藝水的流量控制儀表，水的流量與離開D410的氣體溫度(900C/950C)成正比，以便產(chǎn)生濃度為33％的HCl溶液。中和作用(堿洗)在吸收HCl后，氣體中含有一些來自反應器的微量氯和一些非常有限的未被吸收的酸性物質(zhì)。堿洗目的就是為了去掉這些不需要的雜質(zhì)。氣體在一個填料塔D420(P．P或加強的PVC)中用來自貯槽R421(碳鋼)的循環(huán)(用泵P421)堿液進行洗滌。注：洗滌塔D420的頂部可以用碳鋼制作。這種溶液是由氫氧化鈉，焦亞硫酸鈉和PH緩沖液(磷酸氫二鈉)制備的。為了避免F22在PH值高于12時發(fā)生分解，混合槽R422配有一臺泵P422和一個攪拌器A422，用來制備和貯放堿溶液。各種脫氣管線被連接到本單元(和包裝區(qū)域)，通過R423將脫出的氣體送入堿洗塔的底部而將其回收。堿洗系統(tǒng)的關鍵控制是將堿液的pH值維持在8～11.5之間。pH值是由在線分析器監(jiān)測的。如果有足夠的亞硫酸鹽含量和pH值低時，可加入新的苛性堿溶液。預干燥粗的F22氣體在預干燥器(E421，用F22蒸發(fā))中被冷卻到1～5()C，在這里，有大量的水被冷凝下來?；厥盏睦淠和ㄟ^下降管返回到R421，而預干燥的氣體被送到分子篩干燥器D450A/B。

干燥從E421出來的氣體被送到2個干燥塔D450A／B中的一個。這兩個不銹鋼容器裝了3A分子篩，它們是鉀、鈉和鈣的硅鋁酸鹽，這種干燥劑比礬土要好，因為FORANE不會被截留在這種專用的分子篩上。當床層被飽和后，就用熱空氣進行再生。為了限制FORANE的損失和防止在高溫下分解，干燥器在脫氣、抽真空(C423，R423)和用熱空氣吹掃(C450，E451電熱)(再生溫度為2400C)時要小心進行。在再次使用前，分子篩床層用封閉的冷空氣回路(C450，E450，CW水)進行冷卻(再使用前的最高溫度為350C)。

500號工序--粗F22的壓縮和液化壓縮經(jīng)干燥和中和的粗F22氣體由帶有中間冷卻器的兩級壓縮機(C51012)的干活塞來壓縮，在壓縮機的兩邊各配有一個防止壓力波動的容器。一根直接從排出端接到進口端的返回管線使得壓縮機能在低負荷下啟動。在冷卻水和潤滑回路上，為壓縮機裝備有一定數(shù)量的安全裝置。壓縮流量控制由一個控制閥來實現(xiàn)，該控制閥由上游壓力(設定在+0．05bar表壓)來控制。它設于循環(huán)管線上，這樣在前面產(chǎn)生的氣體波動就能被吸收，因此，整個氣體處理工段(從HF的回收到干燥器)的壓力被保持在一恒定值。

液化壓縮后的氣體在E510(用F22蒸發(fā))中被冷凝。液化的粗F22被貯存在粗F22貯槽(R550)中，并用多級高壓泵(P550)供到精餾塔D6100‘隋性氣體通過安裝在冷凝器氣相出口管上的一個手動閥(在PFS上沒有表示)排出。惰性氣體的量非常少，因為所有的惰性氣體被溶解在冷凝液中。R550是一個直立的鍍鋅罐。這個罐可使反應工段和精餾工段各自獨立地運行。

600號工序F22的精餾F23塔第一個精餾塔D610裝備有再沸器E610和冷凝器E611，用來去除輕的組分，如F23、空氣…。這些組分在冷凝器頂部排出。這個塔是一個初餾塔，要求底部物料與進料的再沸比在1.6/1左右。控制的原則如下：蒸汽流量自動控制閥用TIC612(在進料點下面的溫度)進行控制總的回流量塔操作壓力是分程控制的，即通過冷凍單元和排放冷凝器頂部的不凝性氣體來控制的。再沸器E610用4bar的蒸汽作熱源。在操作期間，蒸汽壓力非常低，甚至是負的。為了減少惰性氣體排放時帶來的損失，冷凝器E611由一個直接的減壓冷凍單元(用F22)冷卻。塔及其內(nèi)件、冷凝器，再沸器和其它輔助設備均由碳鋼制造。

F22塔第二個塔D620裝備有再沸器E620(用低壓蒸汽)、冷凝器E621(用CW水)和回流罐R621，用來除去重的組分，主要是F21。這個塔的進料來自D610底部，純的F22從回流罐中抽去，依靠重力流到日量罐R1640A/B。主要是F21的來自底部的重組分用氯化鈣小球干燥(D630A／B)，然后再返回到反應工段。操作條件是：壓力約 23bar頂部溫度40~450C底部溫度90~1050C冷凝器E621由300C的水冷卻。因F21的量非常少，這個塔是一個尾餾分塔。E620是一個直立的碳鋼再沸器，用4bar蒸汽作熱源。在操作期間，蒸汽壓力將非常低，甚至是負的。塔的參數(shù)設定如下：向再沸器提供的蒸汽量由吐LIC621控制。F21連續(xù)流動以便使底部溫度保持在需要值。壓力由送到冷凝器的水量來控制。餾出液抽出量由回流罐R621中的液位來控制。

1600號工序-F22的貯存日量貯槽由碳鋼制造。由于從D620來的產(chǎn)品是靠重力流動的，這些貯槽是水平地放置在混凝土座上的?；炷林ё凶銐虻母叨纫员ＷC用來輸送產(chǎn)品的泵有足夠的壓頭。在對主貯槽或大貯槽系統(tǒng)中的產(chǎn)品進行質(zhì)量檢測后，才可用泵將產(chǎn)品運出。貯槽的貯存量允許放一整天的產(chǎn)品，在輸送以前要進行分析。三臺泵(散裝和噸級鋼瓶灌裝、一次性容器灌裝和散運到大金廠)將被使用。不合格的產(chǎn)品可以返回到工藝單元(氣體和液體管線)(粗產(chǎn)品貯槽或脫氣槽)。這些貯槽被漆成白色，目的是為了減少由太陽輻射而產(chǎn)生的熱量。3000號工序-HCI的貯存從吸收工序來的鹽酸溶液靠重力流到日量貯罐。一臺泵將產(chǎn)品送到HCl貯罐或送去裝車，裝船的HCl來自HCl貯罐。

排出物處理裝置說明簡介要特別注意保護環(huán)境，首要措施是限制排出物的量。這是通過以下幾項來實現(xiàn)的：工藝選擇(HCl、HF、H2SiF6被回收)選擇的操作條件使排出物量最少設備選擇(例如使用屏蔽泵)異常情況處理：各安全閥的排放管線被收集到一個同中央洗滌器連接的放空系統(tǒng)能被重新利用的產(chǎn)品被返回到生產(chǎn)系統(tǒng)。

有機氣體排出物回收的排氣(F22)能被重新利用的產(chǎn)品被返回到生產(chǎn)系統(tǒng)：以氣相通過R423在堿洗塔D42