碳基芯片產(chǎn)業(yè)實(shí)施方案

碳基芯片產(chǎn)業(yè)實(shí)施方案發(fā)展目標(biāo)立足省情，著眼全國(guó)，面向世界，錨定15年—30年遠(yuǎn)景目標(biāo)，綜合考慮未來(lái)產(chǎn)業(yè)國(guó)內(nèi)外發(fā)展趨勢(shì)和我省發(fā)展條件，通過(guò)實(shí)施非均衡發(fā)展戰(zhàn)略，力爭(zhēng)實(shí)現(xiàn)十四五夯實(shí)基礎(chǔ)、15年形成體系、30年全面發(fā)展的目標(biāo)。1、十四五夯實(shí)基礎(chǔ)到2025年，山西成為我國(guó)發(fā)展未來(lái)產(chǎn)業(yè)的先行區(qū)。未來(lái)產(chǎn)業(yè)初步實(shí)現(xiàn)從小到大從弱到強(qiáng)從無(wú)到有的轉(zhuǎn)變，深度融入京津冀一體化、長(zhǎng)三角、大灣區(qū)分工協(xié)同以及國(guó)家重大戰(zhàn)略當(dāng)中，為十四五轉(zhuǎn)型出雛形目標(biāo)實(shí)現(xiàn)奠定堅(jiān)實(shí)基礎(chǔ)。（1）規(guī)?？偭靠焖偬嵘?025年，未來(lái)產(chǎn)業(yè)主營(yíng)業(yè)務(wù)收入達(dá)到8000億元。力爭(zhēng)打造5個(gè)產(chǎn)業(yè)規(guī)模超千億元的未來(lái)產(chǎn)業(yè)，形成一批跨界融合的新增長(zhǎng)點(diǎn)。未來(lái)產(chǎn)業(yè)成為我省現(xiàn)代化產(chǎn)業(yè)體系的重要組成部分，并融入到國(guó)家未來(lái)產(chǎn)業(yè)鏈條當(dāng)中。（2）頭部企業(yè)持續(xù)壯大到2025年，力爭(zhēng)培育主營(yíng)業(yè)務(wù)收入超千億的企業(yè)1個(gè)、超百億的企業(yè)30個(gè)、國(guó)家級(jí)企業(yè)技術(shù)中心10戶、國(guó)家級(jí)試點(diǎn)示范30戶、高新技術(shù)企業(yè)1000戶。培育一批匯聚和配置全球資源、在細(xì)分領(lǐng)域占據(jù)統(tǒng)籌領(lǐng)導(dǎo)地位、在全國(guó)形成示范效應(yīng)的頭部企業(yè)。（3）創(chuàng)新生態(tài)加速構(gòu)建到2025年，各高校設(shè)置的未來(lái)產(chǎn)業(yè)相關(guān)學(xué)科達(dá)到20個(gè)，建成未來(lái)產(chǎn)業(yè)國(guó)家實(shí)驗(yàn)室、國(guó)家重點(diǎn)實(shí)驗(yàn)室、國(guó)家級(jí)制造業(yè)創(chuàng)新中心、技術(shù)創(chuàng)新中心、產(chǎn)業(yè)創(chuàng)新中心等6個(gè)，形成從基礎(chǔ)理論研究—實(shí)驗(yàn)室創(chuàng)新—產(chǎn)業(yè)化生產(chǎn)完整鏈條的創(chuàng)新體系，攻克一批關(guān)鍵核心技術(shù)，形成一批重點(diǎn)龍頭產(chǎn)品。（4）集聚發(fā)展日見(jiàn)成效到2025年，主營(yíng)業(yè)務(wù)收入超千億的未來(lái)產(chǎn)業(yè)集群或集聚區(qū)達(dá)到3個(gè)，集群內(nèi)企業(yè)占到未來(lái)產(chǎn)業(yè)企業(yè)多數(shù)，建成信創(chuàng)、碳基新材料、特種金屬材料、合成生物產(chǎn)業(yè)4個(gè)國(guó)家級(jí)先進(jìn)制造業(yè)產(chǎn)業(yè)集群，形成若干具有全球影響力的未來(lái)產(chǎn)業(yè)發(fā)展策源地。（5）開(kāi)發(fā)合作更加深化到2025年，高新技術(shù)產(chǎn)品出口額的比重接近80%，制造業(yè)實(shí)際使用外資較2020年增長(zhǎng)50%。一批國(guó)際國(guó)內(nèi)未來(lái)產(chǎn)業(yè)頂級(jí)企業(yè)、研發(fā)機(jī)構(gòu)落戶山西，融入雙循環(huán)特別是融入國(guó)際未來(lái)產(chǎn)業(yè)效果顯著，未來(lái)產(chǎn)業(yè)開(kāi)放合作發(fā)展進(jìn)入快車道。2、十五年形成體系到2035年，山西成為我國(guó)未來(lái)產(chǎn)業(yè)發(fā)展的示范區(qū)。未來(lái)產(chǎn)業(yè)體系基本建立，成為我省經(jīng)濟(jì)發(fā)展的重要增長(zhǎng)極。人工智能、量子科技、生命科學(xué)、航天航空、海洋裝備、新能源的關(guān)鍵共性技術(shù)創(chuàng)新能力名列國(guó)內(nèi)前茅，重點(diǎn)產(chǎn)品和服務(wù)覆蓋國(guó)內(nèi)主要市場(chǎng)，一批龍頭企業(yè)和創(chuàng)新平臺(tái)初步具備國(guó)際引領(lǐng)作用。3、三十年全面發(fā)展到2050年，山西成為我國(guó)未來(lái)產(chǎn)業(yè)發(fā)展的引領(lǐng)區(qū)。未來(lái)產(chǎn)業(yè)構(gòu)建起較成熟的產(chǎn)業(yè)體系，部分領(lǐng)域、關(guān)鍵核心技術(shù)創(chuàng)新能力達(dá)到國(guó)際一流水平，重點(diǎn)產(chǎn)品和服務(wù)覆蓋全球主要市場(chǎng)，形成一批國(guó)際領(lǐng)軍的龍頭企業(yè)和創(chuàng)新平臺(tái)。指導(dǎo)思想立足新發(fā)展階段，貫徹新發(fā)展理念，著力構(gòu)建以先進(jìn)制造業(yè)為支撐的現(xiàn)代產(chǎn)業(yè)體系，以現(xiàn)有產(chǎn)業(yè)未來(lái)化和未來(lái)技術(shù)產(chǎn)業(yè)化為抓手，圍繞優(yōu)中培精，加速直道沖刺有中育新，推進(jìn)彎道超車新中求變，助力換道領(lǐng)跑無(wú)中生有，著力賽道競(jìng)賽四大路徑，重點(diǎn)培育未來(lái)數(shù)字、未來(lái)材料、未來(lái)能源、未來(lái)裝備、未來(lái)生活等5大未來(lái)產(chǎn)業(yè)重點(diǎn)領(lǐng)域，全力構(gòu)建主導(dǎo)性、先導(dǎo)性、顛覆性、前瞻性等4層培育體系，著力形成5+4未來(lái)產(chǎn)業(yè)發(fā)展矩陣，持續(xù)提升產(chǎn)業(yè)基礎(chǔ)高級(jí)化和產(chǎn)業(yè)鏈現(xiàn)代化水平，不斷適應(yīng)以國(guó)內(nèi)大循環(huán)為主體、國(guó)內(nèi)國(guó)際雙循環(huán)相互促進(jìn)的新發(fā)展格局，加快構(gòu)建具有山西特色、持續(xù)競(jìng)爭(zhēng)力的現(xiàn)代產(chǎn)業(yè)體系，率先將山西建成未來(lái)產(chǎn)業(yè)創(chuàng)新發(fā)展的先行區(qū)、示范區(qū)和引領(lǐng)區(qū)，為我省換道領(lǐng)跑、搶占先機(jī)、贏得未來(lái)競(jìng)爭(zhēng)優(yōu)勢(shì)、實(shí)現(xiàn)轉(zhuǎn)型蹚新路提供強(qiáng)大動(dòng)力。發(fā)展未來(lái)產(chǎn)業(yè)推進(jìn)措施（一）做好規(guī)劃評(píng)估健全工作機(jī)制，細(xì)化政策措施，確保各項(xiàng)任務(wù)落實(shí)到位。各部門(mén)要加強(qiáng)跟蹤分析和督促指導(dǎo)，研究制定專項(xiàng)政策支持未來(lái)產(chǎn)業(yè)發(fā)展。領(lǐng)導(dǎo)小組要加強(qiáng)未來(lái)產(chǎn)業(yè)政策評(píng)估監(jiān)測(cè)與績(jī)效評(píng)價(jià)，對(duì)政策落實(shí)情況進(jìn)行跟蹤分析，并及時(shí)調(diào)整完善。（二）強(qiáng)化輿論引導(dǎo)充分發(fā)揮傳統(tǒng)媒體和互聯(lián)網(wǎng)新興媒體的作用，宣傳我省未來(lái)產(chǎn)業(yè)發(fā)展的新政策、新進(jìn)展、新成效，進(jìn)一步營(yíng)造未來(lái)產(chǎn)業(yè)發(fā)展良好社會(huì)輿論環(huán)境。組織召開(kāi)未來(lái)產(chǎn)業(yè)重點(diǎn)領(lǐng)域高端論壇、峰會(huì)，交流未來(lái)產(chǎn)業(yè)領(lǐng)域前沿新知，解析未來(lái)發(fā)展趨勢(shì)，探討應(yīng)用推廣前沿技術(shù)，宣傳推介我省未來(lái)產(chǎn)業(yè)的新產(chǎn)品、新技術(shù)、新業(yè)態(tài)，將未來(lái)產(chǎn)業(yè)打造成我省新名片。金融資本扶持工程1、強(qiáng)化產(chǎn)業(yè)基金支持充分利用我省現(xiàn)有各類產(chǎn)業(yè)發(fā)展基金，進(jìn)一步研究股權(quán)投資與未來(lái)產(chǎn)業(yè)發(fā)展的新模式、引導(dǎo)基金運(yùn)作模式等基金投入方式，激活我省現(xiàn)有產(chǎn)業(yè)發(fā)展基金活力，支持未來(lái)產(chǎn)業(yè)發(fā)展。積極探索建立未來(lái)產(chǎn)業(yè)投資基金，有效發(fā)揮財(cái)政資金杠桿撬動(dòng)作用，重點(diǎn)支持未來(lái)產(chǎn)業(yè)企業(yè)培育、關(guān)鍵共性技術(shù)攻關(guān)、基地平臺(tái)建設(shè)、創(chuàng)新應(yīng)用示范等方向建設(shè)，引導(dǎo)產(chǎn)業(yè)資本、金融資本、社會(huì)資本支持未來(lái)產(chǎn)業(yè)發(fā)展。2、搭建銀企合作平臺(tái)探索建立產(chǎn)融創(chuàng)新金融服務(wù)聯(lián)合體，推動(dòng)我省銀行、券商、投資基金、投資機(jī)構(gòu)和其他金融服務(wù)機(jī)構(gòu)針對(duì)我省未來(lái)產(chǎn)業(yè)發(fā)展，構(gòu)建多層次、全方位的科技金融綜合服務(wù)體系，重點(diǎn)發(fā)展適應(yīng)未來(lái)產(chǎn)業(yè)發(fā)展的新型的融資、擔(dān)保、保險(xiǎn)和服務(wù)。推動(dòng)銀企戰(zhàn)略合作，通過(guò)組織銀企對(duì)接會(huì)、向銀行推薦項(xiàng)目的形式，積極搭建銀企合作平臺(tái)推動(dòng)實(shí)現(xiàn)未來(lái)產(chǎn)業(yè)企業(yè)與金融資源的有效對(duì)接，拓寬未來(lái)產(chǎn)業(yè)企業(yè)融資渠道，破解未來(lái)產(chǎn)業(yè)企業(yè)融資難題。碳基芯片產(chǎn)業(yè)碳基芯片產(chǎn)業(yè)包括碳納米管器件、設(shè)備等上游產(chǎn)業(yè)；設(shè)計(jì)、制造、封測(cè)三個(gè)關(guān)鍵環(huán)節(jié)的中游產(chǎn)業(yè)；消費(fèi)電子、汽車、通信等下游應(yīng)用領(lǐng)域產(chǎn)業(yè)。（一）碳基芯片產(chǎn)業(yè)發(fā)展基礎(chǔ)近年來(lái)，山西加強(qiáng)與北京大學(xué)在碳基芯片領(lǐng)域的合作，初步具備了將無(wú)摻雜的碳納米管CMOS集成電路、彈道輸運(yùn)的CMOS電路、亞閾值擺幅<60mV/dec的超低功耗Dirac晶體管等先進(jìn)技術(shù)落戶我省的基礎(chǔ)。（二）碳基芯片產(chǎn)業(yè)重點(diǎn)方向和發(fā)展目標(biāo)十四五期間，重點(diǎn)進(jìn)行電子顯微學(xué)和碳基電子學(xué)領(lǐng)域的技術(shù)攻關(guān)。在電子顯微學(xué)領(lǐng)域，發(fā)展精確處理一般材料體系反射和透射電子衍射、彈性和非彈性電子散射的理論框架。在碳基電子學(xué)領(lǐng)域，重點(diǎn)攻關(guān)整套碳基CMOS集成電路無(wú)摻雜制備新技術(shù)，采用不同功函數(shù)的金屬作為電極，實(shí)現(xiàn)碳管理想的歐姆接觸，解決制備性能超越硅基晶體管的碳管CMOS晶體管難題，利用釔可與碳納米結(jié)構(gòu)形成完美浸潤(rùn)，獲得高質(zhì)量的超薄氧化釔柵介質(zhì)層。十四五期間，碳基芯片材料的關(guān)鍵核心技術(shù)得到突破，碳基芯片制備實(shí)現(xiàn)起步，培育3—5戶碳基芯片材料重點(diǎn)企業(yè)。未來(lái)15年，碳基芯片產(chǎn)業(yè)技術(shù)體系逐步構(gòu)建，柵長(zhǎng)5納米的碳管晶體管制備技術(shù)實(shí)現(xiàn)全面突破。未來(lái)30年，碳基芯片實(shí)現(xiàn)產(chǎn)業(yè)化，山西依托碳基芯片成為全球芯片產(chǎn)業(yè)重要布局。（三）碳基芯片產(chǎn)業(yè)發(fā)展路徑1、加快碳基芯片產(chǎn)業(yè)關(guān)鍵技術(shù)研發(fā)加快碳基芯片材料制備關(guān)鍵技術(shù)和核心設(shè)備研發(fā)進(jìn)程。大力推動(dòng)高純度半導(dǎo)體單壁碳納米管、碳納米管薄膜大面積制備等碳基芯片材料的制備技術(shù)。加快研發(fā)整套碳基CMOS集成電路無(wú)摻雜制備新技術(shù)。加速布局碳基芯片研發(fā)設(shè)計(jì)、封裝測(cè)試和制造工藝技術(shù)研發(fā)，搶占碳基芯片行業(yè)技術(shù)先發(fā)優(yōu)勢(shì)。2、優(yōu)化碳基芯片產(chǎn)業(yè)創(chuàng)新平臺(tái)組建以北京大學(xué)碳基芯片研究團(tuán)隊(duì)科研成果為依托，統(tǒng)籌整合各方面空間、資金、平臺(tái)及有關(guān)政策，在山西打造碳基半導(dǎo)體材料和集成電路產(chǎn)業(yè)化基地。支持北京大學(xué)碳基芯片研究團(tuán)隊(duì)與山西大學(xué)、有關(guān)企業(yè)合作，在山西大學(xué)設(shè)立碳基芯片產(chǎn)業(yè)技術(shù)研究院，開(kāi)展碳基半導(dǎo)體材料和碳基薄膜電子技術(shù)攻關(guān)，打造碳基芯片高端研發(fā)平臺(tái)。3、夯實(shí)碳基芯片產(chǎn)業(yè)發(fā)展基礎(chǔ)緊抓國(guó)家大力