分子泵選型、應(yīng)用和維護(hù)課件

中科科儀分子泵產(chǎn)品介紹

錢浩

0中科科儀分子泵產(chǎn)品介紹

錢浩0內(nèi)容中科科儀分子泵發(fā)展歷程分子泵原理、結(jié)構(gòu)分子泵應(yīng)用及選型分子泵使用及維護(hù)1內(nèi)容中科科儀分子泵發(fā)展歷程1分子泵大全

2分子泵大全21977年：研制成功國(guó)內(nèi)第一臺(tái)立式F450渦輪分子泵，通過(guò)科學(xué)院鑒定。1983年：F110渦輪分子泵通過(guò)中科院鑒定，首批應(yīng)用于正負(fù)電子對(duì)撞機(jī)。1986年：FF500復(fù)合型分子泵。1993年：F1500渦輪分子泵，F(xiàn)150檢漏儀用渦輪分子泵。2019年：

F3500渦輪分子泵。2000年：

FF620復(fù)合分子泵進(jìn)入市場(chǎng)。一、中科科儀分子泵的發(fā)展歷程31977年：研制成功國(guó)內(nèi)第一臺(tái)立式F450渦輪分子泵，通過(guò)科2019年：系列防腐蝕分子泵進(jìn)入市場(chǎng)。2019年：FF1200復(fù)合分子泵進(jìn)入市場(chǎng)。2019年：系列任意角度安裝分子泵進(jìn)入市場(chǎng)。2019年：抗沖擊（整體渦輪轉(zhuǎn)子）分子泵。2019年：FF700任意角度安裝分子泵。2019年：FD-II電源、FF1600分子泵、FF1300任意角度安裝分子泵。2019年：FF1800脂潤(rùn)滑分子泵，1800磁懸浮分子泵樣機(jī)。一、中科科儀分子泵的發(fā)展歷程42019年：系列防腐蝕分子泵進(jìn)入市場(chǎng)。一、中科科儀分子泵的二、分子泵原理、結(jié)構(gòu)分子泵原理分子泵是一種動(dòng)量型真空獲得設(shè)備，在分子流態(tài)下，氣體分子與高速運(yùn)動(dòng)的表面發(fā)生碰撞獲得一定方向的動(dòng)量，從而使氣體分子得到逐級(jí)壓縮，最后被抽除。5二、分子泵原理、結(jié)構(gòu)分子泵原理5二、分子泵原理、結(jié)構(gòu)

分子泵結(jié)構(gòu)6二、分子泵原理、結(jié)構(gòu)分子泵結(jié)構(gòu)6按抽氣特性結(jié)構(gòu)分類渦輪分子泵渦輪級(jí)動(dòng)、靜葉列復(fù)合型分子泵渦輪級(jí)+拖動(dòng)級(jí)按使用特點(diǎn)分類風(fēng)冷型：中小型分子泵水冷型：中大型分子泵防腐型：抽除腐蝕性氣體二、分子泵原理、結(jié)構(gòu)

分子泵結(jié)構(gòu)7按抽氣特性結(jié)構(gòu)分類二、分子泵原理、結(jié)構(gòu)分子泵結(jié)構(gòu)7按制造結(jié)構(gòu)分類油潤(rùn)滑脂潤(rùn)滑磁懸浮二、分子泵原理、結(jié)構(gòu)

分子泵結(jié)構(gòu)8按制造結(jié)構(gòu)分類二、分子泵原理、結(jié)構(gòu)分子泵結(jié)構(gòu)8精密的轉(zhuǎn)子制造精密的動(dòng)、靜間隙配合高精度的軸系加工高精度軸承精密的整機(jī)平衡可靠的阻尼減振系統(tǒng)高效的變頻電機(jī)、冷卻系統(tǒng)二、分子泵原理、結(jié)構(gòu)

分子泵結(jié)構(gòu)9精密的轉(zhuǎn)子制造二、分子泵原理、結(jié)構(gòu)分子泵結(jié)構(gòu)9連續(xù)抽除氣體節(jié)省能源可獲得清潔的真空對(duì)被抽氣體無(wú)選擇性，對(duì)各種類氣體，抽速變化不大起停機(jī)時(shí)間短振動(dòng)小，噪音低操作維護(hù)方便，免維護(hù)周期長(zhǎng)復(fù)合型分子泵在較高壓強(qiáng)工作段仍有較大抽速三、分子泵應(yīng)用及選型

分子泵特點(diǎn)10連續(xù)抽除氣體三、分子泵應(yīng)用及選型分子泵特點(diǎn)10油潤(rùn)滑分子泵：潤(rùn)滑油量小，且在前級(jí)真空段，對(duì)真空室污染小。脂潤(rùn)滑分子泵：油脂量極小，前級(jí)配干泵可獲得近似無(wú)油的清潔真空。全磁懸浮分子泵：無(wú)須潤(rùn)滑，與干泵一起使用，可獲得無(wú)油的清潔真空環(huán)境。三、分子泵應(yīng)用及選型

分子泵特點(diǎn)11油潤(rùn)滑分子泵：潤(rùn)滑油量小，且在前級(jí)真空段，對(duì)真空室污染小。三復(fù)合型分子泵的特點(diǎn)在1Pa左右的高壓強(qiáng)工作段，與同類型的渦輪分子泵比較，有較大的抽速，有利于某些工藝過(guò)程。前級(jí)耐壓能力提高，可配某些類型的干泵，如膜片泵，可縮小前級(jí)泵的規(guī)格，節(jié)省投資。三、分子泵應(yīng)用及選型12復(fù)合型分子泵的特點(diǎn)三、分子泵應(yīng)用及選型12復(fù)合分子泵典型的抽速曲線三、分子泵應(yīng)用及選型13復(fù)合分子泵典型的抽速曲線三、分子泵應(yīng)用及選型13KYKY分子泵型號(hào)及意義F

F-×××/×××

□

特征代號(hào)（空、T、N、F、Z……）抽氣速率,L/s抽氣口通徑,mm復(fù)合代號(hào)分子泵代號(hào)三、分子泵應(yīng)用及選型14KYKY分子泵型號(hào)及意義FF-×××/×××KYKY分子泵種類

渦輪泵按結(jié)構(gòu)分復(fù)合泵油潤(rùn)滑潤(rùn)滑方式脂潤(rùn)滑風(fēng)冷冷卻方式風(fēng)水兩用泵水冷普通泵功能防腐蝕泵分子泵系列FF160/620CF-100/150FF-250/1800FF-200/1200F-100/110FF-200/1300F-250/1500FF-250/1600F-160/500FF-400/3500FF-160/700三、分子泵應(yīng)用及選型15KYKY分子泵種類渦輪泵分子泵性能參數(shù)、意義及測(cè)試抽速：分子泵入口氣體的體積流率三、分子泵應(yīng)用及選型`16分子泵性能參數(shù)、意義及測(cè)試三、分子泵應(yīng)用及選型`16分子泵性能參數(shù)、意義及測(cè)試抽速測(cè)量裝置三、分子泵應(yīng)用及選型調(diào)節(jié)閥

G1,DL-7

G2,

DL-7

溫度計(jì)，T1

分子泵

前級(jí)泵溫度計(jì)，T2

17分子泵性能參數(shù)、意義及測(cè)試三、分子泵應(yīng)用及選型調(diào)節(jié)閥G1,分子泵性能參數(shù)、意義及測(cè)試分子泵的極限壓強(qiáng)ISO5302標(biāo)準(zhǔn)中稱最低工作壓強(qiáng)分子泵加裝標(biāo)準(zhǔn)測(cè)試罩，經(jīng)48小時(shí)烘烤，降溫48小時(shí)后，所測(cè)得的壓強(qiáng)值。

一般說(shuō)來(lái)，分子泵的極限壓強(qiáng)范圍為：10-4Pa~10-9Pa三、分子泵應(yīng)用及選型18分子泵性能參數(shù)、意義及測(cè)試分子泵的極限壓強(qiáng)三、分子泵應(yīng)用及選極限壓強(qiáng)測(cè)量裝置極限壓強(qiáng)與入口法蘭形式、前級(jí)泵種類等有關(guān)

G1,真空計(jì)分子泵

前級(jí)泵溫度計(jì)，T2分子泵性能參數(shù)、意義及測(cè)試三、分子泵應(yīng)用及選型19極限壓強(qiáng)測(cè)量裝置G1,真空計(jì)分子泵前級(jí)泵溫度計(jì)，T2分子分子泵的壓縮比分子泵加裝標(biāo)準(zhǔn)測(cè)試罩，在泵入口無(wú)氣載的情況下，所測(cè)得的分子泵出口、入口壓強(qiáng)之比。分子泵對(duì)大分子壓縮比比較大對(duì)小分子壓縮比比較小分子泵性能參數(shù)、意義及測(cè)試三、分子泵應(yīng)用及選型20分子泵的壓縮比分子泵性能參數(shù)、意義及測(cè)試三、分子泵應(yīng)用及選型分子泵壓縮比測(cè)量裝置

G2,真空計(jì)

調(diào)節(jié)閥

G1,真空計(jì)

分子泵

溫度計(jì)，T2

分子泵性能參數(shù)、意義及測(cè)試三、分子泵應(yīng)用及選型前級(jí)泵21分子泵壓縮比測(cè)量裝置G2,真空計(jì)調(diào)節(jié)閥G1,真空計(jì)分最大入口壓強(qiáng)分子泵連續(xù)工作時(shí)所能承受的最高入口壓強(qiáng)取決于分子泵的冷卻條件，對(duì)于風(fēng)冷一般小于0.1Pa；對(duì)于水冷，一般小于5Pa最大可持續(xù)前級(jí)壓強(qiáng)：分子泵連續(xù)工作的最高前級(jí)壓強(qiáng)，一般為十幾帕，或幾十帕。分子泵性能參數(shù)、意義及測(cè)試三、分子泵應(yīng)用及選型22最大入口壓強(qiáng)分子泵性能參數(shù)、意義及測(cè)試三、分子泵應(yīng)用及選型2分子泵性能參數(shù)、意義及測(cè)試其他技術(shù)參數(shù)

出入口法蘭形式、規(guī)格入口法蘭分LF和CF兩種，大小有110、160、200、250和400四種；出口法蘭為KF，大小有25、40、50和100四種建議前級(jí)泵規(guī)格

對(duì)于110/150L/s泵，建議采用2~4L前級(jí)

對(duì)于500~1000L/s泵，建議采用6~12L前級(jí)

對(duì)于

>1000L/s泵，建議采用>12L前級(jí)

冷卻條件風(fēng)冷環(huán)境溫度<32℃水冷環(huán)境溫度32℃以上，水溫≤25℃三、分子泵應(yīng)用及選型23分子泵性能參數(shù)、意義及測(cè)試其他技術(shù)參數(shù)三、分子泵應(yīng)用及選型2分子泵的應(yīng)用一般來(lái)講，分子泵用來(lái)獲得高，或超高真空。廣泛應(yīng)用于：工業(yè)工藝過(guò)程（裝飾、ITO、PVD、晶振、玻璃鍍膜，照明、真空爐排氣）儀器、設(shè)備科研、軍工裝備半導(dǎo)體工業(yè)三、分子泵應(yīng)用及選型24分子泵的應(yīng)用三、分子泵應(yīng)用及選型24三、分子泵應(yīng)用及選型25三、分子泵應(yīng)用及選型25制燈、玻璃鍍膜三、分子泵應(yīng)用及選型26制燈、玻璃鍍膜三、分子泵應(yīng)用及選型26柔性太陽(yáng)能電池設(shè)備三、分子泵應(yīng)用及選型27柔性太陽(yáng)能電池設(shè)備三、分子泵應(yīng)用及選型27科研裝備三、分子泵應(yīng)用及選型28科研裝備三、分子泵應(yīng)用及選型28產(chǎn)品的生產(chǎn)與制造過(guò)程調(diào)試裝配入庫(kù)平衡調(diào)試設(shè)計(jì)加工檢測(cè)KYKY執(zhí)行嚴(yán)格的生產(chǎn)流程，保證產(chǎn)品的高品質(zhì)加工生產(chǎn)流程29產(chǎn)品的生產(chǎn)與制造過(guò)程調(diào)試裝入平衡設(shè)加檢KYKY執(zhí)行嚴(yán)分子泵選型及注意事項(xiàng)滿足系統(tǒng)的抽氣要求，工作節(jié)拍在對(duì)系統(tǒng)的氣載、工作節(jié)拍有較清楚計(jì)算的基礎(chǔ)上，考慮配泵的大小，數(shù)量。同時(shí)還要考慮到前級(jí)泵的大小，以及分子泵在高壓強(qiáng)段有效抽速降低等因素。對(duì)于大的工作腔室，要考慮配羅茨泵機(jī)組，使得系統(tǒng)盡快地渡過(guò)高壓強(qiáng)工作段三、分子泵應(yīng)用及選型30分子泵選型及注意事項(xiàng)三、分子泵應(yīng)用及選型30分子泵選型及注意事項(xiàng)滿足系統(tǒng)的本底壓強(qiáng)（極限）的要求系統(tǒng)的極限壓強(qiáng)除與分子泵的極限壓強(qiáng)有關(guān)外，與排氣時(shí)間、腔室材料、法蘭連接形式、清潔程度、是否烘烤等諸多因素有關(guān)。同一型號(hào)的分子泵在極限指標(biāo)方面有微小差異，差異一般不會(huì)高于半個(gè)量級(jí)。安裝方式方面的考慮三、分子泵應(yīng)用及選型31分子泵選型及注意事項(xiàng)三、分子泵應(yīng)用及選型31分子泵選型及注意事項(xiàng)注意分子泵正常工作時(shí)所需的入口、出口壓強(qiáng)等工作條件在高壓強(qiáng)段（1Pa左右）需較大排氣能力時(shí)，可考慮選用復(fù)合型分子泵若關(guān)心對(duì)某種氣體的抽除能力（如該種氣體的分壓強(qiáng)值），還要注意分子泵對(duì)該氣體的抽速、壓縮比等參數(shù)。

三、分子泵應(yīng)用及選型32分子泵選型及注意事項(xiàng)三、分子泵應(yīng)用及選型32四、分子泵的使用及維護(hù)使用——總體安裝注意安裝前應(yīng)檢查分子泵運(yùn)輸中是否被損壞。打開(kāi)泵高真空端法蘭蓋板，戴好手套，撥動(dòng)渦輪轉(zhuǎn)子，應(yīng)轉(zhuǎn)動(dòng)靈活，無(wú)異?，F(xiàn)象。安裝環(huán)境應(yīng)符合技術(shù)要求和真空衛(wèi)生要求。確認(rèn)防護(hù)網(wǎng)已安裝，特殊情況下定做特殊防護(hù)網(wǎng)。確認(rèn)已裝入潤(rùn)滑油。安裝方向：油繩潤(rùn)滑：豎直、水平；油潤(rùn)滑：豎直方向±5°范圍內(nèi)；脂潤(rùn)滑：任意角度33四、分子泵的使用及維護(hù)使用——總體安裝注意33使用——油池安裝拆下注油油量控制油池衛(wèi)生，防顆粒對(duì)好、對(duì)稱上緊螺釘，防止有漏四、分子泵的使用及維護(hù)34使用——油池安裝拆下注油四、分子泵的使用及維護(hù)34四、分子泵的使用及維護(hù)使用——進(jìn)出口法蘭、冷卻水安裝泵入口：對(duì)正、對(duì)稱擰緊泵出口：防止錯(cuò)位冷卻水：無(wú)漏水入口水壓0.2MPa水溫20±５℃水質(zhì)澄清無(wú)沉淀高真空口對(duì)稱均勻擰緊高真空口對(duì)稱均勻擰緊前級(jí)擰緊無(wú)泄漏循環(huán)水不滴漏注意：環(huán)境溫度風(fēng)冷需小于32℃;水冷可至40℃入口壓強(qiáng)強(qiáng)制風(fēng)冷<0.1Pa;自然風(fēng)冷<0.01Pa35四、分子泵的使用及維護(hù)使用——進(jìn)出口法蘭、冷卻水安裝泵入口：四、分子泵的使用及維護(hù)使用——電纜安裝對(duì)正槽口插入用螺母擰緊，邊插邊擰檢查到位電纜線擰緊不松動(dòng)36四、分子泵的使用及維護(hù)使用——電纜安裝對(duì)正槽口插入電纜線擰四、分子泵的使用及維護(hù)使用——分子泵啟動(dòng)a.啟動(dòng)條件：連接無(wú)誤、無(wú)漏、冷卻、潤(rùn)滑、真空度b.啟動(dòng)時(shí)間：同時(shí)啟動(dòng)——小系統(tǒng)，防前級(jí)泵油上返。延遲啟動(dòng)——系統(tǒng)容積過(guò)大,先啟動(dòng)前級(jí)泵，至系統(tǒng)壓強(qiáng)P=200Pa時(shí)，啟動(dòng)分子泵。37四、分子泵的使用及維護(hù)使用——分子泵啟動(dòng)a.啟動(dòng)條件：37四、分子泵的使用及維護(hù)使用——烘烤a.10-4Pa的真空系統(tǒng)，原則上不必烘烤。b.10-6Pa的真空系統(tǒng)，系統(tǒng)本身需要烘烤。c.最好用分子泵本身附帶的加熱裝置。若要自己纏加熱帶烘烤，注意溫度要小于100℃d.烘烤應(yīng)在分子泵運(yùn)轉(zhuǎn)情況下進(jìn)行。e.烘烤時(shí)間>4h。

38四、分子泵的使用及維護(hù)使用——烘烤a.10-4Pa四、分子泵的使用及維護(hù)使用——振動(dòng)隔離、沖擊防護(hù)分子泵振動(dòng)極小，可直接接于被抽系統(tǒng)。對(duì)于高精密儀器的應(yīng)用（如電子顯微鏡），建議使用隔振器，以便最大可能的減少振動(dòng)。沖擊防護(hù)：高速旋轉(zhuǎn)、間隙很小、柔性支撐機(jī)械振動(dòng)（預(yù)抽泵、前級(jí)泵、機(jī)械動(dòng)作等）氣體振動(dòng)（氣量突變、壓強(qiáng)突變）意外振動(dòng)（掉入異物、碰撞等）注意：沒(méi)有對(duì)泵進(jìn)行必要防護(hù)，容易造成分子泵嚴(yán)重的破壞、甚至碎泵。39四、分子泵的使用及維護(hù)使用——振動(dòng)隔離、沖擊防護(hù)分子泵振動(dòng)極使用——振動(dòng)隔離、沖擊防護(hù)四、分子泵的使用及維護(hù)40使用——振動(dòng)隔離、沖擊防護(hù)四、分子泵的使用及維護(hù)40四、分子泵的使用及維護(hù)使用——振動(dòng)隔離、沖擊防護(hù)41四、分子泵的使用及維護(hù)使用——振動(dòng)隔離、沖擊防護(hù)41四、分子泵的使用及維護(hù)使用——振動(dòng)隔離、沖擊防護(hù)42四、分子泵的使用及維護(hù)使用——振動(dòng)隔離、沖擊防護(hù)42四、分子泵的使用及維護(hù)使用——大氣載、熱氣體、突變氣載a引起問(wèn)題：溫度升高動(dòng)靜片變形轉(zhuǎn)子上移

潤(rùn)滑失效5℃原則軸承失效b.措施：加大水冷增加冷卻裝置縮短換油時(shí)間43四、分子泵的使用及維護(hù)使用——大氣載、熱氣體、突變氣載a四、分子泵的使用及維護(hù)使用——磁場(chǎng)屏蔽旋轉(zhuǎn)的轉(zhuǎn)子在磁場(chǎng)中產(chǎn)生渦電流，將使轉(zhuǎn)子發(fā)熱，將產(chǎn)生如下問(wèn)題：轉(zhuǎn)子與定子間隙越來(lái)越小，造成碎片；轉(zhuǎn)子溫升過(guò)大造成磁性電機(jī)轉(zhuǎn)子退磁；由于發(fā)熱會(huì)減弱鋁材料的強(qiáng)度，造成碎泵；轉(zhuǎn)子發(fā)熱，改變轉(zhuǎn)子和軸的相對(duì)位置，造成碎泵。分子泵在磁場(chǎng)中運(yùn)轉(zhuǎn)時(shí)，徑向和軸向磁場(chǎng)強(qiáng)度均不得大于30Gs。原則上，大于30Gs應(yīng)使用導(dǎo)磁材料屏蔽。44四、分子泵的使用及維護(hù)使用——磁場(chǎng)屏蔽旋轉(zhuǎn)的轉(zhuǎn)子在磁場(chǎng)中四、分子泵的使用及維護(hù)使用——耐腐蝕泵a.保護(hù)性氣體b.保護(hù)氣體的流量16~20sccmc.必須使用防腐油d.開(kāi)、關(guān)機(jī)前必須通保護(hù)氣體45四、分子泵的使用及維護(hù)使用——耐腐蝕泵a.保護(hù)性氣體45備用泵使用注意事宜：更換后問(wèn)題泵及時(shí)返修。46備用泵使用注意事宜：46謝謝大家！47謝謝大家！47謝謝謝謝中科科儀分子泵產(chǎn)品介紹

錢浩

49中科科儀分子泵產(chǎn)品介紹

錢浩0內(nèi)容中科科儀分子泵發(fā)展歷程分子泵原理、結(jié)構(gòu)分子泵應(yīng)用及選型分子泵使用及維護(hù)50內(nèi)容中科科儀分子泵發(fā)展歷程1分子泵大全

51分子泵大全21977年：研制成功國(guó)內(nèi)第一臺(tái)立式F450渦輪分子泵，通過(guò)科學(xué)院鑒定。1983年：F110渦輪分子泵通過(guò)中科院鑒定，首批應(yīng)用于正負(fù)電子對(duì)撞機(jī)。1986年：FF500復(fù)合型分子泵。1993年：F1500渦輪分子泵，F(xiàn)150檢漏儀用渦輪分子泵。2019年：

F3500渦輪分子泵。2000年：

FF620復(fù)合分子泵進(jìn)入市場(chǎng)。一、中科科儀分子泵的發(fā)展歷程521977年：研制成功國(guó)內(nèi)第一臺(tái)立式F450渦輪分子泵，通過(guò)科2019年：系列防腐蝕分子泵進(jìn)入市場(chǎng)。2019年：FF1200復(fù)合分子泵進(jìn)入市場(chǎng)。2019年：系列任意角度安裝分子泵進(jìn)入市場(chǎng)。2019年：抗沖擊（整體渦輪轉(zhuǎn)子）分子泵。2019年：FF700任意角度安裝分子泵。2019年：FD-II電源、FF1600分子泵、FF1300任意角度安裝分子泵。2019年：FF1800脂潤(rùn)滑分子泵，1800磁懸浮分子泵樣機(jī)。一、中科科儀分子泵的發(fā)展歷程532019年：系列防腐蝕分子泵進(jìn)入市場(chǎng)。一、中科科儀分子泵的二、分子泵原理、結(jié)構(gòu)分子泵原理分子泵是一種動(dòng)量型真空獲得設(shè)備，在分子流態(tài)下，氣體分子與高速運(yùn)動(dòng)的表面發(fā)生碰撞獲得一定方向的動(dòng)量，從而使氣體分子得到逐級(jí)壓縮，最后被抽除。54二、分子泵原理、結(jié)構(gòu)分子泵原理5二、分子泵原理、結(jié)構(gòu)

分子泵結(jié)構(gòu)55二、分子泵原理、結(jié)構(gòu)分子泵結(jié)構(gòu)6按抽氣特性結(jié)構(gòu)分類渦輪分子泵渦輪級(jí)動(dòng)、靜葉列復(fù)合型分子泵渦輪級(jí)+拖動(dòng)級(jí)按使用特點(diǎn)分類風(fēng)冷型：中小型分子泵水冷型：中大型分子泵防腐型：抽除腐蝕性氣體二、分子泵原理、結(jié)構(gòu)

分子泵結(jié)構(gòu)56按抽氣特性結(jié)構(gòu)分類二、分子泵原理、結(jié)構(gòu)分子泵結(jié)構(gòu)7按制造結(jié)構(gòu)分類油潤(rùn)滑脂潤(rùn)滑磁懸浮二、分子泵原理、結(jié)構(gòu)

分子泵結(jié)構(gòu)57按制造結(jié)構(gòu)分類二、分子泵原理、結(jié)構(gòu)分子泵結(jié)構(gòu)8精密的轉(zhuǎn)子制造精密的動(dòng)、靜間隙配合高精度的軸系加工高精度軸承精密的整機(jī)平衡可靠的阻尼減振系統(tǒng)高效的變頻電機(jī)、冷卻系統(tǒng)二、分子泵原理、結(jié)構(gòu)

分子泵結(jié)構(gòu)58精密的轉(zhuǎn)子制造二、分子泵原理、結(jié)構(gòu)分子泵結(jié)構(gòu)9連續(xù)抽除氣體節(jié)省能源可獲得清潔的真空對(duì)被抽氣體無(wú)選擇性，對(duì)各種類氣體，抽速變化不大起停機(jī)時(shí)間短振動(dòng)小，噪音低操作維護(hù)方便，免維護(hù)周期長(zhǎng)復(fù)合型分子泵在較高壓強(qiáng)工作段仍有較大抽速三、分子泵應(yīng)用及選型

分子泵特點(diǎn)59連續(xù)抽除氣體三、分子泵應(yīng)用及選型分子泵特點(diǎn)10油潤(rùn)滑分子泵：潤(rùn)滑油量小，且在前級(jí)真空段，對(duì)真空室污染小。脂潤(rùn)滑分子泵：油脂量極小，前級(jí)配干泵可獲得近似無(wú)油的清潔真空。全磁懸浮分子泵：無(wú)須潤(rùn)滑，與干泵一起使用，可獲得無(wú)油的清潔真空環(huán)境。三、分子泵應(yīng)用及選型

分子泵特點(diǎn)60油潤(rùn)滑分子泵：潤(rùn)滑油量小，且在前級(jí)真空段，對(duì)真空室污染小。三復(fù)合型分子泵的特點(diǎn)在1Pa左右的高壓強(qiáng)工作段，與同類型的渦輪分子泵比較，有較大的抽速，有利于某些工藝過(guò)程。前級(jí)耐壓能力提高，可配某些類型的干泵，如膜片泵，可縮小前級(jí)泵的規(guī)格，節(jié)省投資。三、分子泵應(yīng)用及選型61復(fù)合型分子泵的特點(diǎn)三、分子泵應(yīng)用及選型12復(fù)合分子泵典型的抽速曲線三、分子泵應(yīng)用及選型62復(fù)合分子泵典型的抽速曲線三、分子泵應(yīng)用及選型13KYKY分子泵型號(hào)及意義F

F-×××/×××

□

特征代號(hào)（空、T、N、F、Z……）抽氣速率,L/s抽氣口通徑,mm復(fù)合代號(hào)分子泵代號(hào)三、分子泵應(yīng)用及選型63KYKY分子泵型號(hào)及意義FF-×××/×××KYKY分子泵種類

渦輪泵按結(jié)構(gòu)分復(fù)合泵油潤(rùn)滑潤(rùn)滑方式脂潤(rùn)滑風(fēng)冷冷卻方式風(fēng)水兩用泵水冷普通泵功能防腐蝕泵分子泵系列FF160/620CF-100/150FF-250/1800FF-200/1200F-100/110FF-200/1300F-250/1500FF-250/1600F-160/500FF-400/3500FF-160/700三、分子泵應(yīng)用及選型64KYKY分子泵種類渦輪泵分子泵性能參數(shù)、意義及測(cè)試抽速：分子泵入口氣體的體積流率三、分子泵應(yīng)用及選型`65分子泵性能參數(shù)、意義及測(cè)試三、分子泵應(yīng)用及選型`16分子泵性能參數(shù)、意義及測(cè)試抽速測(cè)量裝置三、分子泵應(yīng)用及選型調(diào)節(jié)閥

G1,DL-7

G2,

DL-7

溫度計(jì)，T1

分子泵

前級(jí)泵溫度計(jì)，T2

66分子泵性能參數(shù)、意義及測(cè)試三、分子泵應(yīng)用及選型調(diào)節(jié)閥G1,分子泵性能參數(shù)、意義及測(cè)試分子泵的極限壓強(qiáng)ISO5302標(biāo)準(zhǔn)中稱最低工作壓強(qiáng)分子泵加裝標(biāo)準(zhǔn)測(cè)試罩，經(jīng)48小時(shí)烘烤，降溫48小時(shí)后，所測(cè)得的壓強(qiáng)值。

一般說(shuō)來(lái)，分子泵的極限壓強(qiáng)范圍為：10-4Pa~10-9Pa三、分子泵應(yīng)用及選型67分子泵性能參數(shù)、意義及測(cè)試分子泵的極限壓強(qiáng)三、分子泵應(yīng)用及選極限壓強(qiáng)測(cè)量裝置極限壓強(qiáng)與入口法蘭形式、前級(jí)泵種類等有關(guān)

G1,真空計(jì)分子泵

前級(jí)泵溫度計(jì)，T2分子泵性能參數(shù)、意義及測(cè)試三、分子泵應(yīng)用及選型68極限壓強(qiáng)測(cè)量裝置G1,真空計(jì)分子泵前級(jí)泵溫度計(jì)，T2分子分子泵的壓縮比分子泵加裝標(biāo)準(zhǔn)測(cè)試罩，在泵入口無(wú)氣載的情況下，所測(cè)得的分子泵出口、入口壓強(qiáng)之比。分子泵對(duì)大分子壓縮比比較大對(duì)小分子壓縮比比較小分子泵性能參數(shù)、意義及測(cè)試三、分子泵應(yīng)用及選型69分子泵的壓縮比分子泵性能參數(shù)、意義及測(cè)試三、分子泵應(yīng)用及選型分子泵壓縮比測(cè)量裝置

G2,真空計(jì)

調(diào)節(jié)閥

G1,真空計(jì)

分子泵

溫度計(jì)，T2

分子泵性能參數(shù)、意義及測(cè)試三、分子泵應(yīng)用及選型前級(jí)泵70分子泵壓縮比測(cè)量裝置G2,真空計(jì)調(diào)節(jié)閥G1,真空計(jì)分最大入口壓強(qiáng)分子泵連續(xù)工作時(shí)所能承受的最高入口壓強(qiáng)取決于分子泵的冷卻條件，對(duì)于風(fēng)冷一般小于0.1Pa；對(duì)于水冷，一般小于5Pa最大可持續(xù)前級(jí)壓強(qiáng)：分子泵連續(xù)工作的最高前級(jí)壓強(qiáng)，一般為十幾帕，或幾十帕。分子泵性能參數(shù)、意義及測(cè)試三、分子泵應(yīng)用及選型71最大入口壓強(qiáng)分子泵性能參數(shù)、意義及測(cè)試三、分子泵應(yīng)用及選型2分子泵性能參數(shù)、意義及測(cè)試其他技術(shù)參數(shù)

出入口法蘭形式、規(guī)格入口法蘭分LF和CF兩種，大小有110、160、200、250和400四種；出口法蘭為KF，大小有25、40、50和100四種建議前級(jí)泵規(guī)格

對(duì)于110/150L/s泵，建議采用2~4L前級(jí)

對(duì)于500~1000L/s泵，建議采用6~12L前級(jí)

對(duì)于

>1000L/s泵，建議采用>12L前級(jí)

冷卻條件風(fēng)冷環(huán)境溫度<32℃水冷環(huán)境溫度32℃以上，水溫≤25℃三、分子泵應(yīng)用及選型72分子泵性能參數(shù)、意義及測(cè)試其他技術(shù)參數(shù)三、分子泵應(yīng)用及選型2分子泵的應(yīng)用一般來(lái)講，分子泵用來(lái)獲得高，或超高真空。廣泛應(yīng)用于：工業(yè)工藝過(guò)程（裝飾、ITO、PVD、晶振、玻璃鍍膜，照明、真空爐排氣）儀器、設(shè)備科研、軍工裝備半導(dǎo)體工業(yè)三、分子泵應(yīng)用及選型73分子泵的應(yīng)用三、分子泵應(yīng)用及選型24三、分子泵應(yīng)用及選型74三、分子泵應(yīng)用及選型25制燈、玻璃鍍膜三、分子泵應(yīng)用及選型75制燈、玻璃鍍膜三、分子泵應(yīng)用及選型26柔性太陽(yáng)能電池設(shè)備三、分子泵應(yīng)用及選型76柔性太陽(yáng)能電池設(shè)備三、分子泵應(yīng)用及選型27科研裝備三、分子泵應(yīng)用及選型77科研裝備三、分子泵應(yīng)用及選型28產(chǎn)品的生產(chǎn)與制造過(guò)程調(diào)試裝配入庫(kù)平衡調(diào)試設(shè)計(jì)加工檢測(cè)KYKY執(zhí)行嚴(yán)格的生產(chǎn)流程，保證產(chǎn)品的高品質(zhì)加工生產(chǎn)流程78產(chǎn)品的生產(chǎn)與制造過(guò)程調(diào)試裝入平衡設(shè)加檢KYKY執(zhí)行嚴(yán)分子泵選型及注意事項(xiàng)滿足系統(tǒng)的抽氣要求，工作節(jié)拍在對(duì)系統(tǒng)的氣載、工作節(jié)拍有較清楚計(jì)算的基礎(chǔ)上，考慮配泵的大小，數(shù)量。同時(shí)還要考慮到前級(jí)泵的大小，以及分子泵在高壓強(qiáng)段有效抽速降低等因素。對(duì)于大的工作腔室，要考慮配羅茨泵機(jī)組，使得系統(tǒng)盡快地渡過(guò)高壓強(qiáng)工作段三、分子泵應(yīng)用及選型79分子泵選型及注意事項(xiàng)三、分子泵應(yīng)用及選型30分子泵選型及注意事項(xiàng)滿足系統(tǒng)的本底壓強(qiáng)（極限）的要求系統(tǒng)的極限壓強(qiáng)除與分子泵的極限壓強(qiáng)有關(guān)外，與排氣時(shí)間、腔室材料、法蘭連接形式、清潔程度、是否烘烤等諸多因素有關(guān)。同一型號(hào)的分子泵在極限指標(biāo)方面有微小差異，差異一般不會(huì)高于半個(gè)量級(jí)。安裝方式方面的考慮三、分子泵應(yīng)用及選型80分子泵選型及注意事項(xiàng)三、分子泵應(yīng)用及選型31分子泵選型及注意事項(xiàng)注意分子泵正常工作時(shí)所需的入口、出口壓強(qiáng)等工作條件在高壓強(qiáng)段（1Pa左右）需較大排氣能力時(shí)，可考慮選用復(fù)合型分子泵若關(guān)心對(duì)某種氣體的抽除能力（如該種氣體的分壓強(qiáng)值），還要注意分子泵對(duì)該氣體的抽速、壓縮比等參數(shù)。

三、分子泵應(yīng)用及選型81分子泵選型及注意事項(xiàng)三、分子泵應(yīng)用及選型32四、分子泵的使用及維護(hù)使用——總體安裝注意安裝前應(yīng)檢查分子泵運(yùn)輸中是否被損壞。打開(kāi)泵高真空端法蘭蓋板，戴好手套，撥動(dòng)渦輪轉(zhuǎn)子，應(yīng)轉(zhuǎn)動(dòng)靈活，無(wú)異常現(xiàn)象。安裝環(huán)境應(yīng)符合技術(shù)要求和真空衛(wèi)生要求。確認(rèn)防護(hù)網(wǎng)已安裝，特殊情況下定做特殊防護(hù)網(wǎng)。確認(rèn)已裝入潤(rùn)滑油。安裝方向：油繩潤(rùn)滑：豎直、水平；油潤(rùn)滑：豎直方向±5°范圍內(nèi)；脂潤(rùn)滑：任意角度82四、分子泵的使用及維護(hù)使用——總體安裝注意33使用——油池安裝拆下注油油量控制油池衛(wèi)生，防顆粒對(duì)好、對(duì)稱上緊螺釘，防止有漏四、分子泵的使用及維護(hù)83使用——油池安裝拆下注油四、分子泵的使用及維護(hù)34四、分子泵的使用及維護(hù)使用——進(jìn)出口法蘭、冷卻水安裝泵入口：對(duì)正、對(duì)稱擰緊泵出口：防止錯(cuò)位冷卻水：無(wú)漏水入口水壓0.2MPa水溫20±５℃水質(zhì)澄清無(wú)沉淀高真空口對(duì)稱均勻擰緊高真空口對(duì)稱均勻擰緊前級(jí)擰緊無(wú)泄漏循環(huán)水不滴漏注意：環(huán)境溫度風(fēng)冷需小于32℃;水冷可至40℃入口壓強(qiáng)強(qiáng)制風(fēng)冷<0.1Pa;自然風(fēng)冷<0.01Pa84四、分子泵的使用及維護(hù)使用——進(jìn)出口法蘭、冷卻水安裝泵入口：四、分子泵的使用及維護(hù)使用——電纜安裝對(duì)正槽口插入用螺母擰緊，邊插邊擰檢查到位電纜線擰緊不松動(dòng)85四、分子泵的使用及維護(hù)使用——電纜安裝對(duì)正槽口插入電纜線擰四、分子泵的使用及維護(hù)使用——分子