S-4800日立掃描電子顯微鏡(SEM)簡易操作指南(維護版)59

日立掃描電子顯微鏡（SEM）維護手冊S-48001、每一個月檢查冷卻循環(huán)水，及時記錄水面是否下降并補充。換水以及清洗過濾網(wǎng)（頻率：1年1次以上）2、空氣壓縮機的維護（頻率：半個月一次，1個月1次以上）壓縮機內(nèi)部排水3、機械泵、干泵的維護（頻率：半年1次以上（機械泵），1年1次（油泵））機械泵：半年1次以上，當油霧收集器附著油液或有油煙時立即更換。當油的顏色變?yōu)椴枭珪r或換油過了6個月時：停機→交換油→開機油泵：1年1次，委托服務(wù)人員維護保養(yǎng)。4、烘烤與機械對中（頻率：1年1次以上）烘烤1.關(guān)閉電腦，前面板Display，和循環(huán)水。2.擰開X軸向的兩個小螺絲，取下最上端的電磁罩3.松開電子槍的螺紋蓋，取下電子槍套入左側(cè)兩個圓環(huán)處。注意手不要碰到電子槍內(nèi)殼4.松開Y軸向兩個螺絲，注意用手掩護防止螺絲往里掉。取下鏡筒罩。5.拿烘烤裝置圍在鏡筒上，并用專用帽子蓋上，擰緊螺絲。6.把兩根內(nèi)加熱線插入電子槍桶的兩個X軸向的小凸起上，并整理好內(nèi)外電線，使其不接觸到加熱部位，防止燒壞，并引到右側(cè)后臺的接線蓋處。7.松開右側(cè)后臺的接線蓋，分別插入內(nèi)外線插槽，用螺絲擰緊接線蓋。8.設(shè)置前面板，通常烘烤必須保證冷卻6Hour,加熱時間可變，常用8小時,且外烘烤先啟動，兩個小時后內(nèi)烘烤才啟動。故可設(shè)Mode/Bake閃動時按下select0u8(=out8hour)In6。此時轉(zhuǎn)到后面板調(diào)整開關(guān)為Bake開，Display關(guān)，其他勿動。再回到前面板按下start。若無意外，烘烤設(shè)置成功，倒計時幾秒后即開始。判斷烘烤是否成功開始標志：a)按下start后無報警現(xiàn)象b)烘烤鏡筒部位發(fā)熱c)IP1-3真空度下降，由E-7到E-6簡單版烘烤流程拆下最上端電磁罩→拆下電子槍→取下鏡筒罩→裝上Outer加熱器→裝上Inner導(dǎo)線→把兩隊導(dǎo)線連接到后面板→放置高溫牌提醒→前面板定時→開后面板總開關(guān)→開始烘機械對中1.軟件設(shè)置1KV，flash記下電流值2.電子束光闌由1逆時針調(diào)到0，物鏡可動光闌由3調(diào)到03.軟件菜單欄setup/column下聚光鏡condlen1、condlen2前面的勾去掉。（對話框勿關(guān)）4.放入15mm空樣品臺，size選15mm，height選+1，z=8mm。加高壓HV5.選軟件Align/BeamAlign可看到光斑，調(diào)節(jié)桌面操作版上的對比度（大一點）和亮度（小點），使光斑輪廓較清晰。6.機械操作a)用大螺絲刀（調(diào)節(jié)燈絲合軸）使光斑居中，東北西南兩螺絲是X方向，西北東南是Y軸方向，通常一軸調(diào)節(jié)時先松螺絲，再同時擰緊螺絲。b)把電子束光闌順時針調(diào)到1號，調(diào)節(jié)光闌壁上的兩個旋鈕c)物鏡可動光闌順時針調(diào)到3號，調(diào)節(jié)光闌壁上的兩個旋鈕d)勾上軟件對話框len1,再調(diào)節(jié)4個小螺絲刀，最后擰緊e)再勾上len2，degauss（消磁）關(guān)閉對話框。f)ABC一下，選頻率2K，focus一下，先找到樣品臺上明顯白色物質(zhì)，調(diào)最小邊兩個小螺絲，使畫面不晃動，通常緊些較好。g)

機械對中完畢，可進行實物測量。緊急停電關(guān)機處理緊急關(guān)機在緊急情況下，按下紅色EMERGENCYOFF按鈕順時針旋轉(zhuǎn)到底，系統(tǒng)關(guān)機后，將各開關(guān)按鈕撥至正常停機位置。短時間關(guān)機：退出PC_SEM程序→退出WindowsXP系統(tǒng)→關(guān)閉DISPLAY→關(guān)閉EVAC→等待約35分鐘后MultiIndicator區(qū)域顯示“POFF”→關(guān)閉MAINSWITCH→關(guān)閉電源總開關(guān)。S-4800長時間停機程序1.先關(guān)閉HV和PC，然后關(guān)閉DISPLAY，關(guān)閉STAGE；2.將EVACPOWER撥到O（OFF），等待30分鐘（目的：冷卻物鏡可動光欄）和5分鐘（TMP關(guān)閉），真空系統(tǒng)（離子泵停下來后分子泵會停）停止。面板上顯示有’P0FF’字樣；3.將IP1，IP2，IP3都撥到OFF檔；4.將關(guān)閉IP，EVAC，DISP