2022年行業(yè)分析報(bào)告現(xiàn)代精密量儀現(xiàn)狀和發(fā)展趨勢

現(xiàn)代精密量儀現(xiàn)狀和發(fā)展趨勢1引言

當(dāng)今信息技術(shù)已經(jīng)成為推動(dòng)科學(xué)技術(shù)和國民經(jīng)濟(jì)高速進(jìn)展的關(guān)鍵技術(shù)。如何用先進(jìn)的信息技術(shù)來提升、改造我國的傳統(tǒng)制造業(yè)，實(shí)現(xiàn)生產(chǎn)力跨越式進(jìn)展的戰(zhàn)略結(jié)構(gòu)調(diào)整，是裝備制造業(yè)面臨的一項(xiàng)緊迫任務(wù)。聞名科學(xué)家錢學(xué)森先生曾指出：“信息技術(shù)包括測量技術(shù)、計(jì)算機(jī)技術(shù)和通訊技術(shù)。測量技術(shù)是關(guān)鍵和基礎(chǔ)?！辈杉{適度先進(jìn)的信息化數(shù)字測量技術(shù)和產(chǎn)品來快速提升裝備制造業(yè)水平，是當(dāng)前一個(gè)重要的進(jìn)展方向。國內(nèi)外很多聞名量儀量具制造廠商在近年來的CIMT展覽會(huì)上展現(xiàn)了他們所取得的部分科研成果，所呈現(xiàn)的現(xiàn)代測量技術(shù)進(jìn)展趨勢和面對市場與用戶、服務(wù)于加工制造現(xiàn)場、測量與加工制造過程融合集成的新動(dòng)向，值得我們高度重視和親密關(guān)注。

2國內(nèi)外測量儀器和量具展品的進(jìn)展趨勢

2．1數(shù)字化測量技術(shù)

數(shù)字化測量技術(shù)是數(shù)字化制造技術(shù)的一個(gè)重要的、不行或缺的組成部分；數(shù)字化測量儀器、數(shù)字化量具產(chǎn)品的不斷豐富和進(jìn)展，適合并滿意了生產(chǎn)現(xiàn)場不斷提高的使用要求。

（1）多種數(shù)顯量具——防水?dāng)?shù)顯卡尺:日本三豐、瑞士TESA及我國深圳UMP等公司開發(fā)的防水?dāng)?shù)顯卡尺達(dá)到防水等級(jí)IP65；各種數(shù)顯百分表、千分表、數(shù)顯內(nèi)徑表等，并帶有測量數(shù)據(jù)統(tǒng)計(jì)處理功能及打印輸出。

（2）CNC齒輪測量中心——德國Klingelnberg公司、美國M；M及Mahr公司的齒輪測量中心，其儀器的測量不確定度可達(dá)2微米，可檢測各種齒輪類零件及各種齒輪刀具；國內(nèi)哈量和精達(dá)開發(fā)的齒輪測量中心，在精度和測量速度方面已經(jīng)接近或達(dá)到國外水平，但在儀器的精度保持性、穩(wěn)定性、尤其是在軟件測量功能方面還有待進(jìn)一步提高。

（3）CCD數(shù)字式對刀儀——Zoller、Kelch等公司CCD數(shù)字式對刀儀系列產(chǎn)品測量過程全自動(dòng)化，具有刀具管理數(shù)據(jù)庫，能與多臺(tái)數(shù)控機(jī)床通訊，自動(dòng)實(shí)現(xiàn)機(jī)床加工位置參數(shù)信息的閉環(huán)反饋。

（4）三坐標(biāo)測量機(jī)——三坐標(biāo)測量機(jī)是數(shù)字化測量儀器的精典產(chǎn)品。國內(nèi)市場的主要供應(yīng)商有海克斯康青島（原名B；S前哨）、ZEISS、Mahr、LK、西安愛德華、303所、上量等企業(yè)。三坐標(biāo)測量技術(shù)在采納工程陶瓷、磁力封閉新材料、新結(jié)構(gòu)方面多有進(jìn)展。多測頭的集成，擴(kuò)大了儀器測量功能；多功能、高精度、多坐標(biāo)綜合測量儀，打破了傳統(tǒng)量儀的格局；一臺(tái)儀器一次裝卡可完成工件多種幾何參數(shù)的檢測，提高了測量精度和效率。

2.2測量技術(shù)與制造系統(tǒng)的集成

將現(xiàn)代測量技術(shù)及儀器融合、集成于先進(jìn)制造系統(tǒng)，從而構(gòu)建成完備的先進(jìn)閉環(huán)制造系統(tǒng)，為“零廢品”制造奠定了基礎(chǔ)。

（1）圓柱齒輪/錐齒輪閉環(huán)制造系統(tǒng)——格里森公司及克林格貝爾公司，采納先進(jìn)的齒輪測量中心及相應(yīng)的齒輪測量軟件，與CNC齒輪加工機(jī)床相連，實(shí)現(xiàn)了圓柱齒輪、弧錐齒輪的CAD/CAM/CAI的閉環(huán)制造。

（2）簡單數(shù)控刀具閉環(huán)制造系統(tǒng)——Walter公司生產(chǎn)的Helicheck刀具萬能測量儀，可實(shí)現(xiàn)數(shù)控刀具的自動(dòng)化、非接觸式測量。

通過OTC刀具在線補(bǔ)償系統(tǒng)，與Helitronic數(shù)控刀具磨床實(shí)現(xiàn)在線連接；將實(shí)測值和設(shè)計(jì)值進(jìn)行比較后，實(shí)時(shí)修正機(jī)床磨削參數(shù)，確保了簡單型面數(shù)控刀具的加工質(zhì)量。

(3)剃齒刀閉環(huán)制造系統(tǒng)——日本大阪精機(jī)將齒輪測量儀器和剃齒刀磨床通過計(jì)算機(jī)聯(lián)系起來，構(gòu)成一個(gè)閉環(huán)的剃齒刀磨齒系統(tǒng)：將初磨后測量的結(jié)果和剃齒刀數(shù)據(jù)庫中的參數(shù)進(jìn)行比較，再對磨齒機(jī)加工參數(shù)進(jìn)行修正，從而保證精磨合格。

2.3在線在機(jī)測量技術(shù)

在線在機(jī)測量技術(shù)以及工位量儀、主動(dòng)量儀是大批量生產(chǎn)時(shí)保證加工質(zhì)量的重要手段。計(jì)量型儀器進(jìn)入生產(chǎn)現(xiàn)場、融入生產(chǎn)線，監(jiān)控生產(chǎn)過程。對儀器的高牢靠性、高效率、高精度以及質(zhì)量統(tǒng)計(jì)功能、故障診斷功能提出了新的要求，而近年來開發(fā)的各種在線在機(jī)測量儀器滿意了這些要求。

（1）三坐標(biāo)測量機(jī)進(jìn)入汽車大型掩蓋件生產(chǎn)線——美國Brown；Sharp公司的Bravo-NT測量機(jī)可在汽車生產(chǎn)線上對車身尺寸實(shí)施在線測量并充分滿意汽車生產(chǎn)線對測量節(jié)拍、測量精度和測量牢靠性的要求。

（2）大齒輪/成型齒輪磨齒機(jī)的機(jī)載齒輪測量裝置——德國Kapp公司磨齒機(jī)的機(jī)載齒輪測量裝置是一個(gè)典型事例。測量系統(tǒng)和機(jī)床集成一體，可在工件試磨后立刻進(jìn)行在機(jī)檢測，測量信息處理后能反饋至機(jī)床，準(zhǔn)時(shí)修正加工參數(shù)。特殊有利于大型、重型齒輪和大批量齒輪的成形磨削加工。

（3）汽車齒輪在線測量分選機(jī)——美國ITW公司展出的齒輪在線自動(dòng)分選機(jī)（見圖12）。該儀器作為一種改型的齒輪雙面嚙合在線檢測分選機(jī)，具有特別的二維齒向測量機(jī)構(gòu)，除了測量齒輪徑向綜合偏差、齒厚、加工毛刺及磕碰缺陷以外，還能測量雙嚙齒向偏差和雙嚙齒向錐度偏差等齒輪誤差，能滿意對批量生產(chǎn)汽車齒輪100%的在線檢測和自動(dòng)分選的要求。

（4）火車車輪（熱鍛及冷加工）在線檢測系統(tǒng)——合肥工業(yè)高校為馬鞍山鋼鐵公司開發(fā)的火車車輪（熱鍛及冷加工）在線檢測系統(tǒng)填補(bǔ)了國內(nèi)空白，滿意了對熱鍛車輪毛坯和精車車輪輪廓外形和幾何尺寸精度的100%的質(zhì)量監(jiān)測。

2.4大尺寸、簡單幾何型面輪廓測量技術(shù)及儀器、反求工程測量技術(shù)及儀器的進(jìn)展

（1）可移動(dòng)、多關(guān)節(jié)式坐標(biāo)測量機(jī)，便于現(xiàn)場使用——Poli、Fardarm公司的多關(guān)節(jié)式坐標(biāo)測量機(jī)，采納了高精度光柵和內(nèi)置平衡系統(tǒng)，且?guī)в袦囟妊a(bǔ)償，精度可達(dá)±0.025mm/1.2m球；加拿大EAGLE精密技術(shù)公司的EPTTMS-100彎管測量系統(tǒng)，具有接觸式和紅外非接觸式兩種測頭，以及與數(shù)控彎管機(jī)全兼容的零件庫和誤差校正信息庫，可與數(shù)控彎管機(jī)集成為一個(gè)完整的、信息融通的閉環(huán)彎管制造系統(tǒng)，特殊適用于航空發(fā)動(dòng)機(jī)制造業(yè)。

（2）視覺測量技術(shù)和測量系統(tǒng)應(yīng)用廣泛——天津高校開發(fā)的汽車大型掩蓋件在線測量系統(tǒng)。采納兩臺(tái)或多臺(tái)高精度經(jīng)緯儀和專用基準(zhǔn)精密靶標(biāo)進(jìn)行測量儀器的現(xiàn)場精度校準(zhǔn)，精度高、速度快，得到用戶一汽大眾等的好評(píng)。該項(xiàng)目榮獲了國家科技進(jìn)步二等獎(jiǎng)。簡單形面焊接件、沖壓件模具或工件幾何尺寸的CCD視覺檢查儀器，近年來在國內(nèi)外得到了快速的進(jìn)展。

（3）激光跟蹤測量儀——API的6維激光測量系統(tǒng)、Leize公司的激光跟蹤測量儀，帶有紅外激光肯定長度測量（ADM）系統(tǒng)，可用于大尺寸簡單形面輪廓的測量。

2.5激光測量技術(shù)和儀器

隨著激光測量技術(shù)的進(jìn)展，納米辨別率激光干涉測量系統(tǒng)在超精測量和超精加工機(jī)床上得到廣泛應(yīng)用。

(1)英國Renishaw公司展出的金牌M10激光干涉測量系統(tǒng)，配備了靈敏度和精度更高的溫度、氣壓、濕度傳感器和金牌EC10環(huán)境補(bǔ)償裝置，提高了測量精度，其穩(wěn)頻精度可達(dá)±0.05ppm,線性測量精度±0.7ppm，辨別率可達(dá)1納米，是激光測量技術(shù)進(jìn)展的典型代表。

(2)德國SIOS的小型激光干涉儀系列產(chǎn)品，有微型平面干涉儀、激光干涉測頭等，可以和用戶多種測量系統(tǒng)結(jié)合，據(jù)稱特殊適用于完成各種小尺寸范圍的納米測量任務(wù)。

(3)光動(dòng)（OPTODYNE）公司開發(fā)的激光向量測量技術(shù)，是一種采納對角線方向測量數(shù)控機(jī)床空間位置精度的新方法，能提高在機(jī)檢測數(shù)控機(jī)床的精度和檢測速度（見圖16）。API的六維激光測量系統(tǒng)，一次安裝調(diào)試后，可同時(shí)測量數(shù)控機(jī)床的6項(xiàng)精度，為生產(chǎn)現(xiàn)場數(shù)控機(jī)床的檢測供應(yīng)了另一種快速精確?????的檢測與診斷手段。

2.6微、納米級(jí)高精度傳感器

傳感器向小型化、微、納米級(jí)精度進(jìn)展，生產(chǎn)現(xiàn)場適應(yīng)性更強(qiáng)，精度更高。

(1)北京標(biāo)普及HEIDENHAIN的納米光柵技術(shù)和納米光柵數(shù)字式位移傳感器系列產(chǎn)品，將光柵傳感器的精度和辨別率提高了一個(gè)等級(jí)。標(biāo)普的光柵納米傳感技術(shù)，解決了納米光柵的工作原理、納米光柵的制造技術(shù)、納米光柵信號(hào)的讀取技術(shù)和信號(hào)細(xì)分技術(shù)以及納米機(jī)械的制造等四大難題，取得了自主學(xué)問產(chǎn)權(quán)，并已經(jīng)轉(zhuǎn)化為生產(chǎn)力，其測量系統(tǒng)的精度在100毫米上小于±20納米。產(chǎn)品除在國內(nèi)市場銷售外，還遠(yuǎn)銷國外。北京珍寶智能機(jī)器技術(shù)公司的智能化電感頻變式比較儀的示值變動(dòng)性不大于0.003微米，示值誤差不大于±（0.003+0.005A）微米（式中A為示值），已為國內(nèi)多家塊規(guī)制造廠所采納。

(2)三坐標(biāo)機(jī)測頭向高精度、小型化的進(jìn)展：RENISHAW的SP80超高精度數(shù)字式掃描測頭，辨別率為0.02微米；ZEISS的VAST三維6向掃描測頭系統(tǒng)，采納平行簧片機(jī)構(gòu)，辨別率為0.05微米，掃描范圍達(dá)2毫米。Werth的光纖測頭，半徑僅為12.5微米，號(hào)稱世界最小，適用于超細(xì)、超精密工件的測量。

2.7測量軟件功能的增加和擴(kuò)展

(1)測量軟件已從“被動(dòng)”的測量數(shù)據(jù)處理和單個(gè)產(chǎn)品質(zhì)量評(píng)定，進(jìn)展為“主動(dòng)”的生產(chǎn)過程加工質(zhì)量的監(jiān)控和故障診斷，SPC得到普遍應(yīng)用；測量儀器精度補(bǔ)償軟件和加工機(jī)床參數(shù)反饋調(diào)整軟件的開發(fā)，為實(shí)現(xiàn)“零廢品”制造供應(yīng)了技術(shù)支撐；

(2)相同或不同類型多傳感器海量測量數(shù)據(jù)的集成融合技術(shù)，大大提高了反求工程的制造質(zhì)量并縮短了開發(fā)周期：華中科技高校的簡單外形零件的測量、集成建模和面對制造的設(shè)計(jì)軟件的開發(fā)勝利大大擴(kuò)展了軟件的功能；

(3)對虛擬測量技術(shù)和虛擬儀器（虛擬量儀）的討論不斷深化，NI產(chǎn)品不斷更新：如重慶高校開發(fā)的傻瓜型虛擬儀器適合中國國情，推出的網(wǎng)絡(luò)化虛擬儀器前景迷人。

3分析與結(jié)語

王大珩院士指出要非常重視儀器儀表行業(yè)的進(jìn)展，這為我國精密量儀制造業(yè)的進(jìn)展指明白方向。分析歷屆CIMT展會(huì)上展出的國內(nèi)外量具量儀產(chǎn)品與技術(shù)，可以看出：盡管我們已經(jīng)取得了令人鼓舞的成果，但目前我國在機(jī)械量測量技術(shù)和儀器方面的自主開發(fā)力量還不強(qiáng)，制造技術(shù)也相對落后，如不盡快改善，將難以適應(yīng)加入WTO后所面臨的市場競爭。近年來國外聞名量儀制造企業(yè)紛紛尋求在國內(nèi)獨(dú)資辦廠，更形成了在國內(nèi)市場上面對面的國際競爭，低技術(shù)含量、低價(jià)格微利的產(chǎn)品難以應(yīng)對市場沖擊，國內(nèi)量具量儀制造企業(yè)面臨著前所未有的巨大挑戰(zhàn)。

縱觀近幾屆CIMT，國內(nèi)量具量儀產(chǎn)品與國外的差距主要表現(xiàn)在以下幾方面：產(chǎn)品結(jié)構(gòu)老化，品種和規(guī)格多年來變化甚少，產(chǎn)品性能及牢靠性提高不明顯，高新技術(shù)及其相應(yīng)產(chǎn)品開發(fā)速度緩慢。尤其突出的是缺乏自主創(chuàng)新的技術(shù)和特色產(chǎn)品。由于量儀開發(fā)與生產(chǎn)的技術(shù)難度大，投資多而見效慢，前幾年有的專業(yè)量儀生產(chǎn)廠因效益驅(qū)動(dòng)，迫于市場壓力被迫轉(zhuǎn)產(chǎn)；近兩年，由于我國汽車制造業(yè)的快速進(jìn)展，帶動(dòng)了我國量儀制造業(yè)的復(fù)蘇，市場狀況明顯好轉(zhuǎn)，一些產(chǎn)品甚至消失了供不應(yīng)求的局面。在此大好形勢下，行業(yè)企業(yè)紛紛抓緊機(jī)遇，生產(chǎn)和技術(shù)開發(fā)，取得了一些可喜成果。如哈爾濱量具刃具集團(tuán)有限責(zé)任公司今年勝利開發(fā)出測量范圍達(dá)2米的CNC3920大型齒輪測量儀（見圖20），可以滿意我國重型機(jī)械、船舶、軍工等行業(yè)對高精度大型齒輪的測量要求，填補(bǔ)了國內(nèi)空白。西安愛德華作為我國精密量儀制造行業(yè)中快速崛起的新秀，其三坐標(biāo)測量機(jī)系列產(chǎn)品的開發(fā)和生產(chǎn)已經(jīng)在國內(nèi)市場躍居其次，僅次于B；S前哨。近年該公司還開發(fā)了激光干涉測量儀和圓度儀，不斷向精密測量儀器的高新領(lǐng)域進(jìn)展。由于企業(yè)本身擁有強(qiáng)大的自主開發(fā)力量和自主學(xué)問產(chǎn)權(quán)，因此具有強(qiáng)勁的生命力和良好的進(jìn)展空間。

哈量近期開發(fā)的2米齒輪測量儀

但是總體來說，我國精密測量技術(shù)和儀器的現(xiàn)狀仍舊遠(yuǎn)遠(yuǎn)不能滿意國內(nèi)機(jī)械裝制造業(yè)快