GB/T 14601-2009電子工業(yè)用氣體氨

犐犆犛７１．１００．２０

犌８６

中華人民共和國(guó)國(guó)家標(biāo)準(zhǔn)

犌犅／犜１４６０１—２００９

代替ＧＢ／Ｔ１４６０１—１９９３

電子工業(yè)用氣體氨

犌犪狊犳狅狉犲犾犲犮狋狉狅狀犻犮犻狀犱狌狊狋狉狔—犃犿犿狅狀犻犪

２００９１０３０發(fā)布２０１００５０１實(shí)施

中華人民共和國(guó)國(guó)家質(zhì)量監(jiān)督檢驗(yàn)檢疫總局

發(fā)布

中國(guó)國(guó)家標(biāo)準(zhǔn)化管理委員會(huì)

書(shū)

犌犅／犜１４６０１—２００９

前言

本標(biāo)準(zhǔn)代替ＧＢ／Ｔ１４６０１—１９９３《電子工業(yè)用氣體氨》。

本標(biāo)準(zhǔn)與ＧＢ／Ｔ１４６０１—１９９３相比主要變化如下：

———修改標(biāo)準(zhǔn)的名稱；

———修改適用范圍（ＧＢ／Ｔ１４６０１—１９９３的第１章，本版的第１章）；

———修改規(guī)范性引用文件（ＧＢ／Ｔ１４６０１—１９９３的第２章，本版的第２章）；

———修改技術(shù)指標(biāo)內(nèi)容（ＧＢ／Ｔ１４６０１—１９９３的第３章，本版的第３章）；

———增加對(duì)氨尾氣處理的要求（見(jiàn)４．３）；

———?jiǎng)h去按ＧＢ５８３１規(guī)定的方法測(cè)定氧含量（ＧＢ／Ｔ１４６０１—１９９３的４．２．１）；

———修改氧、氮、一氧化碳含量的測(cè)定（ＧＢ／Ｔ１４６０１—１９９３的４．２、４．３、４．４，本版的４．４）；

———增加氫、氬含量的測(cè)定（見(jiàn)４．４）；

———增加二氧化碳含量的測(cè)定（見(jiàn)４．４）；

———修改烴含量的測(cè)定（ＧＢ／Ｔ１４６０１—１９９３的４．５，本版的４．４）；

———修改水含量的測(cè)定方法（ＧＢ／Ｔ１４６０１—１９９３的４．６，本版的４．５）；

———增加金屬離子的測(cè)定方法（見(jiàn)４．６）；

———修改標(biāo)志、包裝、貯運(yùn)及安全（ＧＢ／Ｔ１４６０１—１９９３的第６章、第７章，本版的第５章）；

———增加規(guī)范性附錄Ａ，并把采用氦放電離子化氣相色譜法測(cè)定氨中的氫、氧（氬）、氮、一氧化碳、

二氧化碳和烴（Ｃ１～Ｃ３）含量組分的方法寫(xiě)入該附錄（見(jiàn)附錄Ａ）。

本標(biāo)準(zhǔn)的附錄Ａ為規(guī)范性附錄。

本標(biāo)準(zhǔn)由全國(guó)半導(dǎo)體設(shè)備和材料標(biāo)準(zhǔn)化技術(shù)委員會(huì)提出。

本標(biāo)準(zhǔn)由全國(guó)半導(dǎo)體設(shè)備和材料標(biāo)準(zhǔn)化技術(shù)委員會(huì)氣體分會(huì)歸口。

本標(biāo)準(zhǔn)起草單位：大連光明化工研究院、中國(guó)西南油氣田成都天然氣化工總廠、武漢市鼎立化工有

限責(zé)任公司、西南化工研究設(shè)計(jì)院。

本標(biāo)準(zhǔn)主要起草人：孫福楠、劉澤軍、付永成、謝國(guó)清、周鵬云。

本標(biāo)準(zhǔn)所代替標(biāo)準(zhǔn)的歷次版本發(fā)布情況為：

———ＧＢ／Ｔ１４６０１—１９９３。

Ⅰ

書(shū)

犌犅／犜１４６０１—２００９

電子工業(yè)用氣體氨

１范圍

本標(biāo)準(zhǔn)規(guī)定了氨的技術(shù)要求，試驗(yàn)方法，檢驗(yàn)規(guī)則及產(chǎn)品的包裝、標(biāo)志、運(yùn)輸、貯存及安全要求。

本標(biāo)準(zhǔn)適用于半導(dǎo)體工業(yè)，氮化硅、氮化鎵的化學(xué)氣相淀積，也可用于硅或氧化硅的氮化。

分子式：ＮＨ３。

相對(duì)分子質(zhì)量：１７．０３１（按２００５年國(guó)際相對(duì)原子質(zhì)量）。

２規(guī)范性引用文件

下列文件中的條款通過(guò)本標(biāo)準(zhǔn)的引用而成為本標(biāo)準(zhǔn)的條款。凡是注日期的引用文件，其隨后所有

的修改單（不包括勘誤的內(nèi)容）或修訂版均不適用于本標(biāo)準(zhǔn)，然而，鼓勵(lì)根據(jù)本標(biāo)準(zhǔn)達(dá)成協(xié)議的各方研究

是否可使用這些文件的最新版本。凡是不注日期的引用文件，其最新版本適用于本標(biāo)準(zhǔn)。

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３技術(shù)要求

３．１氨電子級(jí)產(chǎn)品的質(zhì)量應(yīng)符合表１的要求。

表１電子級(jí)產(chǎn)品技術(shù)指標(biāo)

項(xiàng)目電子級(jí)

－２

氨（ＮＨ３）純度（體積分?jǐn)?shù)）／１０≥９９．９９９５

－６

氧（Ｏ２）含量（體積分?jǐn)?shù)）／１０＜１

－６

氮（Ｎ２）含量（體積分?jǐn)?shù)）／１０＜１

一氧化碳（ＣＯ）含量（體積分?jǐn)?shù)）／１０－６＜１

－６

烴（Ｃ１～Ｃ３）含量（體積分?jǐn)?shù)）／１０＜１

－６

水分（Ｈ２Ｏ）含量（體積分?jǐn)?shù)）／１０＜３

總雜質(zhì)含量（體積分?jǐn)?shù)）／１０－６≤５

３．２氨光電子級(jí)產(chǎn)品應(yīng)符合表２的要求，重金屬含量應(yīng)符合表３的規(guī)定。

表２光電子級(jí)產(chǎn)品技術(shù)指標(biāo)

項(xiàng)目光電子級(jí)

－２

氨（ＮＨ３）純度（體積分?jǐn)?shù)）／１０≥９９．９９９９４

－６

氧（Ｏ２）（氬）含量（體積分?jǐn)?shù)）／１０＜