GB/T 1557-2006硅晶體中間隙氧含量的紅外吸收測量方法

ICS77.040.01H17中華人民共和國國家標(biāo)準(zhǔn)GB/T1557—2006代替GB/T1557--1989、GB/T14143-1993硅晶體中間隙氧含量的紅外吸收測量方法Themethodofdetermininginterstitialoxygencontentinsiliconbyinfraredabsorption2006-07-18發(fā)布2006-11-01實(shí)施中華人民共和國國家質(zhì)量監(jiān)督檢驗(yàn)檢疫總局發(fā)布中國國家標(biāo)準(zhǔn)化管理委員會(huì)

GB/T1557—2006本標(biāo)準(zhǔn)是對GB/T1557—1989、GB/T14143-1993進(jìn)行的整合修訂。本標(biāo)準(zhǔn)在原標(biāo)準(zhǔn)基礎(chǔ)上.修改采用ASTMF1188:2000《用紅外吸收法測量硅中間隙氧原于含量的標(biāo)準(zhǔn)方法》.本標(biāo)準(zhǔn)與ASTMF1188:2000的一致性程度為修改，其差異如下：-刪去了ASTMF1188:2000第1章“范圍”中涉及方法原理、安全的1.3、1.4條及第5章“意義和用途”：將將ASTMF1188:2000第8章“儀器測試”和第10章“測量步驛”并為第8章“測量步驃”：本標(biāo)準(zhǔn)與原標(biāo)準(zhǔn)相比主要變動(dòng)如下：采用ASTMF1188:2000第7章“儀器"(刪去其中7.2條)作為第6章“測量儀器"用ASTMF1188:2000第11章“計(jì)算”中的計(jì)算公式替代原（B/T1557—1989.GB/T14143-1993的計(jì)算公式；參照ASTMF1188:2000增加了"術(shù)語”章和"干擾因素”章；參照ASTMF1188:2000增加了采用經(jīng)認(rèn)證的硅中氧含量標(biāo)準(zhǔn)物質(zhì)對光譜儀進(jìn)行校準(zhǔn)的內(nèi)容：參照ASTMF1188:2000將原GB/T1557-1989、GB/T14143—1993規(guī)定的“本標(biāo)準(zhǔn)適用于室溫電阻率大于0.1Q·cm的硅品體”改為“本標(biāo)準(zhǔn)適用于室溫電阻率大于0.1Q·cm的n型硅單品和室溫電阻率大于0.5·cm的p型硅單品"；-采用ASTMF1188:2000中規(guī)定的0.04cm～0.4cm樣品厚度范圍替代原GB/T15571989、GB/T14143-1993規(guī)定的樣品厚度范圍：規(guī)定的氧含量測量范圍替代原GB/T1557—1989、GB/T14143—1993的測量范圍：刪去了原GB/T1557—1989、GB/T14143-1993的附錄，采用ASTMF1188:2000的附錄X1作為本標(biāo)準(zhǔn)的附錄A.本標(biāo)準(zhǔn)的附錄A是資料性附錄本標(biāo)準(zhǔn)自實(shí)施之日起,同時(shí)代替GB/T1557—1989、GB/T14143-1993.本標(biāo)準(zhǔn)由中國有色金屬工業(yè)協(xié)會(huì)提出。本標(biāo)準(zhǔn)由全國有色金屬標(biāo)準(zhǔn)化技術(shù)委員會(huì)歸口。本標(biāo)準(zhǔn)起草單位：峨眉半導(dǎo)體材料廠。本標(biāo)準(zhǔn)主要起草人：梁洪、草銳兵、王炎本標(biāo)準(zhǔn)由全國有色金屬標(biāo)準(zhǔn)化技術(shù)委員會(huì)負(fù)責(zé)解釋。本標(biāo)準(zhǔn)所代替標(biāo)準(zhǔn)的歷次版本發(fā)布情況為：GB/T1557-1989、—GB/T14143-1993

GB/T1557—2006硅晶體中間隙氧含量的紅外吸收測量方法1范圍本標(biāo)準(zhǔn)規(guī)定了采用紅外光譜法測定硅單品中的間隙氧含量的方法本標(biāo)準(zhǔn)適用于室溫電阻率大于0.12·cm的n型硅單品和室溫電阻率大于0.52·cm的p型硅單品中間隙氧含量的測量。本標(biāo)準(zhǔn)測量氧含量的有效范圍從1×10*at·cm-到硅中間隙氧的最大固溶度2規(guī)范性引用文件下列文件中的條款通過本標(biāo)準(zhǔn)的引用而成為本標(biāo)準(zhǔn)的條款。凡是注日期的引用文件,其隨后所有的修改單(不包括勒誤的內(nèi)容)或修訂版均不適用于本標(biāo)準(zhǔn).然而，鼓勵(lì)根據(jù)本標(biāo)準(zhǔn)達(dá)成協(xié)議的各方研究是否可使用這些文件的最新版本。凡是不注日期的引用文件，其最新版本適用于本標(biāo)準(zhǔn)。GB/T14264半導(dǎo)體材料術(shù)語ASTME131分分子光譜有關(guān)術(shù)語術(shù)語和定義GB/T14264和ASTME131確立的以下術(shù)語和定義適用于本標(biāo)準(zhǔn)31色散型紅外光譜儀dispersiveinfraredspectrophotometer-種使用棱鏡或光柵作為色散元件的紅外光譜儀。它通過振幅-波數(shù)(或波長)光譜圖獲取數(shù)據(jù)3.2傅立葉變換紅外光譜儀Fouriertransforminfraredspectrophotometer一種通過傅立葉變換將由干涉儀得到的干涉譜圖轉(zhuǎn)換為振幅-波數(shù)（或波長)光譜圖來獲取數(shù)據(jù)的紅外光譜儀。3.3參比光譜referencespectrum參比樣品的光譜。當(dāng)用雙光束光譜儀測量時(shí),它可以通過直接將參比樣品放人樣品光路.讓參比光路空著獲得；在用單光束光譜儀測量時(shí),它可以通過由紅外光路中獲得的參比樣品的光譜計(jì)算扣除背景光譜后獲得3.4洋品光譜sampleSPectrum測試樣品的光譜。當(dāng)用雙光束光譜儀測量時(shí),它可以通過直接將測試樣品放入樣品光路,讓參比光路空著獲得;在用單光束光譜儀測量時(shí),它是由測試樣品放入紅外光路獲得的光譜扣除背景光譜后算出的4方法原理使用經(jīng)過校準(zhǔn)的紅外光譜儀和適當(dāng)?shù)膮?/p>