標(biāo)準(zhǔn)解讀

《GB/T 16942-2009 電子工業(yè)用氣體 氫》相比于《GB/T 16942-1997 電子工業(yè)用氣體 氫》，主要在以下幾個(gè)方面進(jìn)行了調(diào)整和更新：

  1. 范圍與規(guī)范性引用文件：2009版標(biāo)準(zhǔn)更新了規(guī)范性引用文件，納入了最新發(fā)布的相關(guān)國家標(biāo)準(zhǔn)和行業(yè)標(biāo)準(zhǔn)，確保了技術(shù)內(nèi)容的時(shí)效性和準(zhǔn)確性。

  2. 術(shù)語和定義：新增或修訂了一些專業(yè)術(shù)語和定義，以更準(zhǔn)確地描述氫氣的質(zhì)量要求和測(cè)試方法，便于讀者理解和執(zhí)行標(biāo)準(zhǔn)。

  3. 產(chǎn)品分類與要求：對(duì)氫氣的純度級(jí)別進(jìn)行了重新劃分，并調(diào)整了不同級(jí)別氫氣的具體要求指標(biāo)，如雜質(zhì)含量限值。這反映了電子工業(yè)技術(shù)進(jìn)步對(duì)氣體質(zhì)量提出的更高要求。

  4. 試驗(yàn)方法：更新和細(xì)化了氣體檢測(cè)和分析的方法，引入了更先進(jìn)的分析技術(shù)和設(shè)備要求，提高了檢測(cè)精度和效率。同時(shí)，對(duì)于某些特定雜質(zhì)的測(cè)定方法也進(jìn)行了優(yōu)化和明確。

  5. 檢驗(yàn)規(guī)則：明確了氫氣產(chǎn)品的出廠檢驗(yàn)、型式檢驗(yàn)及抽樣規(guī)則，增強(qiáng)了產(chǎn)品質(zhì)量控制的可操作性和規(guī)范性。2009版標(biāo)準(zhǔn)可能還增加了對(duì)批次合格判定的嚴(yán)格程度。

  6. 包裝、標(biāo)志、運(yùn)輸和儲(chǔ)存：這部分內(nèi)容根據(jù)實(shí)際操作經(jīng)驗(yàn)和安全要求進(jìn)行了修訂，提供了更具體的安全指導(dǎo)和環(huán)保要求，確保氫氣在流通和使用過程中的安全性。

  7. 安全要求：鑒于氫氣的特殊性質(zhì)，2009版標(biāo)準(zhǔn)可能加強(qiáng)了對(duì)安全使用的指導(dǎo)和警告信息，以避免事故的發(fā)生。


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  • 2009-10-30 頒布
  • 2010-05-01 實(shí)施
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文檔簡(jiǎn)介

犐犆犛７１．１００．２０

犌８６

中華人民共和國國家標(biāo)準(zhǔn)

犌犅／犜１６９４２—２００９

代替ＧＢ／Ｔ１６９４２—１９９７

電子工業(yè)用氣體氫

犌犪狊犳狅狉犲犾犲犮狋狉狅狀犻犮犻狀犱狌狊狋狉狔—犎狔犱狉狅犵犲狀

２００９１０３０發(fā)布２０１００５０１實(shí)施

中華人民共和國國家質(zhì)量監(jiān)督檢驗(yàn)檢疫總局

發(fā)布

中國國家標(biāo)準(zhǔn)化管理委員會(huì)

書

犌犅／犜１６９４２—２００９

前言

本標(biāo)準(zhǔn)代替ＧＢ／Ｔ１６９４２—１９９７《電子工業(yè)用氣體氫》。

本標(biāo)準(zhǔn)與ＧＢ／Ｔ１６９４２—１９９７相比主要變化如下：

———修改電子工業(yè)用氫的適用范圍（ＧＢ／Ｔ１６９４２—１９９７的第１章，本版的第１章）；

———修改規(guī)范性引用文件（ＧＢ／Ｔ１６９４２—１９９７的第２章，本版的第２章）；

———修改技術(shù)指標(biāo)內(nèi)容（ＧＢ／Ｔ１６９４２—１９９７的第３章，本版的第３章）；

———修改電子工業(yè)用氫抽樣規(guī)則（ＧＢ／Ｔ１６９４２—１９９７的４．１，本版的４．１．１、４．１．２）；

———修改電子工業(yè)用氫采樣要求（ＧＢ／Ｔ１６９４２—１９９７的４．２，本版的４．１．３）；

———修改氮、一氧化碳、二氧化碳含量的分析方法（１６９４２—１９９７的４．４、４．６，本版的４．３）；

———修改總烴分析方法的檢測(cè)限（１６９４２—１９９７的４．７，本版的４．５）；

———修改水分含量的分析方法（１６９４２—１９９７的４．８，本版的４．７）；

———修改標(biāo)志、包裝、貯運(yùn)及安全（ＧＢ／Ｔ１６９４２—１９９７的第５章，本版的第５章）；

———增加規(guī)范性附錄Ａ，并把采用氦離子化氣相色譜法測(cè)定電子工業(yè)用氫中的氮、一氧化碳、二氧

化碳組分的方法寫入該附錄（見附錄Ａ）。

本標(biāo)準(zhǔn)的附錄Ａ為規(guī)范性附錄。

本標(biāo)準(zhǔn)由全國半導(dǎo)體設(shè)備和材料標(biāo)準(zhǔn)化技術(shù)委員會(huì)提出。

本標(biāo)準(zhǔn)由全國半導(dǎo)體設(shè)備和材料標(biāo)準(zhǔn)化技術(shù)委員會(huì)氣體分技術(shù)委員會(huì)歸口。

本標(biāo)準(zhǔn)起草單位：中國計(jì)量科學(xué)研究院、西南化工研究設(shè)計(jì)院。

本標(biāo)準(zhǔn)主要起草人：周澤義、周鵬云。

本標(biāo)準(zhǔn)所代替標(biāo)準(zhǔn)的歷次版本發(fā)布情況為：

———ＧＢ／Ｔ１６９４２—１９９７。

Ⅰ

書

犌犅／犜１６９４２—２００９

電子工業(yè)用氣體氫

１范圍

本標(biāo)準(zhǔn)規(guī)定了電子工業(yè)用氫的技術(shù)要求，試驗(yàn)方法以及包裝、標(biāo)志、貯運(yùn)及安全。

本標(biāo)準(zhǔn)適用于以氫氣為原料經(jīng)凈化制取的瓶裝、集裝格裝和管道輸送的電子工業(yè)用氫氣。它們主

要被用來提供還原氣氛，作為外延工藝的載氣以及等離子體蝕刻劑的配氣原料。

分子式：Ｈ２。

相對(duì)分子質(zhì)量：２．０１５８８（按２００５年國際相對(duì)原子質(zhì)量計(jì)算）。

２規(guī)范性引用文件

下列文件中的條款通過本標(biāo)準(zhǔn)的引用而成為本標(biāo)準(zhǔn)的條款。凡是注日期的引用文件，其隨后所有

的修改單（不包括勘誤的內(nèi)容）或修訂版均不適用于本標(biāo)準(zhǔn)，然而，鼓勵(lì)根據(jù)本標(biāo)準(zhǔn)達(dá)成協(xié)議的各方研究

是否可使用這些文件的最新版本。凡是不注日期的引用文件，其最新版本適用于本標(biāo)準(zhǔn)。

ＧＢ１９０—２００９危險(xiǎn)貨物包裝標(biāo)志

ＧＢ／Ｔ３６３４．１氫氣第１部分工業(yè)氫

ＧＢ／Ｔ３７２３工業(yè)用化學(xué)產(chǎn)品采樣安全通則

ＧＢ４９６２氫氣使用安全技術(shù)規(guī)程

ＧＢ５０９９鋼質(zhì)無縫氣瓶（ＧＢ５０９９—１９９４，ｎｅｑＩＳＯ４７０５：１９９３）

ＧＢ／Ｔ６２８５氣體中微量氧的測(cè)定電化學(xué)法

ＧＢ７１４４氣瓶顏色標(biāo)志

ＧＢ／Ｔ８９８４氣體中一氧化碳、二氧化碳和碳?xì)浠衔锏臏y(cè)定氣相色譜法

ＧＢ１４１９４永久氣體氣瓶充裝規(guī)定

氣瓶安全監(jiān)察規(guī)程

壓力容器安全技術(shù)監(jiān)察規(guī)程

壓力管道安全管理與監(jiān)察規(guī)定

３技術(shù)要求

電子工業(yè)用氣體氫的質(zhì)量應(yīng)符合表１的要求。

表１技術(shù)指標(biāo)

項(xiàng)目指標(biāo)

－２

氫（Ｈ２）純度（體積分?jǐn)?shù)）／１０≥９９．９９９９９９．９９９７９９．９９９５

－６

氮（Ｎ２）含量（體積分?jǐn)?shù)）／１０＜０．５２．０２

－６

氧（Ｏ２）含量（體積分?jǐn)?shù)）／１０＜０．２０．２０．５

一氧化碳（ＣＯ）含量（體積分?jǐn)?shù)）／１０－６＜０．０５０．５

０．２

－６

二氧化碳（ＣＯ２）含量（體積分?jǐn)?shù)）／１０＜０．０５０．５

總烴（以甲烷計(jì)）含量（體積分?jǐn)?shù)）／１０－６＜０．０５０．２０．５

－６

水分（Ｈ２Ｏ）含量（體積分?jǐn)?shù)）／１０＜０．２０．２０．５

總雜質(zhì)含量（體積分

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