GB/T 18193-2000真空技術(shù)質(zhì)譜檢漏儀校準(zhǔn)

ICS.23.160J78中華人民共和國國家標(biāo)準(zhǔn)GB/T_18193-2000idtISO3530：1979真空技術(shù)質(zhì)譜檢漏儀校準(zhǔn)Vacuumtechnology·Mass-spectrometer-typeleakdetectorcalibration2000-09-26發(fā)布2001-02-01實(shí)施國家質(zhì)量技術(shù)監(jiān)督局發(fā)布

GB/T18193-2000前本標(biāo)準(zhǔn)等同采用ISO3530:1979《真空技術(shù)質(zhì)譜檢漏儀校準(zhǔn)》.在技術(shù)內(nèi)容上與該國際標(biāo)準(zhǔn)等效但是考慮到我國標(biāo)準(zhǔn)本身的特點(diǎn)及漢語的表述習(xí)慣，使該標(biāo)準(zhǔn)既與國際標(biāo)準(zhǔn)接軌.又適合我國的國情，為此·對ISO3530:1979標(biāo)準(zhǔn)的個別內(nèi)容作了編輯性修改。本標(biāo)準(zhǔn)由國家機(jī)械工業(yè)局提出。本標(biāo)準(zhǔn)由全國真空技術(shù)標(biāo)準(zhǔn)化技術(shù)委員會歸口本標(biāo)準(zhǔn)起草單位：沈陽真空技術(shù)研究所。本標(biāo)準(zhǔn)主要起草人：龍方、李春影、任麗華、李玉英

GB/T18193-2000ISO前音ISO(國際標(biāo)準(zhǔn)化組織)是各國標(biāo)準(zhǔn)協(xié)會(ISO成員)世界性的聯(lián)合組織。制定國際標(biāo)準(zhǔn)工作是通過ISO技術(shù)委員會來進(jìn)行的。每個成員都有權(quán)參加其感興趣的議題所在的委員會,與ISO有關(guān)的國際組織·政府的和非政府的也參加了這個工作。技術(shù)委員會采納的國際標(biāo)準(zhǔn)草案，被ISO理事會采納成為國際標(biāo)準(zhǔn)以前，應(yīng)發(fā)給各個委員會成員ISO3530國際標(biāo)準(zhǔn)為ISO/TC112真空技術(shù)委員會制定，并于1978年11月發(fā)給了每個成員。本標(biāo)準(zhǔn)由以下國家成員通過：澳大利亞比利時智利前捷克斯洛伐克德國法國印度意大利日木墨西哥韓國波蘭羅馬尼亞南非共和國西班牙英國美國沒有成員表示反對這個文件

GB/T18193-2000ISO引言該標(biāo)準(zhǔn)規(guī)定了質(zhì)譜檢漏儀校準(zhǔn)的使用程序，即測定質(zhì)譜檢漏儀靈敏度。但該程序需要使用的一個校淮漏孔和一種標(biāo)準(zhǔn)的氣體混合物，不在這個標(biāo)準(zhǔn)的范圍內(nèi)。質(zhì)譜檢漏儀以下簡稱“檢漏儀"。檢漏儀用于機(jī)械孔(如針孔)的漏量和通過許多聚合材料而發(fā)生的漏氣的探測。那些表面解吸、氣化和氣穴的虛漏，一般不能用檢漏儀探測。漏率校準(zhǔn)范圍限制在一個規(guī)定的水平，因?yàn)閷τ谳^大泄漏這個因素是不重要的.而對于漏率小于10-1Pa·m2·s的泄漏·這個因素就變得重要了。檢漏儀檢驗(yàn)的對象可以在高真空條件下或者高于大氣壓下。一般在兩種情況下檢漏技術(shù)將不同。在第一種情況下.檢漏儀通常在接近它的低的極限壓力下進(jìn)行工作：在第二種情況下，檢漏儀常被使用在其最大或接近最大工作壓力。對應(yīng)于這兩個工作條件，兩個靈敏度術(shù)語定為：“最小可檢漏率"和“最小可檢濃度比"（見本標(biāo)準(zhǔn)第2章)。這樣定義的兩個量是有關(guān)系的，但是,從一個數(shù)據(jù)去算得另一個數(shù)據(jù)不可行。因此規(guī)定了測定兩者的方法該標(biāo)準(zhǔn)用在真空技術(shù)領(lǐng)域中是一系列泄漏試驗(yàn)程序和裝置標(biāo)準(zhǔn)之一。應(yīng)用分類：氣密性、檢漏儀校準(zhǔn)、漏孔的校準(zhǔn)、氣體混合物、檢漏儀驗(yàn)收規(guī)范和真空設(shè)備的氣密檢驗(yàn)的一般程序。上述應(yīng)用分類中的-一些項(xiàng)構(gòu)成將來標(biāo)準(zhǔn)的課題

中華人民共和國國家標(biāo)準(zhǔn)真空技術(shù)質(zhì)譜檢漏儀校準(zhǔn)GB/T18193-2000idtIso3530：1979Vacuumtechnology一Mass-speetrometer-typeleakdetectorcalibration1范圍本標(biāo)準(zhǔn)規(guī)定了質(zhì)譜檢漏儀的校準(zhǔn)程序。它僅適用于校準(zhǔn)將靈敏元件處于高真空系統(tǒng)中的檢漏儀。因此這個方法沒有制訂完整的驗(yàn)收試驗(yàn)。本標(biāo)準(zhǔn)規(guī)定探索氣體使用氨-4。但在適當(dāng)?shù)念A(yù)防措施下,可以使用其他探索氣體,如氬-40,本標(biāo)準(zhǔn)的應(yīng)用受到檢漏儀不能測定小于10-Pa·m2·s一漏率漏孔限制。本標(biāo)準(zhǔn)程序提出了測定最小可檢漏率和最小可檢濃度比的兩個要點(diǎn)。它分別應(yīng)用于高真空和壓力大于一個大氣壓的檢漏儀上。2定義本標(biāo)準(zhǔn)采用下列定義2.1本底(或殘余信號）background(orresidualsignal)2.1.1本底background設(shè)有注入探索氣體時，檢漏儀給出的總的假象指示(本底發(fā)生在質(zhì)譜管中或在電極電子系統(tǒng)中或同時發(fā)生在兩者中。由于離子不同于注人探索氣體所產(chǎn)生的離子.所以該術(shù)語習(xí)慣稱為指示）。2.1.2漂移drift本底較緩慢的改變。有效的參量是在規(guī)定的期間內(nèi)測得的最大漂移2.1.3噪聲noise本底比較快地改變。有效的參量是在規(guī)定的期間內(nèi)測得的噪聲2.1.4氫本底heliumbackground由檢漏儀壁或檢漏系統(tǒng)釋放出氨所造成的本底2.2元件components2.2.1人口管路或試樣人口管路inletlineorsampleinletline深索氣體從試驗(yàn)件流到檢漏儀經(jīng)過的管路。2.2.2人口閥inletvalve連接試樣與檢漏儀的閥門(見圖1),它是檢漏儀的主要部件2.2.3漏孔隔離閥leakisolationvalve安裝在試驗(yàn)檢漏儀所用的漏孔和試樣入口管路之間的閥門(見圖1)。2.2.4抽氣閥pumpvalve安裝在抽空試樣人口管路使用的粗抽泵和管路之間的閥（見圖1）2.2.5放氣閥ventvalve用來引進(jìn)空氣或其他氣體進(jìn)