標(biāo)準(zhǔn)解讀

GB/T 18867-2002 是一項(xiàng)中華人民共和國(guó)國(guó)家標(biāo)準(zhǔn)，全稱為《電子工業(yè)用氣體 六氟化硫》。該標(biāo)準(zhǔn)規(guī)定了電子工業(yè)中使用的六氟化硫氣體的技術(shù)要求、試驗(yàn)方法、檢驗(yàn)規(guī)則以及標(biāo)志、包裝、運(yùn)輸和儲(chǔ)存要求，旨在確保六氟化硫氣體的質(zhì)量滿足電子工業(yè)應(yīng)用的需要，保障生產(chǎn)安全和產(chǎn)品質(zhì)量。

標(biāo)準(zhǔn)內(nèi)容概覽：

  1. 范圍：明確了本標(biāo)準(zhǔn)適用于電子工業(yè)中作為絕緣氣體、滅弧介質(zhì)及制冷劑等用途的六氟化硫氣體。

  2. 規(guī)范性引用文件：列出了實(shí)施本標(biāo)準(zhǔn)時(shí)所依據(jù)或參考的其他相關(guān)標(biāo)準(zhǔn)和文件。

  3. 術(shù)語(yǔ)和定義：對(duì)六氟化硫氣體以及相關(guān)專業(yè)術(shù)語(yǔ)進(jìn)行定義，確保理解和執(zhí)行標(biāo)準(zhǔn)的一致性。

  4. 要求：

    • 化學(xué)成分：規(guī)定了六氟化硫氣體的純度要求，通常要求達(dá)到高純度水平，以確保其在電子設(shè)備中的高效性能。
    • 物理特性：包括但不限于密度、沸點(diǎn)、臨界溫度和壓力等，需符合規(guī)定范圍。
    • 雜質(zhì)含量：嚴(yán)格限制了如水分、空氣、酸性物質(zhì)、堿性物質(zhì)及其他雜質(zhì)的含量，以防止這些雜質(zhì)對(duì)電子元件造成損害。
    • 穩(wěn)定性與安全性：要求氣體在規(guī)定條件下穩(wěn)定，不應(yīng)對(duì)人體健康和環(huán)境造成危害。

  5. 試驗(yàn)方法：詳細(xì)說(shuō)明了如何通過(guò)化學(xué)分析、氣相色譜分析等手段來(lái)檢測(cè)六氟化硫氣體的純度、雜質(zhì)含量等指標(biāo)，確保測(cè)試結(jié)果的準(zhǔn)確性和可重復(fù)性。

  6. 檢驗(yàn)規(guī)則：規(guī)定了產(chǎn)品出廠前的檢驗(yàn)項(xiàng)目、抽樣方法、合格判定準(zhǔn)則等，確保每批產(chǎn)品的質(zhì)量可控。

  7. 標(biāo)志、標(biāo)簽、包裝：要求產(chǎn)品外包裝上應(yīng)清晰標(biāo)注產(chǎn)品名稱、規(guī)格、批號(hào)、生產(chǎn)日期、有效期、生產(chǎn)廠家等信息，同時(shí)對(duì)包裝材料和方式做出具體要求，以保護(hù)氣體免受污染和損壞。

  8. 運(yùn)輸和儲(chǔ)存：提供了在運(yùn)輸和儲(chǔ)存六氟化硫氣體時(shí)應(yīng)遵循的安全措施和環(huán)境條件，避免氣體泄漏、污染或物理性質(zhì)改變。


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  • 已被新標(biāo)準(zhǔn)代替，建議下載現(xiàn)行標(biāo)準(zhǔn)GB/T 18867-2014
  • 2002-10-15 頒布
  • 2003-04-01 實(shí)施
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IcS71.100.20G86中華人民共和國(guó)國(guó)家標(biāo)準(zhǔn)GB/T18867一2002電子工業(yè)用氣體六氟化硫GasesforelectronicindustrySulfurhexafluoride2002-10-15發(fā)布2003-04-01實(shí)施中華民共和入發(fā)布國(guó)家質(zhì)量監(jiān)督檢驗(yàn)檢疫總局

GB/T18867-2002前本標(biāo)準(zhǔn)對(duì)應(yīng)于SEMIC3.24:1995《鋼瓶裝六氟化硫》標(biāo)準(zhǔn)中的體積分?jǐn)?shù)為99.97%（SEMI為半導(dǎo)體設(shè)備和材料國(guó)際組織),與SEMIC3.24的一致性程度為非等效本標(biāo)準(zhǔn)與SEMIC3.24:1995的主要技術(shù)差異如下：根據(jù)我國(guó)半導(dǎo)體工業(yè)、集成電路對(duì)氣體純度的要求及我國(guó)高純六氟化硫氣體生產(chǎn)工藝水平，本標(biāo)準(zhǔn)中的技術(shù)指標(biāo)除水外均優(yōu)于SEMIC3.24。六氟化硫純度定為大于或等于99.99%.優(yōu)于SEMIC3.24中的99.97%。分析方法中修改采用SEMIC3.24中空氣、四氟化碳及水分的測(cè)定;同時(shí)由于目前國(guó)內(nèi)主要采用電解氟氣與硫反應(yīng)生成六氟化硫的工藝路線，該工藝可能產(chǎn)生微量可水解氟化物、其他氟碳化物、其他氟硫化物.這些雜質(zhì)對(duì)使用有害，因此增加了二氧化碳、六氟乙烷、八氟丙烷、硫酰氟、亞硫酰氟、十氟一氧化二硫的測(cè)定對(duì)其他氟硫化物的檢測(cè)采用帶有火焰光度檢測(cè)器(FPD)的氣相色譜儀，綜合考慮使用方便、設(shè)備費(fèi)用等因素，本標(biāo)準(zhǔn)采用熱導(dǎo)檢測(cè)器與火焰光度檢測(cè)器串聯(lián)的氣相色譜儀進(jìn)行檢測(cè)空氣、四氟化碳、硫酰氟、亞硫酰氟、十氟一氧化二硫并作為資料性附錄A。采采用帶有火焰離子化檢測(cè)器的氣相色譜儀檢測(cè)六氟乙烷、八氟丙烷并作為資料性附錄B。本標(biāo)準(zhǔn)的附錄A和附錄B為資料性附錄。本標(biāo)準(zhǔn)由原國(guó)家石油和化學(xué)工業(yè)局提出。本標(biāo)準(zhǔn)由全國(guó)氣體標(biāo)準(zhǔn)化技術(shù)委員會(huì)（CSBTS/TC206)歸口。本標(biāo)準(zhǔn)起草單位：中核紅華特種氣體股份有限公司、西南化工研究設(shè)計(jì)院起草，光明化工研究設(shè)計(jì)院參與起草本標(biāo)準(zhǔn)主要起草人：杜偉華、張奎、賀國(guó)武、張軍、何道善本標(biāo)準(zhǔn)為首次發(fā)布。

GB/T18867-—2002電子工業(yè)用氣體六氟化硫分子式：SF.分子量：146.05(按1999年國(guó)際相對(duì)原子質(zhì)量)范圍本標(biāo)準(zhǔn)規(guī)定了電子工業(yè)用氣體六氟化硫產(chǎn)品的技術(shù)要求、分析方法、檢驗(yàn)規(guī)則以及包裝、標(biāo)志、運(yùn)輸、存和安全要求。本標(biāo)準(zhǔn)適用于硫與氟反應(yīng)生成并經(jīng)精制和純化制備的高純度六氟化硫。該產(chǎn)品主要用作等離子蝕刻劑、摻雜劑、電子元器件的外延氣或稀釋載氣等規(guī)范性引用文件下列文件中的條款通過(guò)本標(biāo)準(zhǔn)的引用而成為本標(biāo)準(zhǔn)的條款。凡是注日期的引用文件,其隨后所有的修改單(不包括勒誤的內(nèi)容)或修訂版均不適用于本標(biāo)準(zhǔn).然而，鼓勵(lì)根據(jù)本標(biāo)準(zhǔn)達(dá)成協(xié)議的各方研究是否可使用這些文件的最新版本。凡是不注日期的引用文件，其最新版本適用于本標(biāo)準(zhǔn)。GB190危險(xiǎn)貨物包裝標(biāo)志GB5099鋼質(zhì)無(wú)縫氣瓶(neqISO4705)GB/T5832.1氣體中微量水分的測(cè)定電電解法GB/T5832.2氣體中微量水分的測(cè)定露點(diǎn)法GB7144氣瓶顏色標(biāo)記GB/T8984.1碳?xì)浠衔锏臏y(cè)定第一部分：氣體中一氧化碳、二氧化碳和甲烷的測(cè)定氣相色譜法GB/T11640鋁合金無(wú)縫氣瓶GB12022—1989工業(yè)六氟化硫(neqIEC376A:1973)《氣瓶安全監(jiān)察規(guī)程》3技術(shù)要求電子工業(yè)用氣體六氟化硫應(yīng)符合表1要求表1技術(shù)指標(biāo)項(xiàng)目名稱大氟化硫(SFa)的體積分?jǐn)?shù)/10-99.99空氣的體積分?jǐn)?shù)/10750.（四氟化碳(CF.)的體積分?jǐn)?shù)/10一濕度(H.O)的體積分?jǐn)?shù)/10-酸度(以HF計(jì))的體積分?jǐn)?shù)/10-可水解氟化物(以

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