GB/T 18867-2014電子工業(yè)用氣體六氟化硫

ICS7110020

G86..

中華人民共和國國家標準

GB/T18867—2014

代替

GB/T18867—2002

電子工業(yè)用氣體六氟化硫

Gasesforelectronicindustry—Sulphurhexaflouride

2014-12-22發(fā)布2015-07-01實施

中華人民共和國國家質量監(jiān)督檢驗檢疫總局發(fā)布

中國國家標準化管理委員會

GB/T18867—2014

前言

本標準按照給出的規(guī)則起草

GB/T1.1—2009。

請注意本文件的某些內容可能涉及專利本文件的發(fā)布機構不承擔識別這些專利的責任

。。

本標準代替電子工業(yè)用氣體六氟化硫與相比除編

GB/T18867—2002《》。GB/T18867—2002,

輯性修改外主要技術變化如下

:

修改了范圍見第章年版的第章

———(1,20021);

修改了規(guī)范性引用文件見第章年版的第章

———(2,20022);

修改了技術指標見第章年版的第章

———(3,20023);

修改了抽樣判定和復驗見年版的第章

———、(4.1,20025);

修改了氧氬氮四氟化碳二氧化碳含量的測定方法見年版的

———+、、、(4.3,20024.2、4.3);

刪除了六氟乙烷八氟丙烷含量的測定方法見年版的

———、(20024.4);

增加了一氧化碳和甲烷含量的測定方法見

———(4.3);

修改了水分含量的測定方法見年版的

———(4.4,20024.5);

修改了標志包裝貯運及安全見第章年版的第章

———、、(5,20026)。

本標準由全國半導體設備和材料標準化技術委員會提出并歸口

(SAC/TC203)。

本標準起草單位黎明化工研究設計院有限責任公司成都科美特氟業(yè)塑膠有限公司青海信禾高

:、、

精化工有限公司佛山市華特氣體有限公司四川眾力氟業(yè)有限責任公司上海華愛色譜分析技術有限

、、、

公司大連大特氣體有限公司四川中測標物科技有限公司上海儀盟電子科技有限公司光明化工研究

、、、、

設計院上海基量標準氣體有限公司西南化工研究設計院有限公司核工業(yè)理化工程研究院華核新技

、、、

術開發(fā)公司

。

本標準主要起草人黃曉磊牛學坤賴明貴傅濤劉長慶任清貴史淑慧方正廖恒易李曉明

:、、、、、、、、、、

曲慶楊任常俠楊遂平鄧建平方華周鵬云

、、、、、、。

本標準所代替標準的歷次版本發(fā)布情況為

:

———GB/T18867—2002。

Ⅰ

GB/T18867—2014

電子工業(yè)用氣體六氟化硫

1范圍

本標準規(guī)定了六氟化硫的技術要求試驗方法標志包裝貯存及安全等

、、、、。

本標準適用于硫與氟直接反應并經精制和純化制備的六氟化硫該產品主要用作電子工業(yè)中化學

。

氣相沉積室的清洗劑和等離子蝕刻劑等

。

分子式

:SF6。

相對分子質量按年國際相對原子質量計算

:146.0564192(2007)。

2規(guī)范性引用文件

下列文件對于本文件的應用是必不可少的凡是注日期的引用文件僅注日期的版本適用于本文

。,

件凡是不注日期的引用文件其最新版本包括所有的修改單適用于本文件

。,()。

危險貨物包裝標志

GB190

工業(yè)用化學產品采樣安全通則

GB/T3723

鋼質無縫氣瓶

GB5099

氣體濕度的測定第部分電解法

GB/T5832.11:

氣體中微量水分的測定第部分光腔衰蕩光譜法

GB/T5832.33:

氣瓶顏色標志

GB7144

數(shù)值修約規(guī)則與極限數(shù)值的表示和判定

GB/T8170

工業(yè)六氟化硫

GB/T12022

液化氣體氣瓶充裝規(guī)定

GB14193

化學品安全標簽編寫規(guī)定

GB15258

氣瓶警示標簽

GB16804

特種氣體儲存期規(guī)范

GB/T26571

氣體分析氦離子化氣相色譜法

GB/T28726—2012

氣瓶安全監(jiān)察規(guī)程版

(2000)

危險化學品安全管理條例版

(2002)

3要求

六氟化硫的技術指標應符合表要求

1。

表1技術指標