標(biāo)準(zhǔn)解讀

《GB/T 18867-2014 電子工業(yè)用氣體 六氟化硫》相比于《GB/T 18867-2002 電子工業(yè)用氣體 六氟化硫》，主要在以下幾個(gè)方面進(jìn)行了更新和調(diào)整：

  1. 范圍擴(kuò)展：2014版標(biāo)準(zhǔn)可能對六氟化硫氣體的應(yīng)用領(lǐng)域或適用條件進(jìn)行了更明確或更廣泛的界定，以適應(yīng)電子工業(yè)發(fā)展的新需求。

  2. 技術(shù)指標(biāo)優(yōu)化：新版標(biāo)準(zhǔn)對六氟化硫氣體的純度、雜質(zhì)含量等關(guān)鍵指標(biāo)進(jìn)行了修訂，可能提高了部分指標(biāo)要求，以確保氣體在高精尖電子設(shè)備中的使用性能和安全性。

  3. 檢測方法改進(jìn)：為了更準(zhǔn)確、高效地測定六氟化硫氣體的質(zhì)量，2014版標(biāo)準(zhǔn)可能引入了新的檢測技術(shù)和分析方法，或?qū)υ蟹椒ㄟM(jìn)行了細(xì)化和優(yōu)化。

  4. 包裝、儲存與運(yùn)輸規(guī)范：考慮到安全與環(huán)保要求的提高，新版標(biāo)準(zhǔn)可能對六氟化硫氣體的包裝材料、儲存條件及運(yùn)輸過程提出了更為嚴(yán)格或具體的規(guī)定，以減少泄漏風(fēng)險(xiǎn)和環(huán)境污染。

  5. 安全與環(huán)保要求：隨著對環(huán)境保護(hù)和職業(yè)健康安全的重視增加，2014版標(biāo)準(zhǔn)可能增設(shè)或強(qiáng)化了關(guān)于六氟化硫氣體處理、使用過程中應(yīng)遵循的安全操作規(guī)程和環(huán)保要求。

  6. 術(shù)語和定義更新：為適應(yīng)技術(shù)進(jìn)步和國際接軌需要，新版標(biāo)準(zhǔn)可能對相關(guān)專業(yè)術(shù)語進(jìn)行了修訂或增補(bǔ)，使其表述更加準(zhǔn)確清晰。

  7. 標(biāo)準(zhǔn)結(jié)構(gòu)與格式調(diào)整：按照國家標(biāo)準(zhǔn)編寫規(guī)則的變化，2014版標(biāo)準(zhǔn)可能在文檔結(jié)構(gòu)、章節(jié)安排、文字表述等方面進(jìn)行了規(guī)范化調(diào)整，以便于讀者理解和執(zhí)行。


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....

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  • 現(xiàn)行
  • 正在執(zhí)行有效
  • 2014-12-22 頒布
  • 2015-07-01 實(shí)施
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GB/T 18867-2014電子工業(yè)用氣體六氟化硫_第1頁
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文檔簡介

ICS7110020

G86..

中華人民共和國國家標(biāo)準(zhǔn)

GB/T18867—2014

代替

GB/T18867—2002

電子工業(yè)用氣體六氟化硫

Gasesforelectronicindustry—Sulphurhexaflouride

2014-12-22發(fā)布2015-07-01實(shí)施

中華人民共和國國家質(zhì)量監(jiān)督檢驗(yàn)檢疫總局發(fā)布

中國國家標(biāo)準(zhǔn)化管理委員會

GB/T18867—2014

前言

本標(biāo)準(zhǔn)按照給出的規(guī)則起草

GB/T1.1—2009。

請注意本文件的某些內(nèi)容可能涉及專利本文件的發(fā)布機(jī)構(gòu)不承擔(dān)識別這些專利的責(zé)任

。。

本標(biāo)準(zhǔn)代替電子工業(yè)用氣體六氟化硫與相比除編

GB/T18867—2002《》。GB/T18867—2002,

輯性修改外主要技術(shù)變化如下

:

修改了范圍見第章年版的第章

———(1,20021);

修改了規(guī)范性引用文件見第章年版的第章

———(2,20022);

修改了技術(shù)指標(biāo)見第章年版的第章

———(3,20023);

修改了抽樣判定和復(fù)驗(yàn)見年版的第章

———、(4.1,20025);

修改了氧氬氮四氟化碳二氧化碳含量的測定方法見年版的

———+、、、(4.3,20024.2、4.3);

刪除了六氟乙烷八氟丙烷含量的測定方法見年版的

———、(20024.4);

增加了一氧化碳和甲烷含量的測定方法見

———(4.3);

修改了水分含量的測定方法見年版的

———(4.4,20024.5);

修改了標(biāo)志包裝貯運(yùn)及安全見第章年版的第章

———、、(5,20026)。

本標(biāo)準(zhǔn)由全國半導(dǎo)體設(shè)備和材料標(biāo)準(zhǔn)化技術(shù)委員會提出并歸口

(SAC/TC203)。

本標(biāo)準(zhǔn)起草單位黎明化工研究設(shè)計(jì)院有限責(zé)任公司成都科美特氟業(yè)塑膠有限公司青海信禾高

:、、

精化工有限公司佛山市華特氣體有限公司四川眾力氟業(yè)有限責(zé)任公司上海華愛色譜分析技術(shù)有限

、、、

公司大連大特氣體有限公司四川中測標(biāo)物科技有限公司上海儀盟電子科技有限公司光明化工研究

、、、、

設(shè)計(jì)院上?；繕?biāo)準(zhǔn)氣體有限公司西南化工研究設(shè)計(jì)院有限公司核工業(yè)理化工程研究院華核新技

、、、

術(shù)開發(fā)公司

。

本標(biāo)準(zhǔn)主要起草人黃曉磊牛學(xué)坤賴明貴傅濤劉長慶任清貴史淑慧方正廖恒易李曉明

:、、、、、、、、、、

曲慶楊任常俠楊遂平鄧建平方華周鵬云

、、、、、、。

本標(biāo)準(zhǔn)所代替標(biāo)準(zhǔn)的歷次版本發(fā)布情況為

:

———GB/T18867—2002。

Ⅰ

GB/T18867—2014

電子工業(yè)用氣體六氟化硫

1范圍

本標(biāo)準(zhǔn)規(guī)定了六氟化硫的技術(shù)要求試驗(yàn)方法標(biāo)志包裝貯存及安全等

、、、、。

本標(biāo)準(zhǔn)適用于硫與氟直接反應(yīng)并經(jīng)精制和純化制備的六氟化硫該產(chǎn)品主要用作電子工業(yè)中化學(xué)

。

氣相沉積室的清洗劑和等離子蝕刻劑等

。

分子式

:SF6。

相對分子質(zhì)量按年國際相對原子質(zhì)量計(jì)算

:146.0564192(2007)。

2規(guī)范性引用文件

下列文件對于本文件的應(yīng)用是必不可少的凡是注日期的引用文件僅注日期的版本適用于本文

。,

件凡是不注日期的引用文件其最新版本包括所有的修改單適用于本文件

。,()。

危險(xiǎn)貨物包裝標(biāo)志

GB190

工業(yè)用化學(xué)產(chǎn)品采樣安全通則

GB/T3723

鋼質(zhì)無縫氣瓶

GB5099

氣體濕度的測定第部分電解法

GB/T5832.11:

氣體中微量水分的測定第部分光腔衰蕩光譜法

GB/T5832.33:

氣瓶顏色標(biāo)志

GB7144

數(shù)值修約規(guī)則與極限數(shù)值的表示和判定

GB/T8170

工業(yè)六氟化硫

GB/T12022

液化氣體氣瓶充裝規(guī)定

GB14193

化學(xué)品安全標(biāo)簽編寫規(guī)定

GB15258

氣瓶警示標(biāo)簽

GB16804

特種氣體儲存期規(guī)范

GB/T26571

氣體分析氦離子化氣相色譜法

GB/T28726—2012

氣瓶安全監(jiān)察規(guī)程版

(2000)

危險(xiǎn)化學(xué)品安全管理?xiàng)l例版

(2002)

3要求

六氟化硫的技術(shù)指標(biāo)應(yīng)符合表要求

1。

表1技術(shù)指標(biāo)

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