GB/T 25915.2-2021潔凈室及相關(guān)受控環(huán)境第2部分：潔凈室空氣粒子濃度的監(jiān)測

ICS1304035

CCSC.70.

中華人民共和國國家標(biāo)準(zhǔn)

GB/T259152—2021/ISO14644-22015

.:

代替GB/T259152—2010

.

潔凈室及相關(guān)受控環(huán)境

第2部分潔凈室空氣粒子濃度的監(jiān)測

:

Cleanroomsandassociatedcontrolledenvironments—Part2Monitorinto

:g

provideevidenceofcleanroomperformancerelatedtoair

cleanlinessbyparticleconcentration

ISO14644-22015IDT

(:,)

2021-08-20發(fā)布2022-03-01實(shí)施

國家市場監(jiān)督管理總局發(fā)布

國家標(biāo)準(zhǔn)化管理委員會

GB/T259152—2021/ISO14644-22015

.:

目次

前言

…………………………Ⅲ

引言

…………………………Ⅴ

范圍

1………………………1

規(guī)范性引用文件

2…………………………1

術(shù)語和定義

3………………1

監(jiān)測計劃的制定執(zhí)行及持續(xù)改進(jìn)

4、………………………2

按粒子濃度定期劃分空氣潔凈度

5………………………3

附錄資料性制定監(jiān)測計劃考慮事項

A()………………4

附錄資料性設(shè)定預(yù)警值和干預(yù)值的考慮事項

B()……………………7

參考文獻(xiàn)

……………………11

Ⅰ

GB/T259152—2021/ISO14644-22015

.:

前言

本文件按照標(biāo)準(zhǔn)化工作導(dǎo)則第部分標(biāo)準(zhǔn)化文件的結(jié)構(gòu)和起草規(guī)則的規(guī)

GB/T1.1—2020《1:》

定起草

。

本文件是潔凈室及相關(guān)受控環(huán)境的第部分已經(jīng)發(fā)布了以下部分

GB/T25915《》2。GB/T25915:

第部分按粒子濃度劃分空氣潔凈度等級

———1:;

第部分潔凈室空氣粒子濃度的監(jiān)測

———2:;

第部分檢測方法

———3:;

第部分設(shè)計建造啟動

———4:、、;

第部分運(yùn)行

———5:;

第部分詞匯

———6:;

第部分隔離裝置潔凈風(fēng)罩手套箱隔離器微環(huán)境

———7:(、、、);

第部分按化學(xué)物濃度劃分空氣潔凈度等級

———8:(ACC);

第部分按粒子濃度劃分表面潔凈度等級

———9:;

第部分按化學(xué)物濃度劃分表面潔凈度等級

———10:;

第部分監(jiān)測空氣中納米粒子濃度的技術(shù)要求

———12:。

本文件代替潔凈室及相關(guān)受控環(huán)境第部分證明持續(xù)符合

GB/T25915.2—2010《2:

的檢測與監(jiān)測技術(shù)條件與相比主要技術(shù)變化如下

GB/T25915.1》,GB/T25915.2—2010,:

修改了范圍見第章年版的第章

a)(1,20101);

術(shù)語和定義中只保留了原來的檢測監(jiān)測個術(shù)語刪除了其他個見年版的第章

b)、2,6(20103),

增加了干預(yù)值預(yù)警值個術(shù)語見

、2(3.3、3.4);

將持續(xù)達(dá)到要求的證明修改為監(jiān)測計劃的制定執(zhí)行及持續(xù)改進(jìn)見第章年版的

c)“”“、”(4,2010

第章

4);

增加了按粒子濃度定期劃分空氣潔凈度見第章

d)“”(5)。

本文件等同采用潔凈室及相關(guān)受控環(huán)境第部分潔凈室空氣粒子濃度的監(jiān)

ISO14644-2:2015《2:

測

》。

請注意本文件的某些內(nèi)容可能涉及專利本文件的發(fā)布機(jī)構(gòu)不承擔(dān)識別專利的責(zé)任

。。

本文件由全國潔凈室及相關(guān)受控環(huán)境標(biāo)準(zhǔn)化技術(shù)委員會提出并歸口

(SAC/TC319)。

本文件起草單位中國電子系統(tǒng)工程第二建設(shè)有限公司江蘇嘉合建設(shè)有限公司天津泰達(dá)潔凈材

:、、

料有限公司深圳市麗風(fēng)凈化工程有限公司蘇州安泰空氣技術(shù)有限公司中國電子工程設(shè)計院有限公

、、、

司陜西中電精泰電子工程有限公司派歐尼爾環(huán)境凈化工程北京有限公司北檢潤和北京技術(shù)服

、、()、()

務(wù)有限公司天俱時工程科技集團(tuán)有限公司蘇州蘇凈儀器自控設(shè)備有限公司天津大學(xué)中國標(biāo)準(zhǔn)化協(xié)

、、、、

會中國建筑科學(xué)研究院有限公司上海市室內(nèi)環(huán)境凈化行業(yè)協(xié)會廣東省潔凈技術(shù)行業(yè)協(xié)會蘇州華泰

、、、、

空氣過濾器有限公司深圳市朗奧潔凈科技股份有限公司上海市食品藥品包裝材料測試所廣東省實(shí)

、、、

驗動物監(jiān)測所上海中增科教設(shè)備有限公司深圳市君信達(dá)環(huán)境科技股份有限公司上海譽(yù)凈環(huán)?？萍?/p>

、、、

有限公司廣州市微生物研究所有限公司靈匯機(jī)電工程杭州有限公司廣西華原過濾系統(tǒng)股份有限

、、()、

公司佛山市順德區(qū)阿波羅環(huán)保器材有限公司廣東富瑞希空氣凈化過濾制品有限公司

、、。

本文件主要起草人施紅平王大千劉俊杰馮昕龍軍王苑謝敬偉車玉伶夏薇佳吳志堅

:、、、、、、、、、、

吳巍王芳張仲杰王輝耿文韜王蓉周占磊童廣才邱濟(jì)夫黃韌魏佳鳴姚增玉廖志銘詹煉

、、、、、、、、、、、、、、

Ⅲ

GB/T259152—2021/ISO14644-22015

.:

王華張玉華明飛平程北川于天朱吉興鄒再彬

、、、、、、。

本文件及其所代替文件的歷次版本發(fā)布情況為

:

年首次發(fā)布為

———2010GB/T25915.2—2010;

本次為第一次修訂

———。

Ⅳ

GB/T259152—2021/ISO14644-22015

.:

引言

是采用系列國際標(biāo)準(zhǔn)各部分設(shè)置與國際標(biāo)準(zhǔn)保持一致擬由個部分

GB/T25915ISO14644,,15

構(gòu)成

。

第部分按粒子濃度劃分空氣潔凈度等級目的是區(qū)分粒子污染程度

———1:。。

第部分潔凈室空氣粒子濃度的監(jiān)測目的是指導(dǎo)監(jiān)測粒子污染以避免可能產(chǎn)生的污染

———2:。,

風(fēng)險

。

第部分檢測方法目的是指導(dǎo)對潔凈室內(nèi)各種污染和相關(guān)環(huán)境要素的檢測

———3:。。

第部分設(shè)計建造啟動目的是指導(dǎo)潔凈室的設(shè)計建造啟動

———4:、、。、、。

第部分運(yùn)行目的是指導(dǎo)潔凈室的運(yùn)行

———5:。。

第部分詞匯目的是統(tǒng)一規(guī)范技術(shù)術(shù)語

———6:。。

第部分隔離裝置潔凈風(fēng)罩手套箱隔離器微環(huán)境目的是提出潔凈室用隔離裝置的基

———7:(、、、)。

本要求

。

第部分按化學(xué)物濃度劃分空氣潔凈度等級目的是區(qū)分空氣化學(xué)污染程度

———8:(ACC)。。

第部分按粒子濃度劃分表面潔凈度等級目的是區(qū)分表面粒子污染程度

———9:。。

第部分按化學(xué)物濃度劃分表面潔凈度等級目的是區(qū)分表面化學(xué)污染程度

———10:。。

第部分監(jiān)測空氣中納米粒子濃度的技術(shù)要求目的是提出納米級別的粒子污染的檢測

———12:。

要求

。

第部分達(dá)到粒子和化合潔凈度要求的表面清潔目的是提出潔凈室內(nèi)表面的清潔要求以

———13:。

避免可能產(chǎn)生的粒子和化學(xué)污染的風(fēng)險

。

第部分按粒子污染濃度評定設(shè)備適用性目的是通過對相關(guān)設(shè)備可能在潔凈室

———14:。

產(chǎn)生粒子污染的測試確定設(shè)備的適合性

,。

第部分按化學(xué)污染物濃度評定設(shè)備及材料的適合性目的是通過對相關(guān)設(shè)備可能在潔

———15:。

凈室產(chǎn)生化學(xué)污染的測試確定設(shè)備的適合性

,。

第部分提高潔凈室和空氣凈化裝置能效目的是節(jié)約潔凈室運(yùn)行的能源消耗

———16:。。

還要注意潔凈室及相關(guān)受控環(huán)境生物污染控制

GB/T25916《》:

第部分一般原理和方法

———1:;

第部分生物污染報告的評估與分析

———2:。

除了首次或者定期按照進(jìn)行潔凈室或者潔凈區(qū)分級之外本文件強(qiáng)調(diào)需要

GB/T25915.1—2021,

考慮監(jiān)測策略監(jiān)測將提供一個涵蓋所有時間的持續(xù)數(shù)據(jù)流程從而提供該裝置性能更詳細(xì)的視圖

。,。

通過監(jiān)測獲得的潛在好處包括

:

對不良事件和狀況的反應(yīng)更快

———;

能夠根據(jù)不同時間的數(shù)據(jù)確定趨勢

———;

對從多臺儀器獲得數(shù)據(jù)進(jìn)行整合

———;

增強(qiáng)安裝和過程知識從而進(jìn)行更有效的風(fēng)險評估

———,;

提高對運(yùn)營成本和產(chǎn)品損耗的控制

———。

本文件根據(jù)預(yù)定用途的風(fēng)險評估確定監(jiān)測計劃的要求獲得的數(shù)據(jù)提供了潔凈室或潔凈區(qū)的性能

。

Ⅴ

GB/T259152—2021/ISO14644-22015

.:

與根據(jù)粒子濃度確定的空氣潔凈度相關(guān)證據(jù)

()。

在某些情況下相關(guān)監(jiān)管機(jī)構(gòu)可以提出增補(bǔ)政策要求或者限制條件在這些情況下監(jiān)測程序可

,、。,

能需要適當(dāng)?shù)恼{(diào)整在最初的監(jiān)測計劃得以確定并實(shí)施之后當(dāng)安裝或者工藝要求發(fā)生顯著變更時可

。,,

能需要修改監(jiān)測計劃同時基于獲得的數(shù)據(jù)和使用經(jīng)驗謹(jǐn)慎地定期審核監(jiān)測計劃

。,,。

Ⅵ

GB/T259152—2021/ISO14644-22015

.:

潔凈室及相關(guān)受控環(huán)境

第2部分潔凈室空氣粒子濃度的監(jiān)測

:

1范圍

本文件規(guī)定了監(jiān)測計劃的基本要求這個監(jiān)測計劃依據(jù)所測量的空氣中懸浮粒子濃度或?qū)ζ溆杏?/p>

。

響的其他參數(shù)監(jiān)測潔凈室或潔凈區(qū)按粒子濃度劃分的空氣潔凈度方面的性能

,。

本文件適用于粒徑粒子濃度的監(jiān)測

0.1μm~5μm。

本文件不適用于振動或工程系統(tǒng)一般維護(hù)等監(jiān)測超細(xì)粒子小于的粒子濃度的監(jiān)測將

。(0.1μm),

在另一個標(biāo)準(zhǔn)中規(guī)定

。

2規(guī)范性引用文件

下列文件中的內(nèi)容通過文中的規(guī)范性引用而構(gòu)成本文件必不可少的條款其中注日期的引用文

。,

件僅該日期對應(yīng)的版本適用于本文件不注日期的引用文件其最新版本包括所有的修改單適用于

,