GB/T 25915.1-2021潔凈室及相關(guān)受控環(huán)境第1部分：按粒子濃度劃分空氣潔凈度等級(jí)

ICS1304035

CCSC.70.

中華人民共和國(guó)國(guó)家標(biāo)準(zhǔn)

GB/T259151—2021

.

代替GB/T259151—2010

.

潔凈室及相關(guān)受控環(huán)境第1部分

:

按粒子濃度劃分空氣潔凈度等級(jí)

Cleanroomsandassociatedcontrolledenvironments—Part1Classificationofair

:

cleanlinessbyparticleconcentration

ISO14644-12015MOD

(:,)

2021-08-20發(fā)布2022-03-01實(shí)施

國(guó)家市場(chǎng)監(jiān)督管理總局發(fā)布

國(guó)家標(biāo)準(zhǔn)化管理委員會(huì)

GB/T259151—2021

.

目次

前言

…………………………Ⅲ

引言

…………………………Ⅴ

范圍

1………………………1

規(guī)范性引用文件

2…………………………1

術(shù)語(yǔ)和定義

3………………1

分級(jí)

4………………………4

符合性的證明

5……………5

附錄規(guī)范性按粒子濃度劃分空氣潔凈度的基準(zhǔn)方法

A()……………7

附錄資料性等級(jí)劃分計(jì)算實(shí)例

B()……………………11

附錄資料性懸浮大粒子的計(jì)數(shù)和測(cè)徑

C()……………17

附錄資料性序貫采樣法

D()……………21

附錄資料性非整數(shù)潔凈度等級(jí)和粒徑閾值的說(shuō)明

E()………………27

附錄資料性檢測(cè)儀器

F()………………29

參考文獻(xiàn)

……………………30

Ⅰ

GB/T259151—2021

.

前言

本文件按照標(biāo)準(zhǔn)化工作導(dǎo)則第部分標(biāo)準(zhǔn)化文件的結(jié)構(gòu)和起草規(guī)則的規(guī)

GB/T1.1—2020《1:》

定起草

。

本文件是潔凈室及相關(guān)受控環(huán)境的第部分已經(jīng)發(fā)布了以下部分

GB/T25915《》1。GB/T25915:

第部分按粒子濃度劃分空氣潔凈度等級(jí)

———1:;

第部分潔凈室空氣粒子濃度的監(jiān)測(cè)

———2:;

第部分檢測(cè)方法

———3:;

第部分設(shè)計(jì)建造啟動(dòng)

———4:、、;

第部分運(yùn)行

———5:;

第部分詞匯

———6:;

第部分隔離裝置潔凈風(fēng)罩手套箱隔離器微環(huán)境

———7:(、、、);

第部分按化學(xué)物濃度劃分空氣潔凈度等級(jí)

———8:(ACC);

第部分按粒子濃度劃分表面潔凈度等級(jí)

———9:;

第部分按化學(xué)物濃度劃分表面潔凈度等級(jí)

———10:;

第部分監(jiān)測(cè)空氣中納米粒子濃度的技術(shù)要求

———12:。

本文件代替潔凈室及相關(guān)受控環(huán)境第部分空氣潔凈度等級(jí)與

GB/T25915.1—2010《1:》,

相比除結(jié)構(gòu)調(diào)整和編輯性改動(dòng)外主要技術(shù)變化如下

GB/T25915.1—2010,,:

第章增加了粒子測(cè)定儀器要求見(jiàn)第章

a)1(1);

增加了規(guī)范性引用文件見(jiàn)第章

b)“”(2);

第章術(shù)語(yǔ)和定義中

c)3:

修改了潔凈室潔凈區(qū)分級(jí)粒子等定義見(jiàn)年版的

———、、、(3.1.1、3.1.2、3.1.4、3.2.1,20102.1.1);

刪除了超微粒子纖維描述符需方供方等術(shù)語(yǔ)年版的

———、、U、、(20102.2.5、2.2.7、2.3.1、

2.5.1、2.5.2);

增加了單向流非單向流分辨率最大允許測(cè)量誤差光散射離散式空氣懸浮粒子計(jì)數(shù)

———、、、、()

器離散大粒子計(jì)數(shù)器飛行時(shí)間測(cè)徑儀等定義見(jiàn)

、、(3.2.7、3.2.8、3.4.1、3.4.2、3.5.1、3.5.2、

3.5.3);

增加了表的注釋見(jiàn)表

d)1(1);

增加了明確應(yīng)用粒徑范圍見(jiàn)

e)(4.2);

增加了非整數(shù)潔凈度等級(jí)和粒徑閾值見(jiàn)

f)(4.5);

修改了附錄附錄的內(nèi)容并整合到規(guī)范性附錄見(jiàn)附錄年版的附錄附錄

g)B、CA(A,2010B、C);

將附錄的內(nèi)容充實(shí)到附錄見(jiàn)附錄年版的附錄

h)DB(B,2010D);

刪除附錄中超細(xì)粒子內(nèi)容豐富了大粒子的計(jì)數(shù)和測(cè)徑技術(shù)要求整合到附錄見(jiàn)附錄

i)E、C(C,

年版的附錄

2010E);

修改了附錄并整合到附錄中見(jiàn)附錄年版的附錄

j)FD(F,2010D);

增加了非整數(shù)潔凈度等級(jí)和粒徑閾值說(shuō)明見(jiàn)附錄

k)(E);

刪除了附錄潔凈度等級(jí)圖示見(jiàn)年版的附錄

l)A“”(2010A)。

本文件修改采用潔凈室及相關(guān)受控環(huán)境第部分按粒子濃度劃分空氣潔凈

ISO14644-1:2015《1:

度等級(jí)

》。

本文件與的技術(shù)差異及其原因如下

ISO14644-1:2015:

Ⅲ

GB/T259151—2021

.

修改了規(guī)范性附錄中的公式原因是公式適合于面積較小潔凈室對(duì)于我國(guó)

———A(A.1)。(A.1),

2以上大規(guī)模和超大規(guī)模潔凈室則暴露出其采樣點(diǎn)過(guò)多和未采用較為合理抽樣統(tǒng)

10000m,

計(jì)原理的問(wèn)題

。

本文件做了下列編輯性改動(dòng)

:

刪除了資料性附錄中

———BB.6.5。

請(qǐng)注意本文件的某些內(nèi)容可能涉及專利本文件的發(fā)布機(jī)構(gòu)不承擔(dān)識(shí)別專利的責(zé)任

。。

本文件由全國(guó)潔凈室及相關(guān)受控環(huán)境標(biāo)準(zhǔn)化技術(shù)委員會(huì)提出并歸口

(SAC/TC319)。

本文件起草單位中國(guó)電子工程設(shè)計(jì)院有限公司蘇州安泰空氣技術(shù)有限公司蘇州市計(jì)量測(cè)試院

:、、、

深圳市麗風(fēng)凈化工程有限公司江蘇嘉合建設(shè)有限公司中國(guó)電子系統(tǒng)工程第二建設(shè)有限公司陜西中

、、、

電精泰電子工程有限公司蘇州蘇凈儀器自控設(shè)備有限公司天津泰達(dá)潔凈材料有限公司天俱時(shí)工程

、、、

科技集團(tuán)有限公司中國(guó)標(biāo)準(zhǔn)化協(xié)會(huì)上海市室內(nèi)環(huán)境凈化行業(yè)協(xié)會(huì)廣東省潔凈技術(shù)行業(yè)協(xié)會(huì)天津大

、、、、

學(xué)吳江市華宇凈化設(shè)備有限公司上?？菩艡z測(cè)科技有限公司蘇州華泰空氣過(guò)濾器有限公司北京中

、、、、

邦興業(yè)科技有限公司深圳市朗奧潔凈科技股份有限公司上海奧宣凈化科技有限公司廣東省實(shí)驗(yàn)動(dòng)

、、、

物監(jiān)測(cè)所蘇州鴻博斯特超凈科技股份有限公司深圳市君信達(dá)環(huán)境科技股份有限公司法爾森科技上

、、、(

海有限公司廣西華原過(guò)濾系統(tǒng)股份有限公司上海市食品藥品包裝材料測(cè)試所靈匯機(jī)電工程杭州

)、、、()

有限公司佛山市順德區(qū)阿波羅環(huán)保器材有限公司廣東富瑞?？諝鈨艋^(guò)濾制品有限公司上海譽(yù)凈

、、、

環(huán)?？萍加邢薰?/p>

。

本文件主要起草人王大千秦學(xué)禮劉俊杰陳思源范國(guó)鋒王天羿高正陳建余小彪王芳

:、、、、、、、、、、

吳志堅(jiān)童廣才吳建華張正兵謝敬偉徐曉麗丁之潔魏佳鳴耿文韜廖志銘張中玲王華黃韌

、、、、、、、、、、、、、

顧小祥劉鵬韓輝范陽(yáng)輝朱吉興王必統(tǒng)洪道明張玉華彭永昌

、、、、、、、、。

本文件及其所代替文件的歷次版本發(fā)布情況為

:

年首次發(fā)布為

———2010GB/T25915.1—2010;

本次為第一次修訂

———。

Ⅳ

GB/T259151—2021

.

引言

是采用系列國(guó)際標(biāo)準(zhǔn)各部分設(shè)置與國(guó)際標(biāo)準(zhǔn)保持一致擬由個(gè)部分

GB/T25915ISO14644,,15

構(gòu)成

。

第部分按粒子濃度劃分空氣潔凈度等級(jí)目的是區(qū)分粒子污染程度

———1:。。

第部分潔凈室空氣粒子濃度的監(jiān)測(cè)目的是指導(dǎo)監(jiān)測(cè)粒子污染以避免可能產(chǎn)生的污染

———2:。,

風(fēng)險(xiǎn)

。

第部分檢測(cè)方法目的是指導(dǎo)對(duì)潔凈室內(nèi)各種污染和相關(guān)環(huán)境要素的檢測(cè)

———3:。。

第部分設(shè)計(jì)建造啟動(dòng)目的是指導(dǎo)潔凈室的設(shè)計(jì)建造啟動(dòng)

———4:、、。、、。

第部分運(yùn)行目的是指導(dǎo)潔凈室的運(yùn)行

———5:。。

第部分詞匯目的是統(tǒng)一規(guī)范技術(shù)術(shù)語(yǔ)

———6:。。

第部分隔離裝置潔凈風(fēng)罩手套箱隔離器微環(huán)境目的是提出潔凈室用隔離裝置的基

———7:(、、、)。

本要求

。

第部分按化學(xué)物濃度劃分空氣潔凈度等級(jí)目的是區(qū)分空氣化學(xué)污染程度

———8:(ACC)。。

第部分按粒子濃度劃分表面潔凈度等級(jí)目的是區(qū)分表面粒子污染程度

———9:。。

第部分按化學(xué)物濃度劃分表面潔凈度等級(jí)目的是區(qū)分表面化學(xué)污染程度

———10:。。

第部分監(jiān)測(cè)空氣中納米粒子濃度的技術(shù)要求目的是提出納米級(jí)別的粒子污染的檢測(cè)

———12:。

要求

。

第部分達(dá)到粒子和化合潔凈度要求的表面清潔目的是提出潔凈室內(nèi)表面的清潔要求以

———13:。

避免可能產(chǎn)生的粒子和化學(xué)污染的風(fēng)險(xiǎn)

。

第部分按粒子污染濃度評(píng)估設(shè)備適用性目的是通過(guò)對(duì)相關(guān)設(shè)備可能在潔凈室產(chǎn)生粒子

———14:。

污染的測(cè)試確定設(shè)備的適合性

,。

第部分按化學(xué)污染物濃度評(píng)定設(shè)備及材料的適合性目的是通過(guò)對(duì)相關(guān)設(shè)備可能在潔凈

———15:。

室產(chǎn)生化學(xué)污染的測(cè)試確定設(shè)備的適合性

,。

第部分提高潔凈室和空氣凈化裝置能效目的是節(jié)約潔凈室運(yùn)行的能源消耗

———16:。。

本次修訂對(duì)個(gè)潔凈度級(jí)別保留并做了細(xì)小修改針對(duì)整數(shù)級(jí)別表定義了各種粒子粒徑

9ISO。,1

的粒子濃度針對(duì)中間級(jí)別表定義了各種粒子粒徑的最大粒子濃度針對(duì)不同級(jí)別這些表格是

。,E.1。,

為了確保適當(dāng)?shù)牧椒秶艿玫礁玫囟x本文件保留了大粒子描述符的概念然而納米級(jí)粒子

。。,

先前被定義為超微粒子將會(huì)在一個(gè)單獨(dú)標(biāo)準(zhǔn)里提出

()。

本文件明確提出空氣潔凈度等級(jí)用空氣量中一定濃度的粒子數(shù)量來(lái)表示本文件不僅明確了判定

。

潔凈度等級(jí)的標(biāo)準(zhǔn)測(cè)試方法還包括采樣點(diǎn)的選擇

,。

Ⅴ

GB/T259151—2021

.

潔凈室及相關(guān)受控環(huán)境第1部分

:

按粒子濃度劃分空氣潔凈度等級(jí)

1范圍

本文件規(guī)定了按空氣中懸浮粒子濃度劃分潔凈室潔凈區(qū)所述的隔離裝置中的空

、、GB/T25915.7

氣潔凈度等級(jí)

。

本文件適用于粒徑擋下限為的顆粒物累積計(jì)數(shù)分布及其粒子濃度的監(jiān)測(cè)

0.1μm~5μm。

超細(xì)粒子的濃度將在納米尺寸粒子空氣潔凈度標(biāo)準(zhǔn)中規(guī)定在指定采樣點(diǎn)規(guī)定使用

(<0.1μm)。,

光散射離散式空氣懸浮粒子計(jì)數(shù)器判定大粒子的粒子濃度用描述符對(duì)其

()(LSAPC)(>5μm),M

量化

。

本文件不適用于表征空氣懸浮粒子的物理性化學(xué)性放射性生物活性或其他特性

、、、。

2規(guī)范性引用文件

下列文件中的內(nèi)容通過(guò)文中的規(guī)范性引用而構(gòu)成本文件必不可少的條款其中注日期的引用文