GB/T 43662-2024藍寶石圖形化襯底片

ICS29045

CCSH.83

中華人民共和國國家標準

GB/T43662—2024

藍寶石圖形化襯底片

Patternedsapphiresubstrate

2024-03-15發(fā)布2024-10-01實施

國家市場監(jiān)督管理總局發(fā)布

國家標準化管理委員會

GB/T43662—2024

前言

本文件按照標準化工作導則第部分標準化文件的結構和起草規(guī)則的規(guī)定

GB/T1.1—2020《1:》

起草

。

請注意本文件的某些內容可能涉及專利本文件的發(fā)布機構不承擔識別專利的責任

。。

本文件由全國半導體設備和材料標準化技術委員會與全國半導體設備和材料標準

(SAC/TC203)

化技術委員會材料分技術委員會共同提出并歸口

(SAC/TC203/SC2)。

本文件起草單位廣東中圖半導體科技股份有限公司有色金屬技術經濟研究院有限責任公司

:、、

華燦光電浙江有限公司黃山博藍特半導體科技有限公司北京大學東莞光電研究院云南藍晶科技

()、、、

有限公司南京理工宇龍新材料科技股份有限公司通遼精工藍寶石有限公司蘇州恒嘉晶體材料有限

、、、

公司

。

本文件主要起草人張能賀東江張小瓊李素青肖桂明王子榮朱廣敏康凱劉建哲丁曉民

:、、、、、、、、、、

王新強何永杰戴生伢閆殿軍徐永亮

、、、、。

Ⅰ

GB/T43662—2024

藍寶石圖形化襯底片

1范圍

本文件規(guī)定了藍寶石圖形化襯底片以下簡稱襯底的技術要求試驗方法檢驗規(guī)則標志包

(“”)、、、、

裝運輸貯存隨行文件和訂貨單內容

、、、。

本文件適用于藍寶石圖形化襯底片的研發(fā)生產測試檢驗及性能質量的評價

、、、。

2規(guī)范性引用文件

下列文件中的內容通過文中的規(guī)范性引用而構成本文件必不可少的條款其中注日期的引用文

。,

件僅該日期對應的版本適用于本文件不注日期的引用文件其最新版本包括所有的修改單適用于

,;,()

本文件

。

計數抽樣檢驗程序第部分按接收質量限檢索的逐批檢驗抽樣

GB/T2828.1—20121:(AQL)

計劃

砷化鎵外延層厚度紅外干涉測量方法

GB/T8758

硅片直徑測量方法

GB/T14140

半導體材料術語

GB/T14264

納米級長度的掃描電鏡測量方法通則

GB/T20307

潔凈室及相關受控環(huán)境第部分按粒子濃度劃分空氣潔凈度等級

GB/T25915.1—20211:

3術語和定義

界定的以及下列術語和定義適用于本文件

GB/T14264。

31

.

圖形化襯底patternedsubstrate

通過光刻或壓印圖形掩膜工藝再經等離子體刻蝕技術制成的表面具有一系列類圓錐體的周期性

,,

陣列排布的微納米圖形結構的襯底

。

注圖形化襯底用于提升氮化鎵發(fā)光二極管的光電性能

:。

32

.

圖形排布patternarrangement

襯底表面圖形按最密堆積原則進行位置及方向上的陣列分布排布如圖所示排布如圖所示

。0°1