標(biāo)準(zhǔn)解讀

GB/T 26307-2010《銀靶》是一項(xiàng)國家標(biāo)準(zhǔn)，專門針對用于物理氣相沉積（PVD）等工藝中的銀靶材料進(jìn)行了規(guī)定。該標(biāo)準(zhǔn)涵蓋了銀靶的要求、試驗(yàn)方法、檢驗(yàn)規(guī)則以及標(biāo)志、包裝、運(yùn)輸和貯存等方面的內(nèi)容。

根據(jù)標(biāo)準(zhǔn)，銀靶按其純度被分為不同的級(jí)別，每個(gè)級(jí)別的銀含量都有明確的規(guī)定，比如99.99%或更高純度的銀靶適用于對雜質(zhì)敏感的應(yīng)用場景。此外，對于銀靶的外觀質(zhì)量也有具體要求，如表面應(yīng)平整光滑，無裂紋、孔洞和其他明顯缺陷。

在試驗(yàn)方法部分，標(biāo)準(zhǔn)詳細(xì)描述了如何通過化學(xué)分析來測定銀靶中銀以及其他元素的含量；還包含了物理性能測試的方法，例如密度測量、硬度測試等，以確保銀靶滿足特定的技術(shù)要求。

關(guān)于檢驗(yàn)規(guī)則，GB/T 26307-2010明確了產(chǎn)品出廠前需要進(jìn)行的批次抽樣檢查流程及合格判定準(zhǔn)則。這有助于保證每批生產(chǎn)的銀靶都符合既定的質(zhì)量標(biāo)準(zhǔn)。

最后，在標(biāo)志、包裝、運(yùn)輸和貯存方面，標(biāo)準(zhǔn)提出了具體指導(dǎo)原則，包括但不限于標(biāo)簽上必須包含的信息（如制造商名稱、地址、產(chǎn)品規(guī)格等），以及推薦使用的包裝材料類型和方法，還有在搬運(yùn)過程中應(yīng)注意的安全事項(xiàng)以及適宜的存儲(chǔ)條件，旨在保護(hù)銀靶免受損害，并保持其最佳性能狀態(tài)直至使用。


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  • 正在執(zhí)行有效
  • 2011-01-14 頒布
  • 2011-11-01 實(shí)施
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GB/T 26307-2010銀靶_第1頁
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文檔簡介

ICS7712099

H68..

中華人民共和國國家標(biāo)準(zhǔn)

GB/T26307—2010

銀靶

Silvertarget

2011-01-14發(fā)布2011-11-01實(shí)施

中華人民共和國國家質(zhì)量監(jiān)督檢驗(yàn)檢疫總局發(fā)布

中國國家標(biāo)準(zhǔn)化管理委員會(huì)

GB/T26307—2010

前言

本標(biāo)準(zhǔn)由全國有色金屬標(biāo)準(zhǔn)化技術(shù)委員會(huì)歸口

(SAC/TC243)。

本標(biāo)準(zhǔn)由北京有研億金新材料股份有限公司負(fù)責(zé)起草

。

本標(biāo)準(zhǔn)主要起草人閆琳楊華李蕊楊永剛雷繼鋒熊曉東江軒

:、、、、、、。

Ⅰ

GB/T26307—2010

銀靶

1范圍

本標(biāo)準(zhǔn)規(guī)定了銀靶的要求試驗(yàn)方法檢驗(yàn)規(guī)則和標(biāo)志包裝運(yùn)輸貯存及質(zhì)量證明書與訂貨單或

、、、、、(

合同內(nèi)容

)。

本標(biāo)準(zhǔn)適用于半導(dǎo)體器件用的各類銀濺射靶材以下簡稱銀靶其他用途的靶材也可參照使用

()。。

2規(guī)范性引用文件

下列文件對于本文件的應(yīng)用是必不可少的凡是注日期的引用文件僅注日期的版本適用于本文

。,

件凡是不注日期的引用文件其最新版本包括所有的修改單適用于本文件

。,()。

銀

GB/T4135

金屬平均晶粒度測定方法

GB/T6394

銀化學(xué)分析方法

GB/T11067

貴金屬及其合金材料幾何尺寸測量方法

GB/T15077

3要求

31產(chǎn)品分類

.

銀靶的類型按化學(xué)成分為一種

IC-Ag99.99。

銀靶的形狀和尺寸主要由設(shè)備基臺(tái)確定外形主要為圓形矩形和異型

,、。

32化學(xué)成分

.

銀靶的化學(xué)成分應(yīng)符合的規(guī)定需方對某種特定雜質(zhì)元素含量有要求

IC-Ag99.99GB/T4135。

的由供需雙方協(xié)商確認(rèn)

,。

33晶粒度

.

銀靶的橫向平均晶粒度應(yīng)在

50μm~150μm。

34外觀質(zhì)量

.

銀靶表面應(yīng)無凹坑劃傷裂紋凸起等缺陷無潤滑痕跡顆粒附加物和其他沾污應(yīng)清潔光滑無

、、、;、;,

指痕無油污和銹蝕

,。

35表面粗糙度

.

銀靶表面粗糙度Ra值應(yīng)不大于

1.6μm。

36幾何尺寸

.

361圓形銀靶的直徑?主要有厚度通常為

..

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